技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種基板清潔干燥裝置及其節(jié)能方法，該基板清潔干燥裝置的進(jìn)料口處設(shè)有傳感器，該傳感器在進(jìn)料口處有基板進(jìn)入和無(wú)基板進(jìn)入時(shí)能夠感應(yīng)到不同的感應(yīng)信號(hào)，通過(guò)將該不同的感應(yīng)信號(hào)提供給中央處理器，中央處理器即可判定是否有基板進(jìn)入進(jìn)料口，并在有基板進(jìn)入進(jìn)料口時(shí)通過(guò)變頻器控制增壓泵以正常轉(zhuǎn)速運(yùn)轉(zhuǎn)，在沒(méi)有基板進(jìn)入進(jìn)料口時(shí)通過(guò)變頻器控制增壓泵以低于正常轉(zhuǎn)速的轉(zhuǎn)速運(yùn)轉(zhuǎn)，從而在不影響基板清潔干燥裝置正常工作的前提下，使基板清潔干燥裝置空閑時(shí)增壓泵的轉(zhuǎn)速降低，降低基板清潔干燥裝置的能耗，延長(zhǎng)基板清潔干燥裝置的使用壽命，減小維護(hù)頻率，降低生產(chǎn)成本，提升生產(chǎn)效率。

技術(shù)研發(fā)人員：蘇彥熒
受保護(hù)的技術(shù)使用者：武漢華星光電技術(shù)有限公司
文檔號(hào)碼：201611069560
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.28
技術(shù)公布日：2017.03.22