技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種壓印裝置以及物品制造方法。所述壓印裝置包括：供給設(shè)備，其被構(gòu)造為將壓印材料供給到基板上的壓印區(qū)域；驅(qū)動(dòng)設(shè)備，其被構(gòu)造為進(jìn)行用于使模具與供給到所述壓印區(qū)域的壓印材料接觸的驅(qū)動(dòng)；以及密封設(shè)備，其被構(gòu)造為通過(guò)形成氣體的流動(dòng)來(lái)密封所述壓印區(qū)域，其中，所述供給設(shè)備包括具有面對(duì)所述基板的面的構(gòu)件，在所述面中形成有氣體流入所述構(gòu)件的流入口和氣體流出所述構(gòu)件的流出口，并且在所述構(gòu)件中形成有用于將所述流入口與所述流出口連接的流動(dòng)路徑。

技術(shù)研發(fā)人員：中川一樹(shù)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：佳能株式會(huì)社
文檔號(hào)碼：201610807111
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.07
技術(shù)公布日：2017.03.15