1.一種基板清潔干燥裝置，其特征在于，包括：至少一個(gè)基板清潔干燥單元組，每一個(gè)基板清潔干燥單元組包括兩個(gè)基板清潔干燥單元(1)；
每一個(gè)基板清潔干燥單元(1)均包括：工作艙(11)、增壓泵(12)、第一三通閥(13)、以及第二三通閥(14)；所述工作艙(11)上設(shè)有工作艙出氣口(111)、以及工作艙進(jìn)氣口(112)；所述增壓泵(12)上設(shè)有增壓泵進(jìn)氣口(121)、以及增壓泵出氣口(122)；
每一個(gè)基板清潔干燥單元(1)中，所述第一三通閥(13)的進(jìn)氣口連接所述工作艙出氣口(111)，主出氣口連接所述增壓泵進(jìn)氣口(121)，副出氣口連接與該基板清潔干燥單元(1)所在基板清潔干燥單元組中的另一個(gè)基板清潔干燥單元(1)的第一三通閥(13)的副出氣口；所述第二三通閥(14)的進(jìn)氣口連接所述增壓泵出氣口(122)，主出氣口連接所述工作艙進(jìn)氣口(112)，副出氣口連接與該基板清潔干燥單元(1)所在基板清潔干燥單元組中的另一個(gè)基板清潔干燥單元(1)的第二三通閥(14)的副出氣口。
2.如權(quán)利要求1所述的基板清潔干燥裝置，其特征在于，所述第一三通閥(13)的主出氣口與增壓泵進(jìn)氣口(121)的連接通路上還設(shè)有第一壓力傳感器(15)，所述第二三通閥(14)的主出氣口與工作艙進(jìn)氣口(112)的連接通路上設(shè)有第二壓力傳感器(16)。
3.如權(quán)利要求2所述的基板清潔干燥裝置，其特征在于，所述第一三通閥(13)、以及第二三通閥(14)均為電磁控制閥。
4.如權(quán)利要求3所述的基板清潔干燥裝置，其特征在于，還包括：控制主板，所述第一壓力傳感器(15)、第二壓力傳感器(16)、第一三通閥(13)、以及第二三通閥(14)均與所述控制主板電性連接。
5.如權(quán)利要求1所述的基板清潔干燥裝置，其特征在于，所述第一三通閥(13)的副出氣口與另一個(gè)基板清潔干燥單元(1)的第一三通閥(13)的副出氣口的連接通路上還設(shè)有第一常閉安全閥(17)；
所述第二三通閥(14)的副出氣口與另一個(gè)基板清潔干燥單元(1)的第二三通閥(14)的副出氣口的連接通路上還設(shè)有第二常閉安全閥(18)。
6.一種基板清潔干燥裝置的維護(hù)方法，其特征在于，包括如下步驟：
步驟S1、提供一基板清潔干燥裝置，包括：至少一個(gè)基板清潔干燥單元組，每一個(gè)基板清潔干燥單元組包括兩個(gè)基板清潔干燥單元(1)；
每一個(gè)基板清潔干燥單元(1)均包括：工作艙(11)、增壓泵(12)、第一三通閥(13)、以及第二三通閥(14)；所述工作艙(11)上設(shè)有工作艙出氣口(111)、以及工作艙進(jìn)氣口(112)；所述增壓泵(12)上設(shè)有增壓泵進(jìn)氣口(121)、以及增壓泵出氣口(122)；
每一個(gè)基板清潔干燥單元(1)中，所述第一三通閥(13)的進(jìn)氣口連接所述工作艙出氣口(111)，主出氣口連接所述增壓泵進(jìn)氣口(121)，副出氣口連接與該基板清潔干燥單元(1)所在基板清潔干燥單元組中的另一個(gè)基板清潔干燥單元(1)的第一三通閥(13)的副出氣口；所述第二三通閥(14)的進(jìn)氣口連接所述增壓泵出氣口(122)，主出氣口連接所述工作艙進(jìn)氣口(112)，副出氣口連接與該基板清潔干燥單元(1)所在基板清潔干燥單元組中的另一個(gè)基板清潔干燥單元(1)的第二三通閥(14)的副出氣口；
步驟S2、開(kāi)啟所述基板清潔干燥裝置，使得各個(gè)基板清潔干燥單元(1)的第一三通閥(13)和第二三通閥(14)的主出氣口均打開(kāi)，副出氣口均關(guān)閉，各個(gè)基板清潔干燥單元(1)通過(guò)其自帶的增壓泵(12)進(jìn)行基板的清潔干燥工作；
步驟S3、監(jiān)測(cè)是否有基板清潔干燥單元(1)的增壓泵(12)出現(xiàn)故障，若有則進(jìn)行步驟S4，若無(wú)則重復(fù)步驟S3；
步驟S4、將增壓泵(12)出現(xiàn)故障的基板清潔干燥單元(1)的第一三通閥(13)和第二三通閥(14)的主出氣口均關(guān)閉，副出氣口均打開(kāi)，同時(shí)將該基板清潔干燥單元(1)的第一三通閥(13)和第二三通閥(14)的副出氣口連接的另一個(gè)基板清潔干燥單元(1)的第一三通閥(13)和第二三通閥(14)的副出氣口也打開(kāi)，通過(guò)另一個(gè)基板清潔干燥單元(1)的增壓泵(12)維持該基板清潔干燥單元(1)工作的同時(shí)，對(duì)該基板清潔干燥單元(1)的增壓泵(12)進(jìn)行維護(hù)。
7.如權(quán)利要求6所述的基板清潔干燥裝置的維護(hù)方法，其特征在于，所述第一三通閥(13)的主出氣口與增壓泵進(jìn)氣口(121)的連接通路上還設(shè)有第一壓力傳感器(15)，所述第二三通閥(14)的主出氣口與工作艙進(jìn)氣口(112)的連接通路上設(shè)有第二壓力傳感器(16)，所述步驟S3中通過(guò)所述第一壓力傳感器(15)和第二壓力傳感器(16)感測(cè)到的氣壓大小監(jiān)測(cè)是否有基板清潔干燥單元(1)的增壓泵(12)出現(xiàn)故障。
8.如權(quán)利要求7所述的基板清潔干燥裝置的維護(hù)方法，其特征在于，所述第一三通閥(13)、以及第二三通閥(14)均為電磁控制閥。
9.如權(quán)利要求8所述的基板清潔干燥裝置的維護(hù)方法，其特征在于，基板清潔干燥裝置還包括：控制主板，所述第一壓力傳感器(15)、第二壓力傳感器(16)、第一三通閥(13)、以及第二三通閥(14)均與所述控制主板電性連接；
所述步驟S4通過(guò)控制主板自動(dòng)控制出現(xiàn)故障的基板清潔干燥單元(1)的第一三通閥(13)和第二三通閥(14)的主出氣口均關(guān)閉，副出氣口均打開(kāi)，與該基板清潔干燥單元(1)的第一三通閥(13)和第二三通閥(14)的副出氣口連接的另一個(gè)基板清潔干燥單元(1)的第一三通閥(13)和第二三通閥(14)的副出氣口均打開(kāi)。
10.如權(quán)利要求6所述的基板清潔干燥裝置的維護(hù)方法，其特征在于，所述第一三通閥(13)的副出氣口與另一個(gè)基板清潔干燥單元(1)的第一三通閥(13)的副出氣口的連接通路上還設(shè)有第一常閉安全閥(17)；
所述第二三通閥(14)的副出氣口與另一個(gè)基板清潔干燥單元(1)的第二三通閥(14)的副出氣口的連接通路上還設(shè)有第二常閉安全閥(18)；
所述步驟S4中，還需要將所述第一常閉安全閥(17)和第二常閉安全閥(18)從關(guān)閉狀態(tài)切換到打開(kāi)狀態(tài)。