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一種柔性材料的雙面曝光裝置的制作方法

文檔序號(hào):11560847閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型涉及激光曝光技術(shù),具體涉及一種柔性材料的雙面曝光裝置。目前對(duì)柔性材料的曝光需要較多的輔助措施,同時(shí)無(wú)法做到連續(xù)曝光和雙面同時(shí)曝光。本實(shí)用新型提供一種柔性材料的雙面曝光方法及裝置,本實(shí)用新型采用多對(duì)卷輥將柔性卷取后繃緊,兩個(gè)卷輥之間繃緊的柔性材料可以提供一個(gè)穩(wěn)定的曝光平面,在這個(gè)穩(wěn)定的曝光平面的兩邊分別安置一個(gè)曝光裝置,卷輥轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)柔性材料前行,柔性材料的前行過(guò)程中,曝光設(shè)備工作,可以連續(xù)不斷地對(duì)柔性材料的上下表面進(jìn)行曝光操作。曝光設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)上安裝有一個(gè)主動(dòng)聚焦模塊,可以保證曝光頭和柔性材料的表面等距,確保曝光質(zhì)量。本實(shí)用新型相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù),能夠大幅提高柔性材料的曝光效率。

技術(shù)研發(fā)人員:俞慶平
受保護(hù)的技術(shù)使用者:俞慶平
文檔號(hào)碼:201621197248
技術(shù)研發(fā)日:2016.11.07
技術(shù)公布日:2017.08.11

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