技術(shù)編號：11772495
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及OLED顯示器制造技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種掩膜版清潔裝置。背景技術(shù)OLED顯示器件按照驅(qū)動類型可分為PM-OLED(無源OLED)和AM-OLED(有源OLED)；下面主要解析AM-OLED的工藝；AM-OLED工藝可分為三大流程，第一段為陣列基板的工藝，第二段為OLED蒸鍍封裝工藝；第三段則為邦定老化的顯示模塊工藝。其中，OLED蒸鍍封裝工藝中包含多個基板與掩膜版對位的蒸鍍工藝，分別蒸鍍制作OLED的多個有機(jī)層及無機(jī)層。在基板與掩膜版對位的工藝過程中，必須注意到掩膜版開孔處是否鏤空，如果...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。