一種掩模板盒的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種掩模板盒，其包括用于容置掩模板的盒體結(jié)構(gòu)，所述盒體結(jié)構(gòu)包括多個面，所述盒體結(jié)構(gòu)的至少一個面上設(shè)置有用于向所述盒體結(jié)構(gòu)的內(nèi)部吹送凈化氣體的進風(fēng)結(jié)構(gòu)，在所述盒體的至少另一個面設(shè)置有用于使得所述盒體結(jié)構(gòu)內(nèi)部的氣流與外界氣體進行流通的通氣結(jié)構(gòu)。本發(fā)明所提供的掩模板盒上安裝有向其內(nèi)部吹送凈化氣體的進風(fēng)結(jié)構(gòu)，可以保證其內(nèi)部的氣體壓力大于外界氣體，可以防止外界異物進入掩模板盒的內(nèi)部，并且，在掩模板盒上還設(shè)計有通氣結(jié)構(gòu)，有利于掩模板盒內(nèi)氣流排出，排出內(nèi)部磨損產(chǎn)生的異物，具有結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，易于實施的優(yōu)點。
【專利說明】一種掩模板盒
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種掩模板盒。
【背景技術(shù)】
[0002]在微電子等需要使用光刻圖形工藝的領(lǐng)域中，掩模板是不可缺少的工具。在整個的產(chǎn)品加工過程中需要使用至少一塊掩模板(Mask)，很多情況下全部流程中需要使用多塊掩模板。在光刻圖形工藝過程中，掩模板隨著使用次數(shù)的增加，會被污染，產(chǎn)生嚴重的共通缺陷，所以掩模板需要進行定期清洗，通常采用掩模板盒(Mask Case)來存放和運輸掩模板。
[0003]如圖1所示為現(xiàn)有的掩模板盒的結(jié)構(gòu)，其包括一盒體，盒體上設(shè)置有能夠打開的活動盒蓋，打開活動盒蓋可以將掩模板放置于盒體內(nèi)，再關(guān)閉活動盒蓋，即形成一封閉盒子，可以來存放和運輸掩模板。但是，在放置掩模板時，外界的異物可以進入盒體內(nèi)，由于掩模板盒是一封閉盒子，由外界進入掩模板盒內(nèi)的異物以及掩模板盒內(nèi)部磨損產(chǎn)生的異物均不能排出掩模板外，從而清洗干凈的掩模板在掩模板盒中非常容易被污染，并最終影響產(chǎn)能和廣品品質(zhì)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的是提供一種掩模板盒，可以防止外界異物進入掩模板盒內(nèi)，同時也能排出內(nèi)部磨損產(chǎn)生的異物，結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，易于實施。
[0005]本發(fā)明所提供的技術(shù)方案如下:
[0006]一種掩模板盒，包括用于容置掩模板的盒體結(jié)構(gòu)，所述盒體結(jié)構(gòu)包括多個面，所述盒體結(jié)構(gòu)的至少一個面上設(shè)置有用于向所述盒體結(jié)構(gòu)的內(nèi)部吹送凈化氣體的進風(fēng)結(jié)構(gòu)，在所述盒體結(jié)構(gòu)的至少另一個面設(shè)置有用于使得所述盒體結(jié)構(gòu)內(nèi)部的氣流與外界氣體進行流通的通氣結(jié)構(gòu)。
[0007]進一步的，所述進風(fēng)結(jié)構(gòu)采用高效過濾器。
[0008]進一步的，所述盒體結(jié)構(gòu)包括相對的第一面和第二面，所述進風(fēng)結(jié)構(gòu)設(shè)置于所述第一面上，所述通氣結(jié)構(gòu)設(shè)置于所述第二面。
[0009]進一步的，所述通氣結(jié)構(gòu)包括分布于所述盒體結(jié)構(gòu)的面上的多個通氣孔。
[0010]進一步的，所述盒體結(jié)構(gòu)包括相適配的盒本體和活動盒蓋，所述進風(fēng)結(jié)構(gòu)設(shè)置于所述活動盒蓋上。
[0011]進一步的，所述盒體結(jié)構(gòu)的內(nèi)部設(shè)置有用于支撐掩模板板的支撐結(jié)構(gòu)。
[0012]進一步的，所述支撐結(jié)構(gòu)包括設(shè)置于盒體結(jié)構(gòu)內(nèi)的至少四個掩模板板支撐部，所述至少四個支撐部能共同支撐所述掩模板板。
[0013]本發(fā)明的有益效果如下:
[0014]本發(fā)明所提供的掩模板盒上安裝有向其內(nèi)部吹送凈化氣體的進風(fēng)結(jié)構(gòu)，可以保證其內(nèi)部的氣體壓力大于外界氣體，可以防止外界異物進入掩模板盒的內(nèi)部，并且，在掩模板盒上還設(shè)計有通氣結(jié)構(gòu)，有利于掩模板盒內(nèi)氣流排出，排出內(nèi)部磨損產(chǎn)生的異物，具有結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，易于實施的優(yōu)點。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的掩模板盒的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖2為本發(fā)明中所提供的掩模板盒的組裝結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖3為本發(fā)明所提供的掩模板盒的分解結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0018]以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的原理和特征進行描述，所舉實例只用于解釋本發(fā)明，并非用于限定本發(fā)明的范圍。
[0019]針對現(xiàn)有技術(shù)中掩模板盒容易有外界異物進入，且掩模板盒內(nèi)部異物不易排出的問題，本發(fā)明提供了一種掩模板盒，其結(jié)構(gòu)簡單，可以防止外界異物進入盒體內(nèi)，并易于將內(nèi)部異物排出。
[0020]如圖2和圖3所示，本發(fā)明所提供的掩模板盒包括用于容置掩模板板的盒體結(jié)構(gòu)100，所述盒體結(jié)構(gòu)100包括多個面，在所述盒體結(jié)構(gòu)100的至少一個面上設(shè)置有用于向所述盒體結(jié)構(gòu)100的內(nèi)部吹送凈化氣體的進風(fēng)結(jié)構(gòu)200，在所述盒體的至少另一個面設(shè)置有用于使得所述盒體結(jié)構(gòu)100內(nèi)部的氣流與外界氣體進行流通的通氣結(jié)構(gòu)300。
[0021]采用上述方案，由于在掩模板盒上設(shè)置有進風(fēng)結(jié)構(gòu)200，可以向掩模板盒內(nèi)部吹送凈化氣體，可以保證掩模板盒內(nèi)部的氣體壓力大于外界氣體，外界異物不易進入掩模板盒的內(nèi)部，并且，在掩模板盒上還設(shè)計有通氣結(jié)構(gòu)300，有利于掩模板盒內(nèi)氣流排出，從而排出內(nèi)部磨損產(chǎn)生的異物。
[0022]本實施例中，優(yōu)選的，所述進風(fēng)結(jié)構(gòu)200采用高效過濾器。通過將高效過濾器設(shè)置于盒體結(jié)構(gòu)100上，可以實現(xiàn)向盒體結(jié)構(gòu)100內(nèi)部吹送凈化氣體的目的。并且，在運輸過程中，該高效過濾器可以通過一儲蓄電池來驅(qū)動。應(yīng)當(dāng)理解的是，在實際應(yīng)用中，所述進風(fēng)結(jié)構(gòu)200也可以采用其他方式實現(xiàn)，在此不再一一列舉。
[0023]此外，本實施例中，優(yōu)選的，如圖2和圖3所示，所述盒體結(jié)構(gòu)100包括相對的第一面和第二面，所述進風(fēng)結(jié)構(gòu)200設(shè)置于所述第一面上，所述通氣結(jié)構(gòu)300設(shè)置于所述第二面。采用上述方案，將進風(fēng)結(jié)構(gòu)200和通氣結(jié)構(gòu)300分別設(shè)置于盒體結(jié)構(gòu)100相對的兩個面上，有利于氣流的流通。
[0024]應(yīng)當(dāng)理解的是，在實際應(yīng)用中，進風(fēng)結(jié)構(gòu)200與通氣結(jié)構(gòu)300的設(shè)置位置并不僅局限于此，也可以是將通氣結(jié)構(gòu)300還設(shè)置于與所述第一面IOOa相鄰接的面上。
[0025]此外，本實施例中，優(yōu)選的，如圖2和圖3所示，所述通氣結(jié)構(gòu)300包括分布于所述盒體結(jié)構(gòu)100的面上的多個通氣孔。在本實施例中，通氣結(jié)構(gòu)300是采用多個通氣孔的方式來實現(xiàn)的，應(yīng)當(dāng)理解的是，在實際應(yīng)用中，通氣結(jié)構(gòu)300也還可以是采用其他方式，比如:在本發(fā)明的進一步技術(shù)方案中，通氣結(jié)構(gòu)300也可以設(shè)置為便于盒體結(jié)構(gòu)100內(nèi)部氣流排出的抽風(fēng)機構(gòu)，在此不再一一列舉。
[0026]此外，本實施例中，如圖2和圖3所示，所述盒體結(jié)構(gòu)100包括相適配的盒本體101和活動盒蓋102，所述進風(fēng)結(jié)構(gòu)200設(shè)置于所述活動盒蓋102上，所述通氣結(jié)構(gòu)300設(shè)置于盒本體101的底部。采用上述方案，可以打開活動盒蓋102，將掩模板板放置于盒本體101內(nèi)，再蓋上活動盒蓋102即可，并且，在本實施例中，進風(fēng)結(jié)構(gòu)設(shè)置在活動盒蓋102上，在運輸時，位于掩模板的上方，而通氣結(jié)構(gòu)300位于掩模板的下方,有利于異物的排出。應(yīng)當(dāng)理解的是，在此僅提供一種掩模板的優(yōu)選實施方式，但并不是對進風(fēng)結(jié)構(gòu)以及活動盒蓋102的位置進行局限。
[0027]此外，如圖2和圖3所示，所述盒體結(jié)構(gòu)100的內(nèi)部設(shè)置有用于支撐掩模板的支撐結(jié)構(gòu)。所述支撐結(jié)構(gòu)包括設(shè)置于盒體結(jié)構(gòu)100內(nèi)的至少四個掩模板支撐部400，所述至少四個支撐部400可以分布于盒本體101的各角落，以共同支撐所述掩模板。采用上述方案，可以便于掩模板放置于掩模板盒內(nèi)。
[0028]以上所述是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明所述原理的前提下，還可以作出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種掩模板盒，包括用于容置掩模板的盒體結(jié)構(gòu)，所述盒體結(jié)構(gòu)包括多個面，其特征在于，所述盒體結(jié)構(gòu)的至少一個面上設(shè)置有用于向所述盒體結(jié)構(gòu)的內(nèi)部吹送凈化氣體的進風(fēng)結(jié)構(gòu)，在所述盒體結(jié)構(gòu)的至少另一個面設(shè)置有用于使得所述盒體結(jié)構(gòu)內(nèi)部的氣流與外界氣體進行流通的通氣結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模板盒，其特征在于，所述進風(fēng)結(jié)構(gòu)采用高效過濾器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模板盒，其特征在于，所述盒體結(jié)構(gòu)包括相對的第一面和第二面，所述進風(fēng)結(jié)構(gòu)設(shè)置于所述第一面上，所述通氣結(jié)構(gòu)設(shè)置于所述第二面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模板盒，其特征在于，所述通氣結(jié)構(gòu)包括分布于所述盒體結(jié)構(gòu)的面上的多個通氣孔。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模板盒，其特征在于，所述盒體結(jié)構(gòu)包括相適配的盒本體和活動盒蓋，所述進風(fēng)結(jié)構(gòu)設(shè)置于所述活動盒蓋上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項所述的掩模板盒，其特征在于，所述盒體結(jié)構(gòu)的內(nèi)部設(shè)置有用于支撐掩模板的支撐結(jié)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的掩模板盒，其特征在于，所述支撐結(jié)構(gòu)包括設(shè)置于盒體結(jié)構(gòu)內(nèi)的至少四個掩模板支撐部，所述至少四個支撐部能共同支撐所述掩模板。
【文檔編號】G03F1/66GK103713468SQ201310721771
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2013年12月24日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月24日
【發(fā)明者】閆潤寶, 杜宏偉, 李真碩, 周云龍, 楊旭銘 申請人:京東方科技集團股份有限公司, 北京京東方顯示技術(shù)有限公司