掩模板清洗機及其藥液檢測裝置的制造方法
【技術(shù)領域】
[0001]本實用新型涉及一種清洗機及檢測裝置，特別是涉及一種掩模板清洗機及檢測掩模板清洗機藥液的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]顯示技術(shù)領域中，例如在薄膜晶體管液晶顯示器(Thin Film Transistor-LiquidCrystal Display，TFT-LCD)、有機發(fā)光二極管(Organic Light Emitting D1de, OLED)顯示器等顯示基板制作過程中，需要利用掩模板(Mask)進行工藝處理。掩模板使用過后，掩模板上會存留有機物。然后可以用掩模板清洗機對掩模板進行清洗，以去除附著在掩模板上的有機材料殘留物，以備下次繼續(xù)使用。掩模板清洗機主要是使用N-甲基吡咯烷酮(N-Methyl pyrrolidone, NMP)藥液浸泡掩模板，將有機物去除。
[0003]但是隨著掩模板清洗數(shù)量的加大，會導致NMP藥液中的有機物含量變大，藥液中NMP濃度降低，清洗能力下降，導致掩模板清洗效果不佳，從而無法使用掩模板，需要更換NMP藥液，對掩模板進行再次清洗。
[0004]針對上述問題，現(xiàn)有技術(shù)提供了幾種解決方案，第一種方案為提供一種NMP藥液水含量測試裝置，該測試裝置測量NMP藥液中的水含量，根據(jù)水含量的變化來更換NMP藥液；第二種方案為預先確定NMP藥液能夠清洗掩模板的數(shù)量，達到該數(shù)量時，更換NMP藥液。
[0005]但是，第一種方案測量的僅僅是水含量，而不能夠測量藥液中有機物的含量，導致不能準確判斷藥液的清洗能力。對于第二種方案，由于每個掩模板上殘留的有機物的含量都不同，被清洗下的有機物的含量也不同，更換藥液時可能藥液濃度過低或很高。這兩種方案均不能夠準確把握更換藥液的時機，較容易導致掩模板清洗效果不佳或藥液誤排而造成浪費。
【實用新型內(nèi)容】
[0006]基于此，有必要提供一種能夠準確檢測藥液中有機物含量的檢測裝置和掩模板清洗機。
[0007]一種掩模板清洗機藥液檢測裝置，其包括:激發(fā)裝置，用以發(fā)射電磁波，所述電磁波激勵藥液產(chǎn)生熒光；熒光探測器，設置在所述熒光能傳播到的位置上，用以獲取所述熒光，并輸出相應的電信號；電信號檢測機構(gòu)，與所述熒光探測器連接，用以檢測電信號的強度，獲取相應的熒光的強度。
[0008]上述掩模板清洗機藥液檢測裝置，利用電磁波激勵藥液，藥液中的有機物吸收一定能量的電磁波后會發(fā)出熒光，將這些熒光進行光電轉(zhuǎn)換，從相應的電信號中獲取熒光的強度，可以根據(jù)熒光的強度準確檢測出藥液中有機物含量，從而準確推斷藥液更換時機。
[0009]在其中一個實施例中，所述掩模板清洗機藥液檢測裝置還包括驅(qū)動電路，所述與所述激發(fā)裝置連接的驅(qū)動電路包括:函數(shù)信號發(fā)生器，用以產(chǎn)生并輸出一定頻率、波形的電信號；以及方波轉(zhuǎn)換電路，連接所述函數(shù)信號發(fā)生器和所述激發(fā)裝置；所述函數(shù)信號發(fā)生器輸出的電信號經(jīng)所述方波轉(zhuǎn)換電路轉(zhuǎn)換為方波電信號，所述方波電信號驅(qū)動所述激發(fā)裝置。這樣，激發(fā)裝置可以以脈沖形式產(chǎn)生電磁波，藥液中的有機物發(fā)出的熒光也具有相同頻率的明暗熒光。
[0010]在其中一個實施例中，所述掩模板清洗機藥液檢測裝置還包括:乘法器，連接所述熒光探測器和所述函數(shù)信號發(fā)生器；低通濾波器，連接所述乘法器和所述電信號檢測機構(gòu)；所述乘法器輸出所述熒光探測器輸出的電信號和所述函數(shù)信號發(fā)生器輸出的電信號相乘的電信號，所述低通濾波器過濾所述乘法器輸出的電信號，所述電信號檢測機構(gòu)獲取所述低通濾波器輸出的電信號。乘法器將同頻的函數(shù)信號發(fā)生器產(chǎn)生的電信號與熒光探測器產(chǎn)生的電信號相乘后，會產(chǎn)生包括直流信號，基波信號、高次諧波在內(nèi)的交流信號。其中直流信號的幅值與函數(shù)信號發(fā)生器產(chǎn)生的電信號幅值與熒光探測器產(chǎn)生的電信號幅值的乘積成正比，低通濾波器將直流信號檢測出來，過濾掉或是衰減掉包括基波信號在內(nèi)的交流信號，由于直流信號與噪聲無關(guān)，這樣就可把深埋在噪聲背景中所需的信號檢測出來。
[0011]在其中一個實施例中，所述熒光探測器包括光電倍增管，所述光電倍增管將熒光轉(zhuǎn)換成相應的電信號。
[0012]在其中一個實施例中，所述激發(fā)裝置包括發(fā)光二極管。
[0013]在其中一個實施例中，所述掩模板清洗機藥液檢測裝置還包括:波長控制機構(gòu)，用以控制所述激發(fā)裝置產(chǎn)生的電磁波的波長。
[0014]在其中一個實施例中，所述掩模板清洗機藥液檢測裝置還包括:樣品采集機構(gòu)，用以存儲檢測的藥液；進口閥門，設置在所述樣品采樣機構(gòu)的第一端；出口閥門，設置在所述樣品采樣機構(gòu)的第二端。
[0015]在其中一個實施例中，所述樣品采集機構(gòu)與掩模板清洗機的循環(huán)管路連接，所述進口閥門與所述循環(huán)管路連接。
[0016]在其中一個實施例中，所述進口閥門包括進口電磁閥，所述出口閥門包括出口電磁閥。
[0017]一種掩模板清洗機，其包括上述的掩模板清洗機藥液檢測裝置。
[0018]上述掩模板清洗機包括了掩模板清洗機藥液檢測裝置后，能夠準確檢測藥液中有機物含量，及時更換藥液。
【附圖說明】
[0019]圖1為掩模板清洗機藥液檢測裝置的框架示意圖。
[0020]其中:100.掩模板清洗機藥液檢測裝置，110.激發(fā)裝置，120.熒光探測器，130.電信號檢測機構(gòu)，140.驅(qū)動電路，141.函數(shù)信號發(fā)生器，143.方波轉(zhuǎn)換電路，150.乘法器，160.低通濾波器，170.波長控制機構(gòu)，180.樣品采集機構(gòu)。
【具體實施方式】
[0021]請參考圖1，圖1為在此披露的掩模板清洗機藥液檢測裝置的框架示意圖，掩模板清洗機藥液檢測裝置100包括激發(fā)裝置110、熒光探測器120、電信號檢測機構(gòu)130。激發(fā)裝置110可以產(chǎn)生一定能量的電磁波，當一定能量的電磁波照射在含有有機物的藥液上時，這些有機物會吸收能量進入激發(fā)態(tài)，并且立即退激發(fā)，發(fā)射出出射電磁波(一般波長在可見光波段)，該出射電磁波為熒光。熒光探測器120設置在藥液產(chǎn)生的熒光可以傳播到的位置上，可以獲取藥液產(chǎn)生的熒光，并且可以輸出與熒光強度相應強度的電信號。電信號檢測機構(gòu)130與熒光探測器120連接，獲取熒光探測器120輸出的電信號，并且可以檢測出該電信號的強度，從而可以根據(jù)該電信號的強度推測出熒光的強度，進而得到藥液中有機物的濃度。并且可以根據(jù)藥液中有機物的濃度來確定是否需要更換藥液。
[0022]在本實施方式中，掩模板清洗機藥液檢測裝置100還包括樣品采集機構(gòu)180，該樣品采集機構(gòu)180可以用來采集掩模板清洗機中使用的藥液，采集到的藥液可以作為測試樣品，激發(fā)裝置110可以設置在樣品采集機構(gòu)180的一側(cè)，激發(fā)裝置110產(chǎn)生的電磁波照射處于該樣品采集機構(gòu)180中的測試樣品，而熒光探測器120可以設置在樣品采集機構(gòu)180的另一側(cè)，用來接受熒光。當然，本領域技術(shù)人員，可以理解的是，激發(fā)裝置110和熒光探測器120相對于樣品采集機構(gòu)180的位置可以改變，總之，激發(fā)裝置110所處的位置可以激發(fā)樣品采集機構(gòu)180內(nèi)的樣品，而熒光探測器120的所處的位置可以接收到樣品產(chǎn)生的熒光即可。在本實施方式中，樣品采集機構(gòu)180的兩端可以分別設置進口閥門和出口閥門，兩者分別控制測試樣品的進入和排出。進口閥門可以與掩膜板清洗機的循環(huán)管路連接，當然進口閥門也可設置在例如掩膜板清洗機的清洗槽等藥液流經(jīng)處，從而使得藥液可以順利進入樣品采集機構(gòu)180。在本實施方式中，進口閥門和出口閥門可以采用電磁閥，通過相應的電路來控制電磁閥，保證藥液的流量控制具有較高的精度和靈活性。當然，進口閥門和出口閥門也可以為球閥、蝶閥、閘閥等可以控制流體截止或?qū)ǖ拈y門。在本實施方式中，采用樣品采集機構(gòu)180來存儲待檢測的測試樣品，這樣測試樣品能夠處于相對靜止的狀態(tài)，使得測試樣品中有機物含量的檢測較為準確。當然，掩膜板清洗機藥液檢測裝置100也可以不包括樣品采集機構(gòu)180，激發(fā)裝置110產(chǎn)生的電磁波直接照射到掩膜板清洗機使用的藥液上，并由此來檢測藥液中有機物的含量。
[0023]由于發(fā)光二極管具有良好的單色性，在本實施方式中，激發(fā)裝置110可以包括一個或一個以上具有不同發(fā)光波長的發(fā)光二極管，本領域普通技術(shù)人員可以理解的是，發(fā)光二極管可以是有機發(fā)光二極管或/和無機發(fā)光二極管。當激發(fā)裝置110包括一個以上的發(fā)光二極管時，這些發(fā)光二極管可以與波長控制機構(gòu)170連接，波長控制機構(gòu)170可以為一控制電路，該控制電路可以控制各不同波長發(fā)光二極管的斷開與閉合，使得激光裝置110可