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一種掩膜板的制作方法

文檔序號(hào):12563390閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型提供了一種掩膜板,包括:完全透光區(qū)和完全不透光區(qū);在完全透光區(qū)和完全不透光區(qū)的交界位置處設(shè)置有半透光結(jié)構(gòu),且半透光結(jié)構(gòu)的透光性從靠近完全透光區(qū)的一側(cè)向靠近完全不透光區(qū)的一側(cè)逐漸減弱。本實(shí)用新型所提供的掩膜板,在完全透光區(qū)和完全不透光區(qū)的邊界位置處設(shè)置半透光結(jié)構(gòu),且該半透光結(jié)構(gòu)的透光性從靠近完全透光區(qū)的一側(cè)向靠近完全不透光區(qū)的一側(cè)逐漸減弱,可以對(duì)由該掩膜板在樹脂層上形成的挖空區(qū)域的邊界處斜坡的坡度進(jìn)行控制改良,與現(xiàn)有技術(shù)中相比,斜坡的坡度緩和,從而避免了由于樹脂層挖空區(qū)域邊界處斜坡較陡峭而導(dǎo)致的樹脂層上下層金屬發(fā)生短路的現(xiàn)象的發(fā)生。

技術(shù)研發(fā)人員:史大為
受保護(hù)的技術(shù)使用者:鄂爾多斯市源盛光電有限責(zé)任公司;京東方科技集團(tuán)股份有限公司
文檔號(hào)碼:201620514549
技術(shù)研發(fā)日:2016.05.30
技術(shù)公布日:2017.01.11

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