本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基板清潔干燥裝置及其維護方法。

背景技術(shù)：

平面顯示器件具有機身薄、省電、無輻射等眾多優(yōu)點，得到了廣泛的應(yīng)用?，F(xiàn)有的平面顯示器件主要包括液晶顯示器件(Liquid Crystal Display，LCD)及有機發(fā)光二極管顯示器件(Organic Light Emitting Display，OLED)。

以液晶顯示器為例，其通常由彩膜基板(Color Filter，CF)、薄膜晶體管基板(Thin Film Transistor，TFT)、夾于彩膜基板與薄膜晶體管基板之間的液晶(Liquid Crystal，LC)及密封膠框(Sealant)組成，其成型工藝一般包括：前段陣列(Array)制程(薄膜、黃光、蝕刻及剝膜)、中段成盒(Cell)制程(TFT基板與CF基板貼合)及后段模組組裝制程(驅(qū)動IC與印刷電路板壓合)。其中，前段Array制程主要是形成TFT基板，以便于控制液晶分子的運動；中段Cell制程主要是在TFT基板與CF基板之間添加液晶；后段模組組裝制程主要是驅(qū)動IC壓合與印刷電路板的整合，進而驅(qū)動液晶分子轉(zhuǎn)動，顯示圖像。

在液晶顯示器等平面顯示器件在制作過程中，經(jīng)常需要對基板進行清潔干燥，去除基板上雜質(zhì)，保證制程的質(zhì)量，目前的基板清潔干燥裝置的工作過程通常為：首先由上料機構(gòu)(LUL System)從基板載臺(Cst)上獲取基板，并將基板傳送到基板清潔干燥裝置的工作腔室內(nèi)，由與所述工作腔室相連的增壓泵(Booster Pump)通過真空(Vacuum)管道將工作腔室抽真空，并將抽得的空氣過濾后通過壓力(Pressure)管道再供應(yīng)給出氣頭，出氣頭將氣體吹到工作腔室內(nèi)的基板上，吹去基板上的雜質(zhì)，以完成對基板的清潔干燥，現(xiàn)有技術(shù)中，基板清潔干燥裝置通常包括多個基板清潔干燥單元，每一個單元對應(yīng)一臺增壓泵，且由于成本與空間的關(guān)系并沒有配備有備用的增壓泵，當增壓泵發(fā)生故障需要進行修理或更換等維護工作時，該基板清潔干燥單元不得不停止工作，對正常的生產(chǎn)過程產(chǎn)生嚴重影響，引起產(chǎn)能下降，生產(chǎn)效率降低。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種基板清潔干燥裝置，能夠減少因增壓泵故障導(dǎo)致的基板清潔干燥單元無法工作的問題，提升生產(chǎn)效率。

本發(fā)明的目的還在于提供一種基板清潔干燥裝置的維護方法，能夠減少因增壓泵故障導(dǎo)致的基板清潔干燥單元無法工作的問題，提升生產(chǎn)效率。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種基板清潔干燥裝置，包括：至少一個基板清潔干燥單元組，每一個基板清潔干燥單元組包括兩個基板清潔干燥單元；

每一個基板清潔干燥單元均包括：工作艙、增壓泵、第一三通閥、以及第二三通閥；所述工作艙上設(shè)有工作艙出氣口、以及工作艙進氣口；所述增壓泵上設(shè)有增壓泵進氣口、以及增壓泵出氣口；

每一個基板清潔干燥單元中，所述第一三通閥的進氣口連接所述工作艙出氣口，主出氣口連接所述增壓泵進氣口，副出氣口連接與該基板清潔干燥單元所在基板清潔干燥單元組中的另一個基板清潔干燥單元的第一三通閥的副出氣口；所述第二三通閥的進氣口連接所述增壓泵出氣口，主出氣口連接所述工作艙進氣口，副出氣口連接與該基板清潔干燥單元所在基板清潔干燥單元組中的另一個基板清潔干燥單元的第二三通閥的副出氣口。

所述第一三通閥的主出氣口與增壓泵進氣口的連接通路上還設(shè)有第一壓力傳感器，所述第二三通閥的主出氣口與工作艙進氣口的連接通路上設(shè)有第二壓力傳感器。

所述第一三通閥、以及第二三通閥均為電磁控制閥。

還包括：控制主板，所述第一壓力傳感器、第二壓力傳感器、第一三通閥、以及第二三通閥均與所述控制主板電性連接。

所述第一三通閥的副出氣口與另一個基板清潔干燥單元的第一三通閥的副出氣口的連接通路上還設(shè)有第一常閉安全閥；

所述第二三通閥的副出氣口與另一個基板清潔干燥單元的第二三通閥的副出氣口的連接通路上還設(shè)有第二常閉安全閥。

本發(fā)明還提供一種基板清潔干燥裝置的維護方法，包括如下步驟：

步驟S1、提供一基板清潔干燥裝置，包括：至少一個基板清潔干燥單元組，每一個基板清潔干燥單元組包括兩個基板清潔干燥單元；

每一個基板清潔干燥單元均包括：工作艙、增壓泵、第一三通閥、以及第二三通閥；所述工作艙上設(shè)有工作艙出氣口、以及工作艙進氣口；所述增壓泵上設(shè)有增壓泵進氣口、以及增壓泵出氣口；

每一個基板清潔干燥單元中，所述第一三通閥的進氣口連接所述工作艙出氣口，主出氣口連接所述增壓泵進氣口，副出氣口連接與該基板清潔干燥單元所在基板清潔干燥單元組中的另一個基板清潔干燥單元的第一三通閥的副出氣口；所述第二三通閥的進氣口連接所述增壓泵出氣口，主出氣口連接所述工作艙進氣口，副出氣口連接與該基板清潔干燥單元所在基板清潔干燥單元組中的另一個基板清潔干燥單元的第二三通閥的副出氣口；

步驟S2、開啟所述基板清潔干燥裝置，使得各個基板清潔干燥單元的第一三通閥和第二三通閥的主出氣口均打開，副出氣口均關(guān)閉，各個基板清潔干燥單元通過其自帶的增壓泵進行基板的清潔干燥工作；

步驟S3、監(jiān)測是否有基板清潔干燥單元的增壓泵出現(xiàn)故障，若有則進行步驟S4，若無則重復(fù)步驟S3；

步驟S4、將增壓泵出現(xiàn)故障的基板清潔干燥單元的第一三通閥和第二三通閥的主出氣口均關(guān)閉，副出氣口均打開，同時將該基板清潔干燥單元的第一三通閥和第二三通閥的副出氣口連接的另一個基板清潔干燥單元的第一三通閥和第二三通閥的副出氣口也打開，通過另一個基板清潔干燥單元的增壓泵維持該基板清潔干燥單元工作的同時，對該基板清潔干燥單元的增壓泵進行維護。

所述第一三通閥的主出氣口與增壓泵進氣口的連接通路上還設(shè)有第一壓力傳感器，所述第二三通閥的主出氣口與工作艙進氣口的連接通路上設(shè)有第二壓力傳感器，所述步驟S3中通過所述第一壓力傳感器和第二壓力傳感器感測到的氣壓大小監(jiān)測是否有基板清潔干燥單元的增壓泵出現(xiàn)故障；

所述第一三通閥、以及第二三通閥均為電磁控制閥。

所述基板清潔干燥裝置還包括：控制主板，所述第一壓力傳感器、第二壓力傳感器、第一三通閥、以及第二三通閥均與所述控制主板電性連接；

所述步驟S4通過控制主板自動控制出現(xiàn)故障的基板清潔干燥單元的第一三通閥和第二三通閥的主出氣口均關(guān)閉，副出氣口均打開，與該基板清潔干燥單元的第一三通閥和第二三通閥的副出氣口連接的另一個基板清潔干燥單元的第一三通閥和第二三通閥的副出氣口均打開。

所述第一三通閥的副出氣口與另一個基板清潔干燥單元的第一三通閥的副出氣口的連接通路上還設(shè)有第一常閉安全閥；

所述第二三通閥的副出氣口與另一個基板清潔干燥單元的第二三通閥的副出氣口的連接通路上還設(shè)有第二常閉安全閥；

所述步驟S4中，還需要將所述第一常閉安全閥和第二常閉安全閥從關(guān)閉狀態(tài)切換到打開狀態(tài)。

本發(fā)明的有益效果：本發(fā)明提供了一種基板清潔干燥裝置，其通過將基板清潔干燥裝置中兩個基板清潔干燥單元的進氣通路和出氣通路分別通過兩個三通閥連接到一起，使得當其中一個基板清潔干燥單元的增壓泵出現(xiàn)故障需要維護時，可在維護期間利用另一個基板清潔干燥單元的增壓泵來繼續(xù)工作，從而減少因增壓泵出現(xiàn)故障而導(dǎo)致基板清潔干燥單元無法工作的問題，能夠提高生產(chǎn)效率。本發(fā)明還提供基板清潔干燥裝置的維護方法，能夠減少因增壓泵故障導(dǎo)致的基板清潔干燥單元無法工作的問題，提高生產(chǎn)效率。

附圖說明

為了能更進一步了解本發(fā)明的特征以及技術(shù)內(nèi)容，請參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細說明與附圖，然而附圖僅提供參考與說明用，并非用來對本發(fā)明加以限制。

附圖中，

圖1為本發(fā)明的基板清潔干燥裝置的示意圖；

圖2為本發(fā)明的基板清潔干燥裝置的維護方法的流程圖。

具體實施方式

為更進一步闡述本發(fā)明所采取的技術(shù)手段及其效果，以下結(jié)合本發(fā)明的優(yōu)選實施例及其附圖進行詳細描述。

請參閱圖1，本發(fā)明提供一種基板清潔干燥裝置，包括：至少一個基板清潔干燥單元組，每一個基板清潔干燥單元組包括兩個基板清潔干燥單元1；

每一個基板清潔干燥單元1均包括：工作艙11、增壓泵12、第一三通閥13、以及第二三通閥14；所述工作艙11上設(shè)有工作艙出氣口111、以及工作艙進氣口112；所述增壓泵12上設(shè)有增壓泵進氣口121、以及增壓泵出氣口122；

每一個基板清潔干燥單元1中，所述第一三通閥13的進氣口連接所述工作艙出氣口111，主出氣口連接所述增壓泵進氣口121，副出氣口連接與該基板清潔干燥單元1所在基板清潔干燥單元組中的另一個基板清潔干燥單元1的第一三通閥13的副出氣口；所述第二三通閥14的進氣口連接所述增壓泵出氣口122，主出氣口連接所述工作艙進氣口112，副出氣口連接與該基板清潔干燥單元1所在基板清潔干燥單元組中的另一個基板清潔干燥單元1的第二三通閥14的副出氣口。

需要說明的是，本發(fā)明的基板清潔干燥裝置的工作過程為：正常工作時，各個基板清潔干燥單元1的第一三通閥13和第二三通閥14的主出氣口均打開，副出氣口均關(guān)閉，各個基板清潔干燥單元1通過其自帶的增壓泵12從其自帶的工作腔11中抽氣，氣流從工作腔出氣口111流出工作腔11經(jīng)由增壓泵進氣口121流進增壓泵，經(jīng)過增壓泵12過濾后再從增壓泵出氣口122流出增壓泵12經(jīng)由工作腔進氣口112流進工作腔11，對工作腔11內(nèi)的基板進行干燥清潔。當有基板清潔干燥單元1的增壓泵12出現(xiàn)故障需要維護時，則將增壓泵12出現(xiàn)故障的基板清潔干燥單元1的第一三通閥13和第二三通閥14的主出氣口均關(guān)閉，副出氣口均打開，同時將該基板清潔干燥單元1的第一三通閥13和第二三通閥14的副出氣口連接的另一個基板清潔干燥單元1的第一三通閥13和第二三通閥14的副出氣口也打開，通過另一個基板清潔干燥單元1的增壓泵12維持該基板清潔干燥單元1工作的同時，對該基板清潔干燥單元1的增壓泵12進行維護，具體包括更換或修理該基板清潔干燥單元1的增壓泵12，通過在維護期間利用另一個基板清潔干燥單元的增壓泵來繼續(xù)工作，從而減少因增壓泵出現(xiàn)故障而導(dǎo)致基板清潔干燥單元無法工作的問題，能夠提高生產(chǎn)效率。

值得一提的是，本發(fā)明的基板清潔干燥裝置中的三通閥可以采用自動化設(shè)進行控制，具體為，在所述第一三通閥13的主出氣口與增壓泵進氣口121的連接通路上設(shè)置第一壓力傳感器15，在所述第二三通閥14的主出氣口與工作艙進氣口112的連接通路上設(shè)置第二壓力傳感器16，并采用電磁控制閥作為第一三通閥13、以及第二三通閥14，同時增設(shè)控制主板，所述第一壓力傳感器15、第二壓力傳感器16、第一三通閥13、以及第二三通閥14均與所述控制主板電性連接，進而可通過所述第一壓力傳感器15和第二壓力傳感器16感測到的氣壓大小監(jiān)測是否有基板清潔干燥單元1的增壓泵12出現(xiàn)故障，具體為通過控制主板將第一壓力傳感器15和第二壓力傳感器16感測到的氣壓大小與預(yù)設(shè)的氣壓范圍進行比較，該預(yù)設(shè)的氣壓范圍為基板清潔干燥單元1正常工作的氣壓范圍，若是感測到的氣壓大小不在預(yù)設(shè)的氣壓范圍內(nèi)，則判定增壓泵12故障，自動控制第一三通閥13和第二三通閥14進行氣體通路的切換。

此外，為了保障各個基板清潔干燥單元1的正常工作的穩(wěn)定性，本發(fā)明還在所述第一三通閥13的副出氣口與另一個基板清潔干燥單元1的第一三通閥13的副出氣口的連接通路上設(shè)置了第一常閉安全閥17，在所述第二三通閥14的副出氣口與另一個基板清潔干燥單元1的第二三通閥14的副出氣口的連接通路上設(shè)置了第二常閉安全閥18，該第一常閉安全閥17和第二常閉安全閥18只有在增壓泵12故障維護時才會打開，其他時間均處于關(guān)閉狀態(tài)，進而防止相連的基板清潔干燥單元1互相干擾，同樣地，該第一常閉安全閥17和第二常閉安全閥18也可以采用電磁控制閥，并與控制主板電性連接，以對其進行自動控制。

請參閱圖2，本發(fā)明還提供一種基板清潔干燥裝置的維護方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟S1、請參閱圖1，提供一基板清潔干燥裝置，包括：至少一個基板清潔干燥單元組，每一個基板清潔干燥單元組包括兩個基板清潔干燥單元1；

每一個基板清潔干燥單元1均包括：工作艙11、增壓泵12、第一三通閥13、以及第二三通閥14；所述工作艙11上設(shè)有工作艙出氣口111、以及工作艙進氣口112；所述增壓泵12上設(shè)有增壓泵進氣口121、以及增壓泵出氣口122；

每一個基板清潔干燥單元1中，所述第一三通閥13的進氣口連接所述工作艙出氣口111，主出氣口連接所述增壓泵進氣口121，副出氣口連接與該基板清潔干燥單元1所在基板清潔干燥單元組中的另一個基板清潔干燥單元1的第一三通閥13的副出氣口；所述第二三通閥14的進氣口連接所述增壓泵出氣口122，主出氣口連接所述工作艙進氣口112，副出氣口連接與該基板清潔干燥單元1所在基板清潔干燥單元組中的另一個基板清潔干燥單元1的第二三通閥14的副出氣口。

步驟S2、開啟所述基板清潔干燥裝置，使得各個基板清潔干燥單元1的第一三通閥13和第二三通閥14的主出氣口均打開，副出氣口均關(guān)閉，各個基板清潔干燥單元1通過其自帶的增壓泵12進行基板的清潔干燥工作；

步驟S3、監(jiān)測是否有基板清潔干燥單元1的增壓泵12出現(xiàn)故障，若有則進行步驟S4，若無則重復(fù)步驟S3；

步驟S4、將增壓泵12出現(xiàn)故障的基板清潔干燥單元1的第一三通閥13和第二三通閥14的主出氣口均關(guān)閉，副出氣口均打開，同時將該基板清潔干燥單元1的第一三通閥13和第二三通閥14的副出氣口連接的另一個基板清潔干燥單元1的第一三通閥13和第二三通閥14的副出氣口也打開，通過另一個基板清潔干燥單元1的增壓泵12維持該基板清潔干燥單元1工作的同時，對該基板清潔干燥單元1的增壓泵12進行維護。

具體地，本發(fā)明的基板清潔干燥裝置的維護方法可通過自動化模塊實現(xiàn)，具體為，在所述第一三通閥13的主出氣口與增壓泵進氣口121的連接通路上設(shè)置第一壓力傳感器15，在所述第二三通閥14的主出氣口與工作艙進氣口112的連接通路上設(shè)置第二壓力傳感器16，并采用電磁控制閥作為第一三通閥13、以及第二三通閥14，同時增設(shè)控制主板，所述第一壓力傳感器15、第二壓力傳感器16、第一三通閥13、以及第二三通閥14均與所述控制主板電性連接，進而在步驟S3中可通過所述第一壓力傳感器15和第二壓力傳感器16感測到的氣壓大小監(jiān)測是否有基板清潔干燥單元1的增壓泵12出現(xiàn)故障，具體為通過控制主板將第一壓力傳感器15和第二壓力傳感器16感測到的氣壓大小與預(yù)設(shè)的氣壓范圍進行比較，該預(yù)設(shè)的氣壓范圍為基板清潔干燥單元1正常工作的氣壓范圍，若是感測到的氣壓大小不在預(yù)設(shè)的氣壓范圍內(nèi)，則判定增壓泵12故障，自動控制第一三通閥13和第二三通閥14進行管路的切換。

此外，為了保障各個基板清潔干燥單元1的正常工作的穩(wěn)定性，本發(fā)明還在所述第一三通閥13的副出氣口與另一個基板清潔干燥單元1的第一三通閥13的副出氣口的連接通路上設(shè)置了第一常閉安全閥17，在所述第二三通閥14的副出氣口與另一個基板清潔干燥單元1的第二三通閥14的副出氣口的連接通路上設(shè)置了第二常閉安全閥18，該第一常閉安全閥17和第二常閉安全閥18只有在增壓泵12故障維護時才會打開，其他時間均處于關(guān)閉狀態(tài)，進而防止相連的基板清潔干燥單元1互相干擾，同樣地，該第一常閉安全閥17和第二常閉安全閥18也可以采用電磁控制閥，并與控制主板電性連接，以對其進行自動控制。

綜上所述，本發(fā)明提供了一種基板清潔干燥裝置，其通過將基板清潔干燥裝置中兩個基板清潔干燥單元的進氣通路和出氣通路分別通過兩個三通閥連接到一起，使得當其中一個基板清潔干燥單元的增壓泵出現(xiàn)故障需要維護時，可在維護期間利用另一個基板清潔干燥單元的增壓泵來繼續(xù)工作，從而減少因增壓泵出現(xiàn)故障而導(dǎo)致基板清潔干燥單元無法工作的問題，能夠提高生產(chǎn)效率。本發(fā)明還提供基板清潔干燥裝置的維護方法，能夠減少因增壓泵故障導(dǎo)致的基板清潔干燥單元無法工作的問題，提高生產(chǎn)效率。

以上所述，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，可以根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案和技術(shù)構(gòu)思作出其他各種相應(yīng)的改變和變形，而所有這些改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明權(quán)利要求的保護范圍。