技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開一種光罩及基于該光罩的曝光方法。所述光罩在其顯示開口區(qū)設(shè)置有顯示屏，所述顯示屏用于根據(jù)接收到的電驅(qū)動信號控制顯示開口區(qū)的光透過率。基于此，本發(fā)明能夠避免同一圖案區(qū)域在多次光罩制程中被多次曝光，有利于大尺寸圖案的制造。

技術(shù)研發(fā)人員：王威
受保護的技術(shù)使用者：武漢華星光電技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.07.20
技術(shù)公布日：2017.10.20