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激光直接成像曝光機(jī)用移動聚焦結(jié)構(gòu)及聚焦方法與流程

文檔序號:12785541閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種激光直接成像曝光機(jī)用移動聚焦結(jié)構(gòu)及聚焦方法,其包括曝光成像平臺以及位于所述曝光成像平臺正上方的曝光光路;還包括用于驅(qū)動曝光成像平臺豎直升降的平臺升降機(jī)構(gòu),所述平臺升降機(jī)構(gòu)驅(qū)動曝光成像平臺豎直升降時(shí),能使得置于曝光成像平臺上PCB板的上表面位于曝光光路的成像焦面上。本發(fā)明通過平臺升降機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)曝光成像平臺的整體升降,從而使得曝光成像平臺上PCB板的上表面位于曝光光路的成像焦面上,與現(xiàn)有的聚焦相比,簡化了曝光光路的光路結(jié)構(gòu),提高了光路運(yùn)動時(shí)的穩(wěn)定性,同時(shí)也簡化了曝光光路的機(jī)械結(jié)構(gòu),降低了機(jī)械安裝的難度,簡化了曝光成像鏡筒的聚焦步驟,安全可靠。

技術(shù)研發(fā)人員:李顯杰
受保護(hù)的技術(shù)使用者:無錫影速半導(dǎo)體科技有限公司
文檔號碼:201710131483
技術(shù)研發(fā)日:2017.03.07
技術(shù)公布日:2017.06.30

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