專利名稱：：光敏樹脂組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種光敏樹脂組合物，其使用兩種粘合劑樹脂的摻混物作為堿溶性粘合劑樹脂，以確保直線圖案的形成和對基板的良好粘附，同時(shí)達(dá)到適用于透反式液晶顯示器(LCD)的高分辨率。2.相關(guān)技術(shù)描述液晶顯示器(LCD)包括上下透明絕緣基板以及插入其間的液晶層。所述液晶層通過在兩個(gè)基板之間注入一種具有各向異性介電常數(shù)的液晶形成。向液晶層施加電壓以改變液晶分子的排列。該分子排列控制穿過液晶層以顯示所需圖像的光的量。LCD不是自發(fā)光設(shè)備，因此需要外部光源。LCD可根據(jù)其所使用的外部光源的類型泛泛地劃分為透射式LCD和反射式LCD。透射式LCD使用冷陰極熒光燈(CCFL)或發(fā)光二極管(LED)作光源。反射式LCD反射外部入射光并使用所反射的光作為光源。透射式LCD可發(fā)出強(qiáng)光，但具有高能耗的缺點(diǎn)。反射式LCD具有低能耗的優(yōu)勢，但當(dāng)外部光較弱時(shí)不能使用。為克服上述兩種LCD的不足，已做出各種嘗試。例如，為開發(fā)當(dāng)外部光源存在時(shí)由反射式LCD驅(qū)動、且當(dāng)外部光源不足時(shí)以透射模式驅(qū)動的透反式LCD并使其商業(yè)化，已進(jìn)行了大量的研究。用于透反式LCD的光敏樹脂組合物需要滿足能夠形成比現(xiàn)有結(jié)構(gòu)的圖案更復(fù)雜、更精細(xì)的圖案的加工特性。對光敏樹脂組合物的另一個(gè)要求是能夠?qū)ο聦踊寰哂辛己玫恼掣叫圆⑿纬瑟M窄圖案。相反，常規(guī)光敏樹脂組合物不能同時(shí)滿足對下層基板的粘附性和形成高分辨率精細(xì)圖案的要求。也就是說，一些常規(guī)光敏樹脂組合物通過舍棄對下層基板的粘附性來形成高分辨率精細(xì)圖案。而一些具有良好粘附性的常規(guī)光敏樹脂組合物難以形成高分辨率圖案。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的一個(gè)目標(biāo)是提供一種能夠形成高分辨率精細(xì)圖案、并對下層基板具有良好粘附性的光敏樹脂組合物。為解決現(xiàn)有技術(shù)的問題，本發(fā)明的發(fā)明人進(jìn)行了深入的研究，已發(fā)現(xiàn)如下的光敏樹脂組合物具有適用于透反式LCD的物理性能所述光敏樹脂組合物使用一種具有合適重量比的具有不同分子量分布的兩種粘合劑樹脂的摻混物作為堿溶性粘合劑樹脂，其中一種粘合劑樹脂不含反應(yīng)基團(tuán)，另一種粘合劑樹脂含有反應(yīng)基團(tuán)。本發(fā)明基于該發(fā)現(xiàn)而完成。根據(jù)本發(fā)明，提供一種光敏樹脂組合物，其包含一種第一粘合劑樹脂和第二粘合劑樹脂的摻混物作為堿溶性粘合劑樹脂，其中所述第一粘合劑樹脂的重量平均分子量大于或等于1，000且低于20，000，并且不含反應(yīng)基團(tuán)，所述第二粘合劑樹脂的重量平均分子量大于或等于20，000且低于80，000，并且含有反應(yīng)基團(tuán)。本發(fā)明的上述和/或其他方面和優(yōu)點(diǎn)將通過下文結(jié)合附圖對實(shí)施方案的描述而變得顯而易見且更容易理解，其中圖1是使用實(shí)施例3中制備的光敏樹脂組合物通過一個(gè)在40m寬的線狀圖案中具有方孔(20x20ym)的掩模而形成的圖案的掃描電子顯微鏡(SEM)圖像；并且圖2是使用實(shí)施例3中制備的光敏樹脂組合物通過一個(gè)具有5m寬的線狀圖案的掩模而形成的圖案的掃描電子顯微鏡(SEM)圖像。具體實(shí)施例方式現(xiàn)將更詳細(xì)地描述本發(fā)明的示例性實(shí)施方案。本發(fā)明提供一種光敏樹脂組合物，其包含一種堿溶性粘合劑樹脂、一種著色劑、一種具有至少一個(gè)烯鍵式不飽和鍵的可聚合化合物、一種光引發(fā)劑、一種溶劑和一種或多種添加劑，其中所述堿溶性粘合劑樹脂是兩種粘合劑樹脂的摻混物。具體而言，所述堿溶性粘合劑樹脂是第一粘合劑樹脂和第二粘合劑樹脂的摻混物。更具體地，所述第一粘合劑樹脂的重量平均分子量大于或等于1，000且低于20，000，并且不含反應(yīng)基團(tuán)；所述第二粘合劑樹脂的重量平均分子量大于或等于20，000且低于80，000，并且含有反應(yīng)基團(tuán)。也就是說，所述第一粘合劑樹脂的特征在于相對低的重量平均分子量和不存在反應(yīng)基團(tuán)，所述第二粘合劑樹脂的特征在于相對高的重量平均分子量和存在反應(yīng)基團(tuán)?；谶@些特征，所述第一粘合劑樹脂用于提高光敏樹脂組合物的分辨率，所述第二粘合劑樹脂有助于改善圖案形成時(shí)光敏樹脂組合物的粘附性，因?yàn)榈诙澈蟿渲姆磻?yīng)基團(tuán)可與單體在光引發(fā)劑的存在下反應(yīng)。所述第二粘合劑樹脂的反應(yīng)基團(tuán)是指不飽和雙鍵。所述第一粘合劑樹脂的重量平均分子量大于或等于1，000且低于20，000，優(yōu)選5，000至10，000。如果所述第一粘合劑樹脂的重量平均分子量小于1，000，則不能充分形成圖案。另外，如果第一粘合劑樹脂的重量平均分子量不低于20，000，則不能期望所需的圖案的高分辨率特性。第二粘合劑樹脂的重量平均分子量大于或等于20，000且低于80，000，優(yōu)選20，000至50，000。如果第二粘合劑樹脂的重量平均分子量小于20，000，則不能充分形成圖案。另外，如果第二粘合劑樹脂的重量平均分子量不低于80，000，則不能期望所需的圖案的顯影特性。具體而言，第一粘合劑樹脂含有式1、2和3的重復(fù)單元<formula>formulaseeoriginaldocumentpage6</formula>其中Rl各自獨(dú)立地為氫原子或甲基，R2選自CrQ。烷基、CrCe烷基酯基團(tuán)，被一個(gè)或多個(gè)C「C3烷基取代的苯基，和被一個(gè)或多個(gè)鹵原子取代的苯基，且a為10至30;<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>其中R1各自獨(dú)立地為氫原子或甲基，R3選自被一個(gè)或多個(gè)苯基(其中苯基各自任選地被c「c3烷基、鹵素或羥基取代)取代的c2-c6亞烷基酯基團(tuán)，c2-c8亞烷基酯基團(tuán)，未取代或被Q-Q烷基或鹵原子取代的亞苯基酯基團(tuán)，任選地被Q-Q烷基、鹵素或羥基取代的苯基，和被一個(gè)或多個(gè)苯基取代的Q-Q烷基，且b為10至80;<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>其中R1各自獨(dú)立地為氫原子或甲基，R4為一個(gè)直連的鍵，或選自C「Q。亞烷基，被一個(gè)或多個(gè)鹵原子取代的C「Ce亞烷基，和被一個(gè)或多個(gè)苯基取代的C「Ce亞烷基，且c為10至40。具體而言，第二粘合劑樹脂含有式4、5和6的重復(fù)單元<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>其中R5各自獨(dú)立地為氫原子或甲基，R6選自被一個(gè)或多個(gè)苯基(其中每個(gè)苯基任選地被c;-C3烷基、鹵素或羥基取代)取代的c2-c6亞烷基酯基團(tuán)，c2-c8亞烷基酯基團(tuán)，和未取代或被Q-Q烷基或鹵原子取代的亞苯基酯基團(tuán)，且d為10至80;<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>其中R5各自獨(dú)立地為氫原子或甲基，R7為一個(gè)直連的鍵，或選自C「Q。亞烷基，被一個(gè)或多個(gè)鹵原子取代的C「Ce亞烷基，和被一個(gè)或多個(gè)苯基取代的C「Ce亞烷基，且e為10至40;<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>其中R5各自獨(dú)立地為氫原子或甲基，R8選自C「Q。亞烷基，和被一個(gè)或多個(gè)鹵原子取代的C「Ce亞烷基，R9為氫原子或甲基，R10各自獨(dú)立地為氫原子或C「C3烷基，且f為10至50。式3和5的重復(fù)單元是分別為第一和第二粘合劑樹脂提供酸基團(tuán)的單體。式6的重復(fù)單元是式5的重復(fù)單元與一種含有一個(gè)不飽和雙鍵的環(huán)氧化物的反應(yīng)產(chǎn)物。此時(shí)，該反應(yīng)發(fā)生在式5的重復(fù)單元的酸基團(tuán)上。當(dāng)堿溶性樹脂中使用的第一粘合劑樹脂的量等于或大于第二粘合劑樹脂的量時(shí)，本發(fā)明的所需效果會表現(xiàn)得更加明顯。具體而言，第一粘合劑樹脂與第二粘合劑樹脂以i:l至4:1、優(yōu)選3:i的重量比摻混。在此范圍外，各粘合劑樹脂的固有特性不能充分獲得。優(yōu)選地，堿溶性粘合劑樹脂的酸值為50至200mgK0H/g且重量平均分子量為1，000至80，000。就光敏樹脂組合物的圖案形成性能和可靠性而言，所述堿溶性粘合劑樹脂以光敏樹脂組合物的總重量計(jì)優(yōu)選以5至30重量％的量存在。與使用包含一種或多種具有反應(yīng)基團(tuán)的單體、或一種或多種不具有反應(yīng)基團(tuán)的單體的常規(guī)粘合劑樹脂相比，使用分子量不同的一種不包含反應(yīng)基團(tuán)的粘合劑樹脂和一種包含反應(yīng)基團(tuán)的粘合劑樹脂的摻混物作為堿溶性粘合劑樹脂(如本發(fā)明)帶來的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)在于，所述各粘合劑樹脂的固有特性可被賦予光致抗蝕劑。本發(fā)明的光敏樹脂組合物可包含3至30重量％的著色劑、1至30重量％的可聚合化合物、0.5至5重量％的光引發(fā)劑、和10至90重量％的溶劑。著色劑的實(shí)例包括洋紅6B(Carmine6B，C.I.12490)，酞菁綠(PhthalocyanineGreen，C.I.74260)，酞菁藍(lán)(PhthalocyanineBlue,C.I.74160)，菲黑(PeryleneBlack,BASFK0084和K0086)，花青黑(CyanineBlack)，雷奧諾爾黃(LionolYellow,C.I.21090)，雷奧諾爾黃GRO(C.1.21090)，聯(lián)苯胺黃(BenzidineYellow)4T-564D，維多利亞艷藍(lán)(VictoriaPureBlue,C.I.42595)，C.I.顏料紅3、23、97、108、122、139、140、141、142、143、144、149、166、168、175、177、180、185、189、190、192、202、214、215、220、221、224、230、235、242、254、255、260、262、264和272，C.I.顏料綠7和36，C.I.顏料藍(lán)15:1、15:3、15:4、15:6、16、22、28、36、60和64，C.I.顏料黃13、14、35、53、83、93、95、110、120、138、139、150、151、154、175、180、181、185、194和213，和C.I.顏料紫15、19、23、29、32和37。也可使用白色顏料和熒光顏料。這些顏料可單獨(dú)使用或以兩種或更多種上述物質(zhì)的混合物的形式使用。具有至少一個(gè)烯鍵式不飽和鍵的可聚合化合物選自由a，|3-不飽和羧酸與多元醇的酯化獲得的化合物，如乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、具有2至14個(gè)亞乙基基團(tuán)的聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、具有2至14個(gè)亞丙基基團(tuán)的丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯和二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯；由含縮水甘油基的化合物與(甲基)丙烯酸的加合獲得的化合物，如三羥甲基丙烷三縮水甘油醚丙烯酸加合物和雙酚A二縮水甘油醚丙烯酸加合物；具有至少一個(gè)羥基或烯鍵式不飽和鍵的化合物的酯化產(chǎn)物，如(甲基)丙烯酸P-羥乙酯的鄰苯二甲酸二酯或(甲基)丙烯酸e-羥乙酯與多價(jià)羧酸的甲苯二異氰酸酯加合物及其與聚異氰酸酯的加合物；(甲基)丙烯酸的烷基酯，如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲8基)丙烯酸丁酯和(甲基)丙烯酸2_乙基己酯；及其混合物。光引發(fā)劑的實(shí)例包括三嗪化合物，如2，4-三氯甲基-(4'-甲氧基苯基)-6-三嗪、2，4-三氯甲基-(4'-甲氧基苯乙烯基)-6-三嗪、2，4-三氯甲基-(胡椒基)-6-三嗪、2，4-三氯甲基-(3'，4'-二甲氧基苯基)-6-三嗪和3-{4-[2，4-雙(三氯甲基)-均三嗪-6-基]苯硫基}丙酸；二咪唑化合物，如2，2'-雙(2-氯苯基)-4，4'，5，5'-四苯基二咪唑和2，2'-雙(2，3-二氯苯基)-4，4'，5，5'_四苯基二咪唑；苯乙酮化合物，如2-羥基-2-甲基-1-苯基丙-1-酮、1_(4-異丙基苯基)-2-羥基-2-甲基丙-1-酮、4-(2-羥基乙氧基)-苯基(2-羥基)丙基酮、l-羥基環(huán)己基苯基酮、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻異丁醚、苯偶姻丁醚、2，2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、2-甲基-(4-甲基苯硫基)-2-嗎啉并-1-丙-1-酮和2-苯甲基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉并苯基)_丁-1-酮；二苯甲酮化合物，如二苯甲酮、4，4'-雙(二甲基氨基)二苯甲酮、4，4'-雙(二乙基氨基)二苯甲酮、2，4，6-三甲基氨基二苯甲酮、甲基-鄰苯甲酰基苯甲酸酯、3，3-二甲基-4-甲氧基二苯甲酮和3，3'，4，4'-四(叔丁基過氧羰基)二苯甲酮；芴酮化合物，如9-芴酮、2-氯-9-芴酮和2-甲基-9-荷酮；噻噸酮化合物，如噻噸酮、2，4-二乙基噻噸酮、2-氯噻噸酮U-氯-4-丙氧基噻噸酮、異丙基噻噸酮和二異丙基噻噸酮；咕噸酮化合物，如咕噸酮和2-甲基咕噸酮；蒽醌化合物，如蒽醌、2-甲基蒽醌、2-乙基蒽醌、叔丁基蒽醌和2，6-二氯-9，10-蒽醌；吖啶化合物，如9-苯基吖啶、l，7-雙(9-吖啶基)庚烷、l，5-雙(9-吖啶基)戊烷和l，3-雙(9-吖啶基)丙烷；二羰基化合物，如1，7，7-三甲基-雙環(huán)[2，2，1]庚烷-2，3-二酮和9，10-菲醌；氧化膦化合物，如2，4，6-三甲基苯甲?；交趸?、雙(2，6-二甲氧基苯甲?；?-2，4，4-三甲基戊基氧化膦和雙(2，6-二氯苯甲?；?丙基氧化膦；胺增效劑，如甲基-4-(二甲基氨基)苯甲酸酯、乙基-4-(二甲基氨基)苯甲酸酯、2-正丁氧基乙基-4-(二甲基氨基)苯甲酸酯、2，5-雙(4-二乙基氨基亞芐基)環(huán)戊酮、2，6-雙(4-二乙基氨基亞芐基)環(huán)己酮和2，6-雙(4-二乙基氨基亞芐基)-4-甲基-環(huán)己酮；香豆素化合物，如3，3'-羰基乙烯基-7-(二乙基氨基)香豆素、3-(2-苯并噻唑基)-7-(二乙基氨基)香豆素、3-苯甲?；?7-(二乙基氨基)香豆素、3-苯甲?；?7-甲氧基香豆素和IO，IO'-羰基雙[1，1，7，7-四甲基-2，3，6，7-四氫-lH，5H，llH-Cl]-苯并吡喃并[6，7，8-ij]-喹嗪-11-酮；查耳酮化合物，如4-二乙基氨基查耳酮和4-疊氮亞芐基苯乙酮；2-苯甲?；淄?2-benzoylmethylene);和3_甲基_|3-萘并噻唑啉。這些光引發(fā)劑可單獨(dú)使用，或以兩種或更多種上述物質(zhì)的混合物的形式使用。所述溶劑選自乙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、二丁基醚、環(huán)己酮、2_庚酮、乙酸2-乙氧基乙酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、乙酸2-甲氧基乙酯、3_甲氧基丙酸甲酯、二丙二醇二甲醚、二乙二醇丁醚、二乙二醇二甲醚、乙酸3-甲氧基丁酯、3_乙氧基丙酸乙酯、二丙二醇甲醚乙酸酯、二丙二醇丁基醚、二丙二醇單甲醚、二乙二醇二乙醚、乙二醇單乙酸酯、乙二醇二乙酸酯、及其混合物。對本領(lǐng)域的技術(shù)人員將顯而易見的是，可向本發(fā)明的光敏樹脂組合物中加入一種或多種添加劑，只要它們不影響所述光敏樹脂組合物的物理性能即可。此外，本領(lǐng)域的技術(shù)人員將理解，雖然下列實(shí)施例僅示出了構(gòu)成本發(fā)明光敏樹脂組合物的單個(gè)成分的幾個(gè)實(shí)例，但是所述成分包括的各種等效物也可產(chǎn)生與所述成分相似的效果。下列實(shí)施例用以說明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方案，而非意欲限制本發(fā)明。9實(shí)施例〈合成實(shí)施例1>在氮?dú)猸h(huán)境下，使用機(jī)械攪拌器將83g甲基丙烯酸苯甲酯、18g甲基丙烯酸、14gN-苯基馬來酰亞胺、10g苯乙烯、2.5g作為鏈轉(zhuǎn)移劑的3-巰基丙酸和370g作為溶劑的乙酸3-甲氧基丁酯在反應(yīng)器中混合30分鐘。在氮?dú)猸h(huán)境下將反應(yīng)器加熱至7(TC。當(dāng)混合物的溫度達(dá)到7(TC時(shí)，向反應(yīng)器中加入3.3g作為熱聚合引發(fā)劑的偶氮二異丁腈(AIBN)。將混合物攪拌8小時(shí)，得到聚合物。然后，將反應(yīng)器加熱至8(TC。繼續(xù)攪拌30分鐘以完成所需丙烯酸樹脂的合成。發(fā)現(xiàn)丙烯酸樹脂的酸值為100mgK0H/g。所述丙烯酸樹脂通過凝膠滲透色譜法(GPC)測得的重量平均分子量基于聚苯乙烯計(jì)為7，000g/mo1?！春铣蓪?shí)施例2〉在氮?dú)猸h(huán)境下，使用機(jī)械攪拌器將101g甲基丙烯酸苯甲酯、23g甲基丙烯酸、0.9g作為鏈轉(zhuǎn)移劑的3-巰基丙酸和370g作為溶劑的乙酸3-甲氧基丁酯在反應(yīng)器中混合30分鐘。在氮?dú)猸h(huán)境下將反應(yīng)器加熱至7(TC。當(dāng)混合物的溫度達(dá)到7(TC時(shí)，向反應(yīng)器中加入2.5g作為熱聚合引發(fā)劑的AIBN。將混合物攪拌8小時(shí)，得到聚合物。然后，將反應(yīng)器加熱至8(TC。向反應(yīng)器中加入0.3g四丁基溴化銨和0.lg作為熱聚合引發(fā)劑的氫醌單甲醚(MEHQ)，接著攪拌30分鐘。向所述聚合物溶液中加入10g甲基丙烯酸縮水甘油酯。在12(TC下繼續(xù)攪拌12小時(shí)以完成所需丙烯酸樹脂的合成。發(fā)現(xiàn)丙烯酸樹脂的酸值為90mgK0H/g。所述丙烯酸樹脂通過GPC測得的重量平均分子量基于聚苯乙烯計(jì)為22，O00g/mol。〈合成比較例1〉在氮?dú)猸h(huán)境下，使用機(jī)械攪拌器將62g甲基丙烯酸苯甲酯、45g甲基丙烯酸、10gN-苯基馬來酰亞胺、7g苯乙烯、2.5g作為鏈轉(zhuǎn)移劑的3-巰基丙酸和370g作為溶劑的乙酸3-甲氧基丁酯在反應(yīng)器中混合30分鐘。在氮?dú)猸h(huán)境下將反應(yīng)器加熱至7(TC。當(dāng)混合物的溫度達(dá)到7(TC時(shí)，向反應(yīng)器中加入2.7g作為熱聚合引發(fā)劑的AIBN。將混合物攪拌8小時(shí)，得到聚合物。然后，將反應(yīng)器加熱至80°C。向反應(yīng)器中加入0.5g四丁基溴化銨和0.lg作為熱聚合引發(fā)劑的MEHQ，接著攪拌30分鐘。向所述聚合物溶液中加入43g甲基丙烯酸縮水甘油酯。在12(TC下繼續(xù)攪拌12小時(shí)以完成所需丙烯酸樹脂的合成。發(fā)現(xiàn)丙烯酸樹脂的酸值為80mgK0H/g。所述丙烯酸樹脂通過GPC測得的重量平均分子量基于聚苯乙烯計(jì)為10，000g/mol?！春铣杀容^例2〉在氮?dú)猸h(huán)境下，使用機(jī)械攪拌器將30g甲基丙烯酸苯甲酯、36g甲基丙烯酸、20gN-苯基馬來酰亞胺、14g苯乙烯、0.5g作為鏈轉(zhuǎn)移劑的3-巰基丙酸和400g作為溶劑的乙酸3-甲氧基丁酯在反應(yīng)器中混合30分鐘。在氮?dú)猸h(huán)境下將反應(yīng)器加熱至7(TC。當(dāng)混合物的溫度達(dá)到7(TC時(shí)，向反應(yīng)器中加入2.7g作為熱聚合引發(fā)劑的AIBN。將混合物攪拌8小時(shí)，得到聚合物。然后，將反應(yīng)器加熱至80°C。向反應(yīng)器中加入0.5g四丁基溴化銨和0.lg作為熱聚合引發(fā)劑的MEHQ，接著攪拌30分鐘。向所述聚合物溶液中加入25g甲基丙烯酸縮水甘油酯。在12(TC下繼續(xù)攪拌12小時(shí)以完成所需丙烯酸樹脂的合成。發(fā)現(xiàn)丙烯酸樹脂的酸值為115mgK0H/g。所述丙烯酸樹脂通過GPC測得的重量平均分子量基于聚苯乙烯計(jì)為17，000g/mol?！磳?shí)施例1>光敏樹脂組合物的制備將5g作為著色劑的C.I.顏料綠36(G36)和C.I.顏料黃150(Y150)的混合物，3g合成實(shí)施例1中制備的樹脂，3g合成實(shí)施例2中制備的樹脂，3g作為可聚合化合物的二季戊四醇六丙烯酸酯，lg作為光引發(fā)劑的苯乙酮引發(fā)劑、三嗪引發(fā)劑和感光劑的混合物，以及85g作為有機(jī)溶劑的丙二醇單乙醚乙酸酯(PGMEA)、乙酸3-甲氧基丁酯(3-MBA)和二丙二醇單甲醚(DPM)的混合物在混合器中混合1.5小時(shí)。使所述混合物在室溫下保持1.5小時(shí)以穩(wěn)定化。〈比較例1>光敏樹脂組合物的制備以與實(shí)施例1中相同的方法制備一種光敏樹脂組合物，不同的是使用合成比較例1中制備的樹脂代替合成實(shí)施例1中制備的樹脂。〈比較例2>光敏樹脂組合物的制備以與實(shí)施例1中相同的方法制備一種光敏樹脂組合物，不同的是使用合成比較例2中制備的樹脂代替合成實(shí)施例2中制備的樹脂?！磳逭掣叫缘脑u價(jià)>實(shí)施例1和比較例1和2中制備的每種光敏樹脂組合物通過旋涂施用于玻璃基板上，并在約9(TC預(yù)焙100秒以形成一種具有約1.8iim的厚度的均勻膜。將所述膜通過堿石灰掩模以40mJ/cm2的照射劑量曝光，并在25。C下用0.043%KOH溶液顯影80秒以形成圖案。圖案損失程度在光學(xué)顯微鏡下觀察，并作為圖案對基板的粘附性進(jìn)行評價(jià)。結(jié)果示于表1中?！淳?xì)圖案的形成和高分辨率的評價(jià)(1)>實(shí)施例1和比較例1和2中制備的光敏樹脂組合物通過旋涂分別施用于玻璃基板上，并在約9(TC預(yù)焙100秒以形成一種具有約1.8iim的厚度的均勻膜。將所述膜通過具有不同大小和形狀的穿孔圖案(holepattern)的石英掩模以40mJ/cm2的照射劑量曝光，并在25t:下用0.043%KOH溶液顯影60秒以形成圖案。在掃描電子顯微鏡(SEM)下觀察圖案的大小和形狀以評價(jià)所述光敏樹脂組合物形成精細(xì)圖案的能力和所述光敏樹脂組合物的高分辨率。結(jié)果示于表l中。隨著穿孔圖案大小的增加，所述光敏樹脂組合物被認(rèn)為具有更高的分辨率。這里，所述孔為方形而非圓形。表1實(shí)施例12對基板的粘附圖案損失20iim穿孔圖案大/J30iim穿孔圖案大/J55iim穿孔圖案大/J比較例1比較例(lim)(lim)(lim)無圖案損失16.122.147.818.52/3的圖案損失1/3的1中制備的光敏樹脂組合物——其包含合成實(shí)施例1和2中制備的丙烯酸樹脂——表現(xiàn)出14.919.146.618.317.120.847.818.130iim圓形穿孔圖案大小(iim)從表1中的結(jié)果可以看出，與比較例1和2中制備的光敏樹脂組合物相比，實(shí)施例對下層基板的改善的粘附性，并可預(yù)期具有形成精細(xì)圖案的能力。也就是說，實(shí)施例1中制備的光敏樹脂組合物——其包含分子量不同的不含反應(yīng)基團(tuán)的丙烯酸樹脂(合成實(shí)施例1)和含有反應(yīng)基團(tuán)的丙烯酸樹脂(合成實(shí)施例2)的摻混物作為堿溶性粘合劑樹脂——在對下層基板的粘附性和形成精細(xì)圖案的能力方面，表現(xiàn)出比比較例1和2中制備的光敏樹脂組合物——其各自包括含有特性不同的單體的粘合劑樹脂(合成比較例1和2)——更好的結(jié)果。之后，進(jìn)行了下列實(shí)驗(yàn)以確定光敏樹脂中由合成實(shí)施例l和2所制備的丙烯酸樹脂之間的合適混合比。〈實(shí)施例2>光敏樹脂組合物的制備將5g作為著色劑的G36和Y150的混合物，6g作為堿溶性粘合劑樹脂的重量比為1:1的合成實(shí)施例1和2中制備的樹脂的混合物，3g作為可聚合化合物的二季戊四醇六丙烯酸酯，lg作為光引發(fā)劑的苯乙酮引發(fā)劑、三嗪引發(fā)劑和感光劑的混合物，以及85g作為有機(jī)溶劑的PGMEA、3-MBA和DPM的混合物在反應(yīng)器中混合1.5小時(shí)。將所述混合物在室溫下保持1.5小時(shí)以穩(wěn)定化?！磳?shí)施例3>光敏樹脂組合物的制備以與實(shí)施例2中相同的方法制備光敏樹脂組合物，不同的是以2:l的重量比混合合成實(shí)施例1和2中所制備的樹脂。〈實(shí)施例4>光敏樹脂組合物的制備以與實(shí)施例2中相同的方法制備光敏樹脂組合物，不同的是以3:l的重量比混合合成實(shí)施例1和2中所制備的樹脂?！磳?shí)施例5>光敏樹脂組合物的制備以與實(shí)施例2中相同的方法制備光敏樹脂組合物，不同的是以4:l的重量比混合合成實(shí)施例1和2中所制備的樹脂?！淳?xì)圖案的形成和高分辨率的評價(jià)(2)>將實(shí)施例2-5中制備的每種光敏樹脂組合物通過旋涂分別施用于玻璃基板上，并在約90°C預(yù)焙100秒以形成一種具有約1.8iim的厚度的均勻膜。將所述膜通過具有不同的穿孔和條紋圖案大小的石英掩模以40mJ/cm2的照射劑量曝光，并在25"C下用0.043%KOH溶液顯影60秒以形成圖案。在掃描電子顯微鏡(SEM)下觀察圖案的大小和形狀以評價(jià)所述光敏樹脂組合物形成精細(xì)圖案的能力和所述光敏樹脂組合物的高分辨率。結(jié)果示于表2中。隨著孔圖案大小的增加和條紋臨界尺寸(CD)的降低，所述光敏樹脂組合物被認(rèn)為具有更高的分辨率。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage12</column></row><table>15iim條紋圖案CD(iim)23.623.222.522.0從表2中的結(jié)果可以看出，當(dāng)使用合成實(shí)施例1和2中制備的樹脂的3:1(重量/重量)的混合物作為光敏樹脂時(shí)形成了最優(yōu)選的精細(xì)圖案。圖1和2是示出使用實(shí)施例3的組合物形成的圖案——其形狀與掩模的形狀一致——的SEM圖像。所述圖像顯示出圖案的高分辨率和所述組合物對基板的良好粘附性。從上文中顯而易見的是，本發(fā)明的光敏樹脂組合物可形成高分辨率精細(xì)圖案，而不會在加工性能方面造成任何不利影響。另外，本發(fā)明的光敏樹脂組合物對下層基板具有良好的粘附性，并能夠形成精細(xì)圖案。1權(quán)利要求一種光敏樹脂組合物，其包含一種第一粘合劑樹脂和一種第二粘合劑樹脂的摻混物作為堿溶性粘合劑樹脂，其中所述第一粘合劑樹脂的重量平均分子量大于或等于1,000且低于20,000，并且不含反應(yīng)基團(tuán)，所述第二粘合劑樹脂的重量平均分子量大于或等于20,000且低于80,000，并且含有反應(yīng)基團(tuán)。2.權(quán)利要求1的光敏樹脂組合物，其中所述第一粘合劑樹脂與所述第二粘合劑樹脂以i:i至4:i的重量比摻混。3.權(quán)利要求l的光敏樹脂組合物，其中所述第二粘合劑樹脂的反應(yīng)基團(tuán)是不飽和雙鍵。4.權(quán)利要求1的光敏樹脂組合物，其中所述第一粘合劑樹脂包含式1、2和3的重復(fù)單元<formula>formulaseeoriginaldocumentpage2</formula>(1)其中Rl各自獨(dú)立地為氫原子或甲基，R2選自C「Q。烷基，C「Ce烷基酯基團(tuán)，被一個(gè)或多個(gè)Q-Q烷基取代的苯基，和被一個(gè)或多個(gè)鹵原子取代的苯基，且a為10至30;<formula>formulaseeoriginaldocumentpage2</formula>(2)其中R1各自獨(dú)立地為氫原子或甲基，R3選自被一個(gè)或多個(gè)苯基(其中苯基各自任選地被C「C3烷基、鹵素或羥基取代)取代的C2-C6亞烷基酯基團(tuán)，C2-C8亞烷基酯基團(tuán)，未取代或被Q-Q烷基或鹵原子取代的亞苯基酯基團(tuán)，任選地被Q-Q烷基、鹵素或羥基取代的苯基，和被一個(gè)或多個(gè)苯基取代的Q-Q烷基，且b為10至80;<formula>formulaseeoriginaldocumentpage2</formula>(3)其中Rl各自獨(dú)立地為氫原子或甲基，R4為一個(gè)直連的鍵，或選自C「Q。亞烷基，被一個(gè)或多個(gè)鹵原子取代的C「Ce亞烷基，和被一個(gè)或多個(gè)苯基取代的C「Ce亞烷基，且c為10至40。5.權(quán)利要求1的光敏樹脂組合物，其中所述第二粘合劑樹脂包含式4、5和6的重復(fù)單元<formula>formulaseeoriginaldocumentpage2</formula>(4)其中R5各自獨(dú)立地為氫原子或甲基，R6選自被一個(gè)或多個(gè)苯基(其中苯基各自任選地被C「C3烷基、鹵素或羥基取代)取代的C2-C6亞烷基酯基團(tuán)，C2-C8亞烷基酯基團(tuán)，和未取代或被C「C3烷基或鹵原子取代的亞苯基酯基團(tuán)，且d為10至80;<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>其中R5各自獨(dú)立地為氫原子或甲基，R7為一個(gè)直連的鍵，或選自C「Q。亞烷基，被一個(gè)或多個(gè)鹵原子取代的C「Ce亞烷基，和被一個(gè)或多個(gè)苯基取代的C「Ce亞烷基，且e為10至40;其中R5各自獨(dú)立地為氫原子或甲基，R8選自C「Q。亞烷基，和被一個(gè)或多個(gè)鹵原子取代的C「Ce亞烷基，R9為氫原子或甲基，R10各自獨(dú)立地為氫原子或C「C3烷基，且f為10至50。6.權(quán)利要求1的光敏樹脂組合物，其中所述堿溶性粘合劑樹脂的酸值為50至200mgK0H/g，重量平均分子量為1，000至80，000。7.權(quán)利要求l的光敏樹脂組合物，其中所述堿溶性粘合劑樹脂以所述光敏樹脂組合物的總重量計(jì)以5至30重量％的量存在。8.權(quán)利要求1的光敏樹脂組合物，其中所述光敏樹脂組合物包含1至30重量％的可聚合化合物、0.5至5重量％的光引發(fā)劑、3至30重量％的著色劑、和10至90重量％的溶劑。9.權(quán)利要求8的光敏樹脂組合物，其中所述可聚合的化合物選自由多元醇與a，e-不飽和羧酸的酯化獲得的化合物；由含縮水甘油基的化合物與(甲基)丙烯酸的加合獲得的化合物；具有至少一個(gè)羥基或烯鍵式不飽和鍵的化合物與多價(jià)羧酸的酯化產(chǎn)物，及其與聚異氰酸酯的加合物；(甲基)丙烯酸的烷基酯；及其混合物。10.權(quán)利要求8的光敏樹脂組合物，其中所述光引發(fā)劑選自2，4-三氯甲基-(4'_甲氧基苯基)-6-三嗪、2，4-三氯甲基-(4'-甲氧基苯乙烯基)-6-三嗪、2，4-三氯甲基-(胡椒基)-6-三嗪、2，4-三氯甲基-(3'，4'-二甲氧基苯基)_6-三嗪、3-{4-[2，4-雙(三氯甲基)-均三嗪-6-基]苯硫基}丙酸、2，2'-雙(2-氯苯基)-4，4'，5，5'-四苯基二咪唑、2，2'-雙(2，3-二氯苯基)-4，4'，5，5'-四苯基二咪唑、2-羥基-2-甲基-1-苯基丙-1-酮、1-(4-異丙基苯基)-2-羥基-2-甲基丙-1-酮、4-(2-羥基乙氧基)-苯基(2-羥基)丙酮、l-羥基環(huán)己基苯基酮、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻異丁醚、苯偶姻丁醚、2，2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、2-甲基-(4-甲基苯硫基)-2-嗎啉并-1-丙-1-酮、2-苯甲基-2-二甲基氨基-l-(4-嗎啉并苯基)-丁-l-酮、二苯甲酮、4，4'-雙(二甲基氨基)二苯甲酮、4，4'-雙(二乙基氨基)二苯甲酮、2，4，6-三甲基氨基二苯甲酮、甲基-鄰苯甲酰基苯甲酸酯、3，3-二甲基-4-甲氧基二苯甲酮和3，3'，4，4'-四(叔丁基過氧羰基)二苯甲酮、9-芴(6)酮、2-氯-9-芴酮、2-甲基-9-芴酮、噻噸酮、2，4-二乙基噻噸酮、2-氯噻噸酮、l-氯-4-丙氧基噻噸酮、異丙基噻噸酮、二異丙基噻噸酮、咕噸酮、2-甲基咕噸酮、蒽醌、2-甲基蒽醌、2-乙基蒽醌、叔丁基蒽醌、2，6-二氯-9，10-蒽醌、9-苯基吖啶、l，7-雙(9-吖啶基)庚烷、1，5-雙(9-吖啶基)戊烷、l，3-雙(9-吖啶基)丙烷、l，7，7-三甲基-雙環(huán)[2，2，1]庚烷-2，3-二酮、9，10-菲醌、2，4，6-三甲基苯甲?；交趸?、雙(2，6-二甲氧基苯甲?；?-2，4，4-三甲基戊基氧化膦、雙(2，6-二氯苯甲酰基)丙基氧化膦、甲基-4-(二甲基氨基)苯甲酸酯、乙基-4-(二甲基氨基)苯甲酸酯、2-正丁氧基乙基-4-(二甲基氨基)苯甲酸酯、2，5-雙(4-二乙基氨基亞芐基)環(huán)戊酮、2，6-雙(4-二乙基氨基亞芐基)環(huán)己酮、2，6-雙(4-二乙基氨基亞芐基)-4-甲基-環(huán)己酮、3，3'-羰基乙烯基-7-(二乙基氨基)香豆素、3-(2-苯并噻唑基)-7-(二乙基氨基)香豆素、3-苯甲?；?7-(二乙基氨基)香豆素、3-苯甲?；?7-甲氧基香豆素、10，10'-羰基雙[1，1，7，7-四甲基-2，3，6，7-四氫-lH，5H，IIH-Cl]-苯并吡喃并[6，7，8-ij]_喹嗪-11-酮、4-二乙基氨基查耳酮、4_疊氮亞芐基苯乙酮、2-苯甲?；淄椤?-甲基-13-萘并噻唑啉、及其混合物。11.權(quán)利要求8的光敏樹脂組合物，其中所述溶劑選自乙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、二丁基醚、環(huán)己酮、2-庚酮、乙酸2-乙氧基乙酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、乙酸2-甲氧基乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、二丙二醇二甲醚、二乙二醇丁醚、二乙二醇二甲醚、乙酸3-甲氧基丁酯、3-乙氧基丙酸乙酯、二丙二醇甲醚乙酸酯、二丙二醇丁基醚、二丙二醇單甲醚、二乙二醇二乙醚、乙二醇單乙酸酯、乙二醇二乙酸酯、及其混合物。12.權(quán)利要求8的光敏樹脂組合物，其中所述著色劑選自洋紅6B(C.I.12490)，酞菁綠(C.I.74260)，酞菁藍(lán)(C.I.74160)，菲黑(BASFK0084和K0086)，花青黑，雷奧諾爾黃(C.1.21090)，雷奧諾爾黃GRO(C.1.21090)，聯(lián)苯胺黃4T-564D，維多利亞艷藍(lán)(C.I.42595)，C.I.顏料紅3、23、97、108、122、139、140、141、142、143、144、149、166、168、175、177、180、185、189、190、192、202、214、215、220、221、224、230、235、242、254、255、260、262、264和272，C.I.顏料綠7和36，C.I.顏料藍(lán)15:1、15:3、15:4、15:6、16、22、28、36、60和64，C.I.顏料黃13、14、35、53、83、93、95、110、120、138、139、150、151、154、175、180、181、185、194和213，C.I.顏料紫15、19、23、29、32和37，白色顏料，熒光顏料，及其混合物。全文摘要公開的是一種適用于透反式液晶顯示器(LCD)的光敏樹脂組合物。所述光敏樹脂組合物使用兩種粘合劑樹脂的摻混物作為堿溶性粘合劑樹脂。第一粘合劑樹脂的重量平均分子量大于或等于1,000且低于20,000，并且不含反應(yīng)基團(tuán)。第二粘合劑樹脂的重量平均分子量大于或等于20,000且低于80,000，并且含有反應(yīng)基團(tuán)。所述光敏樹脂組合物具有對下層基板良好的粘附性，并能夠形成高分辨率精細(xì)圖案。文檔編號G03F7/033GK101788766SQ20101011552公開日2010年7月28日申請日期2010年2月11日優(yōu)先權(quán)日2009年2月26日發(fā)明者俞尚汶,梁承秦,洪?；?鄭元鎮(zhèn),金善花,金星炫,金美愛,金載駿,金韓國申請人:株式會社Lg化學(xué)