技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種基板清潔干燥裝置及其維護方法，其通過將基板清潔干燥裝置中兩個基板清潔干燥單元的進氣通路和出氣通路分別通過兩個三通閥連接到一起，使得當其中一個基板清潔干燥單元的增壓泵出現(xiàn)故障需要維護時，可在維護期間利用另一個基板清潔干燥單元的增壓泵來繼續(xù)工作，從而減少因增壓泵出現(xiàn)故障而導致基板清潔干燥單元無法工作的問題，能夠提高生產(chǎn)效率。

技術(shù)研發(fā)人員：蘇彥熒
受保護的技術(shù)使用者：武漢華星光電技術(shù)有限公司
文檔號碼：201611067009
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.28
技術(shù)公布日：2017.03.22