本發(fā)明涉及液晶產(chǎn)品制作技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種干燥裝置。

背景技術(shù)：

精細(xì)金屬掩膜(fmmmask)模式，是通過蒸鍍方式將oled(有機(jī)發(fā)光二極管，organiclight-emittingdiode)材料按照預(yù)定程序蒸鍍到ltps(低溫多晶硅)背板上，利用掩膜板上的圖形，蒸鍍紅綠藍(lán)有機(jī)物到規(guī)定位置上。目前的drybath(干燥腔室)3的底部是封閉結(jié)構(gòu)(只有排液一個(gè)孔)，如圖1和圖2所示，當(dāng)風(fēng)刀(ak)2進(jìn)行向下吹氣干燥掩膜板1的時(shí)候，由于干燥腔室3的下部分的幾乎封閉式的結(jié)構(gòu)，風(fēng)刀2向下吹的氣20在飽和的時(shí)候，會(huì)形成向上的氣流10，向上的氣流10會(huì)帶動(dòng)干燥腔室3底部沉積的particle(灰塵)，向上的氣流10帶動(dòng)的灰塵會(huì)沉積到掩膜板1表面，沉積有灰塵的掩膜板1放到蒸鍍腔室進(jìn)行蒸鍍的時(shí)候，會(huì)影響蒸鍍產(chǎn)品的品質(zhì)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種干燥裝置，減少反彈氣流的產(chǎn)生，從而減少反彈氣流帶起的灰塵對掩膜板的影響。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：一種干燥裝置，用于掩膜板的干燥，包括干燥腔室，所述干燥腔室端口處設(shè)有風(fēng)刀，

所述干燥腔室側(cè)壁靠近所述干燥腔室的底部的位置設(shè)有用于將風(fēng)刀產(chǎn)生的氣流排出的出風(fēng)口。

進(jìn)一步的，所述出風(fēng)口通過管道與真空吸附結(jié)構(gòu)連接。

進(jìn)一步的，所述管道與所述出風(fēng)口連接的一端的形狀為漏斗狀，所述管道與所述出風(fēng)口連接的一端的面積大于所述管道遠(yuǎn)離所述干燥腔室內(nèi)部的一端。

進(jìn)一步的，所述干燥腔室相對的兩個(gè)側(cè)壁上、對應(yīng)于所述干燥腔室的端口處設(shè)有所述風(fēng)刀，所述管道靠近所述干燥腔室內(nèi)部的一端、在第一方向上的長度等于所述干燥腔室相對應(yīng)的側(cè)壁的寬度，所述第一方向?yàn)樗龉艿缹?yīng)的所述干燥腔室的側(cè)壁的寬度方向。

進(jìn)一步的，所述管道傾斜設(shè)置，且所述管道遠(yuǎn)離所述出風(fēng)口的一端高于所述管道與所述出風(fēng)口連接的一端，所述管道靠近所述干燥腔室底部的內(nèi)表面為階梯狀。

進(jìn)一步的，所述干燥腔室內(nèi)設(shè)有使得風(fēng)刀的氣流通過并阻擋所述干燥腔室底部反彈的氣流通過的單向阻擋結(jié)構(gòu)，所述單向阻擋結(jié)構(gòu)設(shè)置于所述出風(fēng)口與所述風(fēng)刀之間。

進(jìn)一步的，所述單向阻擋結(jié)構(gòu)包括多層疊加設(shè)置的過濾網(wǎng)。

進(jìn)一步的，所述干燥腔室包括兩個(gè)相對的側(cè)壁，每個(gè)側(cè)壁對應(yīng)于所述干燥腔室的端口處設(shè)有所述風(fēng)刀，每個(gè)所述側(cè)壁的內(nèi)表面靠近所述干燥腔室的底部的位置設(shè)有所述出風(fēng)口，每個(gè)所述側(cè)壁的內(nèi)表面均設(shè)有第一隔板，所述第一隔板向所述干燥腔室的底部傾斜設(shè)置；

所述干燥腔室的底部設(shè)有與所述第一隔板配合控制風(fēng)刀的氣流方向以使得風(fēng)刀的氣流從所述出風(fēng)口排出的第二隔板，所述第二隔板位于兩個(gè)所述第一隔板之間，所述第二隔板的截面為倒置的v形。

進(jìn)一步的，所述第一隔板靠近所述干燥腔室底部的一端具有向?qū)?yīng)側(cè)壁彎折的折邊。

進(jìn)一步的，所述折邊與所述第一隔板的連接處為圓弧。

本發(fā)明的有益效果是：出風(fēng)口的設(shè)置減少了反彈氣流的產(chǎn)生，從而減少反彈氣流帶起的灰塵對掩膜板的影響提高產(chǎn)品蒸鍍良率。

附圖說明

圖1表示現(xiàn)有技術(shù)中干燥裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2表示現(xiàn)有技術(shù)中干燥腔室內(nèi)氣流流向示意圖；

圖3表示本發(fā)明實(shí)施例中干燥裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4表示本發(fā)明實(shí)施例中管道與出風(fēng)口連接的一端的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5表示本發(fā)明實(shí)施例中管道靠近所述干燥腔室底部的內(nèi)表面的局部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6表示本發(fā)明實(shí)施例中另一實(shí)施方式的干燥裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7表示本發(fā)明實(shí)施例單向阻擋結(jié)構(gòu)示意圖；

圖8表示本發(fā)明實(shí)施例中第三實(shí)施方式的干燥裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖9表示本發(fā)明實(shí)施例中第三實(shí)施方式的干燥裝置結(jié)構(gòu)中的干燥腔室內(nèi)部氣流流向示意圖。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的特征和原理進(jìn)行詳細(xì)說明，所述實(shí)施例僅用于解釋本發(fā)明，并非以此限定本發(fā)明的保護(hù)范圍。

如圖3所示，本實(shí)施例提供一種干燥裝置，用于掩膜板的干燥，包括干燥腔室3，所述干燥腔室3端口處設(shè)有風(fēng)刀2。

所述干燥腔室3側(cè)壁靠近所述干燥腔室3的底部的位置設(shè)有用于將風(fēng)刀2產(chǎn)生的氣流排出的出風(fēng)口11。

在干燥腔室3的底部設(shè)置出風(fēng)口11，利用出風(fēng)口11的吸氣作用，使氣流流向改變(改變原來的反彈氣流)，使得氣流從設(shè)置的出風(fēng)口11流出，圖3中箭頭方向?yàn)闅饬鞯牧飨?，減少反彈氣流所帶的灰塵對掩膜板產(chǎn)生的影響，提高成品的蒸鍍良率。

所述出風(fēng)口11的大小以及出風(fēng)口11的具體設(shè)置位置可根據(jù)實(shí)際需要設(shè)定，只要實(shí)現(xiàn)將風(fēng)刀2產(chǎn)生的氣流排出、從而減少反彈氣流的產(chǎn)生即可。

本實(shí)施例中為了進(jìn)一步有效的減少反彈氣流的產(chǎn)生，所述出風(fēng)口11通過管道7與真空吸附結(jié)構(gòu)連接。利用真空吸附結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的吸力進(jìn)一步的改變氣流的流向，使得風(fēng)刀2產(chǎn)生的氣流進(jìn)入干燥腔室3后，從所述出風(fēng)口11流出，減少反彈氣流的產(chǎn)生，從而減少氣流帶起的灰塵對掩膜板的影響。

本實(shí)施例中，所述管道7與所述出風(fēng)口11連接的一端的形狀為漏斗狀，所述管道7與所述出風(fēng)口11連接的一端的面積大于所述管道11遠(yuǎn)離所述干燥腔室3內(nèi)部的一端。利于對氣流流向的改變。

所述干燥腔室3的具體形狀可以有多種，可以是圓柱體、長方體等，本實(shí)施例中，所述干燥腔室3為一長方體結(jié)構(gòu)，所述干燥腔室3相對的兩個(gè)側(cè)壁上、對應(yīng)于所述干燥腔室3的端口處設(shè)有所述風(fēng)刀2，所述管道7靠近所述干燥腔室3內(nèi)部的一端、在第一方向上的長度(圖4中虛線所標(biāo)示)等于所述干燥腔室3相對應(yīng)的側(cè)壁的寬度，所述第一方向?yàn)樗龉艿?對應(yīng)的所述干燥腔室3的側(cè)壁的寬度方向。

所述管道7與所述出風(fēng)口11連接的一端的形狀可以有多種只要實(shí)現(xiàn)所述管道7靠近所述干燥腔室3內(nèi)部的一端、在第一方向上的長度(圖4中虛線所標(biāo)示)等于所述干燥腔室3相對應(yīng)的側(cè)壁的寬度，有效的防止反彈氣流的產(chǎn)生，并且避免出現(xiàn)死角即可，本實(shí)施例中，所述管道7與所述出風(fēng)口11連接的一端的形狀為扁漏斗狀，節(jié)省了管道7在干燥腔室3對應(yīng)的側(cè)壁上占用的空間，(所述管道7與出風(fēng)口11連接的一端的形狀與出風(fēng)口11的形狀是相對應(yīng)的)所述管道7靠近所述干燥腔室3內(nèi)部的一端為橢圓形(并不限于是橢圓形)，所述管道7靠近所述干燥腔室3內(nèi)部的一端的長邊的長度(橢圓形的長軸，圖4中虛線所標(biāo)示)等于所述干燥腔室3相對應(yīng)的側(cè)壁的寬度。配合真空吸附結(jié)構(gòu)的吸力作用，更有效的改變干燥腔室內(nèi)氣流的流向，減少反彈氣流的產(chǎn)生，圖4中粗箭頭表示氣流流向。

所述管道7可以傾斜設(shè)置也可以水平設(shè)置，本實(shí)施例中優(yōu)選的，所述管道7傾斜設(shè)置，當(dāng)遇到體積大的灰塵的時(shí)候，一次吸氣不能完全吸附去除體積大的灰塵的時(shí)候，尤其是所述管道7遠(yuǎn)離所述出風(fēng)口11的一端高于所述管道7與所述出風(fēng)口11連接的一端(即所述管道7向上傾斜設(shè)置)時(shí)，為了避免灰塵落于干燥腔室3的底部，所述管道7靠近所述干燥腔室3底部的內(nèi)表面為階梯狀，如圖5所示。階梯狀結(jié)構(gòu)會(huì)承接住由氣流帶起的灰塵，且避免灰塵又下滑到干燥腔室3內(nèi)，導(dǎo)致體積大的灰塵無法清除。

如圖6所示，本實(shí)施例另一實(shí)施方式中，所述干燥腔室3內(nèi)設(shè)有使得風(fēng)刀2的氣流通過并阻擋所述干燥腔室3底部反彈的氣流通過的單向阻擋結(jié)構(gòu)4，所述單向阻擋結(jié)構(gòu)4設(shè)置于所述出風(fēng)口與所述風(fēng)刀2之間。

當(dāng)氣體向下流動(dòng)穿過所述單向阻擋結(jié)構(gòu)4，由所述單向阻擋結(jié)構(gòu)4上方(所述單向阻擋結(jié)構(gòu)4靠近所述風(fēng)刀2的一側(cè))的氣流(風(fēng)刀2產(chǎn)生的氣流)帶下來的灰塵和所述單向阻擋結(jié)構(gòu)4表面沉積的灰塵會(huì)在較大風(fēng)力的作用下，全部通過所述單向阻擋結(jié)構(gòu)4進(jìn)入到所述干燥腔室3的底部，大部分氣流會(huì)通過出風(fēng)口排出去，但是會(huì)有殘余的直上反彈氣流，會(huì)帶動(dòng)少量的灰塵，當(dāng)反彈氣流遇到所述單向阻擋結(jié)構(gòu)4，會(huì)起到過濾和阻擋作用，同時(shí)在所述單向阻擋結(jié)構(gòu)4上方的風(fēng)力較大的大氣流的共同作用下，灰塵基本不會(huì)通過所述單向阻擋結(jié)構(gòu)4，進(jìn)而減少掩膜板表面的附著的灰塵。

所述單向阻擋結(jié)構(gòu)4的具體結(jié)構(gòu)形式可以有多種，所述單向阻擋結(jié)構(gòu)4的具體位置設(shè)定也可以根據(jù)實(shí)際需要設(shè)定，只要實(shí)現(xiàn)對所述單向阻擋結(jié)構(gòu)4下方的灰塵的阻擋即可，本實(shí)施例中，所述單向阻擋結(jié)構(gòu)4包括多層疊加設(shè)置的過濾網(wǎng)。

如圖7所示，所述單向阻擋結(jié)構(gòu)包括三層過濾網(wǎng)：第一過濾網(wǎng)41、第二過濾網(wǎng)42、第三過濾網(wǎng)43，為了保證所述單向阻擋結(jié)構(gòu)下方的灰塵被阻擋，所述第一過濾網(wǎng)41、第二過濾網(wǎng)42、第三過濾網(wǎng)43的網(wǎng)格結(jié)構(gòu)是可以相互交錯(cuò)設(shè)置，且第一過濾網(wǎng)41、第二過濾網(wǎng)42、第三過濾網(wǎng)43的網(wǎng)格大小也可以不同。

所述單向阻擋結(jié)構(gòu)還包括使得所述第一過濾網(wǎng)41、第二過濾網(wǎng)42、第三過濾網(wǎng)43中兩兩之間的間距可調(diào)的間距調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，調(diào)整相鄰過濾網(wǎng)之間的間距增強(qiáng)過濾網(wǎng)的過濾效果，具體間距的設(shè)置可以根據(jù)實(shí)際需要設(shè)置，例如，所述第一過濾網(wǎng)41、第二過濾網(wǎng)42、第三過濾網(wǎng)43中，相鄰過濾網(wǎng)之間的間距可以為零，相鄰過濾網(wǎng)之間也可以設(shè)定相同的間距，第一過濾網(wǎng)41和第二過濾網(wǎng)42之間的間距可以與第二過濾網(wǎng)42和第三過濾網(wǎng)43之間的間距不同(單向阻擋結(jié)構(gòu)包括3層以上過濾網(wǎng)時(shí)，相鄰兩層過濾網(wǎng)之間的間距從干燥腔室的端口到底部的方向依次增大或依次減小)。

所述第一過濾網(wǎng)41、第二過濾網(wǎng)42、第三過濾網(wǎng)43的網(wǎng)格疏密度從干燥腔室3的端口到底部的方向可以是依次遞增或依次遞減或者疏密交叉設(shè)置(第一過濾網(wǎng)41的網(wǎng)格設(shè)置比較稀疏、第二過濾網(wǎng)42的網(wǎng)格設(shè)置比較緊密、第三過濾網(wǎng)43的網(wǎng)格設(shè)置比較稀疏)，本實(shí)施例中優(yōu)選的，所述第一過濾網(wǎng)41、第二過濾網(wǎng)42、第三過濾網(wǎng)43的網(wǎng)格疏密度從干燥腔室3的端口到底部的方向依次遞增。

需要說明的是，過濾網(wǎng)的數(shù)量可以根據(jù)需要設(shè)置，并不限制于三層的設(shè)置。

在本實(shí)施例第三實(shí)施方式中。如圖8和圖9所示，圖中箭頭表示氣流的流向，所述干燥腔室3包括兩個(gè)相對的側(cè)壁，每個(gè)側(cè)壁對應(yīng)于所述干燥腔室3的端口處設(shè)有所述風(fēng)刀2，每個(gè)所述側(cè)壁的內(nèi)表面靠近所述干燥腔室3的底部的位置設(shè)有所述出風(fēng)口，每個(gè)所述側(cè)壁的內(nèi)表面均設(shè)有第一隔板5，所述第一隔板5向所述干燥腔室3的底部傾斜設(shè)置；

所述干燥腔室3的底部設(shè)有與所述第一隔板5配合控制風(fēng)刀2的氣流方向以使得風(fēng)刀2的氣流從所述出風(fēng)口排出的第二隔板6，所述第二隔板6位于兩個(gè)所述第一隔板5之間，所述第二隔板6的截面為倒置的v形。

利用第一隔板5和第二隔板6來控制氣流的方向，減少殘余氣流，圖中箭頭所示為干燥腔室3內(nèi)氣流的流向，使氣流更容易帶動(dòng)灰塵排出所述干燥腔室3。

本實(shí)施例中，所述第一隔板5靠近所述干燥腔室3底部的一端具有向?qū)?yīng)側(cè)壁彎折的折邊51。折邊51的設(shè)置起到導(dǎo)向的作用，利于所述第一隔板5與所述第二隔板6配合以使得氣流回旋流動(dòng)，最終從所述出風(fēng)口排出。

為了使得氣流更容易回旋流動(dòng)，所述折邊51與所述第一隔板5的連接處為圓弧。

以上所述為本發(fā)明較佳實(shí)施例，需要說明的是，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明所述原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明保護(hù)范圍。