本發(fā)明涉及顯示器制造技術領域，尤其涉及一種基板清潔干燥裝置及其節(jié)能方法。

背景技術：

平面顯示器件具有機身薄、省電、無輻射等眾多優(yōu)點，得到了廣泛的應用?，F(xiàn)有的平面顯示器件主要包括液晶顯示器件(Liquid Crystal Display，LCD)及有機發(fā)光二極管顯示器件(Organic Light Emitting Display，OLED)。

以液晶顯示器為例，其通常由彩膜基板(Color Filter，CF)、薄膜晶體管基板(Thin Film Transistor，TFT)、夾于彩膜基板與薄膜晶體管基板之間的液晶(Liquid Crystal，LC)及密封膠框(Sealant)組成，其成型工藝一般包括：前段陣列(Array)制程(薄膜、黃光、蝕刻及剝膜)、中段成盒(Cell)制程(TFT基板與CF基板貼合)及后段模組組裝制程(驅動IC與印刷電路板壓合)。其中，前段Array制程主要是形成TFT基板，以便于控制液晶分子的運動；中段Cell制程主要是在TFT基板與CF基板之間添加液晶；后段模組組裝制程主要是驅動IC壓合與印刷電路板的整合，進而驅動液晶分子轉動，顯示圖像。

在液晶顯示器等平面顯示器件在制作過程中，經常需要對基板進行清潔干燥，去除基板上雜質，保證制程的質量，目前的基板清潔干燥裝置的工作過程通常為：首先由上料機構(LUL System)從基板載臺(Cst)上獲取基板，并將基板傳送到基板清潔干燥裝置的工作腔室內，由與所述工作腔室相連的增壓泵(Booster Pump)將工作腔室抽真空，并將抽得的空氣過濾后再供應給出氣頭，出氣頭將氣體吹到工作腔室內的基板上，吹去基板上的雜質，以完成對基板的清潔干燥，現(xiàn)有技術中，基板清潔干燥裝置的自動控制系統(tǒng)(DDC PLC System)只能控制增壓泵的打開和關閉，而不能調節(jié)增壓泵的轉速，這就帶來一個問題，即基板清潔干燥裝置開始工作后，無論工作腔室內是否有基板，增壓泵都會維持100％的輸出，導致增壓泵的能耗大，使用壽命短，維護頻率高，增加了生產成本，降低了生產效率。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種基板清潔干燥裝置，能夠降低基板清潔干燥裝置的能耗，延長基板清潔干燥裝置的使用壽命，減小維護頻率，降低生產成本，提升生產效率。

本發(fā)明的目的還在于提供一種基板清潔干燥裝置的節(jié)能方法，能夠降低基板清潔干燥裝置的能耗，延長基板清潔干燥裝置的使用壽命，減小維護頻率，降低生產成本，提升生產效率。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種基板清潔干燥裝置，包括：上料機構、與所述上料機構相連的工作腔室、與所述工作腔室相連的增壓泵、與所述增壓泵相連的變頻器、與所述變頻器相連的中央處理器；

所述上料機構包括數(shù)個進料口，每一個進料口處均對應設有一與所述中央處理器相連的傳感器，所述傳感器提供感應信號給中央處理器，所述中央處理器根據(jù)傳感器提供的感應信號判定是否有基板進入進料口，并在有基板進入時通過變頻器控制增壓泵以正常轉速運轉，在沒有基板進入時通過變頻器控制增壓泵以低于正常轉速的轉速運轉。

還包括：對應所述上料機構設置的基板載臺，所述上料機構從所述基板載臺上獲取基板。

所述中央處理器為可編程邏輯控制器。

所述傳感器為光感傳感器。

當所述光感傳感器感測到的光線強度低于或等于預設的光線強度閾值時，中央處理器判定所述進料口有基板進入；

當所述光感傳感器感測到的光線強度高于預設的光線強度閾值時，中央處理器判定所述進料口沒有基板進入。

本發(fā)明還提供一種基板清潔干燥裝置的節(jié)能方法，包括如下步驟；

步驟S1、提供一基板清潔干燥裝置，包括：上料機構、與所述上料機構相連的工作腔室、與所述工作腔室相連的增壓泵、與所述增壓泵相連的變頻器、與所述變頻器相連的中央處理器；

所述上料機構包括數(shù)個進料口，每一個進料口處均對應設有一與所述中央處理器相連的傳感器；

步驟S2、所述傳感器獲取所述進料口處的感應信號，并提供給中央處理器；

步驟S3、所述中央處理器根據(jù)傳感器提供的感應信號判定是否有基板進入進料口，當有基板進入進料口時通過變頻器控制增壓泵以正常轉速運轉，在沒有基板進入進料口時通過變頻器控制增壓泵以低于正常轉速的轉速運轉。

所述步驟S1中基板清潔干燥裝置還包括：對應所述上料機構設置的基板載臺，所述上料機構從所述基板載臺上獲取基板。

所述中央處理器為可編程邏輯控制器。

所述傳感器為光感傳感器。

所述步驟S3中，當所述光感傳感器感測到的光線強度低于或等于預設的光線強度閾值時，中央處理器判定所述進料口有基板進入；

當所述光感傳感器感測到的光線強度高于預設的光線強度閾值時，中央處理器判定所述進料口沒有基板進入。

本發(fā)明的有益效果：本發(fā)明提供了一種基板清潔干燥裝置，該基板清潔干燥裝置的進料口處設有傳感器，該傳感器在進料口處有基板進入和無基板進入時能夠感應到不同的感應信號，通過將該不同的感應信號提供給中央處理器，中央處理器即可判定是否有基板進入進料口，并在有基板進入進料口時通過變頻器控制增壓泵以正常轉速運轉，在沒有基板進入進料口時通過變頻器控制增壓泵以低于正常轉速的轉速運轉，從而在不影響基板清潔干燥裝置正常工作的前提下，使基板清潔干燥裝置空閑時增壓泵的轉速降低，降低基板清潔干燥裝置的能耗，延長基板清潔干燥裝置的使用壽命，減小維護頻率，降低生產成本，提升生產效率。本發(fā)明還提供一種基板清潔干燥裝置的節(jié)能方法，能夠降低基板清潔干燥裝置的能耗，延長基板清潔干燥裝置的使用壽命，減小維護頻率，降低生產成本，提升生產效率。

附圖說明

為了能更進一步了解本發(fā)明的特征以及技術內容，請參閱以下有關本發(fā)明的詳細說明與附圖，然而附圖僅提供參考與說明用，并非用來對本發(fā)明加以限制。

附圖中，

圖1為本發(fā)明的基板清潔干燥裝置的示意圖；

圖2為本發(fā)明的基板清潔干燥裝置的節(jié)能方法的流程圖。

具體實施方式

為更進一步闡述本發(fā)明所采取的技術手段及其效果，以下結合本發(fā)明的優(yōu)選實施例及其附圖進行詳細描述。

請參閱圖1，本發(fā)明首先提供一種基板清潔干燥裝置，包括：上料機構1、與所述上料機構1相連的工作腔室2、與所述工作腔室2相連的增壓泵3、與所述增壓泵3相連的變頻器4、與所述變頻器4相連的中央處理器5；

特別地，所述上料機構1包括數(shù)個進料口11，每一個進料口11處均對應設有一與所述中央處理器5相連的傳感器12。

需要說明的是，所述傳感器12能夠在進料口11有基板進入和無基板進入時向中央處理器5提供不同的感應信號，所述中央處理器5根據(jù)傳感器12提供的感應信號判定是否有基板進入進料口11，并在有基板進入時通過變頻器4控制增壓泵3以正常轉速運轉，在沒有基板進入時通過變頻器4控制增壓泵3以低于正常轉速的轉速運轉。

優(yōu)選地，所述傳感器12為光感傳感器，中央處理器5預設一光線強度閾值，用于判斷是否有基板進入所述進料口11。當所述光感傳感器感測到的光線強度低于或等于預設的光線強度閾值時，中央處理器5判定所述進料口11有基板進入；當所述光感傳感器感測到的光線強度高于預設的光線強度閾值時，中央處理器5判定所述進料口11沒有基板進入。

具體地，所述基板清潔干燥裝置還包括：對應所述上料機構1設置的基板載臺6，所述上料機構1從所述基板載臺6上獲取基板。

優(yōu)選地，所述中央處理器5為可編程邏輯控制器(Programmable Logic Controller，PLC)，該PLC同時還用于基板清潔干燥裝置在進行清潔干燥工作時的自動控制。

具體地，所述基板清潔干燥裝置的工作時，先通過上料機構1從基板載臺6上獲取基板，基板經由上料機構1的進料口11傳送至工作腔室2內，所述中央處理器5根據(jù)傳感器12提供的感應信號判定有基板進入上料機構1的進料口11，基板清潔干燥裝置以正常模式工作，變頻器4控制增壓泵3以正常轉速運作，對進入的基板進行清潔干燥處理，并且當上料機構1的進料口11不再有基板進入時，所述中央處理器5根據(jù)傳感器12提供的感應信號判定沒有基板進入上料機構1的進料口11，基板清潔干燥裝置以節(jié)能模式工作，變頻器4控制增壓泵3以低于正常轉速的轉速運轉，通過使基板清潔干燥裝置空閑時增壓泵的轉速降低，能夠降低基板清潔干燥裝置的能耗，延長基板清潔干燥裝置的使用壽命，減小維護頻率，降低生產成本，提升生產效率。

請參閱圖2，本發(fā)明還提供一種基板清潔干燥裝置的節(jié)能方法，包括如下步驟；

步驟S1、提供一基板清潔干燥裝置，包括：上料機構1、與所述上料機構1相連的工作腔室2、與所述工作腔室2相連的增壓泵3、與所述增壓泵3相連的變頻器4、與所述變頻器4相連的中央處理器5；

所述上料機構1包括數(shù)個進料口11，每一個進料口11處均對應設有一與所述中央處理器5相連的傳感器12。

具體地，所述基板清潔干燥裝置還包括：對應所述上料機構1設置的基板載臺6，所述上料機構1從所述基板載臺6上獲取基板。

優(yōu)選地，所述中央處理器5為可編程邏輯控制器(Programmable Logic Controller，PLC)，該PLC同時還用于基板清潔干燥裝置在進行清潔干燥工作時的自動控制。

步驟S2、所述傳感器12獲取所述進料口11處的感應信號，并提供給中央處理器5；

具體地，所述傳感器12能夠在進料口11有基板進入和無基板進入時向中央處理器5提供不同的感應信號。

步驟S3、所述中央處理器5根據(jù)傳感器12提供的感應信號判定是否有基板進入進料口11，當有基板進入進料口11時通過變頻器4控制增壓泵3以正常轉速運轉，在沒有基板進入進料口11時通過變頻器4控制增壓泵3以低于正常轉速的轉速運轉。

優(yōu)選地，所述傳感器12為光感傳感器，中央處理器5預設一光線強度閾值，用于判斷是否有基板進入所述進料口11。當所述光感傳感器感測到的光線強度低于或等于預設的光線強度閾值時，中央處理器5判定所述進料口11有基板進入；當所述光感傳感器感測到的光線強度高于預設的光線強度閾值時，中央處理器5判定所述進料口11沒有基板進入。

需要說明的是，本發(fā)明中所述中央處理器5根據(jù)傳感器12提供的感應信號判定有基板進入上料機構1的進料口11，基板清潔干燥裝置以正常模式工作，變頻器4控制增壓泵3以正常轉速運作，對進入的基板進行清潔干燥處理，并且當上料機構1的進料口11不再有基板進入時，所述中央處理器5根據(jù)傳感器12提供的感應信號判定沒有基板進入上料機構1的進料口11，基板清潔干燥裝置以節(jié)能模式工作，變頻器4控制增壓泵3以低于正常轉速的轉速運轉，通過使基板清潔干燥裝置空閑時增壓泵的轉速降低，能夠降低基板清潔干燥裝置的能耗，延長基板清潔干燥裝置的使用壽命，減小維護頻率，降低生產成本，提升生產效率。

綜上所述，本發(fā)明提供了一種基板清潔干燥裝置，該基板清潔干燥裝置的進料口處設有傳感器，該傳感器在進料口處有基板進入和無基板進入時能夠感應到不同的感應信號，通過將該不同的感應信號提供給中央處理器，中央處理器即可判定是否有基板進入進料口，并在有基板進入進料口時通過變頻器控制增壓泵以正常轉速運轉，在沒有基板進入進料口時通過變頻器控制增壓泵以低于正常轉速的轉速運轉，從而在不影響基板清潔干燥裝置正常工作的前提下，使基板清潔干燥裝置空閑時增壓泵的轉速降低，降低基板清潔干燥裝置的能耗，延長基板清潔干燥裝置的使用壽命，減小維護頻率，降低生產成本，提升生產效率。本發(fā)明還提供一種基板清潔干燥裝置的節(jié)能方法，能夠降低基板清潔干燥裝置的能耗，延長基板清潔干燥裝置的使用壽命，減小維護頻率，降低生產成本，提升生產效率。

以上所述，對于本領域的普通技術人員來說，可以根據(jù)本發(fā)明的技術方案和技術構思作出其他各種相應的改變和變形，而所有這些改變和變形都應屬于本發(fā)明權利要求的保護范圍。