本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及曝光技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種光罩(mask)及基于該光罩的曝光方法。

背景技術(shù)：

當(dāng)前，為了在較大面積的基板上形成預(yù)定圖案，需要進(jìn)行多次光罩制程。以圖1所示的兩次光罩制程為例，在第一次光罩制程后，基板10上形成有與光罩11的第一顯示開口區(qū)111和第二顯示開口區(qū)112相對應(yīng)的圖案101、102，然后移動光罩11。為了滿足圖案設(shè)計(jì)需求，需要將第二顯示開口區(qū)112與基板10的預(yù)定區(qū)域103對齊，而此時(shí)光罩11的第一顯示開口區(qū)111與圖案102的所在區(qū)域相重疊，這無疑會使得圖案102的所在區(qū)域在第二次光罩制程中被再次曝光。這種同一圖案區(qū)域的多次曝光現(xiàn)象容易導(dǎo)致最終所制得的圖案不符合生產(chǎn)要求，例如該區(qū)域的圖案厚度較小，從而不利于大尺寸圖案的制造。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

鑒于此，本發(fā)明提供一種光罩及基于該光罩的曝光方法，能夠避免同一圖案區(qū)域被多次曝光，有利于大尺寸圖案的制造。

本發(fā)明一實(shí)施例的光罩，包括顯示開口區(qū)和遮擋區(qū)，所述光罩在顯示開口區(qū)設(shè)置有顯示屏，所述顯示屏用于根據(jù)接收到的電驅(qū)動信號控制所述顯示開口區(qū)的光透過率。

本發(fā)明一實(shí)施例的曝光方法，包括：

提供一光罩，所述光罩的顯示開口區(qū)設(shè)置有顯示屏；

基于光罩進(jìn)行光罩制程；

移動光罩，且所述光罩在移動前后具有重疊區(qū)域，所述顯示開口區(qū)位于所述重疊區(qū)域內(nèi)；

對顯示屏施加電驅(qū)動信號，以使顯示屏根據(jù)接收到的電驅(qū)動信號控制所述顯示開口區(qū)的光透過率為零；

基于移動后的光罩繼續(xù)進(jìn)行光罩制程。

有益效果：本發(fā)明設(shè)計(jì)在光罩的顯示開口區(qū)設(shè)置顯示屏，通過顯示屏控制該顯示開口區(qū)的光透過率，能夠避免同一圖案區(qū)域在多次光罩制程中被多次曝光，有利于大尺寸圖案的制造。

附圖說明

圖1是基于現(xiàn)有技術(shù)的光罩進(jìn)行兩次光罩制程的場景示意圖；

圖2是本發(fā)明的光罩一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是基于圖2所示光罩進(jìn)行兩次光罩制程的場景示意圖；

圖4是本發(fā)明的曝光方法一實(shí)施例的流程示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明所提供的各個示例性的實(shí)施例的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。在不沖突的情況下，下述各個實(shí)施例及其技術(shù)特征可以相互組合。

圖2是本發(fā)明一實(shí)施例的光罩的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，本實(shí)施例的光罩20可以為板體結(jié)構(gòu)，其包括兩個顯示開口區(qū)以及除兩個顯示開口區(qū)之外的遮擋區(qū)22，所述兩個顯示開口區(qū)分別為上下排布的第一顯示開口區(qū)211和第二顯示開口區(qū)212。在光罩制程中，遮擋區(qū)22用于阻擋光透過，顯示開口區(qū)允許光透過，以對位于其正下方的區(qū)域進(jìn)行曝光，從而便于后續(xù)在該曝光區(qū)域形成預(yù)定圖案。

與圖1所示光罩11不同的是，本實(shí)施例的光罩20在至少一個顯示開口區(qū)設(shè)置有顯示屏23，該顯示屏23用于接收電驅(qū)動信號，并根據(jù)電驅(qū)動信號控制顯示開口區(qū)的光透過率。以第一顯示開口區(qū)211設(shè)置有顯示屏23為例，顯示屏23包括但不限于液晶顯示屏(liquidcrystaldisplay,lcd)，第一顯示開口區(qū)211可以與顯示屏23的有效顯示區(qū)域(activearea)231重疊，或者，沿垂直于光罩20的視線方向，第一顯示開口區(qū)211的正投影落于顯示屏23的有效顯示區(qū)域231內(nèi)。

基于顯示屏23一般包括有效顯示區(qū)域231以及圍設(shè)于有效顯示區(qū)域231周圍的非顯示區(qū)域232，因此，本實(shí)施例可以將非顯示區(qū)域232與光罩20的遮擋區(qū)22固定，以此將顯示屏23固定于光罩20的顯示開口區(qū)。其中，顯示屏23可以基于內(nèi)嵌方式設(shè)置于光罩20的第一顯示開口區(qū)211，當(dāng)然本實(shí)施例也可以采用膠黏貼等方式將顯示屏23貼附于第一顯示開口區(qū)211，并且為了確保曝光區(qū)域的精確，本實(shí)施例可以將顯示屏23貼附于光罩20背向所要形成圖案的一側(cè)。

進(jìn)一步地，本實(shí)施例的顯示屏23以可拆卸方式設(shè)置于第一顯示開口區(qū)211。當(dāng)需要對光罩20的其他顯示開口區(qū)，例如第二顯示開口區(qū)212，進(jìn)行光透過率調(diào)節(jié)時(shí)，本實(shí)施例可以將顯示屏23從第一顯示開口區(qū)211拆下，并將其安裝于第二顯示開口區(qū)212。

下面以圖3所示的兩次光罩制程為例，介紹基于本實(shí)施例的光罩20形成曝光圖案的原理及過程。

第一次光罩制程

首先，將光罩20緊貼于基板30的正上方，使得第一顯示開口區(qū)211和第二顯示開口區(qū)212分別與基板30的第一預(yù)定區(qū)域31和第二預(yù)定區(qū)域32對齊。然后，對顯示屏23施加電驅(qū)動信號，顯示屏23根據(jù)電驅(qū)動信號控制自身液晶偏轉(zhuǎn)以允許光透過，以使得第一顯示開口區(qū)211允許光透過。接著，從光罩20背向基板30的一側(cè)對基板30進(jìn)行曝光，光線透過第一顯示開口區(qū)211和第二顯示開口區(qū)212，并分別對第一預(yù)定區(qū)域31和第二預(yù)定區(qū)域32進(jìn)行曝光，從而能夠在第一預(yù)定區(qū)域31和第二預(yù)定區(qū)域32分別形成第一子圖案和第二子圖案。

第二次光罩制程

移動光罩20，使得第二顯示開口區(qū)212與基板30的第三預(yù)定區(qū)域33對齊，此時(shí)光罩20在移動前后具有重疊區(qū)域，而第一顯示開口區(qū)211位于該重疊區(qū)域內(nèi)，并與基板30的第二預(yù)定區(qū)域32對齊。然后，對顯示屏23施加電驅(qū)動信號，顯示屏23根據(jù)電驅(qū)動信號控制自身液晶偏轉(zhuǎn)以阻擋光透過，此時(shí)顯示屏23的光透過率為零，第一顯示開口區(qū)211不允許光透過。接著，從光罩20背向基板30的一側(cè)對基板30進(jìn)行曝光，光線僅透過第二顯示開口區(qū)212，并對第三預(yù)定區(qū)域33進(jìn)行曝光，從而能夠在第三預(yù)定區(qū)域33形成第三子圖案。

在第二次光罩制程中，由于顯示屏23的光透過率為零，光線無法從第一顯示開口區(qū)211透過，因此第二預(yù)定區(qū)域32沒有被再次曝光，由此可見，本實(shí)施例通過顯示屏23控制光罩20的顯示開口區(qū)的光透過率，能夠避免同一圖案區(qū)域在多次光罩制程中被多次曝光，有利于大尺寸圖案的制造。

應(yīng)理解，本發(fā)明其他實(shí)施例可以在光罩20的每一個顯示開口區(qū)均設(shè)置顯示屏23，例如圖2所示的第二顯示開口區(qū)212也設(shè)置有顯示屏23。另外，光罩20的材料可參閱現(xiàn)有技術(shù)，此處不予以贅述。

請參閱圖4，為本發(fā)明一實(shí)施例的曝光方法。所述曝光方法包括：

s41：提供一光罩，光罩的顯示開口區(qū)設(shè)置有顯示屏。

s42：基于光罩進(jìn)行光罩制程。

s43：移動光罩，且所述光罩在移動前后具有重疊區(qū)域，所述顯示開口區(qū)位于所述重疊區(qū)域內(nèi)。

s44：對顯示屏施加電驅(qū)動信號，以使顯示屏根據(jù)接收到的電驅(qū)動信號控制所述顯示開口區(qū)的光透過率為零。

s45：基于移動后的光罩繼續(xù)進(jìn)行光罩制程。

本實(shí)施例的曝光方法可以基于具有上述實(shí)施例結(jié)構(gòu)的光罩20，因此具有與其相同的有益效果。

另外，對于包含兩次光罩制程的曝光方法，本實(shí)施例在步驟s45之后，可以繼續(xù)執(zhí)行步驟s43～s45，直至得到預(yù)定圖案。

需要說明，以上所述僅為本發(fā)明的實(shí)施例，并非因此限制本發(fā)明的專利范圍，凡是利用本發(fā)明說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，例如各實(shí)施例之間技術(shù)特征的相互結(jié)合，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本發(fā)明的專利保護(hù)范圍內(nèi)。