1.一種掩膜板,包括:完全透光區(qū)和完全不透光區(qū);其特征在于,
在所述完全透光區(qū)和所述完全不透光區(qū)的交界位置處設置有半透光結構,且所述半透光結構的透光性從靠近所述完全透光區(qū)的一側向靠近所述完全不透光區(qū)的一側逐漸減弱。
2.根據權利要求1所述的掩膜板,其特征在于,
所述半透光結構包括:在所述完全透光區(qū)和所述完全不透光區(qū)的交界位置處,沿所述完全透光區(qū)和所述完全不透光區(qū)的交界線間隔排列的多個遮光塊。
3.根據權利要求2所述的掩膜板,其特征在于,
相鄰兩個遮光塊之間的間隙為能夠使得在相鄰兩個遮光塊之間發(fā)生光衍射現象的預設間隙,所述預設間隙小于掩膜工藝所采用的曝光機的分辨率。
4.根據權利要求2所述的掩膜板,其特征在于,
從靠近所述完全透光區(qū)一側到靠近所述完全不透光區(qū)的一側的方向上,相鄰兩個遮光塊之間的間隙的寬度處處相等。
5.根據權利要求2所述的掩膜板,其特征在于,
所述遮光塊為完全不透光的矩形塊結構。
6.根據權利要求2所述的掩膜板,其特征在于,
所述掩膜板用于進行樹脂層的掩膜工藝,所述樹脂層包括與所述完全透光區(qū)所對應的挖空區(qū)域以及與所述完全不透光區(qū)所對應的非挖空區(qū)域,其中所述樹脂層的非挖空區(qū)域上在與所述挖空區(qū)域的第一交界位置處形成金屬層;
所述掩膜板的完全透光區(qū)和完全不透光區(qū)的交界位置形成多條交界線,所述多條交界線至少包括與所述第一交界位置所對應的第一交界線,其中所述半透光結構僅形成于所述第一交界線所對應的位置上。
7.根據權利要求2所述的掩膜板,其特征在于,
所述遮光塊與所述掩膜板的完全不透光區(qū)采用的材料相同,并連接為一體結構。
8.根據權利要求2所述的掩膜板,其特征在于,
所述完全透光區(qū)至少包括兩個子完全透光區(qū),在每一子完全透光區(qū)與所述 完全不透光區(qū)域的交界處分別設置有所述半透光結構。
9.根據權利要求8所述的掩膜板,其特征在于,
所述兩個子完全透光區(qū)包括第一子完全透光區(qū)和第二子完全透光區(qū),其中所述第一子完全透光區(qū)的面積與所述第二子完全透光區(qū)的面積不同,且所述第一子完全透光區(qū)與所述完全不透光區(qū)域的交界位置處設置多個第一遮光塊,所述第二子完全透光區(qū)與所述完全不透光區(qū)域的交界位置處設置多個第二遮光塊,所述第一遮光塊與所述第二遮光塊的尺寸不同。
10.根據權利要求9所述的掩膜板,其特征在于,
所述第一子完全透光區(qū)的面積大于所述第二子完全透光區(qū)的面積,所述第一遮光塊的尺寸大于等于所述第二遮光塊的尺寸。