技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明為保證在局域等離子體共振(LSPR)接觸光刻中探針的力學(xué)狀態(tài)，提出一種抑制偏轉(zhuǎn)角度的自適應(yīng)彈性鉸鏈的設(shè)計(jì)方法。本發(fā)明所采用的設(shè)計(jì)方法是：根據(jù)探針的工作模式，確定鉸鏈必須為對稱結(jié)構(gòu)。由于光刻膠表面所承受的壓強(qiáng)有限，確定臂的個(gè)數(shù)為4個(gè)。設(shè)計(jì)出兩種彈性鉸鏈結(jié)構(gòu)，一種直線型彈性臂鉸鏈，一種圓弧形彈性臂鉸鏈。通過對比，選取圓形弧形彈性臂鉸鏈。材料的選擇，選取鈹青銅作為鉸鏈的制作材料。用單一變量法，分別確定鉸鏈的尺寸。本發(fā)明所述的設(shè)計(jì)方法，能夠滿足較為苛刻的工作要求，對保證接觸光刻中探針的力學(xué)狀態(tài)有重大的意義，鉸鏈具有很好抑制偏角能力，且根據(jù)不同的工作需求，也可使用本方法進(jìn)行設(shè)計(jì)，適用性強(qiáng)。

技術(shù)研發(fā)人員：王皓;田思玉;肖志文;寧鵬;熊思勇
受保護(hù)的技術(shù)使用者：電子科技大學(xué)
文檔號(hào)碼：201610648286
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.09
技術(shù)公布日：2017.02.22