技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
一種光刻投影物鏡熱像差在線預測方法。本方法在光刻照明參數(shù)和掩模配置以及工作時序確定的情況下，在曝光間隙通過熱像差傳感器測量熱像差，基于雙指數(shù)模型建立像質(zhì)參數(shù)的狀態(tài)轉(zhuǎn)移方程，結(jié)合測量數(shù)據(jù)利用粒子濾波算法預測曝光期間投影物鏡的熱像差。相比于在先技術(shù)，本發(fā)明可以更為快速準確地預測投影物鏡的熱像差。

技術(shù)研發(fā)人員：茅言杰;李思坤;王向朝
受保護的技術(shù)使用者：中國科學院上海光學精密機械研究所
技術(shù)研發(fā)日：2017.06.12
技術(shù)公布日：2017.09.01