專利名稱：光掃描裝置及光掃描控制裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及利用扭轉(zhuǎn)梁從軸向兩側(cè)支撐用于支撐反射鏡的反射鏡支撐部，利用上述扭轉(zhuǎn)梁的扭轉(zhuǎn)使上述反射鏡支撐部在繞軸方向及與上述繞軸正交的方向上擺動的光掃描裝置及光掃描控制裝置。
背景技術(shù)：
以往，已知有使用在壓電元件的上表面形成上部電極、在下表面形成下部電極的促動器使反射入射光的反射鏡部繞旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，從而使反射光進(jìn)行掃描的光掃描裝置。在該促動器中，通過在上部電極與下部電極上施加驅(qū)動電壓，使反射鏡部相對于反射面垂直及水平地擺動。在這種促動器中，設(shè)有檢測在驅(qū)動反射鏡部并擺動的狀態(tài)下在壓電元件上產(chǎn)生的電壓的檢測用壓電傳感器，根據(jù)該壓電傳感器的輸出，檢測反射鏡部的傾斜，控制促動器的動作。然而，壓電傳感器在驅(qū)動反射鏡部并擺動的狀態(tài)下產(chǎn)生的電壓是微弱的電壓，存在含有干擾的場合。因此，以往，為了檢測未施加驅(qū)動電壓的狀態(tài)的壓電傳感器的輸出，下了各種功夫。例如，在專利文獻(xiàn)I中，公開了在檢測未施加驅(qū)動電壓的壓電傳感器的產(chǎn)生電壓的場合，避免由與驅(qū)動電壓的電壓差引起的接地電位的干擾的干涉的技術(shù)?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:日本特開2009-169195號公報在現(xiàn)有的檢測用的壓電傳感器中，由于輸出是微弱的，因此容易受到來自其他信號的干擾(串線)，由于該串線，反射鏡的傾斜的檢測精度下降。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述情況并為了解決上述問題而完成的，其目的在于提供能減少傳感器配線的干擾，高精度地檢測反射鏡部的傾斜的光掃描裝置及光掃描控制裝置。本發(fā)明為了實(shí)現(xiàn)上述目的，采用以下那樣的結(jié)構(gòu)。本發(fā)明是一種光掃描裝置100，其利用扭轉(zhuǎn)梁130AU30B從軸向兩側(cè)支撐反射鏡支撐部120，該反射鏡支撐部120支撐反射鏡110，通過上述扭轉(zhuǎn)梁130AU30B的扭轉(zhuǎn)，使上述反射鏡支撐部120在繞軸方向上擺動，該光掃描裝置100具有以夾著上述反射鏡110及上述反射鏡支撐部120的方式成對設(shè)置的第一驅(qū)動梁150AU50B ；將上述第一驅(qū)動梁150A、150B的一側(cè)與上述扭轉(zhuǎn)梁130A、130B連結(jié)的連結(jié)梁140AU40B ;以及第一壓電傳感器191，其形成在上述連結(jié)梁140AU40B上，當(dāng)在上述第一驅(qū)動梁150AU50B上施加驅(qū)動電壓而使上述反射鏡擺動時，檢測由上述扭轉(zhuǎn)梁130AU30B的繞軸的擺動引起的上述連結(jié)梁140A、140B的位移，上述第一壓電傳感器191將上述電極配線202向夾著上述反射鏡110及上述反射鏡支撐部120的一方的上述第一驅(qū)動梁150B引出，將下部電極配線201向夾著上述反射鏡110及上述反射鏡支撐部120的另一方的上述第一驅(qū)動梁150A引出。另外，上述參照符號是為了容易地理解而添加的，只是一個例子，不限定于圖示的方式。本發(fā)明的效果如下。根據(jù)本發(fā)明，能夠減少傳感器配線的干擾，高精度地檢測反射鏡的傾斜。


圖1是說明第一實(shí)施方式的光掃描裝置的圖。圖2是放大了圖1的部分A的圖。圖3是放大了圖1的部分B的圖。圖4是說明第二實(shí)施方式的光掃描裝置的圖。圖5是對第二實(shí)施方式的保護(hù)圖案進(jìn)行說明的圖。圖6是放大了圖4的部分Al的圖。圖7是放大了圖4的部分BI的圖。圖8是說明第三實(shí)施方式的光掃描裝置的圖。圖9是放大了圖8的部分B2的圖。圖10是說明第四實(shí)施方式的光掃描裝置的圖。圖11是說明增益、相位調(diào)整部的圖。圖12是說明第四實(shí)施方式的干擾去除部的電路結(jié)構(gòu)的圖。圖13是說明第四實(shí)施方式的干擾去除部的順序的圖。圖14是表示干擾去除前的壓電傳感器的輸出波形的圖。圖15是說明干擾同等成分的圖。圖16是表示干擾去除后的壓電傳感器的輸出波形的圖。圖17是說明第四實(shí)施方式的干擾去除部的電路結(jié)構(gòu)的其他例的圖。圖18是說明第五實(shí)施方式的光掃描裝置的圖。圖19是說明第五實(shí)施方式的干擾去除的處理的流程圖。圖20是放大了第五實(shí)施方式的光掃描裝置的反射鏡部分的圖。圖21是表不第五實(shí)施方式的壓電傳感器的輸出的例子的圖。圖22是表示在第五實(shí)施方式中壓電傳感器的輸出信號的差信號的例子的圖。圖23是說明第七實(shí)施方式的光掃描裝置的圖。圖24是說明第七實(shí)施方式的光掃描模塊的第一圖。圖25是說明第七實(shí)施方式的光掃描模塊的第二圖。圖26是說明光學(xué)傳感器的圖。圖27是說明光學(xué)傳感器的配置位置的圖。圖28是對反射鏡的垂直方向的傾斜的測定進(jìn)行說明的圖。圖29是表示實(shí)測值與光學(xué)傳感器的輸出的比較結(jié)果的第一圖。
圖30是表示實(shí)測值與光學(xué)傳感器的輸出的比較結(jié)果的第二圖。圖31是表示實(shí)測值與光學(xué)傳感器的輸出的比較結(jié)果的第三圖。圖中100、100A、100B、100D —光掃描裝置，300、300A、300B—光掃描控制裝置，100C—光掃描模塊，110—反射鏡，120—反射鏡支撐部，130—扭轉(zhuǎn)梁，140—連結(jié)梁，150A、150B—第一驅(qū)動梁，151A、151B、171A、171B-驅(qū)動源，160-可動框，170A、170B-第二驅(qū)動梁，180-固定框，191、195、196—壓電傳感器，201、202、207A、207B、208A、208B —傳感器配線，203、204、205、206、210A、210B—驅(qū)動配線，220、220A、221、221A—保護(hù)圖案，700—光學(xué)傳感器。
具體實(shí)施例方式(第一實(shí)施方式)下面，參照附圖對本發(fā)明的第一實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖1是說明第一實(shí)施方式的光掃描裝置的圖。本實(shí)施方式的光掃描裝置100具備反射鏡110、反射鏡支撐部120、扭轉(zhuǎn)梁130A、130B、連結(jié)梁140A、140B、第一驅(qū)動梁150A、150B、可動框160、第二驅(qū)動梁170A、170B、固定框180。另外，本實(shí)施方式的第一驅(qū)動梁150A、150B分別具備驅(qū)動源151AU51B。第二驅(qū)動梁170A、170B分別具備驅(qū)動源171A、171B。在本實(shí)施方式的反射鏡支撐部120上沿反射鏡110的圓周形成有狹縫122。利用該狹縫122，能夠使反射鏡支撐部120輕量化，并且能夠向反射鏡110傳遞由扭轉(zhuǎn)梁130A、130B產(chǎn)生的扭轉(zhuǎn)。在本實(shí)施方式的光掃描裝置100中，在反射鏡支撐部120的表面支撐有反射鏡110，反射鏡支撐部120連結(jié)在位于兩側(cè)的扭轉(zhuǎn)梁130AU30B的端部。扭轉(zhuǎn)梁130AU30B構(gòu)成擺動軸，在軸向上延伸并從軸向兩側(cè)支撐反射鏡支撐部120。通過扭轉(zhuǎn)梁130AU30B扭轉(zhuǎn)，支撐在反射鏡支撐部120上的反射鏡110擺動，進(jìn)行使照射在反射鏡110上的光的反射光掃描的動作。扭轉(zhuǎn)梁130AU30B分別連結(jié)支撐在連結(jié)梁140AU40B上，并連結(jié)在第一驅(qū)動梁 150A、150B 上。第一驅(qū)動梁150A、150B、連結(jié)梁140A、140B、扭轉(zhuǎn)梁130A、130B、反射鏡支撐部120及反射鏡110被可動框160包圍。第一驅(qū)動梁150AU50B將各自的一側(cè)支撐在可動框160上。第一驅(qū)動梁150A的另一側(cè)在內(nèi)周側(cè)延伸并與連結(jié)梁140AU40B連結(jié)。第一驅(qū)動梁150B的另一側(cè)與同樣地向內(nèi)周側(cè)延伸并與連結(jié)梁140AU40B連結(jié)。第一驅(qū)動梁150AU50B在與扭轉(zhuǎn)梁130AU30B正交的方向上以夾住反射鏡110及反射鏡支撐部120的方式成對設(shè)置。在第一驅(qū)動梁150A、150B的表面分別形成有驅(qū)動源151A、151B。驅(qū)動源151A、151B由形成在第一驅(qū)動梁150AU50B的表面上的壓電元件的薄膜的上表面的上部電極、形成在壓電元件的下表面的下部電極構(gòu)成。在驅(qū)動源151AU51B中，根據(jù)施加在上部電極與下部電極上的驅(qū)動電壓的極性伸長或縮小。因此，只要交替地在第一驅(qū)動梁150A與第一驅(qū)動梁150B中施加不同的相位的驅(qū)動電壓，在反射鏡110的左側(cè)與右側(cè)，第一驅(qū)動梁150A與第一驅(qū)動梁150B在上下相反側(cè)交替地振動，能夠使反射鏡110以扭轉(zhuǎn)梁130AU30B為擺動軸或旋轉(zhuǎn)軸繞軸擺動。以后將反射鏡110繞扭轉(zhuǎn)梁130AU30B的軸擺動的方向稱為水平方向。例如，可以在利用第一驅(qū)動梁150AU50B的水平驅(qū)動中使用共振振動，從而高速地對反射鏡110進(jìn)行擺動驅(qū)動。另外，在可動框160的外部連結(jié)有第二驅(qū)動梁170A、170B的一端。第二驅(qū)動梁170AU70B以從左右兩側(cè)夾著可動框160的方式成對設(shè)置。第二驅(qū)動梁170A的與第一驅(qū)動梁150A平行地延伸的梁與鄰接梁在端部連結(jié)，整體具有曲折狀的形狀。并且，第二驅(qū)動梁170A的另一端連結(jié)在固定框180的內(nèi)側(cè)。第二驅(qū)動梁170B也同樣地，與第一驅(qū)動梁150B平行地延伸的梁與鄰接的梁在端部連結(jié)，整體具有曲折狀的形狀。并且，第二驅(qū)動梁170B的另一端連結(jié)在固定框180的內(nèi)側(cè)。在第二驅(qū)動梁170AU70B的表面，分別在每個不包括曲線部的矩形單位上形成驅(qū)動源171A、171B。驅(qū)動源171A由形成在第二驅(qū)動梁170A的表面上的壓電元件的薄膜的上表面的上部電極、形成在壓電元件的下表面的下部電極構(gòu)成。驅(qū)動源171B由形成在第二驅(qū)動梁170B的表面上的壓電元件的薄膜的上表面的上部電極與形成在壓電元件的下表面的下部電極構(gòu)成。在第二驅(qū)動梁170A、170B中，通過在鄰接于每個矩形單位的驅(qū)動源171A、171B彼此中施加不同的極性的驅(qū)動電壓，使鄰接的矩形梁在上下相反方向上彎，將各矩形梁的上下移動的蓄積傳遞到可動框160。第二驅(qū)動梁170AU70B利用該動作使反射鏡110在作為與平行方向正交的方向的垂直方向上擺動。例如，可以在利用第二驅(qū)動梁170A、170B的垂直驅(qū)動上使用非共振振動。例如在驅(qū)動源171B包括從左側(cè)朝向可動框160排列的驅(qū)動源171DL、171CL、171BLU71AL，右側(cè)的驅(qū)動源171A包括從可動框160朝向右側(cè)排列的驅(qū)動源171ARU71BR、171CRU71DR的場合，通過以相同波形對驅(qū)動源171Ax與驅(qū)動源171Cx (四個)進(jìn)行驅(qū)動，由與前者相位不同的相同波形對驅(qū)動源171Bx、驅(qū)動源171Dx (四個)進(jìn)行驅(qū)動，能夠向垂直方向擺動。另外，本實(shí)施方式的光掃描裝置100具有檢測在驅(qū)動源151A、151B上施加驅(qū)動電壓且反射鏡在水平方向上擺動的狀態(tài)的反射鏡Iio的水平方向的傾斜狀況的壓電傳感器191、192、193、194。壓電傳感器191、192設(shè)在連結(jié)梁140B上，壓電傳感器193、194設(shè)在連結(jié)梁140A上。另外，本實(shí)施方式的光掃描裝置100具有檢測在驅(qū)動源171A、171B上施加驅(qū)動電壓且反射鏡在垂直方向上擺動的狀態(tài)的反射鏡Iio的垂直方向的傾斜狀況的壓電傳感器195、196。壓電傳感器195設(shè)在第二驅(qū)動梁170A上，壓電傳感器196設(shè)在第二驅(qū)動梁170B具有的矩形梁的一個上。本實(shí)施方式的壓電傳感器191、192伴隨反射鏡110的水平方向的傾斜狀況，輸出與從扭轉(zhuǎn)梁130B傳遞的連結(jié)梁140B的位移對應(yīng)的電流值。另外，本實(shí)施方式的壓電傳感器193、194伴隨反射鏡110的水平方向的傾斜狀況，輸出與從扭轉(zhuǎn)梁130A傳遞的連結(jié)梁140A的位移對應(yīng)的電流值。本實(shí)施方式的壓電傳感器195伴隨反射鏡110的垂直方向的傾斜狀況,輸出與第二驅(qū)動梁170A中設(shè)有壓電傳感器195的矩形梁的位移對應(yīng)的電流值。本實(shí)施方式的壓電傳感器196伴隨反射鏡110的垂直方向的傾斜狀況,輸出與第二驅(qū)動梁170B中設(shè)有壓電傳感器196的矩形梁的位移對應(yīng)的電流值。
在本實(shí)施方式中，使用來自壓電傳感器191 194中任一個的輸出檢測反射鏡110的水平方向的傾斜狀況。另外，在本實(shí)施方式中，使用壓電傳感器195、196檢測反射鏡110的垂直方向的傾斜狀況。另外，在本實(shí)施方式中，也可以將利用從各壓電傳感器輸出的電流值進(jìn)行反射鏡110的傾斜狀況的檢測的傾斜檢測部設(shè)在光掃描裝置100的外部。另外，在本實(shí)施方式中，也可以將根據(jù)傾斜檢測部的檢測結(jié)果控制供給到驅(qū)動源151AU51B、驅(qū)動源171AU71B的驅(qū)動電壓的驅(qū)動控制部設(shè)在光掃描裝置100的外部。壓電傳感器191 196由形成在壓電元件的薄膜的上表面的上部電極、形成在壓電兀件的下表面的下部電極構(gòu)成。在本實(shí)施方式中，壓電傳感器191 196的輸出為連接在上部電極與下部電極上的傳感器配線的電流值。在圖1中，表示在檢測反射鏡110的水平方向的傾斜狀況時，使用了壓電傳感器191的例子。以下，參照圖2對壓電傳感器191進(jìn)行說明。圖2是放大了圖1的部分A的圖。壓電傳感器191配置在連結(jié)梁140B中的連結(jié)梁140B與扭轉(zhuǎn)梁130B的連結(jié)部131的驅(qū)動源151B側(cè)。壓電傳感器192配置在連結(jié)部131的驅(qū)動源151A側(cè)。壓電傳感器193配置在連結(jié)梁140A中的連結(jié)梁140A與扭轉(zhuǎn)梁130A的連結(jié)部132的驅(qū)動源151B側(cè)。壓電傳感器194配置在連結(jié)部132的驅(qū)動源151A側(cè)。壓電傳感器191、192由形成在連結(jié)梁140B的表面上的壓電元件的薄膜的上表面的上部電極、形成在壓電元件的下表面的下部電極構(gòu)成。另外，壓電傳感器193、194由形成在連結(jié)梁140A的表面上的壓電元件的薄膜的上表面上的上部電極、形成在壓電元件的下表面的下部電極構(gòu)成。另外，在本實(shí)施方式中，由于只使用壓電傳感器191的輸出，因此只在壓電傳感器191上形成傳感器配線201、202。在該場合，壓電傳感器192 194為用于取得連結(jié)梁140A、140B的重量的平衡的虛擬傳感器。傳感器配線201是從壓電傳感器191的下部電極引出的下部電極配線，傳感器配線202是從壓電傳感器191的上部電極引出的上部電極配線。傳感器配線201從壓電傳感器191引出到第一驅(qū)動梁150A側(cè)，將傳感器配線202從壓電傳感器191引出到第一驅(qū)動梁150B側(cè)。即，在本實(shí)施方式中，傳感器配線201與傳感器配線202的各個以從壓電傳感器191引出到相反方向的方式分別形成在壓電傳感器191
的左右。本實(shí)施方式的傳感器配線201以與在驅(qū)動源151A的下部電極上施加驅(qū)動電壓的驅(qū)動配線203及在驅(qū)動源151A的上部電極施加驅(qū)動電壓的驅(qū)動配線204并行的方式引回，與設(shè)在固定框180上的端子組TA所包含的規(guī)定的端子連接。本實(shí)施方式的傳感器配線202以與在驅(qū)動源151B的下部電極上施加驅(qū)動電壓的驅(qū)動配線205及在驅(qū)動源151B的上部電極上施加驅(qū)動電壓的驅(qū)動配線206并行的方式引回，與設(shè)在固定框180上的端子組TB所包含的規(guī)定的端子連接。在本實(shí)施方式中，可以將水平方向的傾斜檢測部連接在端子組TA中連接有傳感器配線201的端子、端子組TB中連接有傳感器配線202的端子上。另外，在本實(shí)施方式中，可以將驅(qū)動控制部連接在端子組TA中分別連接有驅(qū)動配線203及204的端子與端子組TB中分別連接有驅(qū)動配線205及206的端子上。
另外，在本實(shí)施方式中，傳感器配線201與驅(qū)動配線203及204并行的長度和傳感器配線202與驅(qū)動配線205及206并行的長度相等。在本實(shí)施方式中，通過這樣形成傳感器配線201、202，抵消由利用相位反轉(zhuǎn)的驅(qū)動信號進(jìn)行動作的驅(qū)動源151A與驅(qū)動源151B干涉的干擾，能夠提高壓電傳感器191的輸出的檢測精度。由此，在本實(shí)施方式中，能夠高精度地檢測根據(jù)壓電傳感器191的輸出檢測的反射鏡110的水平方向的傾斜。接著，參照圖3對壓電傳感器195進(jìn)行說明。圖3是放大了圖1的部分B的圖。壓電傳感器195設(shè)在第二驅(qū)動梁170A具有的矩形梁的上端部。壓電傳感器195由形成在第二驅(qū)動梁170A的表面上的壓電元件的薄膜的上表面的上部電極與形成在壓電元件的下表面的下部電極構(gòu)成。壓電傳感器195的輸出利用傳感器配線207A與傳感器配線208A輸出。傳感器配線207A是從壓電傳感器195的下部電極引出的下部電極配線，傳感器配線208A是從壓電傳感器195的上部電極引出的上部電極配線。傳感器配線207A及傳感器配線208A連接在端子組TA的規(guī)定的端子上。另外，本實(shí)施方式的傳感器配線207A及傳感器配線208A以與在驅(qū)動源171A的下部電極上施加驅(qū)動電壓的驅(qū)動配線203及在驅(qū)動源171A的上部電極上施加驅(qū)動電壓的驅(qū)動配線210并行的方式被引回。另外，由于還在驅(qū)動源151的下部電極與驅(qū)動源171的下部電極上施加共同的驅(qū)動電壓，因此，在驅(qū)動源151的下部電極與驅(qū)動源171的下部電極中共同使用驅(qū)動配線203。在本實(shí)施方式中，通過這樣形成傳感器配線207A及208A，能夠高精度地檢測根據(jù)壓電傳感器195的輸出檢測的反射鏡110的垂直方向的傾斜。另外，在圖3中，僅對壓電傳感器195進(jìn)行說明，但通過壓電傳感器196也與壓電傳感器195為相同結(jié)構(gòu)，設(shè)在第二驅(qū)動梁170B具有的矩形梁的上端部上。在本實(shí)施方式中，根據(jù)以上的結(jié)構(gòu)，能減小來自驅(qū)動配線的串音，能夠高精度地檢測反射鏡110的傾斜。(第二實(shí)施方式)下面，參照附圖對本發(fā)明的第二實(shí)施方式進(jìn)行說明。本發(fā)明的第二實(shí)施方式在傳感器配線與驅(qū)動配線之間設(shè)置保護(hù)圖案這一點(diǎn)與第一實(shí)施方式不同。由此，在以下的本發(fā)明的第二實(shí)施方式中，僅對與第一實(shí)施方式的不同點(diǎn)進(jìn)行說明，對具有與第一實(shí)施方式相同的功能結(jié)構(gòu)的部件標(biāo)注與在第一實(shí)施方式的說明中使用的符號，并省略其說明。圖4是說明第二實(shí)施方式的光掃描裝置的圖。本實(shí)施方式的光掃描裝置100A在傳感器配線201與驅(qū)動配線203之間形成有保護(hù)圖案220。另外，本實(shí)施方式的光掃描裝置100A在傳感器配線202與驅(qū)動配線205之間形成有保護(hù)圖案221。下面，參照圖5對本實(shí)施方式的保護(hù)圖案220、221進(jìn)行說明。圖5是對第二實(shí)施方式的保護(hù)圖案進(jìn)行說明的圖。圖5表示例如連接在端子組TA與端子組TB上的配線。
在端子組TA上連接有從壓電傳感器191的上部電極引出的傳感器配線201、從壓電傳感器195的下部電極引出的傳感器配線207A、從上部電極引出的傳感器配線208A。另夕卜，在端子組TA上連接有從驅(qū)動源151A的下部電極與驅(qū)動源171A的下部電極引出的驅(qū)動配線203、從驅(qū)動源151A的上部電極引出的驅(qū)動配線204、從驅(qū)動源171A的上部電極引出的驅(qū)動配線210A。另外，在端子組TA上連接有保護(hù)圖案220。在端子組TB上連接有從壓電傳感器191的下部電極引出的傳感器配線202、從壓電傳感器196的下部電極引出的傳感器配線207B、從上部電極引出的傳感器配線208B。另夕卜，在端子組TB上連接有從驅(qū)動源151B的下部電極與驅(qū)動源171B的下部電極引出的驅(qū)動配線205、從驅(qū)動源151B的上部電極引出的驅(qū)動配線206、從驅(qū)動源171B的上部電極引出的驅(qū)動配線210B。另外，在端子組TB上連接有保護(hù)圖案221。本實(shí)施方式的保護(hù)圖案220、221在端子組TA及端子組TB中分別與地線連接。下面，參照圖6、圖7對本實(shí)施方式的保護(hù)圖案的形成位置進(jìn)行說明。圖6是放大了圖4的部分Al的圖。本實(shí)施方式的保護(hù)圖案220從傳感器配線201通過第一驅(qū)動梁150A到達(dá)第二驅(qū)動梁170A的位置Pl形成。保護(hù)圖案220形成在傳感器配線201與驅(qū)動配線203之間。另外，本實(shí)施方式的保護(hù)圖案221從傳感器配線202通過第一驅(qū)動梁150B到達(dá)第二驅(qū)動梁170B的位置P2形成。保護(hù)圖案221形成在傳感器配線202與驅(qū)動配線205之間。另外，在本實(shí)施方式中，在連結(jié)梁140A側(cè)也以成為與傳感器配線201、202對應(yīng)的配線形狀的方式形成虛擬傳感器配線201A與虛擬傳感器配線202A。另外，在本實(shí)施方式中，作為保護(hù)圖案220、221的虛擬，在虛擬傳感器配線201A側(cè)形成虛擬保護(hù)圖案222，在虛擬傳感器配線202A側(cè)形成虛擬保護(hù)圖案223。在本實(shí)施方式中，通過這樣形成虛擬傳感器配線與虛擬保護(hù)圖案，維持第一驅(qū)動梁151AU51B的重量的平衡，能夠可靠地將驅(qū)動力傳遞到反射鏡110。圖7是放大了圖4的部分BI的圖。本實(shí)施方式的保護(hù)圖案220從位置Pl沿朝向端子組TA形成的傳感器配線201形成。另外，本實(shí)施方式的保護(hù)圖案220以在壓電傳感器195的附近通過傳感器配線201與從驅(qū)動源171A的上部電極引出的驅(qū)動配線210之間的方式形成。另外，在圖7中，僅對壓電傳感器195側(cè)進(jìn)行了說明，但即使在壓電傳感器196側(cè)也同樣地形成保護(hù)圖案221。在本實(shí)施方式中，通過如上那樣形成保護(hù)圖案220、221，能夠抑制由來自相對于傳感器配線的驅(qū)動配線的串音產(chǎn)生的影響，因此能夠高精度地檢測反射鏡110的傾斜。(第三實(shí)施方式)下面，參照附圖對本發(fā)明的第三實(shí)施方式進(jìn)行說明。本發(fā)明的第三實(shí)施方式只在檢測垂直方向的傾斜的壓電傳感器側(cè)設(shè)置保護(hù)圖案的這一點(diǎn)與第二實(shí)施方式不同。由此，在以下的本發(fā)明的第三實(shí)施方式中，只對與第二實(shí)施方式的不同點(diǎn)進(jìn)行說明，對具有與第二實(shí)施方式相同的功能結(jié)構(gòu)的部件標(biāo)注在第二實(shí)施方式的說明中使用的符號，并省略其說明。圖8是說明第三實(shí)施方式的光掃描裝置的圖。在本實(shí)施方式的光掃描裝置100B中，在壓電傳感器195側(cè)與壓電傳感器196側(cè)形成保護(hù)圖案220A與保護(hù)圖案221A。圖9是放大了圖8的部分B2的圖。在本實(shí)施方式中，從壓電傳感器195附近的位置P3形成與壓電傳感器191的傳感器配線201并行的保護(hù)圖案220A。位置P3例如是傳感器配線207A、208A與傳感器配線201開始并行的位置的附近。另外，在圖9中，僅對從壓電傳感器195附近形成的保護(hù)圖案220A進(jìn)行說明，壓電傳感器196側(cè)也同樣地從壓電傳感器196附近形成保護(hù)圖案221A。在本實(shí)施方式中，利用以上的結(jié)構(gòu)，能夠減少干擾，能夠高精度地檢測反射鏡110的傾斜。(第四實(shí)施方式)下面，參照附圖對本發(fā)明的第四實(shí)施方式進(jìn)行說明。在本發(fā)明的第四實(shí)施方式中，通過去除由于配線的長度或配線的間隔微妙地產(chǎn)生的干擾成分，能夠更高精度地檢測反射鏡的傾斜。在以下的本發(fā)明的第四實(shí)施方式的說明中，對具有與第一實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)的部分標(biāo)注在第一實(shí)施方式的說明中使用的符號相同的符號，并省略其說明。圖10是說明第四實(shí)施方式的光掃描裝置的圖。本實(shí)施方式的光掃描控制裝置300除了第一實(shí)施方式的光掃描裝置100之外，還具有前端IC (IntegratedCircuit) 400、LD(Laser Diode) 410、反射鏡驅(qū)動器 IC500。本實(shí)施方式的前端IC400對輸入的視頻信號實(shí)施信號處理，并向LD440供給。另夕卜，本實(shí)施方式的前端IC400將控制反射鏡110的擺動的信號向光掃描裝置100供給。本實(shí)施方式的前端IC400具有視頻信號處理部410、LD驅(qū)動器420、反射鏡控制部430。視頻信號處理部410進(jìn)行分離被輸入的視頻信號所包含的同步信號、亮度信號及色度信號的處理。視頻信號處理部410向LD驅(qū)動器420供給亮度信號及色度信號，將同步信號向反射鏡控制部430供給。LD驅(qū)動器420根據(jù)從視頻信號處理部410輸出的信號控制LD440。反射鏡控制部430根據(jù)從反射鏡驅(qū)動器IC500輸出的壓電傳感器191的輸出與同步信號控制反射鏡Iio的擺動。更具體地說，反射鏡控制部430通過反射鏡驅(qū)動器IC500輸出光掃描裝置100的驅(qū)動源151A、B、171A、B的驅(qū)動電壓(以下，稱為驅(qū)動信號)。本實(shí)施方式的反射鏡驅(qū)動器IC500具有相位反轉(zhuǎn)部510、511、緩沖器570、干擾去除部600。相位反轉(zhuǎn)部510、511使從反射鏡控制部430輸出的驅(qū)動信號的相位反轉(zhuǎn)。具體地說，相位反轉(zhuǎn)部510使驅(qū)動源151A所供給的驅(qū)動信號的相位反轉(zhuǎn)而成為驅(qū)動源151B所供給的驅(qū)動信號。另外，相位反轉(zhuǎn)部511使驅(qū)動源171A所供給的驅(qū)動信號的相位反轉(zhuǎn)而成為驅(qū)動源171B所供給的驅(qū)動信號。本實(shí)施方式的干擾去除部600減少與壓電傳感器191的輸出重疊的干擾成分。所謂與壓電傳感器191的輸出重疊的干擾成分，是由于驅(qū)動配線的長度或配線的間隔微妙地產(chǎn)生的串音成分，是從驅(qū)動源151A、151B、171A、171B所供給的驅(qū)動信號接受的成分。另外，圖10的干擾去除部600是去除從驅(qū)動源151AU51B所供給的驅(qū)動信號接受的干擾成分的部件。在本實(shí)施方式的光掃描控制裝置300中，未圖示，但具有去除從驅(qū)動源171AU71B所供給的驅(qū)動信號接受的干擾成分的干擾去除部。與驅(qū)動源171AU71B對應(yīng)的干擾去除部是與干擾去除部600相同的結(jié)構(gòu)。本實(shí)施方式的干擾去除部600具有增益、相位調(diào)整部520、530、相加電路540、緩沖器550以及相減電路560。增益、相位調(diào)整部520、530從驅(qū)動源151AU51B的各個所供給的驅(qū)動信號產(chǎn)生與壓電傳感器191的輸出所重疊的干擾成分相同的成分。在以下的說明中，將驅(qū)動源151A所供給的驅(qū)動信號作為驅(qū)動信號1，將驅(qū)動源151B所供給的驅(qū)動信號作為驅(qū)動信號2。
本實(shí)施方式的增益、相位調(diào)整部520在將驅(qū)動信號I施加在驅(qū)動源151A上的場合產(chǎn)生與壓電傳感器191的輸出所重疊的干擾成分相同的成分。本實(shí)施方式的增益、相位調(diào)整部530在將驅(qū)動信號2施加在驅(qū)動源151B上的場合產(chǎn)生與壓電傳感器191的輸出所重疊的干擾成分相同的成分。增益、相位調(diào)整部520、530的詳細(xì)將于后述。相加電路540將增益、相位調(diào)整部520、530的輸出相加，將相加結(jié)果反轉(zhuǎn)。在本實(shí)施方式中，通過將增益、相位調(diào)整部520、530的輸出相加并反轉(zhuǎn)，在向驅(qū)動源151AU51B的各個同時供給驅(qū)動信號I與驅(qū)動信號2的場合,產(chǎn)生與壓電傳感器191的輸出所重疊的干擾成分相同的成分。緩沖器550增大壓電傳感器191的輸出。另外,在本實(shí)施方式中，設(shè)在光掃描裝置100上的壓電傳感器只為壓電傳感器191。壓電傳感器191根據(jù)反射鏡110的水平方向的傾斜狀況，輸出與從扭轉(zhuǎn)梁130B傳遞的連結(jié)梁140B的位移對應(yīng)的電流值。在壓電傳感器191以外也使用壓電傳感器192的輸出的場合，使用緩沖器570，但在本實(shí)施方式中，不使用緩沖器570。因此，在本實(shí)施方式的光掃描控制裝置300中，可以是不設(shè)置緩沖器570的結(jié)構(gòu)。相減電路560從緩沖器550的輸出減去相加電路540的輸出。本實(shí)施方式的緩沖器550的輸出是干擾與壓電傳感器191的輸出重疊的信號。另外，相加電路540的輸出是與壓電傳感器191的輸出所重疊的干擾成分相同的成分。由此，通過從緩沖器550的輸出減去相加電路540的輸出，能夠從壓電傳感器191的輸出去除干擾成分。將相減電路560的輸出供給到前端IC400的反射鏡控制部430。接著，對本實(shí)施方式的增益、相位調(diào)整部520、530進(jìn)行說明。圖11是說明增益、相位調(diào)整部的圖。本實(shí)施方式的增益、相位調(diào)整部520具有AC耦合電路521、增益電路522、相位修正電路523。另外，增益、相位調(diào)整部530具有AC耦合電路531、增益電路532、相位修正電路533。在本實(shí)施方式中，增益、相位調(diào)整部520與驅(qū)動信號I對應(yīng)，增益、相位調(diào)整部530與驅(qū)動信號2對應(yīng)，增益、相位調(diào)整部520與增益、相位調(diào)整部530的結(jié)構(gòu)相同。由此，在以下的說明中，對增益、相位調(diào)整部520進(jìn)行說明，省略增益、相位調(diào)整部530的各部的說明。本實(shí)施方式的AC耦合電路521將驅(qū)動信號I的基準(zhǔn)電壓作為地線。增益電路522將驅(qū)動信號I的振幅作為與從壓電傳感器191輸出的干擾成分相同的振幅。相位修正電路523進(jìn)行使從驅(qū)動信號I產(chǎn)生的成分的相位與干擾成分的相位一致的修正。接著，參照圖12說明本實(shí)施方式的干擾去除部600的電路結(jié)構(gòu)。圖12是說明第四實(shí)施方式的干擾去除部的電路結(jié)構(gòu)的圖。本實(shí)施方式的干擾去除部600具有增幅器AP21 28、可變電阻Rll 14、電阻R21 37、電容器C21 24。本實(shí)施方式的AC耦合電路521由電容器C21構(gòu)成，AC耦合電路531由電容器C22構(gòu)成。在電容器C21的一端輸入驅(qū)動信號I,在電容器C22的一端輸入驅(qū)動信號2。電容器C21的另一端與成為增益電路522的輸入的可變電阻Rll的一端連接。電容器C31的另一端與成為增益電路532的輸入的可變電阻R12的一端連接。增益電路522具有可變電阻R11、電阻R21、增幅器AP21。增益電路532具有可變電阻R12、電阻R22、增幅器AP22。
在增益電路522中，可變電阻Rll的一端與電容器C21的另一端連接，可變電阻Rll的另一端與電阻R21的一端連接?？勺冸娮鑂ll和電阻R21的連接點(diǎn)與增幅器AP21的非反轉(zhuǎn)輸入端子連接。電阻R21的另一端接地。增幅器AP21的輸出連接在增幅器AP21的反轉(zhuǎn)輸入端子及相位修正電路523具有的電阻R23的一端與電容器C23的一端的連接點(diǎn)上。在增益電路532中，可變電阻R12的一端與電容器C22的另一端連接，可變電阻R12的另一端與電阻R22的一端連接?？勺冸娮鑂12與電阻R22的連接點(diǎn)與增幅器AP22的非反轉(zhuǎn)輸入端子連接。電阻R22的另一端接地。增幅器AP22的輸出連接在增幅器AP22的反轉(zhuǎn)輸入端子及相位修正電路533具有的電阻R25的一端與電容器C24的一端的連接點(diǎn)上。相位修正電路523具有可變電阻R13、電阻R23、R24、電容器C23、增幅器AP23。相位修正電路533具有可變電阻R14、電阻R25、R26、電容器C24、增幅器AP24。在本實(shí)施方式的相位修正電路523中，電阻R23的另一端與增幅器AP23的非反轉(zhuǎn)輸入端子連接，電容器C23的另一端與可變電阻R13的一端的連接點(diǎn)與增幅器AP23的反轉(zhuǎn)輸入端子連接?？勺冸娮鑂13的另一端接地。電阻R24的一端與增幅器AP23的反轉(zhuǎn)輸入端子連接，另一端與增幅器AP23的輸出連接。增幅器AP23的輸出與相加電路540具有的電阻R27的一端連接。在本實(shí)施方式的相位修正電路533中，電阻R25的另一端與增幅器AP24的非反轉(zhuǎn)輸入端子連接，電容器C24的另一端與可變電阻R14的一端的連接點(diǎn)與增幅器AP24的反轉(zhuǎn)輸入端子連接?？勺冸娮鑂14的另一端接地。電阻R26的一端與增幅器AP24的反轉(zhuǎn)輸入端子連接，另一端與增幅器AP24的輸出連接。增幅器AP24的輸出與相加電路540具有的電阻R28的一端連接。本實(shí)施方式的相加電路540具有電阻R27 31、增幅器AP25、26。在本實(shí)施方式的相加電路540中，電阻R27的另一端和電阻R28的另一端的連接點(diǎn)與增幅器AP25的反轉(zhuǎn)輸入端子連接。另外，電阻R25的一端與增幅器AP25的非反轉(zhuǎn)輸入端子連接，電阻R25的另一端接地。增幅器AP25的輸出與電阻R30的一端連接。電阻R30的另一端與增幅器AP26的反轉(zhuǎn)輸入端子連接。電阻R31的一端與增幅器AP26的非反轉(zhuǎn)輸入端子連接，電阻R31的另一端接地。電阻R32的一端與增幅器AP26的反轉(zhuǎn)輸入端子連接，電阻R32的另一端與增幅器AP26的輸出連接。增幅器AP26的輸出與相減電路560具有的電阻R34的一端連接。本實(shí)施方式的緩沖器550具有電阻R33與增幅器AP27。電阻R33的一端與壓電傳感器191的輸出連接，電阻R33的另一端接地。電阻R33的一端和壓電傳感器191的輸出的連接點(diǎn)與增幅器AP27的非反轉(zhuǎn)輸入端子連接。增幅器AP27的輸出與增幅器AP27的反轉(zhuǎn)輸入端子及相減電路560具有的電阻R34的一端連接。本實(shí)施方式的相減電路560具有電阻R34 37、增幅器AP28。電阻R34的另一端與電阻R36的一端連接。電阻R34的另一端和電阻R36的一端的連接點(diǎn)與增幅器AP28的非反轉(zhuǎn)輸入端子連接。電阻R36的另一端接地。電阻R35的另一端與增幅器AP28的反轉(zhuǎn)輸入端子和電阻R37的一端連接。電阻R37的另一端與增幅器AP28的輸出連接。從增幅器AP28的輸出中輸出除去了干擾成分的信號。接著，參照圖13對本實(shí)施方式的光掃描控制裝置300的壓電傳感器191的輸出的干擾去除的順序進(jìn)行說明。圖13是說明第四實(shí)施方式的干擾去除的順序的圖。在本實(shí)施方式中，調(diào)整驅(qū)動信號I及驅(qū)動信號2的振幅或相位，產(chǎn)生與由驅(qū)動信號I及驅(qū)動信號2產(chǎn)生的干擾成分相同的成分即干擾同等成分。在本實(shí)施方式中，通過從壓電傳感器191的輸出減去干擾同等成分，減少干擾。具體地說，在本實(shí)施方式中，調(diào)整增益電路522、523具有的可變電阻R11、R12的阻值、相位修正電路523、533具有的可變電阻R13、R14的阻值，從驅(qū)動信號I及驅(qū)動信號2產(chǎn)生干擾同等成分。阻值的調(diào)整例如可以在本實(shí)施方式的光掃描控制裝置300提高負(fù)荷時等進(jìn)行。另外，在圖13中說明的調(diào)整可以通過例如光掃描控制裝置300的制造者等利用手動進(jìn)行。在本實(shí)施方式的光掃描控制裝置300中，在進(jìn)行干擾去除的場合，反射鏡控制部430只輸出驅(qū)動信號1(步驟S131)。此時，驅(qū)動信號的頻率為以驅(qū)動源151A不進(jìn)行驅(qū)動的方式充分離開共振點(diǎn)的頻率。接著，在本實(shí)施方式中，調(diào)整增益電路521的可變電阻的阻值與相位修正電路522的可變電阻的阻值(步驟S132)。在本實(shí)施方式中，通過步驟S132的調(diào)整，從驅(qū)動信號I產(chǎn)生干擾同等成分信號I。接著，在本實(shí)施方式中，進(jìn)行步驟S132的調(diào)整直到干擾同等成分信號I的相位和振幅與從緩沖器550輸出的干擾成分I的相位和振幅相等(步驟S133)。在此，從緩沖器550輸出的干擾成分I是利用驅(qū)動信號I產(chǎn)生的干擾成分。另外，干擾同等成分信號I與干擾成分I的比較可以例如將示波器等連接在作為緩沖器550的輸出的端子Tl與作為相位修正電路521的輸出的端子Tl上而一邊觀測一邊利用目視進(jìn)行。接著，在本實(shí)施方式中，對驅(qū)動信號2也進(jìn)行與S131到步驟S133同樣的處理。在本實(shí)施方式中，只輸出驅(qū)動信號21(步驟S134)。此時，驅(qū)動信號的頻率為以驅(qū)動源151B不進(jìn)行驅(qū)動的方式充分離開共振點(diǎn)的頻率。接著，在本實(shí)施方式中，調(diào)整增益電路531的可變電阻的阻值與相位修正電路532的可變電阻的阻值(步驟S135)。接著，在本實(shí)施方式中，進(jìn)行步驟S135的調(diào)整直到干擾同等成分信號2的相位和振幅與從緩沖器550輸出的干擾成分2的相位與振幅相等(步驟S136)。另外，干擾同等成分信號2與干擾成分2的比較也將示波器等連接在作為緩沖器550的輸出的端子Tl與作為相位修正電路531的輸出的端子T2上而一邊觀察一邊利用目視進(jìn)行。下面，參照圖14至圖16對干擾同等成分的產(chǎn)生進(jìn)一步進(jìn)行說明。圖14是表示干擾去除前的壓電傳感器的輸出波形的圖。圖14所示的輸出波形是在將充分離開共振點(diǎn)的頻率的驅(qū)動信號I與驅(qū)動信號2施加在驅(qū)動源151AU51B上時從壓電傳感器191輸出的波形。此時，在光掃描裝置100中，驅(qū)動源151AU51B不振動，反射鏡110不擺動。從壓電傳感器191輸出的成分僅為由驅(qū)動信號I及驅(qū)動信號2產(chǎn)生的干擾成分信號N。在本實(shí)施方式中，去除該干擾成分信號N。圖15是說明干擾同等成分的圖。圖15 (A)是從驅(qū)動信號I產(chǎn)生的干擾同等成分信號I的例子，圖15 (B)是從驅(qū)動信號2產(chǎn)生的干擾同等成分信號2的例子。在本實(shí)施方式中，干擾成形信號N是將圖15 (A)所示的干擾成分信號NI與圖15(B)所示的干擾成分信號N2相加的信號。
圖15 (A)的干擾成分信號NI在只將驅(qū)動信號I施加在驅(qū)動源151A上的場合產(chǎn)生。在本實(shí)施方式中，利用增益、相位調(diào)整部520調(diào)整驅(qū)動信號I的振幅與相位，產(chǎn)生和干擾成分信號NI的振幅與相位同等的干擾同等成分信號I。另外，圖15 (B)的干擾成分信號N2在只將驅(qū)動信號2施加在驅(qū)動源151B上的場合產(chǎn)生。在本實(shí)施方式中，利用增益、相位調(diào)整部530調(diào)整驅(qū)動信號2的振幅與相位，產(chǎn)生和干擾成分信號N2的振幅與相位同等的干擾同等成分信號2。在本實(shí)施方式中，將干擾同等成分信號I與干擾同等成分信號2相加的成分為與圖14的干擾成分信號N相同的成分。因此，在本實(shí)施方式中，在同時施加驅(qū)動信號I與驅(qū)動信號2時，只要從壓電傳感器191的輸出減去與干擾成分信號N相同的成分，就能夠消除干擾成分信號N。圖16是表示干擾去除后的壓電傳感器的輸出波形的圖。在圖16中，即使在將驅(qū)動信號I與驅(qū)動信號2同時供給到驅(qū)動源151AU51B的場合，也不會在壓電傳感器191的輸出上產(chǎn)生干擾成分。因此，根據(jù)本實(shí)施方式，由于能夠去除例如由于配線的長度或配線的間隔微妙地產(chǎn)生的干擾成分，因此能夠減少傳感器配線的干擾，能夠高精度地檢測反射鏡的傾斜。另外，在本實(shí)施方式中，為具有用于對驅(qū)動信號I與驅(qū)動信號2的雙方進(jìn)行相位的調(diào)整的相位修正電路的結(jié)構(gòu)，但不限定于此。例如，例如在只要調(diào)整任一方的驅(qū)動信號的相位即可的場合，只要具有該驅(qū)動信號用的相位修正電路即可。圖17是說明第四實(shí)施方式的干擾去除部的電路結(jié)構(gòu)的其他例子的圖。圖17的例子表示僅對驅(qū)動信號I進(jìn)行相位修正的場合。圖17所示的干擾去除部600A只在不具有與驅(qū)動信號2對應(yīng)的相位修正電路這一點(diǎn)上與圖12所示的干擾去除部600不同。另外，例如在僅對驅(qū)動信號2進(jìn)行相位修正的場合，只要是具有與驅(qū)動信號2對應(yīng)的相位修正電路533，不具有與驅(qū)動信號I對應(yīng)的相位修正電路523的結(jié)構(gòu)即可。(第五實(shí)施方式)下面，參照附圖對本發(fā)明的第五實(shí)施方式進(jìn)行說明。在本發(fā)明的第五實(shí)施方式中，只在自動地進(jìn)行在第四實(shí)施方式中說明的干擾去除這一點(diǎn)上與第四實(shí)施方式不同。由此，在本發(fā)明的第五實(shí)施方式中，對具有與第四實(shí)施方式相同的功能結(jié)構(gòu)的部件標(biāo)注與在第四實(shí)施方式的說明中使用的符號相同的符號，省略其說明。圖18是說明第五實(shí)施方式的光掃描裝置的圖。本實(shí)施方式的光掃描控制裝置300A具有反射鏡驅(qū)動器IC500A。反射鏡驅(qū)動器IC500A具有自動地進(jìn)行干擾去除的處理的干擾去除控制部610。本實(shí)施方式的干擾去除控制部610進(jìn)行在第四實(shí)施方式中說明的可變電阻的阻值的調(diào)整等。圖19是說明第五實(shí)施方式的干擾去除的處理的流程圖。在本實(shí)施方式中，預(yù)先作為目標(biāo)值獲取在只將驅(qū)動信號I施加在驅(qū)動源151A上的場合產(chǎn)生的干擾成分信號NI的相位與振幅、及在只將驅(qū)動信號2施加在驅(qū)動源151B上的場合產(chǎn)生的干擾成分信號N2的相位與振幅。在本實(shí)施方式中，干擾去除控制部610只將驅(qū)動信號I施加在驅(qū)動源151A上，對驅(qū)動源151A進(jìn)行驅(qū)動(步驟S1601)。接著，干擾去除控制部610檢測壓電傳感器191的輸出的振幅的電平(步驟S1602)。接著，干擾去除控制部610檢測干擾同等成分信號I的振幅的電平(步驟S1603)。接著，干擾去除控制部610判斷干擾同等成分信號I的振幅是否與作為目標(biāo)值的干擾成分信號NI的振幅相等(步驟S1604)。另外，干擾成分信號NI的振幅預(yù)先存儲在干擾去除控制部610具有的存儲部等中。在步驟S1604中，在干擾同等成分信號I的振幅與干擾成分信號NI的振幅不相等的場合，干擾去除控制部610調(diào)整增益電路522的增益(步驟S1605)。具體地說，調(diào)整增益電路522具有的可變電阻Rll的阻值。本實(shí)施方式的干擾去除控制部610反復(fù)進(jìn)行步驟S1603 步驟S1605的處理，直到干擾同等成分信號I的振幅與干擾成分信號NI的振幅相等。在步驟S1604中，在干擾同等成分信號I的振幅與干擾成分信號NI的振幅相等的場合，干擾去除控制部610將此時的阻值作為干擾去除阻值設(shè)定在增益電路522中(步驟S1606)。接著，干擾去除控制部610檢測壓電傳感器191的輸出的相位(步驟S1607)。接著，干擾去除控制部610檢測干擾同等成分信號I的相位(步驟S1608)。接著，干擾去除控制部610判斷干擾同等成分信號I的相位是否與作為目標(biāo)值的干擾成分信號NI的相位相等(步驟S1609)。另外，干擾成分信號NI的相位預(yù)先存儲在干擾去除控制部610具有的存儲部等中。在步驟S1609中，在干擾同等成分信號I的相位與干擾成分信號NI的相位不相等的場合，干擾去除控制部610利用相位修正電路523調(diào)整干擾同等成分信號I的相位(步驟S1610)。具體地說，調(diào)整相位修正電路523具有的可變電阻R13的阻值。本實(shí)施方式的干擾去除控制部610反復(fù)進(jìn)行步驟S1608 步驟S1610的處理，直到干擾同等成分信號I的相位與干擾成分信號NI的相位相等。在步驟S1609中，在干擾同等成分信號I的相位與干擾成分信號NI的相位相等的場合，干擾去除控制部610將此時的阻值作為干擾去除阻值設(shè)定在相位修正電路523中(步驟S1611)。接著，干擾去除控制部610停止驅(qū)動信號I的供給并只將驅(qū)動信號2施加在驅(qū)動源151B上，對驅(qū)動源151B進(jìn)行驅(qū)動(步驟S1612)。從步驟S1613到步驟S1622的處理因?yàn)榕c從步驟S1602到步驟S1611的處理相同，因此省略說明。通過從步驟S1602到步驟S1622的處理，設(shè)定增益電路523具有的可變電阻R12的阻值與相位修正電路533具有的可變電阻R14的阻值。接著，干擾去除控制部610將設(shè)定在增益電路522、523中的可變電阻的阻值與設(shè)定在相位修正電路523、533中的可變電阻的阻值存儲在干擾去除控制部610具有的存儲部等中(步驟S1623)。如上所述，在本實(shí)施方式中，自動地進(jìn)行干擾去除的處理。(第六實(shí)施方式)下面，參照附圖對本發(fā)明的第六實(shí)施方式進(jìn)行說明。在本實(shí)施方式中，設(shè)置兩個壓電傳感器這一點(diǎn)與第一實(shí)施方式不同。在以下的本實(shí)施方式的說明中，僅對與第一實(shí)施方式的不同點(diǎn)進(jìn)行說明，對與第一實(shí)施方式具有相同的結(jié)構(gòu)的部件標(biāo)注與在第一實(shí)施方式的說明中使用的符號相同的符號，省略其說明。在本實(shí)施方式的光掃描裝置100C中，具有兩個壓電傳感器191、192。在本實(shí)施方式中，壓電傳感器191、192的傳感器信號向驅(qū)動源151B側(cè)引回，將向驅(qū)動源151AU51B供給驅(qū)動信號的驅(qū)動配線向驅(qū)動源151A側(cè)引回。另外，在本實(shí)施方式中，壓電傳感器191的輸出的相位與壓電傳感器192的輸出的相位為相反相位。圖20是放大了第五實(shí)施方式的光掃描裝置的反射鏡部分的圖。在本實(shí)施方式的光掃描裝置100C中，將在驅(qū)動源151B的下部電極上施加驅(qū)動電壓的驅(qū)動配線205A及在驅(qū)動源151B的上部電極上施加驅(qū)動電壓的驅(qū)動配線206A向驅(qū)動源151A側(cè)引回。本實(shí)施方式的驅(qū)動配線205A連接在驅(qū)動源151A上。另外，驅(qū)動配線206A以與驅(qū)動配線203、204并行的方式進(jìn)行布線。另外，在本實(shí)施方式中，在驅(qū)動源151B側(cè)形成相對于壓電傳感器191形成的傳感器配線201、202雙方。另外，與壓電傳感器192的上部電極與下部電極對應(yīng)的傳感器配線201A、202A也被引回驅(qū)動源151B側(cè)。并且，傳感器配線201A、202A以與傳感器配線201、202并行的方式進(jìn)行布線。因此，在本實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)中，傳感器信號202A與驅(qū)動信號204鄰接。因此，在本實(shí)施方式中，驅(qū)動信號的配線與傳感器信號的配線鄰接的距離短，能夠減少由驅(qū)動信號產(chǎn)生的串首。另外，在本實(shí)施方式中，通過以使傳感器配線201A、202A與傳感器配線201、202并行的方式進(jìn)行配線，能夠使由各傳感器配線的驅(qū)動配線產(chǎn)生的串音成分的影響相同。另外，本實(shí)施方式的壓電傳感器191與壓電傳感器192以反射鏡110的旋轉(zhuǎn)軸對稱地配置在以相反相位振動的梁上。具體地說，壓電傳感器191設(shè)在連結(jié)梁140B的左端部，壓電傳感器192設(shè)在連結(jié)梁140B的右端部。連結(jié)梁140B的左端部利用驅(qū)動源151B振動，連結(jié)梁140B的右端部利用驅(qū)動源151A振動。S卩，壓電傳感器191與壓電傳感器192以旋轉(zhuǎn)軸對稱地配置在以相反相位振動的梁上。 圖21是表不第五實(shí)施方式的壓電傳感器的輸出的例子的圖。在圖21中，表不反射鏡110的振動位移、與振動位移對應(yīng)的壓電傳感器191和壓電傳感器192的輸出的例子。在本實(shí)施方式中，壓電傳感器191的輸出信號的相位與振動位移是相同相位，壓電傳感器192的輸出信號的相位與壓電傳感器191的輸出信號的相位相反。在本實(shí)施方式中，如果這樣配置兩個壓電傳感器191、192，例如在光掃描裝置100C的后級取得兩個壓電傳感器的輸出信號的差信號的場合,能夠使輸出信號的電平為兩倍。圖22是表示在第五實(shí)施方式中壓電傳感器的輸出信號的差信號的例子的圖。在圖22中，表不在驅(qū)動源151B側(cè)將壓電傳感器191的輸出信號與壓電傳感器192的輸出信號相減而求出的差信號。圖22的差信號與各壓電傳感器的輸出信號相比，振幅為兩倍。另夕卜，在本實(shí)施方式中，通過將兩個壓電傳感器的輸出信號相減，減少各輸出信號所重疊的串
曰 因此，在本實(shí)施方式中，即使從驅(qū)動配線產(chǎn)生的串音與壓電傳感器的輸出信號重疊，也能夠增大壓電傳感器的輸出信號的振幅到能忽略該串音的電平。另外，在本實(shí)施方式中也能夠應(yīng)用第五實(shí)施方式。例如，在本實(shí)施方式中，只要相對于壓電傳感器191的輸出信號與壓電傳感器192的輸出信號進(jìn)行干擾去除即可。(第七實(shí)施方式)
下面，參照附圖對本發(fā)明的第七實(shí)施方式進(jìn)行說明。在本發(fā)明的第七實(shí)施方式中，通過將檢測反射鏡的傾斜的光學(xué)傳感器配置在反射鏡下，不需要考慮傳感器配線的干擾，能夠高精度地檢測反射鏡的傾斜。圖23是說明第七實(shí)施方式的光掃描裝置的圖。本實(shí)施方式的光掃描控制裝置300B具有前端IC400、LD440、反射鏡驅(qū)動器IC500A、光掃描模塊100C。本實(shí)施方式的反射鏡驅(qū)動器IC500A是在第四實(shí)施方式中說明的反射鏡驅(qū)動器IC500中沒有緩沖器570的結(jié)構(gòu)。本實(shí)施方式的光掃描模塊100C具有光掃描裝置100D與光學(xué)傳感器700。光掃描裝置100D從在第一實(shí)施方式中說明的光掃描裝置100去除檢測反射鏡110的垂直方向的傾斜狀·況的壓電傳感器195、196、與壓電傳感器195、196相關(guān)的配線。光學(xué)傳感器700檢測反射鏡110的垂直方向的傾斜狀況。本實(shí)施方式的光學(xué)傳感器700的輸出直接向前端IC400供給。下面，對本實(shí)施方式的光掃描模塊100進(jìn)行說明。圖24是說明第七實(shí)施方式的光掃描模塊的第一圖。在本實(shí)施方式的光掃描模塊100C中，在光掃描裝置100D下配置有光學(xué)傳感器700。在本實(shí)施方式中，在將包括光掃描裝置100D的反射鏡110、反射鏡支撐部120、扭轉(zhuǎn)梁130、連結(jié)梁140、第一驅(qū)動梁150A、150B、可動框160的區(qū)域作為可動部K時，光學(xué)傳感器700以一部分與可動部K重合的方式配置在光掃描裝置100D下。圖25是說明第七實(shí)施方式的光掃描模塊的第二圖。圖25是圖24所示的光掃描模塊100C的A-A剖視圖。在光掃描模塊100C中，光掃描裝置100D固定在陶瓷封裝件710上，光學(xué)傳感器700配置在陶瓷封裝件710與光掃描裝置100D之間。在該狀態(tài)下，光學(xué)傳感器700以一部分與光掃描裝置100D的可動部K重合的方式配置。本實(shí)施方式的光學(xué)傳感器700具有發(fā)光兀件與受光兀件。從發(fā)光兀件發(fā)出的光例如將其一部分反射到可動部K。可動部K追隨利用四個驅(qū)動源151A、151B、171A、171B擺動的反射鏡110的傾斜而擺動。因此，在可動部K中，照射從發(fā)光元件發(fā)出的光的位置也追隨反射鏡110的傾斜而擺動。因此，從發(fā)光元件發(fā)出的光的返回光的光量根據(jù)可動部K的傾斜變化。本實(shí)施方式的光學(xué)傳感器700根據(jù)發(fā)光的光的返回光的光量檢測反射鏡110的垂直方向的傾斜狀況。圖26是說明光學(xué)傳感器的圖。本實(shí)施方式的光學(xué)傳感器700具有作為發(fā)光元件的光電二極管720與作為受光兀件的光電晶體管730。本實(shí)施方式的光學(xué)傳感器700例如被封裝一體化。下面，對本實(shí)施方式的光學(xué)傳感器700的配置位置進(jìn)行說明。圖27是說明光學(xué)傳感器的配置位置的圖。本實(shí)施方式的光學(xué)傳感器700具有發(fā)光兀件與受光兀件,配置在光掃描裝置100D下。本實(shí)施方式的光學(xué)傳感器700以一部分與可動部K重合的方式配置。S卩，從光學(xué)傳感器700的發(fā)光兀件720發(fā)出的光在反射鏡110不在垂直方向上傾斜的場合,其一部分被可動部K遮蔽。并且，當(dāng)反射鏡110在垂直方向上傾斜時，從發(fā)光元件720發(fā)出的光減少例如被可動部K遮蔽的光量，返回光的光量減少。在本實(shí)施方式中，在反射鏡110的垂直方向的傾斜為最大時，可以在未遮蔽從發(fā)光兀件720發(fā)出的光的位置配置光學(xué)傳感器700。另外，在本實(shí)施方式中，優(yōu)選以光學(xué)傳感器700的發(fā)光兀件720與受光兀件730在X1-X2方向上排列的方式配置光學(xué)傳感器700。另外,此時,優(yōu)選光學(xué)傳感器700的外徑的中心與反射鏡110的軸中心一致。另外，本實(shí)施方式的光學(xué)傳感器700也可以以一部分與固定框180重合的方式配置。本實(shí)施方式的光學(xué)傳感器700的配置被配置在光學(xué)傳感器700的輸出最接近反射鏡110的傾斜的實(shí)測值的位置。對光學(xué)傳感器700的配置定位方法進(jìn)行說明。在本實(shí)施方式中，將從固定框180的內(nèi)側(cè)的端面El到光學(xué)傳感器700的靠反射鏡110的端面E2的距離為600 μ m處作為初期位置，在光學(xué)傳感器700的外徑中心與反射鏡110的軸中心一致的狀態(tài)下，使光學(xué)傳感器700的位置向Y2-Y1方向移動。并且，在配置了光學(xué)傳感器700的各場所，比較光學(xué)傳感器700的輸出與實(shí)測值，將得到與實(shí)測值最接近或大致相同的輸出的位置定為光學(xué)傳感器700的配置位置。下面，對反射鏡110的垂直方向的傾斜的實(shí)測值的測定進(jìn)行說明。圖28是對反射鏡的垂直方向的傾斜的測定進(jìn)行說明的圖。在本實(shí)施方式中，將光掃描裝置100C設(shè)置在測定裝置280上，將從LD (LaserDiode) 281出射的光照射到擺動的反射鏡110上,PSD (PositionSensitive Detector)接受LD281的反射光。與從PSD282輸出的光量對應(yīng)的電壓為表不反射鏡110的垂直方向的傾斜(位移)的實(shí)測值。下面，對比較實(shí)測值與光學(xué)傳感器700的輸出的結(jié)果進(jìn)行說明。圖29是表示實(shí)測值與光學(xué)傳感器的輸出的比較結(jié)果的第一圖。圖29表示將光學(xué)傳感器700從初期位置朝向Yl方向(參照圖26)配置在550 μ m的位置的場合。在圖29中，固定框180的端面El與光學(xué)傳感器700的端面E2的距離H為600 μ m+550 μ m。在該場合,光學(xué)傳感器700配置在一部分與Y2方向側(cè)的可動框160重合的位置。在圖29中，當(dāng)比較以虛線表示的PSD282的輸出(實(shí)測值)的各峰值與以實(shí)線表示的光學(xué)傳感器700的輸出的各峰值的值，則存在些許偏差，但可以說光學(xué)傳感器700的輸出為與實(shí)測值大致相同的波形。由此，在本實(shí)施方式中，可以將光學(xué)傳感器700配置在距離Η=600μπι+550μπι的位置、即一部分與Υ2方向側(cè)的可動框160重合的位置。圖30是表示實(shí)測值與光學(xué)傳感器的輸出的比較結(jié)果的第二圖。圖30表示將光學(xué)傳感器700配置在從初期位置朝向Yl方向(參照圖26) 1000 μ m的位置的場合。在圖30中，固定框180的端面El與光學(xué)傳感器700的端面E2的距離H為600 μ m+1000 μ m。在該場合，光學(xué)傳感器700配置在一部分與反射鏡110重合的位置。即使在圖30中，當(dāng)比較以虛線表示的PSD282的輸出(實(shí)測值)的各峰值與以實(shí)線表示的光學(xué)傳感器700的輸出的各峰值，則存在些許偏差，但光學(xué)傳感器700的輸出可以說為大致與實(shí)測值相同的波形。由此，在本實(shí)施方式中，可以將光學(xué)傳感器700配置在距離Η=600 μ m+1000 μ m的位置、即一部分與反射鏡110重合的位置。圖31是表示實(shí)測值與光學(xué)傳感器的輸出的比較結(jié)果的第三圖。圖31表示將光學(xué)傳感器700配置在從初期位置朝向Yl方向(參照圖26) 3850 μ m的位置的場合。在圖31中，固定框180的端面El與光學(xué)傳感器700的端面E2的距離H為600 μ m+3850 μ m。在該場合，光學(xué)傳感器700配置在一部分與Yl方向側(cè)的可動框160重合的位置。在該場合，光學(xué)傳感器700的輸出與以與Y2方向側(cè)的可動框160重合的方式配置的場合相比，為反相的信號。因此，在圖31的例子中，將使光學(xué)傳感器700的輸出的相位反轉(zhuǎn)的信號作為光學(xué)傳感器700的輸出而與實(shí)測值進(jìn)行比較。在圖31中，以虛線表示的PSD282的輸出(實(shí)測值)與以實(shí)線表示的光學(xué)傳感器700的輸出大致一致。另外，就圖31的比較結(jié)果而言，當(dāng)比較實(shí)測值與光學(xué)傳感器700的輸出的峰值的重合方式時，可以說，光學(xué)傳感器700的輸出比圖29、圖30所示的比較結(jié)果接近實(shí)測值。在本實(shí)施方式的光掃描模塊100D中，在使反射鏡110在垂直方向上擺動時，Yl方向側(cè)的可動框160為軸。從圖29至圖31的比較結(jié)果來看，在本實(shí)施方式中，將光學(xué)傳感器700配置在接近成為垂直方向的擺動的軸的一側(cè)的可動框160的一方能夠高精度地檢測反射鏡110的傾斜。由此，在本實(shí)施方式中，可以將光學(xué)傳感器700配置在距離Η=600 μ m+3850 μ m的位置、即一部分與Yl方向側(cè)的可動框160重合的位置。另外，在本實(shí)施方式中，將光學(xué)傳感器700配置在反射鏡110的中心軸上，但不限定于此。例如，光學(xué)傳感器700可以以一部分與反射鏡110和第一驅(qū)動梁150A重合的方式配置，也可以以一部分與反射鏡110和第一驅(qū)動梁150B重合的方式配置。另外，光學(xué)傳感器700可以以一部分與反射鏡110重合的方式配置。本實(shí)施方式的光學(xué)傳感器700與實(shí)測值比較，只要是判斷為充分地檢測了反射鏡110的傾斜的場合，就可以配置在可動部K的某個位置。這樣，在本實(shí)施方式中`，在檢測反射鏡110的垂直方向的傾斜時，通過代替壓電傳感器使用光學(xué)傳感器700，不需要考慮傳感器配線的干擾，能夠高精度地檢測反射鏡的傾斜。以上，根據(jù)各實(shí)施方式進(jìn)行了本發(fā)明的說明，但本發(fā)明不限定于上述實(shí)施方式表示的必要條件。關(guān)于這一點(diǎn)，能夠在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)進(jìn)行變更，能夠根據(jù)其應(yīng)用方式適當(dāng)?shù)貨Q定。
權(quán)利要求
1.一種光掃描裝置，其利用扭轉(zhuǎn)梁從軸向兩側(cè)支撐對反射鏡進(jìn)行支撐的反射鏡支撐部，通過上述扭轉(zhuǎn)梁的扭轉(zhuǎn)，使上述反射鏡支撐部在繞軸方向上擺動，該光掃描裝置的特征在于，具有 以夾著上述反射鏡及上述反射鏡支撐部的方式成對設(shè)置的第一驅(qū)動梁； 將上述第一驅(qū)動梁的一側(cè)與上述扭轉(zhuǎn)梁連結(jié)的連結(jié)梁；以及 第一壓電傳感器，其形成在上述連結(jié)梁上，當(dāng)在上述第一驅(qū)動梁上施加驅(qū)動電壓而使上述反射鏡擺動時，檢測由上述扭轉(zhuǎn)梁的繞軸的擺動引起的上述連結(jié)梁的位移， 上述第一壓電傳感器將上部電極配線向夾著上述反射鏡及上述反射鏡支撐部的一方的上述第一驅(qū)動梁引出，將下部電極配線向夾著上述反射鏡及上述反射鏡支撐部的另一方的上述第一驅(qū)動梁引出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光掃描裝置，其特征在于， 具有包圍上述反射鏡及上述反射鏡支撐部、上述扭轉(zhuǎn)梁、上述第一驅(qū)動梁、以及上述連結(jié)梁的可動框； 第二驅(qū)動梁，其以夾著上述可動框的方式成對，一端連結(jié)在上述可動框上，使上述反射鏡及上述反射鏡支撐部在與上述繞軸正交的方向上擺動；以及 第二壓電傳感器，其形成在上述第二驅(qū)動梁上，當(dāng)在上述第二驅(qū)動梁上施加驅(qū)動電壓而使上述反射鏡擺動時，檢測上述第二驅(qū)動梁的位移。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光掃描裝置，其特征在于， 上述上部電極配線以與向上述一方的上述第一驅(qū)動梁具有的驅(qū)動源供給驅(qū)動電壓的一方的驅(qū)動配線并行的方式形成， 上述下部電極配線以與向上述另一方的上述第一驅(qū)動梁具有的驅(qū)動源供給驅(qū)動電壓的另一方的驅(qū)動配線并行的方式形成， 上述上部電極配線和上述一方的驅(qū)動配線并行的長度與上述下部電極配線和上述另一方的驅(qū)動配線并行的長度相等。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光掃描裝置，其特征在于， 在上述上部電極配線與上述一方的驅(qū)動配線之間、以及上述下部電極配線與上述另一方的驅(qū)動配線之間形成有與地線連接的保護(hù)圖案。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光掃描裝置，其特征在于， 上述保護(hù)圖案從上述上部電極配線與上述一方的驅(qū)動配線開始并行的位置、以及上述下部電極配線與上述另一方的驅(qū)動配線開始并行的位置形成。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光掃描裝置，其特征在于， 上述保護(hù)圖案從下述位置的附近形成 上述下部電極配線與設(shè)在一方的上述第二驅(qū)動梁上的一方的上述第二壓電傳感器的上部電極配線及下部電極配線開始并行的位置；以及 上述上部電極配線與設(shè)在另一方的上述第二驅(qū)動梁上的另一方的上述第二壓電傳感器的上部電極配線及下部電極配線開始并行的位置。
7.一種光掃描控制裝置，其具備權(quán)利要求1 6任一項(xiàng)所述的光掃描裝置，該光掃描控制裝置的特征在于， 具有干擾去除部，其根據(jù)施加在夾著上述反射鏡及上述反射鏡支撐部的一方的上述第一驅(qū)動梁上的第一驅(qū)動電壓與施加在夾著上述反射鏡及上述反射鏡支撐部的另一方的上述第一驅(qū)動梁上的第二驅(qū)動電壓，產(chǎn)生第一規(guī)定成分信號及第二規(guī)定成分信號， 該干擾去除部根據(jù)上述第一規(guī)定成分信號與上述第二規(guī)定成分信號去除從上述第一壓電傳感器輸出的輸出信號的干擾成分。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光掃描控制裝置，其特征在于， 上述干擾去除部具有與上述第一驅(qū)動電壓及上述第二驅(qū)動電壓的各個對應(yīng)的第一及第二增益、相位調(diào)整部， 上述第一規(guī)定成分信號通過利用上述第一增益、相位調(diào)整部使上述第一驅(qū)動電壓的振幅與相位成為規(guī)定的值的調(diào)整而產(chǎn)生， 上述第二規(guī)定成分信號通過利用上述第二增益、相位調(diào)整部使上述第二驅(qū)動電壓的振幅與相位成為規(guī)定的值的調(diào)整而產(chǎn)生。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光掃描控制裝置，其特征在于， 上述第一規(guī)定成分信號的振幅與相位與下述信號的振幅與相位相等 在將上述反射鏡不擺動的頻率的上述第一驅(qū)動電壓供給到設(shè)在上述第一驅(qū)動梁中夾著上述反射鏡及上述反射鏡支撐部的一方上的第一驅(qū)動源上時，從上述第一壓電傳感器輸出的信號， 上述第二規(guī)定成分信號的振幅與相位與下述信號的振幅與相位相等 在將上述反射鏡不擺動的頻率的上述第二驅(qū)動電壓供給到設(shè)在上述第一驅(qū)動梁中夾著上述反射鏡及上述反射鏡支撐部的另一方上的第二驅(qū)動源上時，從上述第一壓電傳感器輸出的信號。
10.根據(jù)權(quán)利要求7 9任一項(xiàng)所述的光掃描控制裝置，其特征在于， 上述干擾去除部具有 將上述第一規(guī)定成分信號與上述第二規(guī)定成分信號相加的相加電路；以及從輸出信號減去上述第一規(guī)定成分信號與上述第二規(guī)定成分信號的相加結(jié)果的相減電路，該輸出信號從上述第一壓電傳感器輸出。
11.根據(jù)權(quán)利要求8 10任一項(xiàng)所述的光掃描控制裝置，其特征在于， 上述干擾去除部具有控制上述第一及第二增益、相位調(diào)整部，并從上述第一驅(qū)動電壓及上述第二驅(qū)動電壓產(chǎn)生上述第一規(guī)定成分信號與上述第二規(guī)定成分信號的控制部。
12.一種光掃描裝置，其利用扭轉(zhuǎn)梁從軸向兩側(cè)支撐對反射鏡進(jìn)行支撐的反射鏡支撐部，通過上述扭轉(zhuǎn)梁的扭轉(zhuǎn)，使上述反射鏡支撐部在繞軸方向上擺動，該光掃描裝置的特征在于，具有 以夾著上述反射鏡及上述反射鏡支撐部的方式成對設(shè)置的第一驅(qū)動梁； 將上述第一驅(qū)動梁的一側(cè)與上述扭轉(zhuǎn)梁連結(jié)的連結(jié)梁；以及 形成在上述連結(jié)梁上，檢測由上述扭轉(zhuǎn)梁的繞軸的擺動引起的上述連結(jié)梁的位移的第一壓電傳感器與第二壓電傳感器， 上述第一壓電傳感器與上述第二壓電傳感器將各個上部電極配線及下部電極配線向夾著上述反射鏡及上述反射鏡支撐部的一方的上述第一驅(qū)動梁引出， 將第一驅(qū)動配線與第二驅(qū)動配線向夾著上述反射鏡及上述反射鏡支撐部的另一方的上述第一驅(qū)動梁拉出，該第一驅(qū)動配線將第一驅(qū)動電壓供給到在上述第一驅(qū)動梁中夾著上述反射鏡及上述反射鏡支撐部的一方所設(shè)的第一驅(qū)動源，該第二驅(qū)動配線將第二驅(qū)動電壓向在上述第一驅(qū)動梁中夾著上述反射鏡及上述反 射鏡支撐部的另一方所設(shè)的第二驅(qū)動源。
全文摘要
本發(fā)明提供能夠減少傳感器配線的干擾，高精度地檢測反射鏡的傾斜的光掃描裝置及光掃描控制裝置。該光掃描裝置具有以夾著反射鏡及反射鏡支撐部的方式成對設(shè)置的第一驅(qū)動梁；將第一驅(qū)動梁的一側(cè)與扭轉(zhuǎn)梁連結(jié)的連結(jié)梁；以及第一壓電傳感器，其形成在連結(jié)梁上，當(dāng)在第一驅(qū)動梁上施加驅(qū)動電壓而使上述反射鏡擺動時，檢測由扭轉(zhuǎn)梁的繞軸的擺動引起的連結(jié)梁的位移，第一壓電傳感器機(jī)構(gòu)將上部電極配線向夾著反射鏡及反射鏡支撐部的一方的第一驅(qū)動梁引出，將下部電極配線向夾著反射鏡及反射鏡支撐部的另一方的第一驅(qū)動梁引出。
文檔編號G02B26/10GK103033928SQ20121038050
公開日2013年4月10日 申請日期2012年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月3日
發(fā)明者田中豐樹, 高橋宗明, 關(guān)根久通, 阿賀壽典, 日比谷利一郎 申請人:三美電機(jī)株式會社