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一種掃描標(biāo)準(zhǔn)具的制作方法

文檔序號:2758621閱讀:274來源:國知局
專利名稱:一種掃描標(biāo)準(zhǔn)具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及光學(xué)領(lǐng)域,特別是涉及一種掃描標(biāo)注具。
背景技術(shù)
在光通訊領(lǐng)域,經(jīng)常要使用到結(jié)構(gòu)簡單、可掃描式的標(biāo)準(zhǔn)具。附圖1是常見反射式 MEMS (Micro Electro Mechanical System)標(biāo)準(zhǔn)具,由一部分反射鏡和一 MEMS組成,部分 反射鏡和MEMS分別作為標(biāo)準(zhǔn)具的一個腔片,反射式MEMS標(biāo)準(zhǔn)具僅能制作可調(diào)G-T標(biāo)準(zhǔn)具, 功能受到很大限制。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于針對現(xiàn)有反射式標(biāo)準(zhǔn)具僅能制作可調(diào)G-T標(biāo)準(zhǔn)具,功能受到很 大限制的技術(shù)問題,提供一種掃描標(biāo)準(zhǔn)具,達到擴展反射式MEMS在掃描標(biāo)準(zhǔn)具上應(yīng)用范圍 的目的。為達到上述目的,本發(fā)明所提出的技術(shù)方案為一種掃描標(biāo)準(zhǔn)具,包括兩腔片 101、102,一 MEMS103,其特征在于,兩個腔片101、102放置于MEMS103同一側(cè),且MEMS103與 兩腔片101、102間的距離可以調(diào)節(jié),兩腔片101、102間鍍有相同或不同的膜。移動MEMS103 以改變兩個腔片101、102之間的空氣隙大小,從而可以實現(xiàn)一種連續(xù)可調(diào)的透射式標(biāo)準(zhǔn)具。進一步,上述技術(shù)方案提到的掃描標(biāo)準(zhǔn)具,可以用來制作可調(diào)窄線寬激光器,一種 可調(diào)窄線寬激光器,除包括上述的掃描標(biāo)準(zhǔn)具外,還包括一部分反射鏡106,一激光二極管 或固體激光器107,激光二極管或固體激光器107發(fā)出的光譜線寬較寬,激光二極管或固體 激光器107發(fā)出光譜經(jīng)腔片101進入掃描表準(zhǔn)具,透射出腔片102的光通過部分反射鏡106 經(jīng)掃描標(biāo)準(zhǔn)具反射回激光二極管或固體激光器107。


圖1為反射式MEMS可調(diào)標(biāo)準(zhǔn)具結(jié)構(gòu)示意圖; 圖2為本發(fā)明掃描標(biāo)準(zhǔn)具結(jié)構(gòu)示意圖3為可調(diào)窄線寬激光器結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖對本發(fā)明做進一步說明。101.腔片、102.腔片、103. MEMS、104.入射光束、105.透射光束、106.部分反射
鏡、107.激光二極管或固體激光器。如圖2所示,一種掃描標(biāo)準(zhǔn)具,包括腔片101、腔片102、及MEMS103,腔片101、腔片 102為標(biāo)準(zhǔn)具的兩個腔片,位于MEMS103的同一側(cè),腔片101和腔片102鍍有相同或者不同 的膜層,且MEMS103與兩腔片101、102間的距離可以調(diào)節(jié)當(dāng)光束104以一定的角度入射至腔片101,部分光a透過腔片101,部分光b反射;透過 腔片101的光a經(jīng)過MEMS 103反射至腔片102,經(jīng)過腔片102部分光c透射出去,部分光d 反射;部分光d經(jīng)過MEMS反射回腔片101上,部分光e透射,部分光f反射至MEMS再反射 到腔片102上;部分光g透射,部分光h反射;以此類推,c, g……等光束經(jīng)過腔片102透射 出去,發(fā)生干涉,形成標(biāo)準(zhǔn)具透射光束;b,e……等光束經(jīng)過腔片101反射回去,發(fā)生干涉, 形成標(biāo)準(zhǔn)具反射光束。另外MEMS103可以上下移動,相當(dāng)于改變標(biāo)準(zhǔn)具的空氣隙大小,這樣 就做成一個可掃描式的透射標(biāo)準(zhǔn)具。圖3是利用此掃描標(biāo)準(zhǔn)具制作的可調(diào)窄線寬激光器,腔片101、MEMS103、腔片102 構(gòu)成掃描具,激光二極管或固體激光器107發(fā)出的光譜線寬較寬,且激光器可以為固體激 光器。激光二極管或固體激光器107發(fā)出的光譜通過掃描標(biāo)準(zhǔn)具過濾后,透射光譜經(jīng)由部 分反射鏡106并經(jīng)掃描標(biāo)準(zhǔn)具反射回激光二極管或固體激光器107,反射回的光譜波段在 激光二極管107諧振腔內(nèi)諧振放大,其他光譜范圍波段同時被抑制。這樣就可以實現(xiàn)激光 二極管或固體激光器107原來較寬的光譜波段由寬變窄。另外由于MEMS可調(diào),較窄線寬的 中心波長也可以根據(jù)需要發(fā)生改變。盡管結(jié)合優(yōu)選實施方案具體展示和介紹了本發(fā)明,但所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該明 白,在不脫離所附權(quán)利要求書所限定的本發(fā)明的精神和范圍內(nèi),在形式上和細(xì)節(jié)上可以對 本發(fā)明做出各種變化,均為本發(fā)明的保護范圍。
權(quán)利要求
1.一種掃描標(biāo)準(zhǔn)具(100),包括兩腔片(101、102)、一 MEMS (103),其特征在于,兩腔片 (101、102)放置于 MEMS (103)同一側(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掃描標(biāo)準(zhǔn)具(100),其特征在于所述的MEMS(103)與 兩腔片(101、102)之間的距離可以調(diào)節(jié)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種掃描標(biāo)準(zhǔn)具(100),其特征在于兩腔片(101、102) 間鍍有相同的膜。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種掃描標(biāo)準(zhǔn)具(100),其特征在于兩腔片(101、102) 間鍍有不同的膜。
5.一種可調(diào)窄線寬激光器,其特征在于除包括上述任一權(quán)利要求所述的掃描標(biāo)準(zhǔn)具 外,還包括一部分反射鏡(106),一激光二極管或固體激光器(107),激光二極管或固體激 光器(107)位于腔片(101)前方,部分反射鏡(106)位于腔片(102)透射光光路上。
全文摘要
一種掃描標(biāo)準(zhǔn)具,包括兩腔片、一MEMS,其特征在于,兩個腔片放置于MEMS同一側(cè),且MEMS與兩腔片間的距離可以調(diào)節(jié),兩腔片間鍍有相同或不同的膜,移動MEMS以改變兩個腔片之間的空氣隙大小,從而可以實現(xiàn)一種連續(xù)可調(diào)的透射式標(biāo)準(zhǔn)具,達到擴展反射式MEMS在掃描標(biāo)準(zhǔn)具上應(yīng)用范圍的目的。
文檔編號G02B26/00GK102087409SQ201010565420
公開日2011年6月8日 申請日期2010年11月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月30日
發(fā)明者吳勵, 胡豪成, 鄭保忠 申請人:福州高意通訊有限公司
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