技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種制備納米光柵的裝置，包括安裝底座和L形安裝支架，且L形安裝支架固定焊接在安裝底座的一側(cè)頂部，所述安裝底座的底部固定焊接有支撐架，所述安裝底座的頂部固定安裝有電機(jī)，所述電機(jī)的輸出軸連接有第二轉(zhuǎn)動連接件，所述第二轉(zhuǎn)動連接件遠(yuǎn)離電機(jī)的一端設(shè)有勻膠臺，所述第二轉(zhuǎn)動連接件與勻膠臺轉(zhuǎn)動連接。本發(fā)明提出的一種制備納米光柵的裝置，結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)計(jì)合理，利用勻膠臺完成光刻膠旋涂工序，利用電子束曝光機(jī)、中間掩膜版、聚光透鏡和反射鏡完成基片的曝光工作，本發(fā)明提出的裝置用于制備納米光柵，設(shè)備投資小，制備成本低，操作簡單，易于控制，制備周期短，所得納米光柵性能好、質(zhì)量高，成品合格率高，值得推廣。

技術(shù)研發(fā)人員：仇凱弘
受保護(hù)的技術(shù)使用者：仇凱弘
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.18
技術(shù)公布日：2017.07.04