技術(shù)編號(hào)：11518005
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及液晶產(chǎn)品制作技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種干燥裝置。背景技術(shù)精細(xì)金屬掩膜(FMMMask)模式，是通過蒸鍍方式將OLED(有機(jī)發(fā)光二極管，OrganicLight-EmittingDiode)材料按照預(yù)定程序蒸鍍到LTPS(低溫多晶硅)背板上，利用掩膜板上的圖形，蒸鍍紅綠藍(lán)有機(jī)物到規(guī)定位置上。目前的DryBath(干燥腔室)3的底部是封閉結(jié)構(gòu)(只有排液一個(gè)孔)，如圖1和圖2所示，當(dāng)風(fēng)刀(AK)2進(jìn)行向下吹氣干燥掩膜板1的時(shí)候，由于干燥腔室3的下部分的幾乎封閉式的結(jié)構(gòu)，風(fēng)刀2向下吹的氣20在飽和...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。