一種掩模板的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種掩模板，用于輔助對形成在玻璃基板上的厚度不同的隔墊物膜層進(jìn)行曝光，以形成隔墊物的圖形，包括掩?；?，掩?；迳显O(shè)置有漸變透光結(jié)構(gòu)，漸變透光結(jié)構(gòu)能使形成在玻璃基板上的隔墊物的高度相同。該掩模板通過設(shè)置漸變透光結(jié)構(gòu)，有效改善了對應(yīng)隔墊物膜層厚度較薄區(qū)域的隔墊物高度偏低的情況，從而提高了玻璃基板上隔墊物高度的均一性，進(jìn)而使該形成有隔墊物的玻璃基板與其他玻璃基板對盒后形成的液晶顯示面板的用于容置液晶的間隙變得均一，不會再出現(xiàn)局部發(fā)黑或者局部氣泡等的不良品質(zhì)問題，改善了液晶顯示面板的品質(zhì)。
【專利說明】一種掩模板
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及液晶顯示器制造【技術(shù)領(lǐng)域】，具體地，涉及一種掩模板。
【背景技術(shù)】
[0002]在液晶顯示器的彩膜基板(Color Filter) /陣列基板(TFT基板)的制造工藝中，隔墊物(Photo Spacer)作為陣列基板(TFT基板)與彩膜基板(CF)之間間隙(Gap)的支撐物，其在由陣列基板和彩膜基板對盒而成的顯示面板面內(nèi)的均一性分布對液晶顯示器的品質(zhì)有著至關(guān)重要的影響。
[0003]隔墊物的制作工藝主要是通過涂布_>曝光_>顯影_>后烘的工藝來完成的，其中在涂布工藝中，首先會在完成其他各膜層制備的玻璃基板上涂布一層用于形成隔墊物的隔墊物膜層2。由于現(xiàn)有的彩膜基板/陣列基板通常在靠近其四周邊緣區(qū)域的膜層設(shè)置較少。例如:彩膜基板在靠近其四周邊緣區(qū)域僅設(shè)置有黑矩陣6，而在其中心區(qū)域除了設(shè)置有黑矩陣6，還設(shè)置有像素層7等其他膜層，這使得彩膜基板靠近四周邊緣區(qū)域的膜厚偏低。因此在隔墊物膜層2涂布完成后，靠近彩膜基板的四周邊緣區(qū)域的膜厚依然偏低。而現(xiàn)有的掩模板8上用于形成隔墊物4的圖形9大小形狀都是一樣的(如圖1所示)。
[0004]上述兩方面原因會直接導(dǎo)致經(jīng)過曝光顯影形成的位于彩膜基板四周邊緣區(qū)域的隔墊物4比位于彩膜基板中心區(qū)域的隔墊物4的高度偏低(如圖2所示)，從而造成顯示面板四周邊緣區(qū)域的間隙與中心區(qū)域的間隙不均一，進(jìn)而導(dǎo)致了如液晶顯示面板四周發(fā)黑或者液晶顯示面板四周邊緣出現(xiàn)氣泡(Bubble)等的不良品質(zhì)問題，嚴(yán)重影響液晶顯示器的顯示質(zhì)量。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述技術(shù)問題，提供一種掩模板。該掩模板能夠有效改善對應(yīng)隔墊物膜層厚度較薄區(qū)域的隔墊物高度偏低的情況，從而提高了玻璃基板上隔墊物高度的均一性，進(jìn)而使該形成有隔墊物的玻璃基板與其他玻璃基板對盒后形成的液晶顯示面板的用于容置液晶的間隙變得均一，不會再出現(xiàn)局部發(fā)黑或者局部氣泡等的不良品質(zhì)問題，改善了液晶顯示面板的品質(zhì)。
[0006]本發(fā)明提供一種掩模板，用于輔助對形成在玻璃基板上的厚度不同的隔墊物膜層進(jìn)行曝光，以形成隔墊物的圖形，包括掩?；?，所述掩?；迳显O(shè)置有漸變透光結(jié)構(gòu)，所述漸變透光結(jié)構(gòu)能使形成在所述玻璃基板上的隔墊物的高度相同。
[0007]優(yōu)選地，所述漸變透光結(jié)構(gòu)包括多個透光面積不同的透光圖形，所述透光圖形用于形成所述隔墊物的圖形；
[0008]所述掩模基板劃分為第一區(qū)域、第二區(qū)域和第三區(qū)域，所述第一區(qū)域?yàn)樗鲅谀；宓乃闹苓吘墔^(qū)域，所述第三區(qū)域?yàn)樗鲅谀；宓闹行膮^(qū)域，所述第二區(qū)域?yàn)樗龅谝粎^(qū)域和所述第三區(qū)域之間的區(qū)域；所述隔墊物膜層的對應(yīng)所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域和所述第三區(qū)域的膜層厚度依次增大；
[0009]分布在所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域和所述第三區(qū)域的所述透光圖形的透光面積依次減小。
[0010]優(yōu)選地，所述隔墊物膜層的對應(yīng)所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域和所述第三區(qū)域的膜層厚度依次線性增大；
[0011]分布在所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域和所述第三區(qū)域的所述透光圖形的透光面積依次線性減小。
[0012]優(yōu)選地，所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域和所述第三區(qū)域內(nèi)均分別分布有多個所述透光圖形；沿從所述第一區(qū)域至所述第三區(qū)域的方向，所述隔墊物膜層的對應(yīng)所述第一區(qū)域的膜層厚度依次線性增大；所述隔墊物膜層的對應(yīng)所述第二區(qū)域的膜層厚度依次線性增大；所述隔墊物膜層的對應(yīng)所述第三區(qū)域的膜層厚度相同；
[0013]分布在所述第一區(qū)域內(nèi)的多個所述透光圖形的透光面積依次線性減?。环植荚谒龅诙^(qū)域內(nèi)的多個所述透光圖形的透光面積依次線性減??；分布在所述第三區(qū)域內(nèi)的多個所述透光圖形的透光面積相同。
[0014]優(yōu)選地，所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域和所述第三區(qū)域內(nèi)均分別分布有多個所述透光圖形；沿從所述第一區(qū)域至所述第三區(qū)域的方向，所述隔墊物膜層的對應(yīng)所述第一區(qū)域的膜層厚度相同；所述隔墊物膜層的對應(yīng)所述第二區(qū)域的膜層厚度相同；所述隔墊物膜層的對應(yīng)所述第三區(qū)域的膜層厚度相同；
[0015]分布在所述第一區(qū)域內(nèi)的多個所述透光圖形的透光面積相同；分布在所述第二區(qū)域內(nèi)的多個所述透光圖形的透光面積相同；分布在所述第三區(qū)域內(nèi)的多個所述透光圖形的透光面積相同。
[0016]優(yōu)選地，所述透光圖形為開設(shè)在所述掩?；逯械耐椎拇怪庇谌牍夥较虻臋M截面的圖形，或者，所述透光圖形為設(shè)置在所述掩?；迳系耐腹饴氏嗤耐腹怏w的垂直于入光方向的橫截面的圖形。
[0017]優(yōu)選地，所述漸變透光結(jié)構(gòu)包括多個透光率不同的透光圖形，所述透光圖形用于形成所述隔墊物的圖形；
[0018]所述掩模基板劃分為第一區(qū)域、第二區(qū)域和第三區(qū)域，所述第一區(qū)域?yàn)樗鲅谀；宓乃闹苓吘墔^(qū)域，所述第三區(qū)域?yàn)樗鲅谀；宓闹行膮^(qū)域，所述第二區(qū)域?yàn)樗龅谝粎^(qū)域和所述第三區(qū)域之間的區(qū)域；所述隔墊物膜層的對應(yīng)所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域和所述第三區(qū)域的膜層厚度依次增大；
[0019]分布在所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域和所述第三區(qū)域的所述透光圖形的透光率依次減小。
[0020]優(yōu)選地，所述隔墊物膜層的對應(yīng)所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域和所述第三區(qū)域的膜層厚度依次線性增大；
[0021]分布在所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域和所述第三區(qū)域的所述透光圖形的透光率依次線性減小。
[0022]優(yōu)選地，所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域和所述第三區(qū)域內(nèi)均分別分布有多個所述透光圖形；沿從所述第一區(qū)域至所述第三區(qū)域的方向，所述隔墊物膜層的對應(yīng)所述第一區(qū)域的膜層厚度依次線性增大；所述隔墊物膜層的對應(yīng)所述第二區(qū)域的膜層厚度依次線性增大；所述隔墊物膜層的對應(yīng)所述第三區(qū)域的膜層厚度相同；
[0023]分布在所述第一區(qū)域內(nèi)的多個所述透光圖形的透光率依次線性減?。环植荚谒龅诙^(qū)域內(nèi)的多個所述透光圖形的透光率依次線性減??；分布在所述第三區(qū)域內(nèi)的多個所述透光圖形的透光率相同。
[0024]優(yōu)選地，所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域和所述第三區(qū)域內(nèi)均分別分布有多個所述透光圖形；沿從所述第一區(qū)域至所述第三區(qū)域的方向，所述隔墊物膜層的對應(yīng)所述第一區(qū)域的膜層厚度相同；所述隔墊物膜層的對應(yīng)所述第二區(qū)域的膜層厚度相同；所述隔墊物膜層的對應(yīng)所述第三區(qū)域的膜層厚度相同；
[0025]分布在所述第一區(qū)域內(nèi)的多個所述透光圖形的透光率相同；分布在所述第二區(qū)域內(nèi)的多個所述透光圖形的透光率相同；分布在所述第三區(qū)域內(nèi)的多個所述透光圖形的透光率相同。
[0026]優(yōu)選地，所述透光圖形為設(shè)置在所述掩?；迳系耐腹怏w的垂直于入光方向的橫截面的圖形。
[0027]優(yōu)選地，所述透光圖形的形狀為圓形、三角形、正五邊形或正六邊形。
[0028]本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明所提供的掩模板，通過設(shè)置漸變透光結(jié)構(gòu)，使形成在玻璃基板上的隔墊物的高度相同，這有效改善了對應(yīng)隔墊物膜層厚度較薄區(qū)域的隔墊物高度偏低的情況，從而提高了玻璃基板上隔墊物高度的均一性，進(jìn)而使該形成有隔墊物的玻璃基板與其他玻璃基板對盒后形成的液晶顯示面板的用于容置液晶的間隙變得均一，不會再出現(xiàn)局部發(fā)黑或者局部氣泡等的不良品質(zhì)問題，改善了液晶顯示面板的品質(zhì)。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0029]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中掩模板的結(jié)構(gòu)俯視圖；
[0030]圖2為利用圖1中的掩模板曝光形成的隔墊物的高度示意圖；
[0031]圖3為本發(fā)明實(shí)施例1中掩模板的結(jié)構(gòu)俯視圖；
[0032]圖4為利用圖3中的掩模板曝光形成的隔墊物的高度示意圖；
[0033]圖5為本發(fā)明實(shí)施例2中掩模板的結(jié)構(gòu)俯視圖；
[0034]圖6為本發(fā)明實(shí)施例3中掩模板的結(jié)構(gòu)俯視圖；
[0035]圖7為本發(fā)明實(shí)施例4中掩模板的結(jié)構(gòu)俯視圖。
[0036]其中的附圖標(biāo)記說明:
[0037]1.玻璃基板；2.隔墊物膜層；3.掩?；澹?1.第一區(qū)域；32.第二區(qū)域；33.第三區(qū)域；4.隔墊物；5.透光圖形；6.黑矩陣；7.像素層；8.掩模板；9.用于形成隔墊物的圖形。
【具體實(shí)施方式】
[0038]為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對本發(fā)明所提供的一種掩模板作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0039]實(shí)施例1:
[0040]本實(shí)施例提供一種掩模板，如圖3和圖4所不,用于輔助對形成在玻璃基板1上的厚度不同的隔墊物膜層2進(jìn)行曝光，以形成隔墊物的圖形，包括掩?；?，掩?；?上設(shè)置有漸變透光結(jié)構(gòu)，漸變透光結(jié)構(gòu)能使形成在玻璃基板1上的隔墊物4的高度相同。
[0041]漸變透光結(jié)構(gòu)的設(shè)置，使形成在玻璃基板1上的隔墊物4的高度相同，這有效改善了對應(yīng)形成在玻璃基板1上隔墊物膜層2厚度較薄區(qū)域的隔墊物4高度偏低的情況，從而提高了玻璃基板1上隔墊物4高度的均一性，進(jìn)而使該形成有隔墊物的玻璃基板1與其他玻璃基板對盒后形成的液晶顯示面板的用于容置液晶的間隙變得均一，不會再出現(xiàn)局部發(fā)黑或者局部氣泡等的不良品質(zhì)問題，改善了液晶顯示面板的品質(zhì)。
[0042]其中，漸變透光結(jié)構(gòu)包括多個透光面積不同的透光圖形5，透光圖形5用于形成隔墊物4的圖形。掩?；?劃分為第一區(qū)域31、第二區(qū)域32和第三區(qū)域33，第一區(qū)域31為掩?；?的四周邊緣區(qū)域，第三區(qū)域33為掩?；?的中心區(qū)域，第二區(qū)域32為第一區(qū)域31和第三區(qū)域33之間的區(qū)域；隔墊物膜層2的對應(yīng)第一區(qū)域31、第二區(qū)域32和第三區(qū)域33的膜層厚度依次增大。分布在第一區(qū)域31、第二區(qū)域32和第三區(qū)域33的透光圖形5的透光面積依次減小。
[0043]由于對應(yīng)隔墊物膜層2厚度較小區(qū)域的透光圖形5的面積較大，所以透過對應(yīng)隔墊物膜層2厚度較小區(qū)域的透光圖形5的曝光光線較多，隔墊物膜層2具有負(fù)性光刻膠的性質(zhì)，經(jīng)過較多曝光光線照射的隔墊物膜層2部分會發(fā)生較大的光化學(xué)反應(yīng)，被曝光區(qū)域經(jīng)過顯影后被保留部分相應(yīng)較多，所以形成的隔墊物4高度增大；同樣道理，對應(yīng)隔墊物膜層2厚度較大區(qū)域的透光圖形5的面積較小，因此透過對應(yīng)隔墊物膜層2厚度較大區(qū)域的透光圖形5的曝光光線較少，隔墊物膜層2具有負(fù)性光刻膠的性質(zhì)，經(jīng)過較少曝光光線照射的隔墊物膜層2部分會發(fā)生較小的光化學(xué)反應(yīng)，被曝光區(qū)域經(jīng)過顯影后被保留部分相應(yīng)較少，因此形成的隔墊物4高度相應(yīng)減??；這樣，最終使得對應(yīng)第一區(qū)域31、第二區(qū)域32和第三區(qū)域33的厚度不同的隔墊物膜層2形成的隔墊物4的高度相同，從而提高了整個玻璃基板1上隔墊物4高度的均一性。
[0044]本實(shí)施例中，隔墊物膜層2的對應(yīng)第一區(qū)域31、第二區(qū)域32和第三區(qū)域33的膜層厚度依次線性增大。分布在第一區(qū)域31、第二區(qū)域32和第三區(qū)域33的透光圖形5的透光面積依次線性減小。如此根據(jù)對應(yīng)第一區(qū)域31、第二區(qū)域32和第三區(qū)域33的隔墊物膜層2的膜層厚度確定分布在各個區(qū)域的透光圖形5的面積大小，能夠很好地控制最終形成的隔墊物4的高度相同，從而提高整個玻璃基板1上隔墊物4高度的均一性。
[0045]本實(shí)施例中，第一區(qū)域31、第二區(qū)域32和第三區(qū)域33內(nèi)均分別分布有多個透光圖形5 ;沿從第一區(qū)域31至第三區(qū)域33的方向，隔墊物膜層2的對應(yīng)第一區(qū)域31的膜層厚度依次線性增大；隔墊物膜層2的對應(yīng)第二區(qū)域32的膜層厚度依次線性增大；隔墊物膜層2的對應(yīng)第三區(qū)域33的膜層厚度相同；分布在第一區(qū)域31內(nèi)的多個透光圖形5的透光面積依次線性減?。环植荚诘诙^(qū)域32內(nèi)的多個透光圖形5的透光面積依次線性減?。环植荚诘谌齾^(qū)域33內(nèi)的多個透光圖形5的透光面積相同。如此設(shè)置，能夠?qū)π纬稍诓ＡЩ?上對應(yīng)各個區(qū)域的多個隔墊物4的高度進(jìn)行精確控制，從而進(jìn)一步提高最終形成的隔墊物4高度的均一性。
[0046]本實(shí)施例中，透光圖形5為開設(shè)在掩?；?中的通孔的垂直于入光方向的橫截面的圖形，該通孔能使曝光光線通過。
[0047]需要說明的是，透光圖形5也可以是設(shè)置在掩模基板3上的透光率相同的透光體的垂直于入光方向的橫截面的圖形，該透光體如透明玻璃或半透明玻璃等。
[0048]另外需要說明的是，本實(shí)施例中的隔墊物膜層只能采用具有負(fù)性光刻膠性質(zhì)的材料才能解決隔墊物膜層2厚度較薄區(qū)域的隔墊物4高度偏低的問題，因?yàn)橹挥薪?jīng)過曝光光線照射的隔墊物膜層2部分經(jīng)過顯影后保留下來才能起到使最終形成的隔墊物4的高度發(fā)生變化的作用。
[0049]本實(shí)施例中，透光圖形5的形狀為圓形、三角形、正五邊形或正六邊形。這使得最終形成的隔墊物4的形狀為圓錐臺狀、三棱錐臺狀、正五棱錐臺狀或正六棱錐臺狀。當(dāng)然，透光圖形5的形狀也不僅僅局限于上述形狀，也可以是其他的形狀，只要確保最終形成的隔墊物4能夠?qū)械膬刹ＡЩ暹M(jìn)行很好的支撐即可。
[0050]實(shí)施例2:
[0051]本實(shí)施例提供一種掩模板，與實(shí)施例1不同的是，如圖5所示，第一區(qū)域31、第二區(qū)域32和第三區(qū)域33內(nèi)均分別分布有多個透光圖形5 ;沿從第一區(qū)域31至第三區(qū)域33的方向，隔墊物膜層的對應(yīng)第一區(qū)域31的膜層厚度相同；隔墊物膜層的對應(yīng)第二區(qū)域32的膜層厚度相同；隔墊物膜層的對應(yīng)第三區(qū)域33的膜層厚度相同；分布在第一區(qū)域31內(nèi)的多個透光圖形5的透光面積相同；分布在第二區(qū)域32內(nèi)的多個透光圖形5的透光面積相同；分布在第三區(qū)域33內(nèi)的多個透光圖形5的透光面積相同。
[0052]本實(shí)施例中掩模板的其他結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1中相同，此處不再贅述。
[0053]按照上述設(shè)置，由對應(yīng)第一區(qū)域31的隔墊物膜層形成的隔墊物的高度相同，由對應(yīng)第二區(qū)域32的隔墊物膜層形成的隔墊物的高度相同，由對應(yīng)第三區(qū)域33的隔墊物膜層形成的隔墊物的高度相同。同時，由于隔墊物膜層的對應(yīng)第一區(qū)域31、第二區(qū)域32和第三區(qū)域33的膜層厚度依次線性增大；分布在第一區(qū)域31、第二區(qū)域32和第三區(qū)域33的透光圖形5的透光面積依次線性減小，所以最終形成在整個玻璃基板上的隔墊物的高度相同。
[0054]相比于實(shí)施例1，本實(shí)施例中按照上述設(shè)置的透光圖形5對形成在玻璃基板對應(yīng)各個區(qū)域的多個隔墊物的高度的控制精確度稍低一些，但同樣能控制最終形成的隔墊物的高度相同，從而提高整個玻璃基板上的隔墊物高度的均一性。
[0055]實(shí)施例3:
[0056]本實(shí)施例提供一種掩模板，與實(shí)施例1-2不同的是，如圖6所示，漸變透光結(jié)構(gòu)包括多個透光率不同的透光圖形5，透光圖形5用于形成隔墊物的圖形；掩?；?劃分為第一區(qū)域31、第二區(qū)域32和第三區(qū)域33，第一區(qū)域31為掩?；宓乃闹苓吘墔^(qū)域，第三區(qū)域33為掩模基板的中心區(qū)域，第二區(qū)域32為第一區(qū)域31和第三區(qū)域33之間的區(qū)域；隔墊物膜層的對應(yīng)第一區(qū)域31、第二區(qū)域32和第三區(qū)域33的膜層厚度依次增大；分布在第一區(qū)域31、第二區(qū)域32和第三區(qū)域33的透光圖形5的透光率依次減小。
[0057]透光率指透過透光圖形5的光通量與入射至透光圖形5的光通量的百分比。由于對應(yīng)隔墊物膜層厚度較小區(qū)域的透光圖形5的透光率較大，所以透過對應(yīng)隔墊物膜層厚度較小區(qū)域的透光圖形5的曝光光線的光量較大，隔墊物膜層具有負(fù)性光刻膠的性質(zhì)，經(jīng)過較大光量的曝光光線照射的隔墊物膜層部分會發(fā)生較大的光化學(xué)反應(yīng)，被曝光區(qū)域經(jīng)過顯影后被保留部分相應(yīng)較多，所以形成的隔墊物高度增大；同樣道理，對應(yīng)隔墊物膜層厚度較大區(qū)域的透光圖形5的透過率較小，因此透過對應(yīng)隔墊物膜層厚度較大區(qū)域的透光圖形5的曝光光線的光量較小，隔墊物膜層具有負(fù)性光刻膠的性質(zhì)，經(jīng)過較小光量的曝光光線照射的隔墊物膜層部分會發(fā)生較小的光化學(xué)反應(yīng)，被曝光區(qū)域經(jīng)過顯影后被保留部分相應(yīng)較少，因此形成的隔墊物高度相應(yīng)減?。贿@樣，最終使得對應(yīng)第一區(qū)域31、第二區(qū)域32和第三區(qū)域33的厚度不同的隔墊物膜層形成的隔墊物的高度相同，從而提高了整個玻璃基板上隔墊物高度的均一性。
[0058]本實(shí)施例中，隔墊物膜層的對應(yīng)第一區(qū)域31、第二區(qū)域32和第三區(qū)域33的膜層厚度依次線性增大；分布在第一區(qū)域31、第二區(qū)域32和第三區(qū)域33的透光圖形5的透光率依次線性減小。如此根據(jù)對應(yīng)第一區(qū)域31、第二區(qū)域32和第三區(qū)域33的隔墊物膜層的膜層厚度確定分布在各個區(qū)域的透光圖形5的透光率大小，能夠很好地控制最終形成的隔墊物的高度相同，從而提高整個玻璃基板上隔墊物高度的均一性。
[0059]本實(shí)施例中，第一區(qū)域31、第二區(qū)域32和第三區(qū)域33內(nèi)均分別分布有多個透光圖形5 ;沿從第一區(qū)域31至第三區(qū)域33的方向，隔墊物膜層的對應(yīng)第一區(qū)域31的膜層厚度依次線性增大；隔墊物膜層的對應(yīng)第二區(qū)域32的膜層厚度依次線性增大；隔墊物膜層的對應(yīng)第三區(qū)域33的膜層厚度相同；分布在第一區(qū)域31內(nèi)的多個透光圖形5的透光率依次線性減??；分布在第二區(qū)域32內(nèi)的多個透光圖形5的透光率依次線性減小；分布在第三區(qū)域33內(nèi)的多個透光圖形5的透光率相同。如此設(shè)置，能夠?qū)π纬稍诓ＡЩ鍖?yīng)各個區(qū)域的多個隔塾物的聞度進(jìn)行精確控制，從而進(jìn)一步提聞最終形成的隔塾物聞度的均一性。
[0060]本實(shí)施例中，透光圖形5為設(shè)置在掩?；?上的透光體的垂直于入光方向的橫截面的圖形，該透光體如透光率不同的膜層，這些透光率不同的膜層可以貼設(shè)在玻璃材質(zhì)的掩?；?上。
[0061]需要說明的是，本實(shí)施例中的透光圖形5的面積相同。如此設(shè)置，使最終形成的隔墊物的高度更容易控制。當(dāng)然，本實(shí)施例中透光圖形5的面積也可以不同，只要確保在綜合考慮透光圖形5的面積和透光率的情況下，使最終形成在玻璃基板上的隔墊物的高度相同即可。
[0062]本實(shí)施例中掩模板的透光圖形5的形狀和隔墊物膜層的材質(zhì)與實(shí)施例1-2任意一個中相同，此處不再贅述。
[0063]實(shí)施例4:
[0064]本實(shí)施例提供一種掩模板，與實(shí)施例3不同的是，如圖7所示，第一區(qū)域31、第二區(qū)域32和第三區(qū)域33內(nèi)均分別分布有多個透光圖形5 ;沿從第一區(qū)域31至第三區(qū)域33的方向，隔墊物膜層的對應(yīng)第一區(qū)域31的膜層厚度相同；隔墊物膜層的對應(yīng)第二區(qū)域32的膜層厚度相同；隔墊物膜層的對應(yīng)第三區(qū)域33的膜層厚度相同；分布在第一區(qū)域31內(nèi)的多個透光圖形5的透光率相同；分布在第二區(qū)域32內(nèi)的多個透光圖形5的透光率相同；分布在第三區(qū)域33內(nèi)的多個透光圖形5的透光率相同。
[0065]本實(shí)施例中掩模板的其他結(jié)構(gòu)與實(shí)施例3中相同，此處不再贅述。
[0066]按照上述設(shè)置，由對應(yīng)第一區(qū)域31的隔墊物膜層形成的隔墊物的高度相同，由對應(yīng)第二區(qū)域32的隔墊物膜層形成的隔墊物的高度相同，由對應(yīng)第三區(qū)域33的隔墊物膜層形成的隔墊物的高度相同。同時，由于隔墊物膜層的對應(yīng)第一區(qū)域31、第二區(qū)域32和第三區(qū)域33的膜層厚度依次線性增大；分布在第一區(qū)域31、第二區(qū)域32和第三區(qū)域33的透光圖形5的透光率依次線性減小，所以最終形成在整個玻璃基板上的隔墊物的高度相同。
[0067]相比于實(shí)施例3，本實(shí)施例中按照上述設(shè)置的透光圖形5對形成在玻璃基板對應(yīng)各個區(qū)域的多個隔墊物的高度的控制精確度稍低一些，但同樣能控制最終形成的隔墊物的高度相同，從而提高了整個玻璃基板上的隔墊物高度的均一性。
[0068]實(shí)施例1-4的有益效果:實(shí)施例1-4中所提供的掩模板，通過設(shè)置漸變透光結(jié)構(gòu)，使形成在玻璃基板上的隔墊物的高度相同，這有效改善了對應(yīng)隔墊物膜層厚度較薄區(qū)域的隔墊物高度偏低的情況，從而提高了玻璃基板上隔墊物高度的均一性，進(jìn)而使該形成有隔墊物的玻璃基板與其他玻璃基板對盒后形成的液晶顯示面板的用于容置液晶的間隙變得均一，不會再出現(xiàn)局部發(fā)黑或者局部氣泡等的不良品質(zhì)問題，改善了液晶顯示面板的品質(zhì)。
[0069]可以理解的是，以上實(shí)施方式僅僅是為了說明本發(fā)明的原理而采用的示例性實(shí)施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的精神和實(shí)質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種掩模板，用于輔助對形成在玻璃基板上的厚度不同的隔墊物膜層進(jìn)行曝光，以形成隔墊物的圖形，包括掩模基板，其特征在于，所述掩?；迳显O(shè)置有漸變透光結(jié)構(gòu)，所述漸變透光結(jié)構(gòu)能使形成在所述玻璃基板上的隔墊物的高度相同。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述漸變透光結(jié)構(gòu)包括多個透光面積不同的透光圖形，所述透光圖形用于形成所述隔墊物的圖形； 所述掩?；鍎澐譃榈谝粎^(qū)域、第二區(qū)域和第三區(qū)域，所述第一區(qū)域?yàn)樗鲅谀；宓乃闹苓吘墔^(qū)域，所述第三區(qū)域?yàn)樗鲅谀；宓闹行膮^(qū)域，所述第二區(qū)域?yàn)樗龅谝粎^(qū)域和所述第三區(qū)域之間的區(qū)域；所述隔墊物膜層的對應(yīng)所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域和所述第三區(qū)域的膜層厚度依次增大； 分布在所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域和所述第三區(qū)域的所述透光圖形的透光面積依次減小。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩模板，其特征在于，所述隔墊物膜層的對應(yīng)所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域和所述第三區(qū)域的膜層厚度依次線性增大； 分布在所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域和所述第三區(qū)域的所述透光圖形的透光面積依次線性減小。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掩模板，其特征在于，所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域和所述第三區(qū)域內(nèi)均分別分布有多個所述透光圖形；沿從所述第一區(qū)域至所述第三區(qū)域的方向，所述隔墊物膜層的對應(yīng)所述第一區(qū)域的膜層厚度依次線性增大；所述隔墊物膜層的對應(yīng)所述第二區(qū)域的膜層厚度依次線性增大；所述隔墊物膜層的對應(yīng)所述第三區(qū)域的膜層厚度相同； 分布在所述第一區(qū)域內(nèi)的多個所述透光圖形的透光面積依次線性減??；分布在所述第二區(qū)域內(nèi)的多個所述透光圖形的透光面積依次線性減??；分布在所述第三區(qū)域內(nèi)的多個所述透光圖形的透光面積相同。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掩模板，其特征在于，所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域和所述第三區(qū)域內(nèi)均分別分布有多個所述透光圖形；沿從所述第一區(qū)域至所述第三區(qū)域的方向，所述隔墊物膜層的對應(yīng)所述第一區(qū)域的膜層厚度相同；所述隔墊物膜層的對應(yīng)所述第二區(qū)域的膜層厚度相同；所述隔墊物膜層的對應(yīng)所述第三區(qū)域的膜層厚度相同； 分布在所述第一區(qū)域內(nèi)的多個所述透光圖形的透光面積相同；分布在所述第二區(qū)域內(nèi)的多個所述透光圖形的透光面積相同；分布在所述第三區(qū)域內(nèi)的多個所述透光圖形的透光面積相同。
6.根據(jù)權(quán)利要求2-5任意一項(xiàng)所述的掩模板，其特征在于，所述透光圖形為開設(shè)在所述掩?；逯械耐椎拇怪庇谌牍夥较虻臋M截面的圖形，或者，所述透光圖形為設(shè)置在所述掩?；迳系耐腹饴氏嗤耐腹怏w的垂直于入光方向的橫截面的圖形。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述漸變透光結(jié)構(gòu)包括多個透光率不同的透光圖形，所述透光圖形用于形成所述隔墊物的圖形； 所述掩模基板劃分為第一區(qū)域、第二區(qū)域和第三區(qū)域，所述第一區(qū)域?yàn)樗鲅谀；宓乃闹苓吘墔^(qū)域，所述第三區(qū)域?yàn)樗鲅谀；宓闹行膮^(qū)域，所述第二區(qū)域?yàn)樗龅谝粎^(qū)域和所述第三區(qū)域之間的區(qū)域；所述隔墊物膜層的對應(yīng)所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域和所述第三區(qū)域的膜層厚度依次增大； 分布在所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域和所述第三區(qū)域的所述透光圖形的透光率依次減小。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的掩模板，其特征在于，所述隔墊物膜層的對應(yīng)所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域和所述第三區(qū)域的膜層厚度依次線性增大； 分布在所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域和所述第三區(qū)域的所述透光圖形的透光率依次線性減小。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的掩模板，其特征在于，所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域和所述第三區(qū)域內(nèi)均分別分布有多個所述透光圖形；沿從所述第一區(qū)域至所述第三區(qū)域的方向，所述隔墊物膜層的對應(yīng)所述第一區(qū)域的膜層厚度依次線性增大；所述隔墊物膜層的對應(yīng)所述第二區(qū)域的膜層厚度依次線性增大；所述隔墊物膜層的對應(yīng)所述第三區(qū)域的膜層厚度相同； 分布在所述第一區(qū)域內(nèi)的多個所述透光圖形的透光率依次線性減小；分布在所述第二區(qū)域內(nèi)的多個所述透光圖形的透光率依次線性減?。环植荚谒龅谌齾^(qū)域內(nèi)的多個所述透光圖形的透光率相同。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的掩模板，其特征在于，所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域和所述第三區(qū)域內(nèi)均分別分布有多個所述透光圖形；沿從所述第一區(qū)域至所述第三區(qū)域的方向，所述隔墊物膜層的對應(yīng)所述第一區(qū)域的膜層厚度相同；所述隔墊物膜層的對應(yīng)所述第二區(qū)域的膜層厚度相同；所述隔墊物膜層的對應(yīng)所述第三區(qū)域的膜層厚度相同； 分布在所述第一區(qū)域內(nèi)的多個所述透光圖形的透光率相同；分布在所述第二區(qū)域內(nèi)的多個所述透光圖形的透光率相同；分布在所述第三區(qū)域內(nèi)的多個所述透光圖形的透光率相同。
11.根據(jù)權(quán)利要求7-10任意一項(xiàng)所述的掩模板，其特征在于，所述透光圖形為設(shè)置在所述掩?；迳系耐腹怏w的垂直于入光方向的橫截面的圖形。
12.根據(jù)權(quán)利要求2-5和7-10中任意一項(xiàng)所述的掩模板，其特征在于，所述透光圖形的形狀為圓形、三角形、正五邊形或正六邊形。
【文檔編號】G02F1/1339GK104280942SQ201410610138
【公開日】2015年1月14日 申請日期:2014年10月31日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月31日
【發(fā)明者】柴國衛(wèi), 冷榮軍, 孟祥明, 胡瑾, 羅祝義, 張磊 申請人:合肥京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司