本發(fā)明涉及薄膜晶體管液晶顯示的制造技術(shù)，特別涉及一種氣浮型的支撐頂針設(shè)計(jì)方法。

背景技術(shù)：

薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)是多數(shù)液晶顯示器的一種，它使用薄膜晶體管技術(shù)改善影像品質(zhì)。雖然薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)被統(tǒng)稱為液晶顯示器(LCD)，不過它是種主動(dòng)式矩陣液晶顯示器(LCD)。它被應(yīng)用在電視、平面顯示器及投影機(jī)上。

在現(xiàn)有的液晶顯示器的制造技術(shù)中，其中，紫外線固化(UV Curing)是一個(gè)重要的制程，液晶基板在注滿液晶混和物之后，需要在紫外線和電場(chǎng)的共同作用下使液晶完成配向過程。

通過紫外線固化進(jìn)行配向的原理是在液晶基板上下兩側(cè)施加電場(chǎng)，并對(duì)液晶采用紫外線照射，從而使液晶中的反應(yīng)單體在電場(chǎng)的作用下進(jìn)行上下運(yùn)動(dòng)，并在紫外線的作用下發(fā)生聚合反應(yīng)，從而在液晶上下基板上形成配向?qū)?，以?shí)現(xiàn)對(duì)液晶進(jìn)行配向的作用。在液晶配向過程中，紫外線、電場(chǎng)以及反應(yīng)溫度是三個(gè)非常重要的因素。

為了實(shí)現(xiàn)紫外線對(duì)液晶基板照射的均勻性，目前多采用頂針支撐基板的方式，如圖1及圖2所示，示出了現(xiàn)有技術(shù)中的一種液晶基板配向設(shè)備示意圖。其中，該液晶基板配向設(shè)備通過多排頂針13支撐液晶基板1，其中，該多排頂什13與液晶基板1的顯示區(qū)域10相接觸；另外通過位于液晶基板1兩端的導(dǎo)電探針14對(duì)該液晶基板1施加電場(chǎng)。但是，在這種現(xiàn)有技術(shù)中，由于頂針不能達(dá)到完全的絕熱效果，故容易產(chǎn)生由于頂針的接觸而產(chǎn)生的配向不均勻的情形。

為了減少這種不均勻的情形，在一些方案中，通過減少頂針13的數(shù)量，或者使頂針13與液晶基板1相接觸的位置避免顯示區(qū)域10。

如圖3所示，顯示出了現(xiàn)有技術(shù)中的另一種液晶基板配向設(shè)備示意圖。在這種現(xiàn)有技術(shù)中，大量減少了頂針13的數(shù)量。但是，在這種現(xiàn)有技術(shù)中，由于頂針數(shù)量的減少，又會(huì)出現(xiàn)液晶基板產(chǎn)生彎折(bending)的情形，由于產(chǎn)生了彎折，可能會(huì)導(dǎo)致導(dǎo)電探針與液晶基板接觸不良(如圖3中的B處所示)，從而使對(duì)液晶基板施加外部的電壓是出現(xiàn)接觸不良，從而導(dǎo)致配向出現(xiàn)異常。另外，在液晶基板出現(xiàn)變形的地方，也會(huì)產(chǎn)生其接收的紫外線的數(shù)量與其它正常區(qū)域所接收到的紫外線的數(shù)量不同，通常在出現(xiàn)變形的地方，其所接收的紫外線的數(shù)量會(huì)更低一些(見圖3中的A處所示)，這樣會(huì)導(dǎo)致各區(qū)域配向速度差異，從而產(chǎn)生配向不均勻。

如圖4所示，顯示出了現(xiàn)有技術(shù)中的另一種液晶基板配向設(shè)備示意圖。在這種配向設(shè)備中，其頂針13可以交替運(yùn)動(dòng)，以支撐液晶基板1。這樣可以減少頂針14與液晶基板1在同一位置的接觸時(shí)間，由于頂針14與液晶基板1不可避免地需要接觸，故現(xiàn)有的這種技術(shù)只能減少配向不均勻情形的出現(xiàn)，但不能完全避免配向不均勻情形的出現(xiàn)。

現(xiàn)有一種氣浮式液晶基板的配向設(shè)備，包括加熱平臺(tái)2，其上設(shè)置有多個(gè)氣孔7，氣孔7用于輸送溫度均勻且垂直向上的熱風(fēng)；支撐架3，設(shè)置于加熱平臺(tái)2的四周，用于支撐并夾持待配向的液晶基板1，在支撐架3上進(jìn)一步設(shè)置有用于對(duì)液晶基板1進(jìn)行整列定位的機(jī)構(gòu)，以及對(duì)液晶基板1進(jìn)行夾持固定的夾持機(jī)構(gòu)6；多個(gè)支撐頂針4，均勻設(shè)置于加熱平臺(tái)2中，其可與支撐架3上下同向運(yùn)動(dòng)，用于至少部份時(shí)間支撐液晶基板1的底部；其中，氣孔7的噴氣量從加熱平臺(tái)2中心向加熱平臺(tái)2邊緣逐漸減少；進(jìn)一步的，還包括用于分別驅(qū)動(dòng)支撐架和支撐頂針運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。其中，加熱平臺(tái)2包括：加熱層8，用于實(shí)現(xiàn)對(duì)加熱平臺(tái)進(jìn)行加熱，在一個(gè)實(shí)施例中，加熱層為采用云母作為絕緣介質(zhì)的電加熱層；第一傳熱層9，位于加熱層8之上；第二傳熱層11，位于加熱層8之下；其中，在第一傳熱層9中進(jìn)一步設(shè)置有氣體通道12，氣體通道12在第一傳熱層9表面形成有多個(gè)氣孔7，其中，該氣體通道12與外部的氣泵(未示出)，在外部的氣泵的氣體進(jìn)行氣體通道12之前會(huì)進(jìn)行諸如過濾和預(yù)加熱，其中，在第一傳熱層9中間位置所設(shè)置的氣孔12的數(shù)量或/及尺寸比在第一傳熱層9邊緣位置所設(shè)置的氣孔12的數(shù)量或/及尺寸要大。第一傳熱層9和第二傳熱層11可以采用導(dǎo)熱性能優(yōu)良的材料(如鋁或鋁合金)，能夠均勻傳導(dǎo)熱能；在第一傳熱層9上表面還可以經(jīng)陽極處理，形成黑色或較深顏色，可以使加熱層8的熱能轉(zhuǎn)化為紅外線，該紅外線可以被液晶基板1吸收轉(zhuǎn)化為熱能以加熱液晶基板1，上述的陽極處理，同時(shí)還可以起到保護(hù)第一傳熱層9的表面，以防止裂化產(chǎn)生縫隙；加熱層8與外部氣泵的溫度控制，使從氣孔7向上垂直噴出的熱風(fēng)的溫度始終處于50±5℃之間。另外，在第一傳熱層9上設(shè)置有探針5，用于對(duì)液晶基板1進(jìn)行定位。下面，再次結(jié)合圖5至圖8，進(jìn)一步說明本發(fā)明提供的氣浮式液晶基板的配向方法的具體流程，該氣浮式液晶基板的配向方法包括如下步驟：首先，將液晶基板放置于支撐架和支撐頂針上，支撐架對(duì)液晶基板進(jìn)行定位并夾持固定；通常需要將液晶基板搬運(yùn)在一個(gè)配向室中進(jìn)行配向處理，且該配向室需要保持一個(gè)比較固定的溫度(如50℃左右)，搬運(yùn)液晶基板可以通過諸如機(jī)械手的設(shè)備來完成。接著，支撐架以及支撐頂針向下移動(dòng)第一距離，從而使加熱平臺(tái)的熱量更有效的傳遞給液晶基板，在一個(gè)實(shí)施例中，該第一距離可以為為0.1-50mm。然后，通過加熱平臺(tái)表面的多個(gè)氣孔向上垂直噴出溫度均勻的熱風(fēng)，使液晶基板懸浮并距離支撐頂針一預(yù)定高度，驅(qū)動(dòng)支撐頂針向下移動(dòng)第二距離，并使探針上升抵頂液晶基板的下部，其中，通過氣孔的數(shù)量以及尺寸的設(shè)置，可以控制氣孔的噴氣量從加熱平臺(tái)中心向加熱平臺(tái)邊緣逐漸減少，在一個(gè)實(shí)施例中，多個(gè)氣孔向上垂直噴出的熱風(fēng)的溫度處于50±5℃之間，且第二距離可以為0.1-5mm，預(yù)定高度可以為0.1～1mm；向液晶基板施加電壓，并施加紫外光線，進(jìn)行配向過程；在配向完成后，使探針?biāo)砷_，并使支撐頂針向上移動(dòng)第二距離，多個(gè)氣孔停止噴出熱風(fēng)驅(qū)動(dòng)支撐架以及支撐頂針向上移動(dòng)第一距離，并移出液晶基板。

綜上，現(xiàn)有支撐頂針(OVEN PIN)設(shè)計(jì)存在問題需要改進(jìn)：

由于現(xiàn)有玻璃基板在烘烤爐(Oven)內(nèi)烘烤時(shí)支撐頂針與液晶基板(Glass)直接接觸，則接觸的位置有出現(xiàn)顯示器亮度不均勻，造成各種痕跡(PIN Mura)的風(fēng)險(xiǎn)，而且支撐頂針(OVEN PIN)和支撐板(PIN)位置均固定不可變動(dòng)，無法保證對(duì)于不同產(chǎn)品出現(xiàn)顯示器亮度不均勻，造成各種痕跡(PIN Mura)的位置剛好在支撐頂針與液晶基板接觸的地方區(qū)，從而影響產(chǎn)品質(zhì)量。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)中的問題，本申請(qǐng)?zhí)岢隽艘环N氣浮型的支撐頂針裝置及方法。

一種氣浮型的支撐頂針裝置包括支撐板、支撐頂針和液晶基板，其特征在于，PIN板上設(shè)置有至少一組支撐頂針，支撐頂針內(nèi)安裝潔凈壓縮空氣管(CDA)管；

所述支撐板上方設(shè)置兩個(gè)夾子，兩個(gè)夾子的口相對(duì)設(shè)置，夾子夾在玻璃基板相對(duì)應(yīng)的兩個(gè)邊上；

所述支撐頂針上設(shè)置有多個(gè)氣孔；潔凈壓縮空氣管(CDA)管穿過至少一組支撐頂針，為支撐頂針提供氣流，其中潔凈壓縮空氣管(CDA)管在支撐頂針內(nèi)部的側(cè)壁上具有與所述氣孔對(duì)應(yīng)的通氣孔；

所述液晶基板位于支撐頂針上方。

一種氣浮型的支撐頂針方法具體過程為：

步驟一、機(jī)器手臂接觸玻璃基板，將玻璃基板送進(jìn)彩膜烘烤爐；

步驟二、將玻璃基板置于彩膜烘烤爐內(nèi)的夾子上；

步驟三、開啟位于支撐頂針管內(nèi)的潔凈壓縮空氣管(CDA)管，為支撐頂針管提供氣流，利用氣流將彩膜烘烤爐內(nèi)的夾子上的玻璃基板懸浮于支撐頂針上方；

步驟四、機(jī)器手臂破真空，使玻璃基板處于非真空狀態(tài)，機(jī)器手臂退出彩膜烘烤爐；

步驟五、彩膜烘烤爐開始烘烤玻璃基板，烘烤結(jié)束后，機(jī)器手臂進(jìn)入彩膜烘烤爐接觸玻璃基板；

步驟六、關(guān)閉位于支撐頂針管內(nèi)的潔凈壓縮空氣管(CDA)管；

步驟七、夾子的上支片沿下支片反方向移動(dòng)，松開玻璃基板，機(jī)器手臂取出玻璃基板。

上述技術(shù)特征可以各種適合的方式組合或由等效的技術(shù)特征來替代，只要能夠達(dá)到本發(fā)明的目的。

本發(fā)明的有益效果為：

保持原支撐頂針(OVEN PIN)和支撐板(PIN)位置不變，在支撐頂針(OVEN PIN)內(nèi)接入耐高溫材料潔凈壓縮空氣管(CDA)管路，將原支撐板(PIN)設(shè)計(jì)成右上圖所示氣流管路，當(dāng)玻璃基板進(jìn)入烘烤爐(Oven)后潔凈壓縮空氣管(CDA) 開啟，利用氣流將液晶基板(Glass)懸浮于支撐頂針(OVEN PIN)上方，從而避免了支撐板(PIN)與液晶基板(Glass)的接觸，防止顯示器亮度不均勻，造成各種痕跡(PIN Mura)的發(fā)生。

在液晶基板(Glass)前后方向邊緣各加入一對(duì)雙磙(Double roller)，當(dāng)玻璃基板(Glass)進(jìn)入烤爐(Oven Chamber)之后，液晶基板(Glass)邊緣區(qū)落在下磙(roller)之上，然后上磙(roller)Y方向下移，從而使雙磙(Double roller)夾持住液晶基板(Glass)，達(dá)到防止液晶基板(Glass)漂移的目的。

本發(fā)明實(shí)施例提供一種氣浮型的OVEN PIN裝置及方法，通過氣流將液晶基板(Glass)懸浮于支撐頂針(OVEN PIN)上方，不與任何物質(zhì)接觸，從而避免了支撐板(PIN)與液晶基板(Glass)的接觸，防止顯示器亮度不均勻，造成各種痕跡(PIN Mura)的發(fā)生。

而且，本發(fā)明實(shí)施例中，氣孔的噴氣量從所述加熱平臺(tái)中心向所述加熱平臺(tái)邊緣逐漸減少，可以保證液晶基板在整個(gè)配向過程中能穩(wěn)定地懸浮在加熱平臺(tái)上方。

附圖說明

在下文中將基于實(shí)施例并參考附圖來對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更詳細(xì)的描述。其中：

圖1是現(xiàn)有的一種液晶基板的配向設(shè)備的結(jié)構(gòu)縱剖視圖；

圖2是圖1中的仰視示意圖；

圖3是現(xiàn)有的另一種液晶基板的配向設(shè)備的結(jié)構(gòu)工作示意圖；

圖4是現(xiàn)有的再一種液晶基板的配向設(shè)備的結(jié)構(gòu)工作示意圖；

圖5是現(xiàn)有技術(shù)一種氣浮式液晶基板的配向設(shè)備第一狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6是現(xiàn)有技術(shù)一種氣浮式液晶基板的配向設(shè)備第二狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7是現(xiàn)有技術(shù)一種氣浮式液晶基板的配向設(shè)備第三狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖8是現(xiàn)有技術(shù)一種氣浮式液晶基板的配向設(shè)備中加熱平臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖9是安裝有潔凈壓縮空氣管(CDA)的支撐頂針(OVEN PIN)裝置示意圖；OVENPIN為支撐頂針；

圖10是安裝有潔凈壓縮空氣管(CDA)的支撐頂針(OVEN PIN)裝置實(shí)物圖。

在附圖中，相同的部件使用相同的附圖標(biāo)記。附圖并未按照實(shí)際的比例。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明。

具體實(shí)施方式一：結(jié)合圖9、10說明笨實(shí)施方式，本實(shí)施方式的一種氣浮型的支撐頂針裝置包括支撐板(PIN)2、支撐頂針4和液晶基板1，其特征在于，支撐板(PIN)2上設(shè)置有至少一組支撐頂針4，支撐頂針4內(nèi)安裝潔凈壓縮空氣管(CDA)；

所述支撐板(PIN)2上方設(shè)置兩個(gè)夾子，兩個(gè)夾子的口相對(duì)設(shè)置，夾子夾在玻璃基板相對(duì)應(yīng)的兩個(gè)邊上；

所述支撐頂針4上設(shè)置有多個(gè)氣孔；潔凈壓縮空氣管(CDA)穿過至少一組支撐頂針4，為支撐頂針4提供氣流，其中潔凈壓縮空氣管(CDA)在支撐頂針4內(nèi)部的側(cè)壁上具有與所述氣孔對(duì)應(yīng)的通氣孔；

所述液晶基板1位于支撐頂針4上方，支撐頂針4氣流用于將玻璃板懸空。

保持原支撐板(PIN)和支撐頂針4位置不變，在支撐板(PIN)內(nèi)接入耐高溫材料潔凈壓縮空氣管(CDA)管路，將原支撐頂針4設(shè)計(jì)成右上圖所示氣流管路，當(dāng)玻璃基板進(jìn)入烤爐(Oven)后潔凈壓縮空氣管(CDA)開啟，利用氣流將玻璃基板懸浮于支撐頂針(OVEN PIN)上方，從而避免了支撐頂針(OVEN PIN)與玻璃基板的接觸，防止顯示器亮度不均勻，造成各種痕跡(PIN Mura)的發(fā)生。

在玻璃基板前后方向邊緣各加入一對(duì)雙磙(Double roller)，當(dāng)玻璃基板進(jìn)入烤爐(Oven Chamber)之后，玻璃基板邊緣區(qū)落在下磙(roller)之上，然后上磙(roller)Y方向下移，從而使雙磙(Double roller)夾持住玻璃基板，達(dá)到防止玻璃基板漂移的目的。

具體實(shí)施方式二：本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式一不同的是，所述一種氣浮型的支撐頂針裝置還包括支撐架3；所述支撐架3設(shè)置于所述支撐板(PIN)2的四周，用于支撐并夾持液晶基板1；

所述支撐架3與支撐頂針4上下同向運(yùn)動(dòng)；

所述CDA管為潔凈壓縮空氣管(clean dried air)；

所述潔凈壓縮空氣管有一條主路和至少一個(gè)支路。

具體實(shí)施方式三：本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式一或二不同的是，所述支撐板(PIN)為加熱平臺(tái)，加熱平臺(tái)上設(shè)置有多個(gè)氣孔7，所述氣孔用于輸送溫度均勻且垂直向上的熱風(fēng)；氣孔7的噴氣量從所述加熱平臺(tái)中心向所述加熱平臺(tái)邊緣逐漸減少；

所述潔凈壓縮空氣管(CDA)管具有與母線垂直的氣孔，支撐板(PIN)具有與母線垂直的氣孔。

所述加熱平臺(tái)包括：

加熱層8，用于實(shí)現(xiàn)對(duì)所述加熱平臺(tái)進(jìn)行加熱；

第一傳熱層9，位于所述加熱層8之上；

第二傳熱層11，位于所述加熱層8之下；

其中，所述第一傳熱層9中進(jìn)一步設(shè)置有氣體通道，所述氣體通道在所述第一傳熱層9表面形成有所述多個(gè)氣孔7。所述第一傳熱層9上表面經(jīng)陽極處理，形成黑色或較深顏色，以使所述加熱層8的熱能轉(zhuǎn)化為紅外線。

所述加熱層8為采用云母作為絕緣介質(zhì)的電加熱層8。

所述支撐架3上進(jìn)一步設(shè)置有用于對(duì)所述液晶基板1進(jìn)行整列定位的機(jī)構(gòu)，以及對(duì)液晶基板1進(jìn)行夾持固定的夾持機(jī)構(gòu)6。

所述第一傳熱層9上設(shè)置有探針5，用于對(duì)所述液晶基板1進(jìn)行定位。

進(jìn)一步包括用于分別驅(qū)動(dòng)所述支撐架3和支撐頂針4運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。

包括如下步驟：

將液晶基板1放置于支撐架3和支撐頂針4上，所述支撐架3對(duì)所述液晶基板1進(jìn)行定位并夾持固定；

所述支撐架3以及所述支撐頂針4向下移動(dòng)第一距離；

通過加熱平臺(tái)表面的多個(gè)氣孔7向上垂直噴出溫度均勻的熱風(fēng)，使所述液晶基板1懸浮并距離所述支撐頂針4一預(yù)定高度，驅(qū)動(dòng)所述支撐頂針4向下移動(dòng)第二距離，并使探針5上升抵頂所述液晶基板1的下部；

向所述液晶基板1施加電壓，并施加紫外光線，進(jìn)行配向過程；

在配向完成后，使所述探針5松開，并使支撐頂針4向上移動(dòng)第二距離，所述多個(gè)氣孔7停止噴出熱風(fēng)；

驅(qū)動(dòng)所述支撐架3以及所述支撐頂針4向上移動(dòng)第一距離，并移出所述液晶基板1。

控制所述氣孔7的噴氣量從所述加熱平臺(tái)中心向所述加熱平臺(tái)邊緣逐漸減少，并使所述液晶基板1懸浮并距離所述支撐頂針4的預(yù)定高度為0.1～1mm。

所述多個(gè)氣孔7向上垂直噴出的熱風(fēng)的溫度處于50±5℃之間。

具體實(shí)施方式四：本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式一至三之一不同的是，所述一種氣浮型的支撐頂針設(shè)備還包括用于驅(qū)動(dòng)夾子運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。

具體實(shí)施方式五：本實(shí)施方式的一種氣浮型的支撐頂針方法具體過程為：

步驟一、機(jī)器手臂接觸玻璃基板，將玻璃基板送進(jìn)彩膜烘烤爐(CF OVEN)；

步驟二、為防止玻璃基板在懸浮過程中發(fā)生漂移，將玻璃基板置于彩膜烘烤爐(CF OVEN)內(nèi)的夾子上；

步驟三、開啟位于支撐頂針(OVEN PIN)4內(nèi)的潔凈壓縮空氣管(CDA)，為支撐頂針(OVEN PIN)4提供氣流，利用氣流將彩膜烘烤爐(CF OVEN)內(nèi)的夾子上的玻璃基板懸浮于支撐頂針(OVEN PIN)支撐頂針4上方；從而避免了支撐板(PIN)與液晶基板(Glass)的接觸，防止顯示器亮度不均勻，造成各種痕跡(PIN Mura)的發(fā)生。

步驟四、機(jī)器手臂破真空，使玻璃基板處于非真空狀態(tài)，機(jī)器手臂退出彩膜烘烤爐；

機(jī)器(robot)是通過吸真空氣壓的方式使液晶基板(Glass)(1)吸附在機(jī)器(robot)手臂上，所以破真空的意思就是破壞機(jī)器(robot)手臂與液晶基板(Glass)(1)之間的真空(氣壓)作用，使液晶基板(Glass)(1)處于非真空狀態(tài)，從而機(jī)器(robot)手臂才能退出彩膜烘烤爐(CF OVEN)。

步驟五、彩膜烘烤爐(CF OVEN)開始烘烤玻璃基板，烘烤結(jié)束后，機(jī)器手臂進(jìn)入彩膜烘烤爐(CF OVEN)接觸玻璃基板；

步驟六、關(guān)閉位于支撐頂針(OVEN PIN)4內(nèi)的潔凈壓縮空氣管(CDA)；

步驟七、夾子的上支片沿下支片反方向移動(dòng)，松開液晶基板1，機(jī)器手臂取出液晶基板(Glass)1；

彩膜烘烤爐，主要負(fù)責(zé)進(jìn)行彩膜(CF)玻璃基板烘烤。烘烤最大的目的就是：將經(jīng)過顯影后的光阻，藉由熱能蒸發(fā)的方式，將光阻內(nèi)殘留的溶劑(Solvent)，降至最低狀態(tài)，以達(dá)成彩膜成膜之目的。

具體實(shí)施方式六：本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式一至五之一不同的是，所述步驟一中機(jī)器手臂接觸玻璃基板，將玻璃基板送進(jìn)彩膜烘烤爐；具體過程為：

機(jī)器手臂接觸玻璃基板，開始吸真空，通過真空氣壓使玻璃基板吸附在機(jī)器手臂上，機(jī)器手臂將玻璃基板送進(jìn)彩膜烘烤爐。

具體實(shí)施方式七：本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式一至六之一不同的是，所述步驟二中為防止玻璃基板在懸浮過程中發(fā)生漂移，將玻璃基板置于彩膜烘烤爐(CF OVEN)內(nèi)的夾子上；具體過程為：

所述彩膜烘烤爐內(nèi)的夾子包括上支片和下支片，為防止玻璃基板在懸浮過程中發(fā)生漂移，將玻璃基板相對(duì)應(yīng)的兩個(gè)邊置于夾子的下支片上，將夾子的上支片沿下支片方向向玻璃基板移動(dòng)，直至夾子上下支片夾住玻璃基板。

具體實(shí)施方式八：本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式一至七之一不同的是，所述夾子固定在彩膜烘烤爐內(nèi)，并位于支撐頂針(OVEN PIN)4上方。

具體實(shí)施方式九：本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式一至八之一不同的是，所述步驟五中彩膜烘烤爐(CF OVEN)開始烘烤玻璃基板，烘烤結(jié)束后，機(jī)器手臂進(jìn)入彩膜烘烤爐(CF OVEN)接觸玻璃基板；具體過程為：

彩膜烘烤爐開始烘烤玻璃基板，烘烤結(jié)束后，機(jī)器手臂進(jìn)入彩膜烘烤爐接觸玻璃基板，機(jī)器手臂開始吸真空，通過真空氣壓使玻璃基板吸附在機(jī)器手臂上；也就是說這個(gè)時(shí)候機(jī)器(robot)手臂與液晶基板(Glass)之間存在真空作用。

所述機(jī)器手臂內(nèi)部設(shè)置空氣管路，用于控制機(jī)器手臂破真空和吸真空，與彩膜烘烤爐(CF OVEN)氣壓無關(guān)聯(lián)。

雖然在本文中參照了特定的實(shí)施方式來描述本發(fā)明，但是應(yīng)該理解的是，這些實(shí)施例僅僅是本發(fā)明的原理和應(yīng)用的示例。因此應(yīng)該理解的是，可以對(duì)示例性的實(shí)施例進(jìn)行許多修改，并且可以設(shè)計(jì)出其他的布置，只要不偏離所附權(quán)利要求所限定的本發(fā)明的精神和范圍。應(yīng)該理解的是，可以通過不同于原始權(quán)利要求所描述的方式來結(jié)合不同的從屬權(quán)利要求和本文中所述的特征。還可以理解的是，結(jié)合單獨(dú)實(shí)施例所描述的特征可以使用在其他所述實(shí)施例中。