1.一種基板清潔干燥裝置，其特征在于，包括：上料機(jī)構(gòu)(1)、與所述上料機(jī)構(gòu)(1)相連的工作腔室(2)、與所述工作腔室(2)相連的增壓泵(3)、與所述增壓泵(3)相連的變頻器(4)、與所述變頻器(4)相連的中央處理器(5)；
所述上料機(jī)構(gòu)(1)包括數(shù)個進(jìn)料口(11)，每一個進(jìn)料口(11)處均對應(yīng)設(shè)有一與所述中央處理器(5)相連的傳感器(12)，所述傳感器(12)提供感應(yīng)信號給中央處理器(5)，所述中央處理器(5)根據(jù)傳感器(12)提供的感應(yīng)信號判定是否有基板進(jìn)入進(jìn)料口(11)，并在有基板進(jìn)入時通過變頻器(4)控制增壓泵(3)以正常轉(zhuǎn)速運轉(zhuǎn)，在沒有基板進(jìn)入時通過變頻器(4)控制增壓泵(3)以低于正常轉(zhuǎn)速的轉(zhuǎn)速運轉(zhuǎn)。
2.如權(quán)利要求1所述的基板清潔干燥裝置，其特征在于，還包括：對應(yīng)所述上料機(jī)構(gòu)(1)設(shè)置的基板載臺(6)，所述上料機(jī)構(gòu)(1)從所述基板載臺(6)上獲取基板。
3.如權(quán)利要求1所述的基板清潔干燥裝置，其特征在于，所述中央處理器(5)為可編程邏輯控制器。
4.如權(quán)利要求1所述的基板清潔干燥裝置，其特征在于，所述傳感器(12)為光感傳感器。
5.如權(quán)利要求4所述的基板清潔干燥裝置，其特征在于，當(dāng)所述光感傳感器感測到的光線強度低于或等于預(yù)設(shè)的光線強度閾值時，中央處理器(5)判定所述進(jìn)料口(11)有基板進(jìn)入；
當(dāng)所述光感傳感器感測到的光線強度高于預(yù)設(shè)的光線強度閾值時，中央處理器(5)判定所述進(jìn)料口(11)沒有基板進(jìn)入。
6.一種基板清潔干燥裝置的節(jié)能方法，其特征在于，包括如下步驟；
步驟S1、提供一基板清潔干燥裝置，包括：上料機(jī)構(gòu)(1)、與所述上料機(jī)構(gòu)(1)相連的工作腔室(2)、與所述工作腔室(2)相連的增壓泵(3)、與所述增壓泵(3)相連的變頻器(4)、與所述變頻器(4)相連的中央處理器(5)；
所述上料機(jī)構(gòu)(1)包括數(shù)個進(jìn)料口(11)，每一個進(jìn)料口(11)處均對應(yīng)設(shè)有一與所述中央處理器(5)相連的傳感器(12)；
步驟S2、所述傳感器(12)獲取所述進(jìn)料口(11)處的感應(yīng)信號，并提供給中央處理器(5)；
步驟S3、所述中央處理器(5)根據(jù)傳感器(12)提供的感應(yīng)信號判定是否有基板進(jìn)入進(jìn)料口(11)，當(dāng)有基板進(jìn)入進(jìn)料口(11)時通過變頻器(4)控制增壓泵(3)以正常轉(zhuǎn)速運轉(zhuǎn)，在沒有基板進(jìn)入進(jìn)料口(11)時通過變頻器(4)控制增壓泵(3)以低于正常轉(zhuǎn)速的轉(zhuǎn)速運轉(zhuǎn)。
7.如權(quán)利要求6所述的基板清潔干燥裝置的節(jié)能方法，其特征在于，所述步驟S1中基板清潔干燥裝置還包括：對應(yīng)所述上料機(jī)構(gòu)(1)設(shè)置的基板載臺(6)，所述上料機(jī)構(gòu)(1)從所述基板載臺(6)上獲取基板。
8.如權(quán)利要求6所述的基板清潔干燥裝置的節(jié)能方法，其特征在于，所述中央處理器(5)為可編程邏輯控制器。
9.如權(quán)利要求6所述的基板清潔干燥裝置的節(jié)能方法，其特征在于，所述傳感器(12)為光感傳感器。
10.如權(quán)利要求9所述的基板清潔干燥裝置的節(jié)能方法，其特征在于，所述步驟S3中，當(dāng)所述光感傳感器感測到的光線強度低于或等于預(yù)設(shè)的光線強度閾值時，中央處理器(5)判定所述進(jìn)料口(11)有基板進(jìn)入；
當(dāng)所述光感傳感器感測到的光線強度高于預(yù)設(shè)的光線強度閾值時，中央處理器(5)判定所述進(jìn)料口(11)沒有基板進(jìn)入。