本發(fā)明涉及一種感光性樹脂組合物。
背景技術(shù)：
：近年來的顯示裝置等中，彩色濾色器、液晶顯示元件的ITO電極、有機(jī)電致發(fā)光(以下稱為“有機(jī)EL”。)顯示元件、電路布線基板等通過噴墨法來制作。噴墨法中，利用使用感光性樹脂組合物在玻璃等基板上形成的隔壁(圖案)。作為感光性樹脂組合物，例如已知包含乙烯基苯甲酸與3，4-環(huán)氧三環(huán)[5.2.1.02.6]癸基丙烯酸酯的共聚物的感光性樹脂組合物(專利文獻(xiàn)1)?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)非專利文獻(xiàn)【專利文獻(xiàn)1】日本專利第5598621號(hào)技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：發(fā)明要解決的課題但是，所述感光性樹脂組合物難以在玻璃上穩(wěn)定地形成圖案。因此，本發(fā)明的目的在于提供能夠在玻璃上穩(wěn)定地形成圖案的感光性樹脂組合物。用于解決課題的手段本發(fā)明提供以下的[1]～[5]。[1]一種感光性樹脂組合物，其含有成分(A)、成分(B)、成分(C)、成分(D)和成分(E)，成分(A)的含量相對(duì)于成分(A)與成分(C)的合計(jì)含量為45質(zhì)量％以上且80質(zhì)量％以下。(A)包含來自選自具有烯屬不飽和鍵的芳香族羧酸和具有烯屬不飽和鍵的芳香族羧酸酐中的至少一種化合物的構(gòu)成單元、和來自具有碳原子數(shù)2～4的環(huán)狀醚結(jié)構(gòu)的不飽和化合物的構(gòu)成單元的共聚物(以下有時(shí)也稱為“樹脂(A)”。)；(B)包含具有碳原子數(shù)4～6的全氟烷基的構(gòu)成單元的聚合物(以下有時(shí)也稱為“樹脂(B)”。)；(C)聚合性化合物；(D)聚合引發(fā)劑；(E)1個(gè)分子中含有2個(gè)以上環(huán)氧乙基的含硅化合物。[2]如[1]所述的感光性樹脂組合物，其中，成分(D)為包含選自聯(lián)咪唑化合物、烷基苯酮化合物和肟酯化合物中的至少1種的聚合引發(fā)劑。[3]一種圖案，其由[1]或[2]所述的感光性樹脂組合物形成。[4]一種噴墨用隔壁，其由[1]或[2]所述的感光性樹脂組合物形成。[5]一種顯示裝置，其包含選自[3]所述的圖案和[4]所述的噴墨用隔壁中的至少1種。發(fā)明效果通過本發(fā)明的感光性樹脂組合物，能夠在玻璃上穩(wěn)定地形成圖案。另外，本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式中能夠形成潤濕性優(yōu)異的圖案。附圖說明圖1為將作為本發(fā)明顯示裝置的一例的顯示裝置1的一部分放大來示意性地顯示的剖面圖。圖2為將作為本發(fā)明顯示裝置的一例的顯示裝置1的一部分放大來示意性地顯示的俯視圖。具體實(shí)施方式以下，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)的說明。[感光性樹脂組合物]本發(fā)明的感光性樹脂組合物是包含成分(A)、成分(B)、成分(C)、成分(D)和成分(E)的感光性樹脂組合物，但優(yōu)選進(jìn)一步含有作為成分(F)的溶劑(以下稱為“溶劑(F)”。)。需要說明的是，本說明書中，“固體成分”是指從感光性樹脂組合物中除去溶劑(F)后的成分。另外，本發(fā)明的感光性樹脂組合物可以含有選自樹脂(A)和樹脂(B)以外的樹脂(以下稱為“樹脂(X)”。)、聚合引發(fā)助劑(D1)、多官能硫醇化合物(T)和表面活性劑(G)中的至少1種。需要說明的是，本說明書中，作為各成分而例示的化合物，只要無特別聲明，均可單獨(dú)使用1種或并用2種以上。作為樹脂(A)，例如可舉出：樹脂(A-1)：包含來自具有烯屬不飽和鍵的芳香族羧酸和具有烯屬不飽和鍵的芳香族羧酸酐中的至少一種化合物(以下稱為“(a)”。)的構(gòu)成單元、和來自具有碳原子數(shù)2～4的環(huán)狀醚結(jié)構(gòu)的不飽和化合物(b)(以下稱為“(b)”。)的構(gòu)成單元的聚合物；樹脂(A-2)：將能夠與(a)和(b)聚合并且不具有碳原子數(shù)2～4的環(huán)狀醚結(jié)構(gòu)的單體(c)(以下稱為“(c)”。)、(a)和(b)聚合而成的聚合物。其中，(a)、(b)和(c)均不具有碳原子數(shù)4～6的全氟烷基。(a)為選自具有烯屬不飽和鍵的芳香族羧酸和具有烯屬不飽和鍵的芳香族羧酸酐中的至少一種化合物，具體地可舉出：鄰乙烯基苯甲酸、間乙烯基苯甲酸、對(duì)乙烯基苯甲酸、3-乙烯基鄰苯二甲酸、4-乙烯基鄰苯二甲酸等芳香族羧酸；3-乙烯基鄰苯二甲酸酐、4-乙烯基鄰苯二甲酸酐等芳香族羧酸酐。(b)是具有碳原子數(shù)2～4的環(huán)狀醚結(jié)構(gòu)(例如選自環(huán)氧乙烷環(huán)、氧雜環(huán)丁烷環(huán)及四氫呋喃環(huán)中的至少一種)的化合物，優(yōu)選為具有碳原子數(shù)2～4的環(huán)狀醚結(jié)構(gòu)和烯屬不飽和雙鍵的單體，更優(yōu)選為具有碳原子數(shù)2～4的環(huán)狀醚結(jié)構(gòu)和(甲基)丙烯酰氧基的化合物。本說明書中，″(甲基)丙烯酸”表示選自丙烯酸及甲基丙烯酸中的至少一種?！?甲基)丙烯?；寮啊?甲基)丙烯酸酯”等表述也具有同樣的意思。作為(b)，例如可舉出：具有環(huán)氧乙基的化合物(b1)(以下稱為“(b1)”。)、具有氧雜環(huán)丁烷基的化合物(b2)(以下稱為“(b2)”。)、具有四氫呋喃基的化合物(b3)(以下稱為“(b3)”。)。作為(b1)，例如可舉出：具有不飽和脂肪族烴基經(jīng)環(huán)氧化后的結(jié)構(gòu)的化合物(b1-1)(以下稱為“(b1-1)”。)、具有不飽和脂環(huán)式烴經(jīng)環(huán)氧化后的結(jié)構(gòu)的化合物(b1-2)(以下稱為“(b1-2)”。)，由于感光性樹脂組合物的保存穩(wěn)定性優(yōu)異，因此優(yōu)選具有環(huán)氧乙基和(甲基)丙烯酰氧基的化合物，更優(yōu)選具有不飽和脂環(huán)式烴經(jīng)環(huán)氧化后的結(jié)構(gòu)和(甲基)丙烯酰氧基的化合物。作為(b1-1)，例如可舉出：縮水甘油基(甲基)丙烯酸酯、β-甲基縮水甘油基(甲基)丙烯酸酯、β-乙基縮水甘油基(甲基)丙烯酸酯、縮水甘油基乙烯基醚、鄰乙烯基芐基縮水甘油基醚、間乙烯基芐基縮水甘油基醚、對(duì)乙烯基芐基縮水甘油基醚、α-甲基-鄰乙烯基芐基縮水甘油基醚、α-甲基-間乙烯基芐基縮水甘油基醚、α-甲基-對(duì)乙烯基芐基縮水甘油基醚、2，3-雙(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2，4-雙(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2，5-雙(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2，6-雙(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2，3，4-三(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2，3，5-三(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2，3，6-三(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、3，4，5-三(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2，4，6-三(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯。作為(b1-1)，另外可舉出日本特開平7-248625號(hào)公報(bào)中記載的化合物。作為(b1-2)，例如可舉出：乙烯基環(huán)己烯單氧化物、1，2-環(huán)氧-4-乙烯基環(huán)己烷(例如，CELLOXIDE(注冊(cè)商標(biāo))2000；大賽璐化學(xué)工業(yè)(株)制)、丙烯酸3，4-環(huán)氧環(huán)己基甲酯(例如，CYCLOMER(注冊(cè)商標(biāo))A400；大賽璐化學(xué)工業(yè)(株)制)、甲基丙烯酸3，4-環(huán)氧環(huán)己基甲酯(例如，CYCLOMER(注冊(cè)商標(biāo))M100；大賽璐化學(xué)工業(yè)(株)制)、式(I)所示的化合物、式(II)所示的化合物?！净?】[式中，R1和R2分別獨(dú)立地表示氫原子或碳原子數(shù)1～4的烷基，該烷基中含有的氫原子可以被羥基取代。X1和X2分別獨(dú)立地表示單鍵、＊-R3-、＊-R3-O-、＊-R3-S-、＊-R3-NH-。R3表示碳原子數(shù)1～6的烷烴二基。*表示與O的鍵合端。作為R1和R2所示的碳原子數(shù)1～4的烷基，例如可舉出：甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基。作為被羥基取代的烷基，例如可舉出：羥基甲基、1-羥基乙基、2-羥基乙基、1-羥基丙基、2-羥基丙基、3-羥基丙基、1-羥基-1-甲基乙基、2-羥基-1-甲基乙基、1-羥基丁基、2-羥基丁基、3-羥基丁基、4-羥基丁基。R1和R2優(yōu)選為氫原子、甲基、羥基甲基、1-羥基乙基或2-羥基乙基，更優(yōu)選為氫原子或甲基。作為R3所示的烷烴二基，例如可舉出亞甲基、亞乙基、丙烷-1，2-二基、丙烷-1，3-二基、丁烷-1，4-二基、戊烷-1，5-二基、己烷-1，6-二基等。X1和X2優(yōu)選為單鍵、亞甲基、亞乙基、＊-CH2-O-(＊表示與O的鍵合端)、或＊-CH2CH2-O-，更優(yōu)選為單鍵或＊-CH2CH2-O-。作為式(I)所示的化合物，例如可舉出式(I-1)～式(I-15)所示的化合物，優(yōu)選為式(I-1)、式(I-3)、式(I-5)、式(I-7)、式(I-9)或式(I-11)～式(I-15)所示的化合物，更優(yōu)選為式(I-1)、式(I-7)、式(I-9)或式(I-15)所示的化合物。【化2】作為式(II)所示的化合物，例如可舉出式(II-1)～式(II-15)所示的化合物，優(yōu)選為式(II-1)、式(II-3)、式(II-5)、式(II-7)、式(II-9)或式(II-11)～式(II-15)所示的化合物，更優(yōu)選為式(II-1)、式(II-7)、式(II-9)或式(II-15)所示的化合物。【化3】式(I)所示的化合物和式(II)所示的化合物可以分別單獨(dú)使用1種，也可以并用2種以上。在將式(I)所示的化合物和式(II)所示的化合物并用2種以上的情況下，它們的含有比率〔式(I)所示的化合物：式(II)所示的化合物〕以摩爾基準(zhǔn)計(jì)優(yōu)選為5：95～95：5，更優(yōu)選為20：80～80：20。作為(b2)，優(yōu)選為具有氧雜環(huán)丁烷基和(甲基)丙烯酰氧基的化合物，更優(yōu)選為3-甲基-3-(甲基)丙烯?；趸谆蹼s環(huán)丁烷、3-乙基-3-(甲基)丙烯?；趸谆蹼s環(huán)丁烷、3-甲基-3-(甲基)丙烯?；趸一蹼s環(huán)丁烷、3-乙基-3-(甲基)丙烯?；趸一蹼s環(huán)丁烷。作為(b3)，優(yōu)選為具有四氫呋喃基和(甲基)丙烯酰氧基的化合物，更優(yōu)選為丙烯酸四氫糠酯(例如，BISCOATV#150，大阪有機(jī)化學(xué)工業(yè)(株)制)、甲基丙烯酸四氫糠酯。作為(c)，例如可舉出：(甲基)丙烯酸酯、N-取代馬來酰亞胺、不飽和二羧酸二酯、脂環(huán)式不飽和化合物、不飽和羧酸、不飽和羧酸酐、苯乙烯、其他乙烯基化合物。作為(甲基)丙烯酸酯、例如可舉出：(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯等烷基酯；(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸2-甲基環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]癸烷-8-基酯(作為俗名，也稱為“(甲基)丙烯酸雙環(huán)戊基酯”。)、丙烯酸雙環(huán)戊氧基乙酯、(甲基)丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]癸烯-8-基酯(作為俗名，也稱為“(甲基)丙烯酸雙環(huán)戊烯基酯”)、(甲基)丙烯酸異冰片酯等環(huán)烷基酯；(甲基)丙烯酸2-羥基乙基酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丙基酯等羥基烷基酯；(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸芐酯等芳基酯和芳烷基酯。作為N-取代馬來酰亞胺，例如可舉出：N-苯基馬來酰亞胺、N-環(huán)己基馬來酰亞胺、N-芐基馬來酰亞胺、N-琥珀酰亞胺基-3-馬來酰亞胺苯甲酸酯、N-琥珀酰亞胺基-4-馬來酰亞胺丁酸酯、N-琥珀酰亞胺基-6-馬來酰亞胺己酸酯、N-琥珀酰亞胺基-3-馬來酰亞胺丙酸酯、N-(9-吖啶基)馬來酰亞胺。作為不飽和二羧酸二酯，例如可舉出：馬來酸二乙酯、富馬酸二乙酯、衣康酸二乙酯等。作為脂環(huán)式不飽和化合物，例如可舉出：雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-甲基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-乙基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基甲基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-(2’-羥基乙基)雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-甲氧基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-乙氧基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二羥基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二(羥基甲基)雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二(2’-羥基乙基)雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二甲氧基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二乙氧基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基-5-甲基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基-5-乙基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基甲基-5-甲基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-叔丁氧基羰基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-環(huán)己基氧基羰基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-苯氧基羰基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-雙(叔丁氧基羰基)雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-雙(環(huán)己基氧基羰基)雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯等雙環(huán)不飽和化合物。作為不飽和羧酸，例如可舉出：丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸等不飽和一元羧酸；馬來酸、富馬酸、檸康酸、中康酸、衣康酸、3，4，5，6-四氫鄰苯二甲酸、1，2，3，6-四氫鄰苯二甲酸、二甲基四氫鄰苯二甲酸、1，4-環(huán)己烯二羧酸等不飽和二羧酸；甲基-5-降冰片烯-2，3-二羧酸、5-羧基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二羧基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-甲基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-乙基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-甲基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-乙基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯等含有羧基的雙環(huán)不飽和化合物；琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯、鄰苯二甲酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯等2元以上多元羧酸的不飽和單[(甲基)丙烯酰氧基烷基]酯；α-(羥基甲基)丙烯酸等同一分子中含有羥基和羧基的不飽和(甲基)丙烯酸酯等。作為不飽和羧酸酐，例如可舉出：馬來酸酐、檸康酸酐、衣康酸酐、3-乙烯基鄰苯二甲酸酐、4-乙烯基鄰苯二甲酸酐、3，4，5，6-四氫鄰苯二甲酸酐、1，2，3，6-四氫鄰苯二甲酸酐、二甲基四氫鄰苯二甲酸酐、5，6-二羧基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯酐等不飽和二羧酸酐。作為苯乙烯，例如可舉出：苯乙烯、α-甲基苯乙烯、間甲基苯乙烯、對(duì)甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、對(duì)甲氧基苯乙烯。作為其他乙烯基化合物，例如可舉出(甲基)丙烯腈、氯乙烯、偏二氯乙烯、(甲基)丙烯酰胺、乙酸乙烯酯、1，3-丁二烯、異戊二烯和2，3-二甲基-1，3-丁二烯。作為(c)，由于聚合反應(yīng)性和堿溶解性良好，因此優(yōu)選為苯乙烯、N-苯基馬來酸酰亞胺、N-環(huán)己基馬來酸酰亞胺、N-芐基馬來酸酰亞胺或雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯。樹脂(A-1)和樹脂(A-2)中，相對(duì)于來自(a)的構(gòu)成單元和來自(b)的構(gòu)成單元的總計(jì)摩爾數(shù)，來自(a)的構(gòu)成單元的含量和來自(b)的構(gòu)成單元的含量?jī)?yōu)選為以下的范圍。來自(a)的構(gòu)成單元；5～60摩爾％(更優(yōu)選10～50摩爾％)來自(b)的構(gòu)成單元；40～95摩爾％(更優(yōu)選50～90摩爾％)樹脂(A-2)中，相對(duì)于來自(a)的構(gòu)成單元和來自(b)的構(gòu)成單元的總計(jì)摩爾數(shù)(100摩爾份)，來自(c)的構(gòu)成單元的含量?jī)?yōu)選為超過0摩爾份且為300摩爾份以下，更優(yōu)選為超過0摩爾份且為280摩爾份以下。樹脂(A-1)和樹脂(A-2)的構(gòu)成單元的比率處于所述范圍時(shí)，具有感光性樹脂組合物的保存穩(wěn)定性、由感光性樹脂組合物形成圖案時(shí)的顯影性、以及所得到的涂膜和圖案的耐溶劑性、耐熱性和機(jī)械強(qiáng)度變得良好的傾向。作為樹脂(A-1)，優(yōu)選(b)為(b1)的樹脂(A-1)，更優(yōu)選(b)為(b1-2)的樹脂(A-1)?？梢酝ㄟ^參考例如在文獻(xiàn)”高分子合成之實(shí)驗(yàn)法”(大津隆行著發(fā)行所(株)化學(xué)同人第一版第一次印刷1972年3月1日發(fā)行)中記載的方法及在該文獻(xiàn)中記載的引用文獻(xiàn)來制造樹脂(A)。具體而言，可列舉將(a)和(b)或(a)和(b)和(c)的規(guī)定量、聚合引發(fā)劑及溶劑等加入反應(yīng)容器中，例如，用氮置換大氣中的氧，由此設(shè)置成脫氧氣氛，邊攪拌邊加熱及保溫的方法。需要說明的是，此處使用的聚合引發(fā)劑及溶劑等例如可以使用在該領(lǐng)域中通常使用的聚合引發(fā)劑及溶劑。作為聚合引發(fā)劑，例如可舉出：偶氮化合物(2，2’-偶氮二異丁腈、2，2’-偶氮雙(2，4-二甲基戊腈)等)、有機(jī)過氧化物(過氧化苯甲酰等)。作為溶劑，只要是溶解各單體的溶劑即可，作為感光性樹脂組合物的溶劑(F)，可使用后述的溶劑等。為了調(diào)節(jié)所得到的樹脂的分子量，可以在聚合反應(yīng)時(shí)加入鏈轉(zhuǎn)移劑。作為鏈轉(zhuǎn)移劑，例如可舉出：正丁烷硫醇、叔丁烷硫醇、正十二烷硫醇、2-巰基乙醇、巰基乙酸、巰基乙酸乙酯、巰基乙酸2-乙基己酯、巰基乙酸甲氧基丁酯、3-巰基丙酸、含有巰基的硅酮(KF-2001：信越化學(xué)制)等硫醇；氯仿、四氯化碳、四溴化碳等鹵代烷基。所得到的聚合物可以直接使用反應(yīng)后的溶液，也可以使用濃縮或稀釋后的溶液，還可以使用通過再沉淀等方法以固體(粉體)的形式取出的物質(zhì)。在該聚合時(shí)，若使用與后述的溶劑(F)相同的溶劑作為溶劑，則可以將反應(yīng)后的溶液直接使用，可以簡(jiǎn)化制造工序。由于涂布性優(yōu)異、顯影時(shí)不易產(chǎn)生曝光部的膜減少，并且非曝光部易于通過顯影除去，因此樹脂(A)的聚苯乙烯換算的重均分子量?jī)?yōu)選為3,000～100,000，更優(yōu)選5,000～50,000。由于顯影性優(yōu)異，因此樹脂(A)的分子量分布[重均分子量(Mw)/數(shù)均分子量(Mn)]優(yōu)選為1.1～6.0，更優(yōu)選1.2～4.0。樹脂(A)的酸值通常為20～150mgKOH/g，優(yōu)選為40～135mgKOH/g，更優(yōu)選為50～135mgKOH/g。在此，酸值為作為中和1g樹脂所需要的氫氧化鉀的量(mg)而測(cè)定的值，可以通過使用氫氧化鉀水溶液進(jìn)行滴定來求出。樹脂(A)的含量相對(duì)于樹脂(A)與聚合性化合物(C)的合計(jì)含量，通常為45質(zhì)量％以上且80質(zhì)量％以下，由于利用由感光性樹脂組合物形成的隔壁而圖案化的基板表面的潤濕性良好，因此優(yōu)選為48質(zhì)量％以上且75質(zhì)量％以下，更優(yōu)選50質(zhì)量％以上且70質(zhì)量％以下。樹脂(B)中含有的具有碳原子數(shù)4～6的全氟烷基的構(gòu)成單元，例如為來自具有碳原子數(shù)4～6的全氟烷基的不飽和化合物(d)(以下稱為“(d)”。)的構(gòu)成單元。作為(d)，可舉出例如式(d-0)所示的化合物?！净?】[式中，Rf表示碳原子數(shù)4至6的全氟烷基。Rd表示氫原子、鹵原子、氰基、苯基、苯甲基或碳原子數(shù)1～21的烷基，該烷基所含有的氫原子可被鹵原子或羥基取代。Xd表示單鍵、碳原子數(shù)1～10的2價(jià)脂肪族烴基、碳原子數(shù)3～10的2價(jià)脂環(huán)式烴基或碳原子數(shù)6～12的2價(jià)芳香族烴基，該脂肪族烴基及該脂環(huán)式烴基所含有的1個(gè)以上的-CH2-可被-O-、-CO-、-NRe-、-S-或-SO2-置換]。Rf優(yōu)選為全氟丁基、或全氟己基。作為Rd所表示的碳原子數(shù)1～21的烷基，可舉出例如：甲基、乙基、正丙基、正丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、正壬基、正癸基等直鏈狀烷基；異丙基、異丁基、仲丁基、異戊基、1-甲基戊基、2-甲基戊基、3-甲基戊基、4-甲基戊基、1-乙基丁基、2-乙基丁基、1-甲基己基、2-甲基己基、3-甲基己基、4-甲基己基、5-甲基己基、1-乙基戊基、2-乙基戊基、3-乙基戊基、1-丙基丁基、1-甲基庚基、2-甲基庚基、3-甲基庚基、4-甲基庚基、5-甲基庚基、6-甲基庚基、1-乙基己基、2-乙基己基、3-乙基己基、4-乙基己基、2-丙基戊基、1-丁基丁基、1-丁基-2-甲基丁基、1-丁基-3-甲基丁基、叔丁基、1，1-二甲基丙基、1，1-二甲基丁基、1，2-二甲基丁基、1，3-二甲基丁基、2，3-二甲基丁基、1-乙基-2-甲基丙基、1，1-二甲基戊基、1，2-二甲基戊基、1，3-二甲基戊基、1，4-二甲基戊基、2，2-二甲基戊基、2，3-二甲基戊基、2，4-二甲基戊基、3，3-二甲基戊基、3，4-二甲基戊基、1-乙基-1-甲基丁基、2-乙基-3-甲基丁基等支鏈狀烷基。Rd優(yōu)選為氫原子、鹵素原子或甲基。作為Xd所示的碳原子數(shù)1～10的2價(jià)脂肪族烴基，可舉出例如：亞甲基、亞乙基、丙烷-1，3-二基、丙烷-1，2-二基、丁烷-1，4-二基、丁烷-1，3-二基、丁烷-1，2-二基、戊烷-1，5-二基、己烷-1，6-二基、庚烷-1，7-二基、辛烷-1，8-二基等烷烴二基。作為Xd所示的碳原子數(shù)3～10的2價(jià)脂環(huán)式烴基，例如可舉出：環(huán)丙烷二基、環(huán)丁烷二基、環(huán)戊烷二基、環(huán)己烷二基、環(huán)庚烷二基、環(huán)癸烷二基等。作為Xd所示的碳原子數(shù)6～12的2價(jià)芳香族烴基，例如可舉出：亞苯基、萘二基、聯(lián)苯二基(例如，聯(lián)苯-3，3’-二基)。作為碳原子數(shù)1～10的2價(jià)脂肪族烴基、和碳原子數(shù)3～10的2價(jià)脂環(huán)式烴基中含有的1個(gè)以上的-CH2-被-O-、-CO-、-NRe-、-S-或-SO2-置換后的Xd，例如可舉出式(xd-1)～式(xd-9)所示的基團(tuán)?！净?】Xd優(yōu)選為碳原子數(shù)1～6的烷烴二基，更優(yōu)選亞乙基。式(d-0)所示的化合物優(yōu)選為式(d-0’)所示的化合物?！净?】[式中，Rh表示碳原子數(shù)4～6的全氟烷基。Rg表示氫原子、鹵素原子或甲基。作為式(d-0)所示的化合物，例如可舉出化合物(d-1)～化合物(d-94)。表中，顯示于Xd欄的式編號(hào)表示上述例示的基團(tuán)的式編號(hào)。例如，化合物(d-1)為式(d-1)所示的化合物?！净?】【表1】【表2】【表3】【表4】樹脂(B)優(yōu)選為包含選自來自(d)的構(gòu)成單元、來自(a)的構(gòu)成單元以及來自不飽和羧酸和/或不飽和羧酸酐(e)(其中，與(a)不同)(以下稱為“(e)”。)的構(gòu)成單元中的至少一種構(gòu)成單元的樹脂，更優(yōu)選為包含來自(d)的構(gòu)成單元和來自(e)的構(gòu)成單元的樹脂，進(jìn)一步優(yōu)選為包含來自(d)的構(gòu)成單元、來自(e)的構(gòu)成單元和來自(b)的構(gòu)成單元的樹脂。作為(e)，可列舉在(c)中的不飽和羧酸和不飽和羧酸酐中例示出的化合物。通過使樹脂(B)包含來自(a)和/或(e)的構(gòu)成單元，由此顯影性優(yōu)異，因此具有抑制殘?jiān)@影所致的不均的傾向。通過使樹脂(B)含有來自(b)的構(gòu)成單元，由此具有耐溶劑性優(yōu)異的傾向。樹脂(B)可以含有其他構(gòu)成單元。作為導(dǎo)出其他構(gòu)成單元的單體(以下稱為“(c’)”。)，例如可舉出所述(c)所示的化合物中不飽和羧酸和不飽和羧酸酐以外的化合物。樹脂(B)為(a)和/或(e)與(d)的聚合物的情況下，來自各單體的構(gòu)成單元的比率相對(duì)于構(gòu)成樹脂(B)的構(gòu)成單元的合計(jì)摩爾數(shù)優(yōu)選在以下的范圍。來自(a)和/或(e)的構(gòu)成單元；5～40質(zhì)量％(更優(yōu)選10～30質(zhì)量％)來自(d)的構(gòu)成單元；60～95質(zhì)量％(更優(yōu)選70～90質(zhì)量％)樹脂(B)為(a)和/或(e)與(b)與(d)的聚合物的情況下，來自各單體的構(gòu)成單元的比率相對(duì)于構(gòu)成樹脂(B)的構(gòu)成單元的合計(jì)摩爾數(shù)優(yōu)選在以下的范圍。來自(a)和/或(e)的構(gòu)成單元；5～40質(zhì)量％(更優(yōu)選10～30質(zhì)量％)來自(b)的構(gòu)成單元；5～80質(zhì)量％(更優(yōu)選10～70質(zhì)量％)來自(d)的構(gòu)成單元；10～80質(zhì)量％(更優(yōu)選20～70質(zhì)量％)樹脂(B)為(a)和/或(e)與(b)與(c’)與(d)的聚合物的情況下，來自各單體的構(gòu)成單元的比率相對(duì)于構(gòu)成樹脂(B)的構(gòu)成單元的合計(jì)摩爾數(shù)優(yōu)選在以下的范圍。來自(a)和/或(e)的構(gòu)成單元；5～40質(zhì)量％(更優(yōu)選10～30質(zhì)量％)來自(b)的構(gòu)成單元；5～70質(zhì)量％(更優(yōu)選10～60質(zhì)量％)來自(c’)的構(gòu)成單元；10～50質(zhì)量％(更優(yōu)選20～40質(zhì)量％)來自(d)的構(gòu)成單元；10～80質(zhì)量％(更優(yōu)選20～70質(zhì)量％)當(dāng)各構(gòu)成單元的比率在上述范圍時(shí)，疏液性、顯影性優(yōu)異。由于涂布性優(yōu)異、顯影時(shí)不易產(chǎn)生曝光部的膜減少，并且非曝光部易于通過顯影除去，因此樹脂(B)的聚苯乙烯換算的重均分子量?jī)?yōu)選為3,000～20,000，更優(yōu)選5,000～15,000。樹脂(B)的酸值通常為20～200mgKOH/g，優(yōu)選40～150mgKOH/g。由于圖案形成時(shí)顯影性優(yōu)異、并且所得到的圖案的疏液性優(yōu)異，因此樹脂(B)的含量相對(duì)于樹脂(A)、樹脂(X)和聚合性化合物(C)的合計(jì)量100質(zhì)量份優(yōu)選為0.001～10質(zhì)量份，更優(yōu)選0.01～5質(zhì)量份。作為樹脂(X)，例如可舉出：樹脂(X1-1)：將(e)與(b)聚合而成的聚合物，樹脂(X1-2)：將(e)與(b)與(c’)聚合而成的聚合物，樹脂(X1-3)：將(e)與(c’)聚合而成的聚合物，樹脂(X1-4)：使(b)與將(e)和(c’)聚合而成的聚合物反應(yīng)而得的樹脂，樹脂(X1-5)：使(a)和/或(e)與將(b)與(c’)聚合而成的聚合物反應(yīng)而得的樹脂。樹脂(X1-1)中，來自各單體的構(gòu)成單元的比率相對(duì)于構(gòu)成樹脂(X1-1)的全部構(gòu)成單元的合計(jì)摩爾數(shù)優(yōu)選在以下的范圍。來自(e)的構(gòu)成單元；5～60摩爾％(更優(yōu)選10～50摩爾％)來自(b)的構(gòu)成單元；40～95摩爾％(更優(yōu)選50～90摩爾％)若樹脂(X1-1)的構(gòu)成單元的比率在所述范圍，則感光性樹脂組合物的保存穩(wěn)定性、由感光性樹脂組合物形成圖案時(shí)的顯影性、以及所得到的涂膜和圖案的耐溶劑性變得良好。樹脂(X1-2)中，來自各單體的構(gòu)成單元的比率相對(duì)于構(gòu)成樹脂(X1-2)的全部構(gòu)成單元的合計(jì)摩爾數(shù)優(yōu)選在以下的范圍。來自(e)的構(gòu)成單元；2～45摩爾％(更優(yōu)選5～40摩爾％)來自(b)的構(gòu)成單元；2～95摩爾％(更優(yōu)選5～80摩爾％)來自(c’)的構(gòu)成單元；1～65摩爾％(更優(yōu)選5～60摩爾％)若樹脂(X1-2)的構(gòu)成單元的比率在所述范圍，則感光性樹脂組合物的保存穩(wěn)定性、由感光性樹脂組合物形成圖案時(shí)的顯影性、以及所得到的涂膜和圖案的耐溶劑性變得良好。樹脂(X1-3)中，來自各單體的構(gòu)成單元的比率相對(duì)于構(gòu)成樹脂(X1-3)的全部構(gòu)成單元的合計(jì)摩爾數(shù)優(yōu)選在以下的范圍。來自(e)的構(gòu)成單元；2～40摩爾％(更優(yōu)選5～35摩爾％)來自(c’)的構(gòu)成單元；60～98摩爾％(更優(yōu)選65～95摩爾％)若樹脂(X1-1)的構(gòu)成單元的比率在所述范圍，則感光性樹脂組合物的保存穩(wěn)定性、由感光性樹脂組合物形成圖案時(shí)的顯影性、以及所得到的涂膜和圖案的耐溶劑性變得良好。樹脂(X1-4)例如可以經(jīng)過二階段的工序來制造。此時(shí)，也可以通過參考在上述的文獻(xiàn)″高分子合成之實(shí)驗(yàn)法″(大津隆行著發(fā)行所(株)化學(xué)同人第一版第一次印刷1972年3月1日發(fā)行)中記載的方法、日本特開2001-89533號(hào)公報(bào)中記載的方法等來制造樹脂(X1-4)。作為第一段階，與上述的樹脂(A-1)的制造方法同樣地得到(e)與(c’)的聚合物。此時(shí)，與上述同樣地，所得到的聚合物可以直接使用反應(yīng)后的溶液，也可以使用濃縮或者稀釋后的溶液，還可以使用通過再沉淀等方法以固體(粉體)的形式取出的物質(zhì)。另外，優(yōu)選設(shè)為與上述同樣的聚苯乙烯換算的重均分子量和分子量分布。其中，來自(e)和(c’)的構(gòu)成單元的比率相對(duì)于構(gòu)成所述聚合物的全部構(gòu)成單元的合計(jì)摩爾數(shù)優(yōu)選在以下的范圍。來自(e)的構(gòu)成單元；5～50摩爾％(更優(yōu)選10～45摩爾％)來自(c’)的構(gòu)成單元；50～95摩爾％(更優(yōu)選55～90摩爾％)作為第二階段，使來自所得到的聚合物的(e)的不飽和羧酸及/或不飽和羧酸酐的一部分與所述(b)的環(huán)狀醚反應(yīng)。由于環(huán)狀醚的反應(yīng)性高，難以殘留未反應(yīng)的(b)，因此作為在樹脂(X1-2)中使用的(b)優(yōu)選(b1)或(b2)，更優(yōu)選(b1-1)。具體地，接著上面，將燒瓶?jī)?nèi)氣氛從氮置換為空氣，在燒瓶?jī)?nèi)放入相對(duì)于(e)的摩爾數(shù)為5～80摩爾％的(b)、相對(duì)于(e)、(b)和(c’)的合計(jì)量為0.001～5質(zhì)量％的羧基與環(huán)狀醚的反應(yīng)催化劑(例如三(二甲基氨基甲基)苯酚等)、和相對(duì)于(a)、(b)和(c)的合計(jì)量為0.001～5質(zhì)量％的阻聚劑(例如氫醌等)，在60～130℃反應(yīng)1～10小時(shí)，從而可以得到樹脂(X1-4)。需要說明的是，可以與聚合條件同樣地考慮制造設(shè)備、聚合所致的發(fā)熱量等來適宜調(diào)整加料方法和反應(yīng)溫度。此時(shí)，由于感光性樹脂組合物的保存穩(wěn)定性、由感光性樹脂組合物形成圖案時(shí)的顯影性、以及所得到的涂膜和圖案的耐溶劑性、耐熱性、機(jī)械強(qiáng)度和靈敏度的平衡變得良好，(b)的摩爾數(shù)相對(duì)于(e)的摩爾數(shù)優(yōu)選為10～75摩爾％，更優(yōu)選15～70摩爾％。對(duì)于樹脂(X1-5)而言，作為第一階段，與所述的樹脂(A-1)的制造方法同樣地得到(b)與(c’)的聚合物。此時(shí)，與上述同樣地，所得到的聚合物可以直接使用反應(yīng)后的溶液，也可以使用濃縮或者稀釋后的溶液，還可以使用通過再沉淀等方法以固體(粉體)的形式取出的物質(zhì)。來自(b)和(c’)的構(gòu)成單元的比率相對(duì)于構(gòu)成所述聚合物的全部構(gòu)成單元的合計(jì)摩爾數(shù)優(yōu)選在以下的范圍。來自(b)的構(gòu)成單元；5～95摩爾％(更優(yōu)選10～90摩爾％)來自(c’)的構(gòu)成單元；5～95摩爾％(更優(yōu)選10～90摩爾％)另外，與樹脂(X1-4)的制造方法同樣地，使(a)和/或(e)所具有的羧酸或羧酸酐與(b)和(c’)的聚合物中來自(b)的環(huán)狀醚反應(yīng)，由此可以得到樹脂(X1-5)。也可以使通過環(huán)狀醚與羧酸或羧酸酐的反應(yīng)而產(chǎn)生的羥基進(jìn)一步與羧酸酐反應(yīng)。與所述聚合物反應(yīng)的(a)和/或(e)的使用量相對(duì)于(b)的摩爾數(shù)優(yōu)選為5～80摩爾％。由于環(huán)狀醚的反應(yīng)性高、未反應(yīng)的(b)不易殘留，因此作為(b)，優(yōu)選(b1)，更優(yōu)選(b1-1)。由于涂布性優(yōu)異、顯影時(shí)不易產(chǎn)生曝光部的膜減少，并且非曝光部易于通過顯影除去，因此樹脂(X)的聚苯乙烯換算的重均分子量?jī)?yōu)選為3,000～100,000，更優(yōu)選5,000～50,000。由于顯影性優(yōu)異，因此樹脂(X)的分子量分布[重均分子量(Mw)/數(shù)均分子量(Mn)]優(yōu)選為1.1～6.0，更優(yōu)選1.2～4.0。樹脂(X)的酸值通常為20～150mgKOH/g，優(yōu)選40～135mgKOH/g，更優(yōu)選50～135mgKOH/g。含有樹脂(X)時(shí)，其含量相對(duì)于樹脂(A)和樹脂(X)的合計(jì)量，優(yōu)選為1～80質(zhì)量％，更優(yōu)選1～50質(zhì)量％。這是因?yàn)槟軌蛞愿哽`敏度形成圖案，并且顯影性優(yōu)異。聚合性化合物(C)例如是通過由聚合引發(fā)劑(D)產(chǎn)生的活性自由基而能夠聚合的化合物，優(yōu)選為具有烯屬不飽和鍵的化合物，更優(yōu)選為(甲基)丙烯酸酯。作為具有1個(gè)烯屬不飽和鍵的聚合性化合物(C)，可舉出例如與作為所述(a)、(b)和(c)列舉的化合物同樣的化合物，優(yōu)選為(甲基)丙烯酸酯。作為具有2個(gè)烯屬不飽和鍵的聚合性化合物(C)，例如可舉出：1，3-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，3-丁二醇(甲基)丙烯酸酯、1，6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二甘醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、雙酚A的雙(丙烯酰氧基乙基)醚、乙氧基化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、3-甲基戊二醇二(甲基)丙烯酸酯。作為具有3個(gè)以上烯屬不飽和鍵的聚合性化合物(C)，例如可舉出：三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、三(2-羥基乙基)異氰脲酸酯三(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯與酸酐的反應(yīng)物、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯與酸酐的反應(yīng)物、三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯與酸酐的反應(yīng)物、己內(nèi)酯改性三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性三(2-羥基乙基)異氰脲酸酯三(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性三季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性三季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性三季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性三季戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯與酸酐的反應(yīng)物、己內(nèi)酯改性二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯與酸酐的反應(yīng)物、己內(nèi)酯改性三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯與酸酐的反應(yīng)物，優(yōu)選具有3個(gè)以上烯屬不飽和鍵的聚合性化合物(C)，更優(yōu)選二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯。聚合性化合物(C)的含量相對(duì)于樹脂(A)、樹脂(X)和聚合性化合物(C)的合計(jì)量?jī)?yōu)選為20～55質(zhì)量％，更優(yōu)選30～45質(zhì)量％。這是因?yàn)殪`敏度、所得到的圖案的強(qiáng)度、平滑性、可靠性變得良好。作為聚合引發(fā)劑(D)，為能夠通過光或熱的作用引發(fā)聚合的化合物即可，可以使用公知的聚合引發(fā)劑。作為聚合引發(fā)劑(D)，例如可舉出：烷基苯酮、聯(lián)咪唑、三嗪、酰基膦氧化物和O-酰肟。作為聚合引發(fā)劑(D)，也可以使用日本特開2008-181087號(hào)公報(bào)中記載的光和/或熱陽離子聚合引發(fā)劑(例如，由鎓陽離子和來自路易斯酸的陰離子構(gòu)成的化合物)。由于會(huì)使感光性樹脂組合物成為高靈敏度，因此聚合引發(fā)劑(D)優(yōu)選為選自聯(lián)咪唑化合物、烷基苯酮化合物和O-酰肟化合物中的至少1種，更優(yōu)選為烷基苯酮化合物。O-酰肟化合物為具有式(d1)所示的局部結(jié)構(gòu)的化合物?！净?】(式中，＊表示鍵合端。以下同樣。)作為O-酰肟化合物，例如可舉出：N-苯甲酰氧基-1-(4-苯硫基苯基)丁烷-1-酮-2-亞胺、N-苯甲酰氧基-1-(4-苯硫基苯基)辛烷-1-酮-2-亞胺、N-苯甲酰氧基-1-(4-苯硫基苯基)-3-環(huán)戊基丙烷-1-酮-2-亞胺、N-乙酰氧基-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]乙烷-1-亞胺、N-乙酰氧基-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(3，3-二甲基-2，4-二氧雜環(huán)戊基甲基氧基)苯甲?；鶀-9H-咔唑-3-基]乙烷-1-亞胺、N-乙酰氧基-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲?；?-9H-咔唑-3-基]-3-環(huán)戊基丙烷-1-亞胺、N-苯甲酰氧基-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲?；?-9H-咔唑-3-基]-3-環(huán)戊基丙烷-1-酮-2-亞胺。作為O-酰肟化合物，可以使用irgacure(注冊(cè)商標(biāo))OXE01、OXE02(以上，BASF公司制)、N-1919(ADEKA公司制)等市售品。烷基苯酮化合物例如為具有式(d2)或式(d3)所示的局部結(jié)構(gòu)的化合物，優(yōu)選具有式(d2)所示的局部結(jié)構(gòu)的化合物。這些局部結(jié)構(gòu)中，苯環(huán)可以具有取代基?！净?】作為具有式(d2)所示的局部結(jié)構(gòu)的化合物，可列舉例如：2-甲基-2-嗎啉代-1-(4-甲硫基苯基)丙烷-1-酮、2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代苯基)-2-芐基丁烷-1-酮、2-(二甲基氨基)-2-[(4-甲基苯基)甲基]-1-[4-(4-嗎啉基)苯基]丁烷-1-酮。作為所述化合物，可使用Irgacure(注冊(cè)商標(biāo))369、907、379(以上為BASF公司制)等市售品。作為具有式(d3)所示的局部結(jié)構(gòu)的化合物，可列舉例如：2-羥基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、2-羥基-2-甲基-1-〔4-(2-羥基乙氧基)苯基〕丙烷-1-酮、1-羥基環(huán)己基苯基酮、2-羥基-2-甲基-1-(4-異丙烯基苯基)丙烷-1-酮的低聚物、α，α-二乙氧基苯乙酮、苯偶酰二甲基縮酮。作為聯(lián)咪唑化合物，可舉出：2，2’-雙(2-氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基聯(lián)咪唑、2，2’-雙(2，3-二氯苯基)-4，4’5，5’-四苯基聯(lián)咪唑(例如，參照日本特開平6-75372號(hào)公報(bào)、日本特開平6-75373號(hào)公報(bào)等。)、2，2’-雙(2-氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基聯(lián)咪唑、2，2’-雙(2-氯苯基)-4，4’，5，5’-四(烷氧基苯基)聯(lián)咪唑、2，2’-雙(2-氯苯基)-4，4’，5，5’-四(二烷氧基苯基)聯(lián)咪唑、2，2’-雙(2-氯苯基)-4，4’，5，5’-四(三烷氧基苯基)聯(lián)咪唑(例如，參照日本特公昭48-38403號(hào)公報(bào)、日本特開昭62-174204號(hào)公報(bào)等。)、4，4’，5，5’-位的苯基被羰基烷氧基取代了的咪唑化合物(例如，參照日本特開平7-10913號(hào)公報(bào)等。)，優(yōu)選為2，2′-雙(2-氯苯基)-4，4′，5，5′-四苯基聯(lián)咪唑、2，2′-雙(2，3-二氯苯基)-4，4′，5，5′-四苯基聯(lián)咪唑、2，2′-雙(2，4-二氯苯基)-4，4′，5，5′-四苯基聯(lián)咪唑。作為三嗪化合物，例如可舉出：2，4-雙(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯基)-1，3，5-三嗪、2，4-雙(三氯甲基)-6-(4-甲氧基萘基)-1，3，5-三嗪、2，4-雙(三氯甲基)-6-胡椒基-1，3，5-三嗪，2，4-雙(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯乙烯基)-1，3，5-三嗪、2，4-雙(三氯甲基)-6-〔2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基〕-1，3，5-三嗪、2，4-雙(三氯甲基)-6-〔2-(呋喃-2-基)乙烯基〕-1，3，5-三嗪、2，4-雙(三氯甲基)-6-〔2-(4-二乙基氨基-2-甲基苯基)乙烯基〕-1，3，5-三嗪、2，4-雙(三氯甲基)-6-〔2-(3，4-二甲氧基苯基)乙烯基〕-1，3，5-三嗪。作為?；⒀趸锘衔?，可舉出例如2，4，6-三甲基苯甲?；交⒀趸?。另外，作為聚合引發(fā)劑(D)，可舉出例如：苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻異丙醚、苯偶姻異丁醚等苯偶姻系化合物；二苯甲酮、鄰苯甲酰基苯甲酸甲酯、4-苯基二苯甲酮、4-苯甲?；?4’-甲基二苯基硫化物、3，3’，4，4’-四(叔丁基過氧羰基)二苯甲酮、2，4，6-三甲基二苯甲酮等二苯甲酮系化合物；9，10-菲醌、2-乙基蒽醌、樟腦醌等醌系化合物；10-丁基-2-氯吖啶、苯偶酰、苯基乙醛酸甲酯、二茂鈦化合物等。作為具有能夠引起鏈轉(zhuǎn)移的基團(tuán)的聚合引發(fā)劑，例如可舉出日本特表2002-544205號(hào)公報(bào)中記載的聚合引發(fā)劑。具有能夠引起鏈轉(zhuǎn)移的基團(tuán)的聚合引發(fā)劑，也可以作為構(gòu)成樹脂(A)的成分(c)使用。聚合引發(fā)劑(D)優(yōu)選與聚合引發(fā)助劑(D1)組合使用。聚合引發(fā)助劑(D1)是用于促進(jìn)由聚合引發(fā)劑引發(fā)聚合后的聚合性化合物的聚合的化合物、或者敏化劑。作為聚合引發(fā)助劑(D1)，例如可舉出噻噸酮、胺、羧酸。另外，作為聚合引發(fā)助劑(D1)，例如可舉出日本特開2008-65319號(hào)公報(bào)和日本特開2009-139932號(hào)公報(bào)中記載的化合物。作為噻噸酮，例如可舉出：2-異丙基噻噸酮、4-異丙基噻噸酮、2，4-二乙基噻噸酮、2，4-二氯噻噸酮、1-氯-4-丙氧基噻噸酮。作為胺，例如可舉出：三乙醇胺、甲基二乙醇胺、三異丙醇胺等脂肪族胺化合物；4-二甲基氨基苯甲酸甲酯、4-二甲基氨基苯甲酸乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸異戊酯、4-二甲基氨基苯甲酸2-乙基己酯、苯甲酸2-二甲基氨基乙酯、N，N-二甲基對(duì)甲苯胺、4，4’-雙(二甲基氨基)二苯甲酮(通稱；米蚩酮)、4，4’-雙(二乙基氨基)二苯甲酮等芳香族胺化合物。作為羧酸化合物，例如可舉出：苯基巰基乙酸、甲基苯基巰基乙酸、乙基苯基巰基乙酸、甲基乙基苯基巰基乙酸、二甲基苯基巰基乙酸、甲氧基苯基巰基乙酸、二甲氧基苯基巰基乙酸、氯苯基巰基乙酸、二氯苯基巰基乙酸、N-苯基甘氨酸、苯氧基乙酸、萘基硫基乙酸、N-萘基甘氨酸、萘氧基乙酸等芳香族雜乙酸。作為聚合引發(fā)劑(D)與聚合引發(fā)助劑(D1)的組合，例如可舉出烷基苯酮與噻噸酮化合物的組合、烷基苯酮與芳香族胺的組合，具體地例如可舉出：2-甲基-2-嗎啉基-1-(4-甲基硫基苯基)丙烷-1-酮與2，4-二乙基噻噸酮、2-二甲基氨基-2-芐基-1-(4-嗎啉基苯基)丁烷-1-酮與2，4-二乙基噻噸酮、2-二甲基氨基-2-(4-甲基芐基)-1-(4-嗎啉代苯基)丁烷-1-酮與2，4-二乙基噻噸酮、2-嗎啉代-1-(4-甲基硫基苯基)-2-甲基丙烷-1-酮與2-異丙基噻噸酮與4-異丙基噻噸酮、2-嗎啉基-1-(4-甲基硫基苯基)-2-甲基丙烷-1-酮與4，4’-雙(二乙基氨基)二苯甲酮、2-二甲基氨基-2-芐基-1-(4-嗎啉代苯基)丁烷-1-酮與4，4’-雙(二乙基氨基)二苯甲酮、2-二甲基氨基-2-(4-甲基芐基)-1-(4-嗎啉代苯基)丁烷-1-酮與4，4’-雙(二乙基氨基)二苯甲酮。由于可得到靈敏度高且可見光透射率高的圖案，因此所述組合優(yōu)選為烷基苯酮與噻噸酮，更優(yōu)選為2-甲基-2-嗎啉代-1-(4-甲基硫基苯基)丙烷-1-酮與2，4-二乙基噻噸酮、2-甲基-2-嗎啉代-1-(4-甲基硫基苯基)丙烷-1-酮與2-異丙基噻噸酮與4-異丙基噻噸酮。由于能夠以高靈敏度得到圖案，因此聚合引發(fā)劑(D)的含量相對(duì)于樹脂(A)、樹脂(X)和聚合性化合物(C)的合計(jì)量100質(zhì)量份，優(yōu)選為0.5～30質(zhì)量份，更優(yōu)選1～20質(zhì)量份，進(jìn)一步優(yōu)選1～10質(zhì)量份。由于能夠以高靈敏度得到形狀良好的圖案，因此聚合引發(fā)助劑(D1)的含量相對(duì)于樹脂(A)、樹脂(X)和聚合性化合物(C)的合計(jì)量100質(zhì)量份，優(yōu)選為0.1～10顧量份，更優(yōu)選0.3～7質(zhì)量份。作為1個(gè)分子中含有2個(gè)以上環(huán)氧乙基的含硅化合物(E)，例如可舉出：x-12-981s、x-12-984s、x-12-984(x-12-984s的乙醇溶液)、KR-516、KR-517、x-41-1059A、x-41-1053、x-24-9590(以上為信越硅酮(株)公司制)。1個(gè)分子中含有2個(gè)以上環(huán)氧乙基的含硅化合物(E)中，優(yōu)選1個(gè)分子中含有2個(gè)以上的環(huán)氧乙基和1個(gè)以上的三烷氧基甲硅烷基(例如，三乙氧基甲硅烷基、三甲氧基甲硅烷基)的含硅化合物，更優(yōu)選1個(gè)分子中含有2個(gè)以上的環(huán)氧乙基和1個(gè)以上的三烷氧基甲硅烷基的作為有機(jī)高分子的含硅化合物(例如，x-12-981s、x-12-984s、x-12-984)。該有機(jī)高分子優(yōu)選是主鏈為有機(jī)結(jié)構(gòu)(有機(jī)鏈)的有機(jī)高分子。需要說明的是，三烷氧基甲硅烷基所包含的烷氧基的碳數(shù)優(yōu)選為1～6，更優(yōu)選1～4，進(jìn)一步優(yōu)選1或2。1個(gè)分子中含有2個(gè)以上的環(huán)氧乙基的含硅化合物(E)的含量相對(duì)于樹脂(A)和聚合性化合物(C)的合計(jì)量100質(zhì)量份，優(yōu)選為0.01～10質(zhì)量份，更優(yōu)選0.05～7質(zhì)量份，進(jìn)一步優(yōu)選0.05～3質(zhì)量份，更進(jìn)一步優(yōu)選0.05～1質(zhì)量份。作為溶劑(F)，可列舉例如：酯溶劑(在分子內(nèi)含有-COO-，不含-O-的溶劑)、醚溶劑(在分子內(nèi)含有-O-，不含-COO-的溶劑)、醚酯溶劑(在分子內(nèi)含有-COO-和-O-的溶劑)、酮溶劑(在分子內(nèi)含有-CO-，不含-COO-的溶劑)、醇溶劑、芳香族烴溶劑、酰胺溶劑、二甲基亞砜。作為酯溶劑，例如可舉出：乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯、2-羥基異丁酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、甲酸戊酯、乙酸異戊酯、丙酸丁酯、丁酸異丙酯、丁酸乙酯、丁酸丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、乙酸環(huán)己醇酯、γ-丁內(nèi)酯。作為醚溶劑，例如可舉出：乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙基醚、乙二醇單丙基醚、乙二醇單丁基醚、二甘醇單甲基醚、二甘醇單乙基醚、二甘醇單丁基醚、丙二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚、丙二醇單丙基醚、丙二醇單丁基醚、3-甲氧基-1-丁醇、3-甲氧基-3-甲基丁醇、四氫呋喃、四氫吡喃、1，4-二噁烷、二甘醇二甲基醚、二甘醇二乙基醚、二甘醇甲基乙基醚、二甘醇二丙基醚、二甘醇二丁基醚、苯甲醚、苯乙醚、甲基苯甲醚。作為醚酯溶劑，例如可舉出：甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、丙二醇單甲基醚乙酸酯、丙二醇單乙基醚乙酸酯、丙二醇單丙基醚乙酸酯、乙二醇單甲基醚乙酸酯、乙二醇單乙基醚乙酸酯、二甘醇單乙基醚乙酸酯、二甘醇單丁基醚乙酸酯。作為酮溶劑，可舉出例如：4-羥基-4-甲基-2-戊酮、丙酮、2-丁酮、2-庚酮、3-庚酮、4-庚酮、4-甲基-2-戊酮、環(huán)戊酮、環(huán)己酮、異佛爾酮。作為醇溶劑，可舉出例如：甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、己醇、環(huán)己醇、乙二醇、丙二醇、甘油。作為芳香族烴溶劑，可列舉例如：苯、甲苯、二甲苯、均三甲苯。作為酰胺溶劑，可列舉例如：N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮等。關(guān)于溶劑(F)，由于能夠抑制涂布時(shí)的不均、使涂膜的平坦性良好，因此優(yōu)選在1atm下的沸點(diǎn)為120℃以上且180℃以下的有機(jī)溶劑，更優(yōu)選丙二醇單甲基醚、丙二醇單甲基醚乙酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯、二甘醇甲基乙基醚、3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲氧基-1-丁醇。由于涂布感光性樹脂組合物而成的膜的平坦性高，因此溶劑(F)的含量相對(duì)于感光性樹脂組合物的總量，優(yōu)選為60～95質(zhì)量％，更優(yōu)選70～90質(zhì)量％。多官能硫醇化合物(T)是指分子內(nèi)具有2個(gè)以上的巰基(-SH)的化合物。作為多官能硫醇化合物(T)，若使用具有與來自脂肪族烴基的碳原子鍵合的2個(gè)以上巰基的化合物，則感光性樹脂組合物的靈敏度變高。作為多官能硫醇化合物(T)，例如可舉出：己二硫醇、癸二硫醇、1，4-雙(甲基巰基)苯、丁二醇雙(3-巰基丙酸酯)、丁二醇雙(3-巰基乙酸酯)、乙二醇雙(3-巰基乙酸酯)、三羥甲基丙烷三(3-巰基乙酸酯)、丁二醇雙(3-巰基丙酸酯)、三羥甲基丙烷三(3-巰基丙酸酯)、三羥甲基丙烷三(3-巰基乙酸酯)、季戊四醇四(3-巰基丙酸酯)、季戊四醇四(3-巰基乙酸酯)、三羥基乙基三(3-巰基丙酸酯)、季戊四醇四(3-巰基丁酸酯)、1，4-雙(3-巰基丁基氧基)丁烷。由于感光性樹脂組合物的靈敏度變高、并且顯影性變得良好，因此多官能硫醇化合物(T)的含量相對(duì)于聚合引發(fā)劑(D)100質(zhì)量份，優(yōu)選為0.1～10質(zhì)量份，更優(yōu)選0.5～7質(zhì)量份。表面活性劑(G)不同于樹脂(B)，例如可舉出硅酮系表面活性劑、氟系表面活性劑、具有氟原子的硅酮系表面活性劑。作為硅酮系表面活性劑(非氟系)，例如可舉出具有硅氧烷鍵的表面活性劑，具體地可舉出：ToraysiliconeDC3PA、ToraysiliconeSH7PA、ToraysiliconeDC11PA、ToraysiliconeSH21PA、ToraysiliconeSH28PA、ToraysiliconeSH29PA、ToraysiliconeSH30PA、聚醚改性硅油SH8400(商品名：東麗道康寧(株)制)；KP321、KP322、KP323、KP324、KP326、KP340、KP341(信越化學(xué)工業(yè)(株)制)；TSF400、TSF401、TSF410、TSF4300、TSF4440、TSF4445、TSF4446、TSF4452、TSF4460(邁圖高新材料日本合同會(huì)社制)。作為氟系表面活性劑(非硅酮系)，例如可舉出具有氟碳鏈的表面活性劑，具體地可舉出：fluorinert(注冊(cè)商標(biāo))FC430、fluorinertFC431(住友3M(株)制)、megafac(注冊(cè)商標(biāo))F142D、megafacF171、megafacF172、megafacF173、megafacF177、megafacF183、megafacR30(DIC(株)制)、eftop(注冊(cè)商標(biāo))EF301、eftopEF303、eftopEF351、eftopEF352(三菱材料電子化成(株)制)、surflon(注冊(cè)商標(biāo))S381、surflonS382、surflonSC101、surflonSC105(旭硝子(株)制)及E5844(株)大金精細(xì)化工研究所制)。作為具有氟原子的硅酮系表面活性劑，例如可舉出具有硅氧烷鍵和氟碳鏈的表面活性劑，具體地可舉出：megafac(注冊(cè)商標(biāo))R08、megafacBL20、megafacF475、megafacF477、megafacF443(DIC(株)制)，優(yōu)選舉出megafac(注冊(cè)商標(biāo))F475。表面活性劑(G)的含量相對(duì)于感光性樹脂組合物的總量通常為0.001質(zhì)量％以上且0.2質(zhì)量％以下，由于使涂膜的平坦性變得良好，因此優(yōu)選為0.002質(zhì)量％以上且0.1質(zhì)量％以下，更優(yōu)選0.01質(zhì)量％以上且0.05質(zhì)量％以下。本發(fā)明的感光性樹脂組合物可以根據(jù)需要含有填充劑、其他高分子化合物、密合促進(jìn)劑、抗氧化劑、紫外線吸收劑、光穩(wěn)定劑、鏈轉(zhuǎn)移劑等添加劑。本發(fā)明的感光性樹脂組合物實(shí)質(zhì)上不含顏料、染料等著色劑。即，本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，著色劑相對(duì)于組合物整體的含量?jī)?yōu)選小于1質(zhì)量％，更優(yōu)選小于0.5質(zhì)量％。將本發(fā)明的感光性樹脂組合物填充于光程長為1em的石英比色皿內(nèi)，使用分光光度計(jì)在測(cè)定波長400至700nm的條件下測(cè)定透射率時(shí)的平均透射率優(yōu)選為70％以上，更優(yōu)選80％以上。將本發(fā)明的感光性樹脂組合物制成涂膜時(shí)，涂膜的平均透射率優(yōu)選為90％以上，更優(yōu)選95％以上。此平均透射率是使用分光光度計(jì)在測(cè)定波長400至700nm的條件下測(cè)定加熱固化(例如在100～250℃，5分鐘～3小時(shí)的條件下進(jìn)行固化)后的3μm厚度的涂膜時(shí)的平均值。例如能夠在玻璃、金屬、塑料等基板、濾色器、絕緣膜或?qū)щ娔?、形成有?qū)動(dòng)電路等的所述基板上涂布本發(fā)明的感光性樹脂組合物，圖案化為所期望的形狀，來形成圖案。另外，也可以作為顯示裝置等的構(gòu)成部件的一部分形成該圖案來使用。[涂膜、圖案]可以使用本發(fā)明的感光性樹脂組合物來形成涂膜和圖案。在此，對(duì)其方法的一例進(jìn)行說明。首先，將本發(fā)明的感光性樹脂組合物涂布于基板上。涂布可以通過使用旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、狹縫和旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、狹縫涂布機(jī)、噴墨涂布機(jī)、輥涂機(jī)、浸涂機(jī)等涂布裝置。然后，例如將涂布的感光性樹脂組合物干燥或預(yù)烘焙，將溶劑等揮發(fā)成分除去而進(jìn)行干燥，由此可以得到平滑的未固化涂膜。未固化涂膜的厚度通過所使用的材料和用途進(jìn)行調(diào)整即可，通常為1～6μm。然后，在未固化涂膜上隔著用于形成目標(biāo)圖案的光掩模照射光(例如產(chǎn)生自汞燈、發(fā)光二極管的紫外線)由此進(jìn)行曝光。光掩模的形狀和大小只要根據(jù)圖案的用途進(jìn)行選擇即可。曝光中使用的曝光機(jī)將小于350nm的光使用截取此波長域的濾色器進(jìn)行截??；或者將436nm附近、408nm附近、365nm附近的光使用取出這些波長域的帶通濾波器進(jìn)行選擇性地取出，從而可以對(duì)曝光面整體均勻地照射大致平行的光線。若使用光掩模對(duì)準(zhǔn)器(maskaligner)、步進(jìn)器等裝置，則可進(jìn)行掩模與基材的準(zhǔn)確對(duì)位。通過使曝光后的涂膜與顯影液接觸，將規(guī)定部分例如非曝光部(即非圖像部分)溶解進(jìn)行顯影，由此能夠得到目標(biāo)圖案形狀。作為顯影方法，例如可舉出液池法(puddlemethod)、浸漬法、噴涂法。需要說明的是，也可以在顯影時(shí)使基材傾斜成任意的角度。顯影中使用的顯影液優(yōu)選堿性化合物的水溶液。堿性化合物可為無機(jī)堿性化合物及有機(jī)堿性化合物中的任一種。作為無機(jī)堿性化合物，可舉出例如：氫氧化鈉、氫氧化鉀、磷酸氫二鈉、磷酸二氫鈉、磷酸氫二銨、磷酸二氫銨、磷酸二氫鉀、硅酸鈉、硅酸鉀、碳酸鈉、碳酸鉀、碳酸氫鈉、碳酸氫鉀、硼酸鈉、硼酸鉀、氨水。作為有機(jī)堿性化合物，可舉出例如：四甲基氫氧化銨、2-羥基乙基三甲基氫氧化銨、單甲基胺、二甲基胺、三甲基胺、單乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、單異丙基胺、二異丙基胺、乙醇胺。堿性化合物的水溶液中的濃度優(yōu)選為0.01～10質(zhì)量％，更優(yōu)選為0.03～5質(zhì)量％。顯影液可含有表面活性劑。作為表面活性劑，例如可舉出：非離子系表面活性劑、陰離子系表面活性劑或陽離子系表面活性劑。作為非離子系表面活性劑，例如可舉出：聚氧亞乙基烷基醚、聚氧亞乙基芳基醚、聚氧亞乙基烷基芳基醚等聚氧亞乙基衍生物；氧亞乙基/氧亞丙基嵌段共聚物、脫水山梨糖醇脂肪酸酯、聚氧亞乙基脫水山梨糖醇脂肪酸酯、聚氧亞乙基山梨糖醇脂肪酸酯、甘油脂肪酸酯、聚氧亞乙基脂肪酸酯、聚氧亞乙基烷基胺。作為陰離子系表面活性劑，可舉出例如：月桂醇硫酸酯鈉、油醇硫酸酯鈉等高級(jí)醇硫酸酯鹽；月桂基硫酸鈉、月桂基硫酸銨等烷基硫酸鹽；十二烷碳基苯磺酸鈉、十二烷基萘磺酸鈉等烷基芳基磺酸鹽。作為陽離子系表面活性劑，可舉出例如：硬脂胺鹽酸鹽、月桂基三甲基氯化銨等胺鹽或者季銨鹽。顯影液中表面活性劑的濃度優(yōu)選為0.01～10質(zhì)量％，更優(yōu)選0.05～8質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選0.1～5質(zhì)量％。顯影后，對(duì)帶涂膜的基板進(jìn)行水洗，由此可以得到圖案?？筛鶕?jù)需要進(jìn)行后烘焙。后烘焙例如優(yōu)選在150～240℃的溫度進(jìn)行10～180分鐘。需要說明的是，通過上述曝光和顯影，感光性樹脂組合物中含有的成分相互作用，因此本發(fā)明的圖案(以及噴墨用隔壁)中并不會(huì)以原始狀態(tài)含有該成分。在使未固化涂膜曝光時(shí)，不使用形成有圖案的光掩模，而整面地進(jìn)行光照射和/或省略顯影，由此可得到不具有圖案的涂膜。[顯示裝置]作為本發(fā)明的顯示裝置的一例，以下說明有機(jī)EL顯示裝置。圖1為將作為本發(fā)明顯示裝置的一例的顯示裝置1的一部分放大來示意性地顯示的剖面圖。圖2為將作為本發(fā)明顯示裝置的一例的顯示裝置1的一部分放大來示意性地顯示的俯視圖。顯示裝置1主要包括支承基板2、劃分在支承基板2上預(yù)先設(shè)定的區(qū)間的隔壁3和在利用隔壁3劃分的區(qū)間中設(shè)置的多個(gè)有機(jī)EL元件4而構(gòu)成。隔壁3相當(dāng)于本發(fā)明的噴墨用隔壁。隔壁3在支承基板2上形成例如格子狀或條紋狀。需要說明的是，在圖2中，作為一實(shí)施方式顯示設(shè)置有格子狀的隔壁3的顯示裝置1。圖2中，在設(shè)有隔壁3的區(qū)域中繪出了剖面線。在支承基板2上設(shè)定有由隔壁3和支承基板2來限定的多個(gè)凹部5。凹部5相當(dāng)于由隔壁3劃分出的區(qū)間。顯示裝置1中的隔壁3設(shè)成格子狀。因此，從支承基板2的厚度方向Z的一方觀察(以下稱為“俯視時(shí)”。)，多個(gè)凹部5以矩陣狀配置。也就是說，凹部5在行方向X空出規(guī)定的間隔，同時(shí)也在列方向Y空出規(guī)定的間隔地整列設(shè)置。各凹部5的俯視圖中的形狀沒有限定。例如凹部5俯視時(shí)形成為大致矩形狀、大致橢圓狀、橢圓形狀等形狀。本實(shí)施方式中，設(shè)置了俯視時(shí)為大致矩形狀的凹部5。需要說明的是，在本說明書中，上述行方向X及列方向Y是指與支承基板的厚度方向Z垂直、且相互垂直的方向。需要說明的是，作為其它實(shí)施方式，設(shè)置條紋狀的隔壁的情況下，隔壁構(gòu)成為例如在行方向X延伸的多個(gè)隔壁部件在列方向Y上隔開規(guī)定間隔配置。該實(shí)施方式中，通過條紋狀的隔壁和支承基板來規(guī)定條紋狀的凹部。隔壁按照隨著遠(yuǎn)離支承基板而寬度變窄的方式形成。例如，將在列方向Y上延伸的隔壁通過垂直于其延伸方向(列方向Y)的平面切斷時(shí)的剖面形狀按照隨著遠(yuǎn)離支承基板而寬度變窄的方式形成。圖1中顯示等腰梯形形狀的隔壁，將上底和支承基板側(cè)的下底相比，下底比上底寬。需要說明的是，實(shí)際形成的隔壁的剖面不一定為梯形形狀，也有時(shí)梯形形狀的直線部分及角發(fā)圓。隔壁3的頂面優(yōu)選顯示疏液性。需要說明的是，所謂的頂面是指在隔壁3的表面中存在于距離支承基板2的最遠(yuǎn)的位置上的平面。由于隔壁3的頂面顯示疏液性，因此，能夠防止供給至被隔壁3圍成的區(qū)域(凹部5)的墨液沿隔壁3的頂面溢出至鄰近的區(qū)域。有機(jī)EL元件4設(shè)置在由隔壁3劃分的分區(qū)(也就是凹部5)。設(shè)置顯示裝置1中的格子狀的隔壁3時(shí)，各有機(jī)EL元件4分別設(shè)置在各凹部5。即，有機(jī)EL元件4和各凹部5同樣地配置成矩陣狀，在支承基板2上，沿行方向X隔開規(guī)定的間隔，同時(shí)沿列方向Y也隔開規(guī)定的間隔整列設(shè)置。隔壁3的形狀及其配置根據(jù)像素?cái)?shù)、分辨率等顯示裝置的規(guī)格和制造容易度來設(shè)定。例如，隔壁3的行方向X或列方向Y的寬度通常為5μm～50μm。隔壁3的高度通常為0.5μm～5μm。在行方向X或列方向Y上相鄰的隔壁3間的間隔、即凹部5的行方向X或列方向Y的寬度通常為10μm～200μm。第一電極6的行方向X或列方向Y的寬度通常分別為10μm～200μm。隔壁3可以使用本發(fā)明的感光性樹脂組合物通過與上述圖案形成方法相同的方法來形成。需要說明的是，作為其它實(shí)施方式，在設(shè)置條紋狀的隔壁的情況下，有機(jī)EL元件4在沿著行方向X延伸的各凹部中，沿行方向X分別隔開規(guī)定的間隔配置。顯示裝置1中設(shè)置有3種有機(jī)EL元件4。即(1)發(fā)出紅色光的紅色有機(jī)EL元件4R；(2)發(fā)出綠色光的綠色有機(jī)EL元件4G；及(3)發(fā)出藍(lán)色光的藍(lán)色有機(jī)EL元件4B。有機(jī)EL元件4是從支承基板側(cè)依次層疊第一電極、有機(jī)EL層和第二電極而構(gòu)成的。本說明書中，將設(shè)置在第一電極6和第二電極10之間的一個(gè)或多個(gè)層分別稱為有機(jī)EL層。有機(jī)EL元件4具備至少一層的發(fā)光層作為有機(jī)EL層。需要說明的是，有機(jī)EL元件除了1層的發(fā)光層以外，亦可根據(jù)需要而具備不同于發(fā)光層的有機(jī)EL層。例如在第一電極6和第二電極10之間設(shè)置空穴注入層、空穴傳輸層、電子阻擋層、電子傳輸層、電子注入層等作為有機(jī)EL層。此外，可在第一電極6和第二電極10之間設(shè)置2層以上的發(fā)光層。有機(jī)EL元件4具備第一電極6和第二電極10作為由陽極和陰極組成的一對(duì)電極。第一電極6及第二電極10中的一個(gè)電極設(shè)為陽極，另一個(gè)電極設(shè)為陰極。顯示裝置1是將作為陽極發(fā)揮作用的第一電極6、作為空穴注入層發(fā)揮作用的第一有機(jī)EL層7、作為發(fā)光層發(fā)揮作用的第二有機(jī)EL層9、和作為陰極發(fā)揮作用的第二電極10按該順序?qū)盈B在支承基板2上構(gòu)成的。第一電極6設(shè)置在每個(gè)有機(jī)EL元件4上。即，與有機(jī)EL元件4相同數(shù)量的第一電極6設(shè)置在支承基板2上。第一電極6對(duì)應(yīng)于有機(jī)EL元件4的配置而進(jìn)行設(shè)置，與有機(jī)EL元件4同樣地配置為矩陣狀。需要說明的是，隔壁3主要在除了第一電極6以外的區(qū)域以格子狀形成，但進(jìn)一步以覆蓋第一電極6的周緣部的方式形成(參照?qǐng)D1)。相當(dāng)于空穴注入層的第一有機(jī)EL層7在凹部5中分別沒于第一電極6上。第一有機(jī)EL層7根據(jù)需要，隨著每個(gè)有機(jī)EL元件的種類設(shè)有不同的材料或厚度。需要說明的是，也可以以相同的材料、相同的厚度來形成全部第一有機(jī)EL層7。第一有機(jī)EL層7通過如下方法形成：通過噴墨法將包含成為第一有機(jī)EL層7的材料的墨液供給到被隔壁3圍成的區(qū)域(凹部5)，然后對(duì)其進(jìn)行干燥、加熱和/或光照射而使墨液固化。作為發(fā)光層發(fā)揮功能的第二有機(jī)EL層9在凹部5中設(shè)置在第一有機(jī)層7上。如上述般發(fā)光層對(duì)應(yīng)有機(jī)EL元件的種類而設(shè)置。因此，將紅色發(fā)光層9R設(shè)置在設(shè)有紅色有機(jī)EL元件4R的凹部5上，將綠色發(fā)光層9G設(shè)置在設(shè)有綠色有機(jī)EL元件4G的凹部5上，將藍(lán)色發(fā)光層9B設(shè)置在設(shè)有藍(lán)色有機(jī)EL元件4B的凹部5上。第二電極10形成于設(shè)置了有機(jī)EL元件4的顯示區(qū)域的整個(gè)面。即，第二電極10不僅形成于第二有機(jī)EL層9上，還形成于隔壁3上，并且橫跨多個(gè)有機(jī)EL元件而連續(xù)地形成。如上所述，通過用密封層及密封基板覆蓋形成于支承基板2上的多個(gè)有機(jī)EL元件4(未圖示)，可以制造有機(jī)EL顯示裝置。由本發(fā)明的感光性樹脂組合物得到的圖案，作為為了利用噴墨法制造濾色器、液晶顯示元件的ITO電極、有機(jī)EL顯示元件及電路布線基板等而使用的隔壁是有用的。另外，例如作為構(gòu)成濾色器基板和/或陣列基板的一部分的光間隔件、可形成圖案的外涂層、層間絕緣膜、液晶取向控制用突起、微透鏡、用于調(diào)整膜厚的涂層等觸摸屏用部件是有用的。不具有圖案的涂膜作為構(gòu)成濾色器基板和/或陣列基板的一部分的外涂層是有用的。濾色器基板及陣列基板適合用于液晶顯示裝置、有機(jī)EL顯示裝置及電子紙等?！緦?shí)施例】以下，利用實(shí)施例詳細(xì)地說明本發(fā)明。實(shí)施例中，“％”及“份”只要沒有特別記述，為質(zhì)量％及質(zhì)量份。<合成例1>在具備回流冷凝器、滴液漏斗和攪拌器的燒瓶?jī)?nèi)適量流入氮而置換為氮?dú)夥?，邊加入并攪拌丙二醇單甲基醚乙酸?66份、和甲氧基丙醇52份邊加熱至85℃。然后，用4小時(shí)滴加丙烯酸3，4-環(huán)氧三環(huán)[5.2.1.02，6]癸烷-8和9-基酯的混合物233份、對(duì)乙烯基苯甲酸77份、丙二醇單甲基醚乙酸酯125份、甲氧基丙醇115份的混合溶液。另一方面，用5小時(shí)滴加將2，2-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)32份溶解于丙二醇單甲基醚乙酸酯210份而成的混合溶液。滴加結(jié)束后，在相同溫度下保持3小時(shí)后，冷卻至室溫，得到B型粘度(23℃)46mPas、固體成分33.7％、溶液酸值83mgKOH/g的聚合物(樹脂Aa)溶液。樹脂Aa的聚苯乙烯換算的重均分子量Mw為7.7×103，分子量分布為1.90。樹脂Aa具有以下的構(gòu)成單元。【化10】<合成例2>在具備回流冷凝管、氮導(dǎo)入管、溫度計(jì)和攪拌裝置的四頸燒瓶中加入α-氯代丙烯酸3，3，4，4，5，5，6，6，6-九氟己酯78份、甲基丙烯酸19.5份、甲基丙烯酸異冰片酯19.5份、甲基丙烯酸縮水甘油酯13份、十二硫醇12.7份和丙二醇單甲基醚乙酸酯266份，加熱至70℃后，在30分鐘氮?dú)饬飨逻M(jìn)行攪拌。向其中添加偶氮二異丁腈1份，聚合18小時(shí)，得到固體成分33質(zhì)量％、酸值68mgKOH/g(固體成分換算)的聚合物(樹脂Ba)的溶液。樹脂Ba的聚苯乙烯換算的重均分子量Mw為7.5×103，分子量分布為3.50。樹脂Ba具有以下的構(gòu)成單元?！净?1】合成例1和2中得到的樹脂的重均分子量(Mw)和數(shù)均分子量(Mn)的測(cè)定使用凝膠滲透色譜(GPC)法通過以下的條件來進(jìn)行。裝置：K2479((株)島津制作所制)柱：SHIMADZUShim-packGPC-80M柱溫：40℃溶劑：THF(四氫呋喃)流速：1.0mL/分鐘檢測(cè)器：RI實(shí)施例1～6、比較例1～3(感光性樹脂組合物的制備)如表5所示混合各成分，制備感光性樹脂組合物。需要說明的是，表中的“-”表示不含有的含義?！颈?】表5中，各成分的詳細(xì)如下。記載在樹脂(A)和樹脂(B)的欄中的份數(shù)表示固體成分換算的質(zhì)量份。樹脂(A)：樹脂Aa樹脂(B)：樹脂Ba聚合性化合物(C)：三羥甲基丙烷三丙烯酸酯(A-TMPT；新中村化學(xué)工業(yè)(株)制)聚合引發(fā)劑(D)：2-甲基-2-嗎啉代-1-(4-甲基硫基苯基)丙烷-1-酮(IRGACURE(注冊(cè)商標(biāo))907；BASF公司制)聚合引發(fā)助劑(D1)：4，4’-雙(二乙基氨基)二苯甲酮(EAB-F；保土谷化學(xué)工業(yè)(株)制)含硅化合物(E1)：x-12-984s(信越硅酮(信越シリコ一ン)公司制)含硅化合物(E2)：2-(3，4-環(huán)氧環(huán)己基)乙基三甲氧基硅烷(KBM-303，信越硅酮公司制)含硅化合物(E3)：3-環(huán)氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷(KBM-402，信越硅酮公司制)含硅化合物(E4)：N-苯基-3-氨基丙基三甲氧基硅烷(KBM-573，信越硅酮公司制)溶劑(Fa)：丙二醇單甲基醚乙酸酯溶劑(Fb)：3-乙氧基丙酸乙酯溶劑(Fc)：3-甲氧基1-丁醇溶劑(Fd)：3-甲氧基丁基乙酸酯關(guān)于溶劑(F)，以使感光性樹脂組合物的固體成分量成為表5的“固體成分量(％)”的方式進(jìn)行混合，溶劑(Fa)、(Fb)、(Fc)和(Fd)的值表示溶劑(F)中的質(zhì)量比。(組合物的平均透射率)對(duì)于上述所得到的感光性樹脂組合物，分別使用紫外線可見光近紅外線分光光度計(jì)(V-650；日本分光(株)制)(石英比色皿，光程長：1cm)，測(cè)定400～700nm下的平均透射率(％)。結(jié)果示于(表5)。(涂膜的制作)將2英寸見方的玻璃基板(EagleXG；Corning公司制)以中性清潔劑、水及醇依次清洗后，進(jìn)行干燥。在該玻璃基板上，將上述所得到的感光性樹脂組合物分別以使后烘焙后的膜厚成為3.0μm的方式進(jìn)行旋涂，以減壓干燥機(jī)(マイク口テック(株)制)減壓干燥至減壓度成為66kPa后，以熱板在80℃預(yù)烘焙2分鐘，使其干燥。冷卻后，使用曝光機(jī)(TME-150RSK；Topcon(株)制，光源；超高壓汞燈)，在大氣氣氛下，照射曝光量50mJ/cm2(365nm基準(zhǔn))的光。需要說明的是，對(duì)此時(shí)的感光性樹脂組合物的光照射使用超高壓汞燈。光照射后，在含有非離子性表面活性劑0.12％與氫氧化鉀0.04％的水系顯影液中，將上述涂膜在23℃邊浸漬邊搖動(dòng)60秒而進(jìn)行接觸，其后，在烘箱中，在230℃加熱20分鐘(后烘焙)而得到涂膜。(涂膜的平均透射率)對(duì)所得到的涂膜使用顯微分光測(cè)光裝置(OSP-SP200；OLYMPUS公司制)，測(cè)定400～700nm下的平均透射率(％)。透射率變高意味著吸收變小。結(jié)果示于表5。(接觸角)對(duì)所得到的涂膜使用接觸角計(jì)(DGDFast/60；GBX公司制)測(cè)定苯甲醚的接觸角。接觸角越高，意味著疏液性越高。若涂膜的接觸角較高，則使用相同的感光性樹脂組合物所形成的圖案中接觸角也較高。以接觸角高的感光性樹脂組合物形成隔壁，在以該隔壁所包圍的區(qū)域中利用噴墨裝置印上墨液時(shí)，墨液易被彈開(はじきやすい)。因此，例如在利用噴墨法制作濾色器時(shí)，難以產(chǎn)生在相鄰的像素區(qū)域間的墨液的混色。結(jié)果示于表7。(圖案形成)將表面蒸鍍有ITO的2英寸見方的玻璃基板(EagleXG；Corning公司制)以中性清潔劑、水和2-丙醇依次清洗后，進(jìn)行干燥。在該玻璃基板上，將感光性樹脂組合物分別以使后烘焙后的膜厚成為1.0μm的方式進(jìn)行旋涂，以減壓干燥機(jī)(マイク口テック(株)制)減壓干燥至減壓度成為66kPa后，以熱板在90℃預(yù)烘焙2分鐘，使其干燥。冷卻后，將涂布有該感光性樹脂組合物的基板與石英玻璃制光掩模的間隔設(shè)為100μm，使用曝光機(jī)(TME-150RSK；Topcon(株)制，光源：超高壓汞燈)，在大氣氣氛下照射曝光量200mJ/cm2(365nm基準(zhǔn))的光。需要說明的是，光掩模使用在同一平面上形成有圖案(遮光部的形狀為：將長軸方向300μm，短軸方向100μm的長方形的四角切為圓弧狀后的形狀(長圓))的光掩模。光照射后，在將四甲基氫氧化銨水溶液(TOKUYAMA(株)制，トクy一SD25)用純凈水稀釋到濃度為2.38％而制備的顯影液中，將上述涂膜在23℃邊搖動(dòng)邊浸漬60秒而進(jìn)行顯影，水洗后，在烘箱中在230℃進(jìn)行20分鐘后烘焙，得到圖案。(潤濕性)用于實(shí)施隔壁的潤濕性評(píng)價(jià)的溶劑，選擇N，N-二甲基乙酰胺(和光純藥株式會(huì)社制，99.5％以上)、和1，3-二甲基-2-咪唑烷酮(東京化成工業(yè)株式會(huì)社制，99.0％以上)這2種。選定的2種溶劑的粘度低，因此為了能夠進(jìn)行利用噴墨裝置的液體對(duì)隔壁的填充，添加環(huán)己醇(和光純藥株式會(huì)社制，98.0％以上)作為粘度的調(diào)節(jié)材料，以混合溶劑的形式使用。對(duì)于單獨(dú)的溶劑而言，難以用顯微鏡觀察到干燥后的涂布展開，因此使用羅丹明B(東京化成工業(yè)株式會(huì)社制，純度95％以上)作為溶質(zhì)。作為溶液，制作了表6所示的3種溶液。需要說明的是，表中的“-”表示不含有的意思?！颈?】溶液1溶液2溶液3N，N-二甲基乙酰胺50份1，3-二甲基-2-咪唑烷酮50份60份環(huán)己醇50份50份40份羅丹明B1％1％1％在隔壁內(nèi)，使用噴墨裝置(ULVAC公司制，Litlex120L)，在各隔壁內(nèi)對(duì)1000處的隔壁將溶液1～3各填充200pL，干燥后，對(duì)于溶質(zhì)是否擴(kuò)展到隔壁端部，使用顯微鏡(OLIMPUS公司制，MX61L，鏡頭：LCPFLN20xLCD)進(jìn)行30處的觀察。在全部溶液1～3中，在30處全部涂布擴(kuò)展的情況下，設(shè)為潤濕性良好，標(biāo)記為“A”，將其以外設(shè)為潤濕性不良，標(biāo)記為“B”。結(jié)果示于表7。(顯影密合性、保存穩(wěn)定性)對(duì)于實(shí)施例1～3、比較例1～3的感光性樹脂組合物，準(zhǔn)備剛調(diào)合后組合物、和調(diào)合后在23℃、濕度50％、遮光的條件下保存1個(gè)月后的組合物。將2英寸見方的玻璃基板(EagleXG；Corning公司制)以中性清潔劑、水及醇依次清洗，在該玻璃基板上，將上述2種感光性樹脂組合物分別以使后烘焙后的厚度成為1.0μm的方式進(jìn)行旋涂，以減壓干燥機(jī)(マイク口テツク(株)制)減壓干燥至減壓度成為66kPa后，以熱板在90℃預(yù)烘焙2分鐘，使其干燥。冷卻后，將涂布有該感光性樹脂組合物的基板與石英玻璃制光掩模的間隔設(shè)為100μm，使用曝光機(jī)(TME-150RSK；Topcon(株)制，光源：超高壓汞燈)，在大氣氣氛下照射曝光量200mJ/cm2(365nm基準(zhǔn))的光。需要說明的是，光掩模使用在同一平面上形成有圖案(遮光部的形狀為：將長軸方向300μm、短軸方向100μm的長方形的四角切為圓弧狀后的形狀(長圓))的光掩模。光照射后，在將四甲基氫氧化銨水溶液(TOKUYAMA(株)制，トクソ一SD25)用純凈水稀釋到濃度為2.38％而制備的顯影液中，將上述涂膜在23℃邊搖動(dòng)邊浸漬60秒而進(jìn)行顯影，水洗后觀察圖案的殘留情況。在圖案全部殘留的情況下，設(shè)為圖案殘留性良好，標(biāo)記為“A”，在圖案整體、或者一部分產(chǎn)生剝離或缺損的情況下，設(shè)為圖案殘留性不良，標(biāo)記為“B”。結(jié)果示于表7?！颈?】根據(jù)表7，本發(fā)明的感光性樹脂組合物可以在玻璃上穩(wěn)定地形成圖案，并且能夠在保持良好的接觸角的情況下得到潤濕性優(yōu)異的圖案。[符號(hào)說明]1顯示裝置2支承基板3隔壁4有機(jī)EL元件5凹部6第一電極7第一有機(jī)EL層(空穴注入層)9第二有機(jī)EL層(發(fā)光層)10第二電極當(dāng)前第1頁1 2 3