技術特征：

技術總結
本發(fā)明公開了一種掩膜版清潔裝置，包括吸附筒體，所述吸附筒體的第一端設置有吸嘴，所述吸附筒體通過氣管與吸氣裝置流體連通，其中，所述吸附筒體中設置有旋轉(zhuǎn)電機和刀片，所述刀片連接在所述旋轉(zhuǎn)電機的旋轉(zhuǎn)軸上，所述刀片位于所述吸附筒體中且鄰近于所述吸嘴。所述掩膜版清潔裝置，針對粘連在掩膜版上的類毛線異物，首先通過吸附作用將類毛線異物的主體吸入到吸附筒體的吸嘴中，然后通過刀片旋轉(zhuǎn)切割將類毛線異物從掩膜版上切斷，最后將切斷的異物吸附去除，由此可以有效地清除掩膜版上粘連的發(fā)絲、棉線、毛線和纖維等類毛線異物。

技術研發(fā)人員：裴龍
受保護的技術使用者：武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
技術研發(fā)日：2017.08.04
技術公布日：2017.10.20