技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種六自由度調(diào)整裝置，包括底座和調(diào)整機(jī)構(gòu)，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在所述底座上并可在所述底座上移動(dòng)的基板以及設(shè)置在所述基板上的X向調(diào)整結(jié)構(gòu)、Y向調(diào)整結(jié)構(gòu)和Z向調(diào)整結(jié)構(gòu)，所述X向調(diào)整結(jié)構(gòu)或所述Y向調(diào)整結(jié)構(gòu)至少設(shè)有兩個(gè)，所述Z向調(diào)整結(jié)構(gòu)至少設(shè)有三個(gè)，調(diào)整對(duì)象設(shè)置在所述基板上；本實(shí)用新型所述六自由度調(diào)整裝置實(shí)現(xiàn)調(diào)整對(duì)象的六自由度調(diào)整，調(diào)整時(shí)調(diào)整結(jié)構(gòu)無(wú)隙傳動(dòng)，提高了定位精度，且所有調(diào)整操作均在一個(gè)方向執(zhí)行，調(diào)節(jié)方便，使得所述六自由度調(diào)整裝置占用空間小，尤其適合在調(diào)整空間受限時(shí)使用。

技術(shù)研發(fā)人員：李素平
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海微電子裝備有限公司
文檔號(hào)碼：201620519918
技術(shù)研發(fā)日：2016.05.31
技術(shù)公布日：2016.12.07