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一種掃描標(biāo)準(zhǔn)具的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2758621

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本發(fā)明涉及光學(xué)領(lǐng)域,特別是涉及一種掃描標(biāo)注具。 背景技術(shù)在光通訊領(lǐng)域,經(jīng)常要使用到結(jié)構(gòu)簡單、可掃描式的標(biāo)準(zhǔn)具。附圖1是常見反射式 MEMS (Micro Electro Mechanical System)標(biāo)準(zhǔn)具,由一部分反射鏡和一 MEMS組成,部分 反射鏡和MEMS分別作為標(biāo)準(zhǔn)具的一個腔片,反射式MEMS標(biāo)準(zhǔn)具僅能制作可調(diào)G-T標(biāo)準(zhǔn)具, 功能受到很大限制。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于針對現(xiàn)有反射式標(biāo)準(zhǔn)具僅能制作可調(diào)G-T標(biāo)準(zhǔn)具,功能受到很 大限制的技術(shù)問題...
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