技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種硬掩模用組合物，其通過包含含有選自由特定化學(xué)式組成的組中的至少一種重復(fù)單元的聚合物和溶劑，從而能夠形成具有優(yōu)異的耐熱性、高溫耐熱性及涂覆均勻性的抗蝕劑下層膜(硬掩模)。更詳細(xì)而言，所述聚合物包含選自由下述化學(xué)式1?1和化學(xué)式1?2組成的組中的至少一種重復(fù)單元，下述化學(xué)式1?1中，Ar1及Ar2各自獨(dú)立地為碳原子數(shù)6～20的芳香族烴基，或者Ar1為氫原子且Ar2為碳原子數(shù)1～25的烴基，Ar1和Ar2可彼此連結(jié)而形成5～7元環(huán)，n為1～3的整數(shù)；下述化學(xué)式1?2中，Ar3為4～20的亞芳基。

技術(shù)研發(fā)人員：崔漢永;梁敦植;金相泰;成始震
受保護(hù)的技術(shù)使用者：東友精細(xì)化工有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.11
技術(shù)公布日：2017.11.10