技術(shù)總結(jié)
一種基于自動校準的全自動無掩膜曝光方法，在曝光的過程中采用兩層曝光板的設(shè)計，在曝光的時候為下次曝光已經(jīng)做好準備，采用全自動曝光的方式，無掩膜曝光，TI的DMD曝光芯片，自動的DMD選擇設(shè)計，按照板型選擇DMD的數(shù)量，該方法極大的提高了生產(chǎn)效率，省去了人為的操作過程，減少了人力資源成本，在競爭中更有優(yōu)勢，可以快速的調(diào)整圖像的處理，避免了掩膜板的使用，減少了污染與浪費，可以更好的節(jié)省曝光時間，提高曝光的效率，同時曝光精度能夠滿足市面上精密化生產(chǎn)的需求。

技術(shù)研發(fā)人員：楊剛;姜福義;郭曌睿
受保護的技術(shù)使用者：西安電子科技大學(xué)
文檔號碼：201710025390
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.13
技術(shù)公布日：2017.05.31