專(zhuān)利名稱(chēng)：光阻液的循環(huán)回收裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種回收裝置，特別是指一種將使用過(guò)后的光阻 液直接在生產(chǎn)線上進(jìn)行回收處理，以供再次利用的循環(huán)回收裝置。
背景技木
一般產(chǎn)業(yè)界制作彩色濾光片、液晶面板元件時(shí)，其主要是利用光 阻液力口上一溶劑稀釋成一濃度比例后，再以旋轉(zhuǎn)涂布的方式將光阻劑 涂布于玻璃基板上，而為了使光阻液可以均勻地旋轉(zhuǎn)涂布于該基板 上，業(yè)者會(huì)先在該基板上涂布大量的藥液，以使旋轉(zhuǎn)后光阻液能夠均 勻披覆于整個(gè)基板上，然而此種涂布方式中光阻液的利用率一般約為
10%，而其余高達(dá)90%的光阻液都在旋轉(zhuǎn)涂布過(guò)程中直接被排入廢液 槽內(nèi)，所以使用大量的光阻液來(lái)涂布基板將造成浪費(fèi)，同時(shí)也會(huì)衍生 出生產(chǎn)成本高的缺失。
此外，為避免上述光阻液的浪費(fèi)，故有部分業(yè)者在旋轉(zhuǎn)涂布的過(guò) 程中，將旋轉(zhuǎn)濺出的光阻液利用回收桶收集回收，以便將該回收桶中 的光阻液送回原供應(yīng)廠進(jìn)行再生處理，以再次重復(fù)使用，其方式雖可 減少部分光阻液的浪費(fèi)，但送回原供應(yīng)廠的運(yùn)輸、處理上均會(huì)增加生 產(chǎn)成本，再者該光阻液容易因置》文時(shí)間過(guò)久、或溫度變化因素而造成 變質(zhì)，導(dǎo)致無(wú)法再生使用，故成效不佳。有鑒于此，另有業(yè)者又針對(duì) 為了減少成本的支出，進(jìn)而研發(fā)出另一種光阻液回收裝置1,如圖1所示，用來(lái)處理自一作業(yè)機(jī)臺(tái)11排出的待回收的光阻液2,其包含有一用于暫存自該作業(yè)機(jī)臺(tái)11排出的待回收的光阻液2的預(yù)備桶12 ,
一連接該作業(yè)機(jī)臺(tái)11、預(yù)備桶12且將預(yù)備桶12中的光阻液2處理后再輸送至作業(yè)機(jī)臺(tái)11使用的混合桶13, —設(shè)置于該混合桶13上并用于攪拌光阻液2的攪拌器14,一連接混合桶13并提供一溶劑151至混合桶13內(nèi)混合的溶劑裝置15, —連接混合桶13并檢測(cè)存放于混合桶13中的光阻液2的檢測(cè)裝置16，以及一連接作業(yè)機(jī)臺(tái)11且才是供新光阻液171至作業(yè)機(jī)臺(tái)11上的新液裝置17。
操作時(shí)，由新液裝置17提供一光阻液171至作業(yè)機(jī)臺(tái)11進(jìn)行涂布作業(yè)，而后先將噴灑于作業(yè)機(jī)臺(tái)11上待回收的光阻液2,先行利用預(yù)備桶12進(jìn)行收集至一定量后，再將光阻液2輸送至混合桶13內(nèi)并利用攪拌器14進(jìn)行攪拌，由于光阻液2內(nèi)含的溶劑151會(huì)有揮發(fā)的情形產(chǎn)生，因此攪拌后靜置一段時(shí)間后，必須透過(guò)4僉測(cè)裝置16枱r測(cè)其粘度,也即檢測(cè)該光阻液2中溶劑151的含量是否因揮發(fā)而減少，而造成光阻液2的粘度過(guò)高，所以當(dāng)粘度過(guò)高時(shí)，可立即利用溶劑裝置15輸送溶劑151至混合桶13內(nèi)進(jìn)行混合稀釋動(dòng)作，促使光阻液2的粘度介于可使用范圍內(nèi)，以便再將光阻液2輸送到作業(yè)機(jī)臺(tái)11以替換新光阻液171進(jìn)行使用。
然而，實(shí)際使用后發(fā)現(xiàn)，該光阻液回收裝置1易產(chǎn)生下列缺陷，現(xiàn)詳述如下
(1 )由于光阻液2與溶劑151的密度不同，因此置放一段時(shí)間后，該光阻液2會(huì)與溶劑151產(chǎn)生分離的現(xiàn)象，就如習(xí)知在預(yù)備桶12內(nèi)進(jìn)行收集時(shí)，若收集時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，容易造成光阻液2沉淀，除使后續(xù)處理制程上需花較長(zhǎng)時(shí)間攪拌外，更容易積存在預(yù)備桶12的底部，而造成輸送上的不完全；
5(2)仍續(xù)前述，該混合桶13進(jìn)行攪拌時(shí)，在攪拌的過(guò)程中，光
阻液2容易與混合桶13內(nèi)的空氣摻雜，使得混合后的光阻液2有氣泡產(chǎn)生，除造成后續(xù)使用上不便外，同時(shí)光阻液2也易因攪拌而造成溫度提高，導(dǎo)致光阻液2變質(zhì)而影響其品質(zhì)；
(3 )由于混合桶13需要一定時(shí)間以進(jìn)行攪拌處理，因此在攪拌過(guò)程中混合桶13是停止進(jìn)料、供料的，故攪拌時(shí)無(wú)法提供再生的光阻液2給作業(yè)機(jī)臺(tái)ll使用，同時(shí)當(dāng)預(yù)備桶12中的光阻液2集滿(mǎn)時(shí)，對(duì)于該作業(yè)機(jī)臺(tái)11上待回收的光阻液2則是必須丟棄，造成浪費(fèi)；再者，當(dāng)預(yù)備桶12或混合桶13中其一進(jìn)行清洗時(shí)，均會(huì)造成光阻液2回收產(chǎn)線停擺，使得該光阻液2無(wú)法有效進(jìn)行回收或進(jìn)行供應(yīng)等情形，實(shí)有待改善。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于提供一種光阻液的循環(huán)回收裝置，其既可在回收處理過(guò)程中有效提升回收效率，還可^f吏回收處理后的光阻液品質(zhì)更加穩(wěn)定。
為了達(dá)成上述目的，本實(shí)用新型的解決方案是
一種光阻液的循環(huán)回收裝置，與一可將使用后的光阻液排出的作業(yè)機(jī)臺(tái)相互連結(jié)，該循環(huán)回收裝置包含至少一預(yù)備桶、復(fù)數(shù)混合桶、復(fù)數(shù)攪拌裝置、復(fù)數(shù)恒溫裝置、 一抽真空裝置、復(fù)數(shù)篩檢裝置、 一溶劑裝置、 一清洗裝置和一新液裝置；預(yù)備桶連接作業(yè)機(jī)臺(tái)且承接作業(yè)機(jī)臺(tái)排出的光阻液加以集收，且該預(yù)備桶具有一底壁， 一與該底壁呈相對(duì)設(shè)置的頂壁，及一連結(jié)該底壁與頂壁間以圈圍形成有一容置空間的圍繞壁；復(fù)數(shù)混合桶連結(jié)預(yù)備桶，每一混合桶具有一底壁， 一與該底壁呈相對(duì)設(shè)置的頂壁，及一連結(jié)底壁與頂壁間以圈圍形成有 一承接預(yù)備桶輸出的光阻液的容置空間的圍繞壁；前述預(yù)備桶、混合桶上各分別設(shè)有一攪拌裝置，每一攪拌裝置具有一設(shè)置于預(yù)備桶、混合桶上的動(dòng)力源，以及一受該動(dòng)力源驅(qū)動(dòng)且伸置該預(yù)備桶、混合桶內(nèi)的攪拌
件；前述預(yù)備桶、混合桶的外桶體上各分別設(shè)有一恒溫裝置，控制該預(yù)備桶、混合桶內(nèi)的光阻液的溫度維持在一定設(shè)定溫度；抽真空裝置具有一設(shè)置于伸入預(yù)備桶、混合桶的容置空間內(nèi)的管路，以及一連接該管路且將預(yù)備桶、所述混合桶內(nèi)空氣加以抽出的抽氣動(dòng)力源；每一混合桶均設(shè)有一檢測(cè)容置空間內(nèi)的光阻液溫度、濃度數(shù)值的篩檢裝置，同時(shí)該f^企裝置設(shè)置于圍繞壁上且伸置于容置空間內(nèi)；溶劑裝置具有一存放溶劑的溶劑供應(yīng)桶，以及分別連結(jié)所述混合桶、溶劑供應(yīng)
桶的溶劑管線；清洗裝置具有一裝有清洗液的清洗液供應(yīng)桶， 一分別連結(jié)預(yù)備桶、所述混合桶的清洗液管線，以及一將供應(yīng)桶內(nèi)的清洗液輸入預(yù)備桶與所述混合桶內(nèi)的清洗動(dòng)力源；新液裝置具有一供應(yīng)新光阻液的新液供應(yīng)桶，以及一分別連結(jié)作業(yè)才幾臺(tái)、新液供應(yīng)桶與混合桶的新液管線。
上述恒溫裝置具有包覆預(yù)備桶、混合桶的外桶體，并在預(yù)備桶、混合桶的外桶體間環(huán)設(shè)形成一冷卻環(huán)槽，以及充填于冷卻環(huán)槽內(nèi)的冷卻劑。
上述篩檢裝置具有一4企測(cè)光阻液溫度的溫度計(jì)及一檢測(cè)光阻液粘度的粘度計(jì)。
采用上述結(jié)構(gòu)后，本實(shí)用新型是與一作業(yè)機(jī)臺(tái)相互連結(jié)，且該作業(yè)機(jī)臺(tái)可將使用后的光阻液排出；本實(shí)用新型利用復(fù)數(shù)個(gè)混合桶的設(shè)計(jì)，其具有較充分的緩沖空間，不但可針對(duì)預(yù)備桶上回收的光阻液進(jìn)行有效的回收處理，更可儲(chǔ)備較多處理后的光阻液以供利用；再者，在處理過(guò)程中利用抽真空裝置及恒溫裝置的設(shè)計(jì)，能夠避免在攪拌制程中產(chǎn)生氣泡及溫度提高而影響生產(chǎn)品質(zhì)，從而使回收處理過(guò)后的光阻液品質(zhì)更加穩(wěn)定且使用壽命更長(zhǎng)。


圖1是習(xí)知光阻液回收裝置的示意圖2是本實(shí)用新型第一較佳實(shí)施例光阻液的循環(huán)回收裝置的示意圖3是本實(shí)用新型第 一較佳實(shí)施例中預(yù)備桶的局部剖視圖；圖4是本實(shí)用新型第二較佳實(shí)施例光阻液的循環(huán)回收裝置的示意圖。
主要元件符號(hào)說(shuō)明
1 光阻液回收裝置11作業(yè)機(jī)臺(tái)12預(yù)備桶
13 混合桶14攪拌器15溶劑裝置
151溶劑16檢測(cè)裝置17新液裝置
171新光阻液2光阻液3循環(huán)回收裝置
30 新液裝置301新液供應(yīng)桶302新液管線
31 作業(yè)機(jī)臺(tái)32預(yù)備桶321底壁
322頂壁323圍繞壁324容置空間
33 混合桶331底壁332頂壁
333圍繞壁334容置空間34攪拌裝置
341動(dòng)力源342攪拌件35恒溫裝置
8351外桶體
352冷卻環(huán)槽
353冷卻劑
36抽真空裝置
361管路
362抽氣動(dòng)力源
37篩檢裝置
371溫度計(jì)
372粘度計(jì)
373重量器
38溶劑裝置
381溶劑供應(yīng)桶
382溶劑管線
39 清洗裝置
391清洗液供應(yīng)桶
392清洗動(dòng)力源
393清洗液管線
具體實(shí)施方式
有關(guān)本實(shí)用新型的前述及其他技術(shù)內(nèi)容、特點(diǎn)與功效，在以下配 合參考附圖的較佳實(shí)施例的詳細(xì)說(shuō)明中，將可清楚地明白。
在詳細(xì)描述本實(shí)用新型前，要注意的是，在以下的說(shuō)明中，類(lèi)似 的元件是以相同的編號(hào)來(lái)表示。
參閱圖2所示，是本實(shí)用新型光阻液的循環(huán)回收裝置3的第一較 佳實(shí)施例，該循環(huán)回收裝置3與一作業(yè)才幾臺(tái)31相互連接，以〗更將作 業(yè)機(jī)臺(tái)31多余排出的光阻液力n以承接回收，而該循環(huán)回收裝置3包 含有至少一連接作業(yè)機(jī)臺(tái)31且承接該作業(yè)機(jī)臺(tái)3排出的光阻液加以 集收的預(yù)備桶32,復(fù)數(shù)個(gè)分別連接預(yù)備桶32且將待回收的光阻液加 以混合處理后輸送到作業(yè)機(jī)臺(tái)31的混合桶33,復(fù)數(shù)個(gè)各設(shè)于預(yù)備桶 32、混合桶33上的攪拌裝置34,復(fù)數(shù)個(gè)各設(shè)置于預(yù)備桶32、混合桶 33外圍且維持其內(nèi)溫度的恒溫裝置35， 一可將預(yù)備桶32與混合桶 33內(nèi)的空氣抽出的抽真空裝置36，復(fù)數(shù)個(gè)各設(shè)置于這些混合桶33的 圍繞壁333且檢測(cè)其中光阻液狀態(tài)的篩檢裝置37, —將溶劑加入這 些混合桶33內(nèi)并稀釋光阻液的溶劑裝置38， 一將清洗液分別送至所 述混合桶33、預(yù)備桶32進(jìn)行清洗的清洗裝置39，以及一與作業(yè)機(jī)臺(tái)31、所述混合桶33連接且輸入新的光阻液的新液裝置30。
配合參閱圖3，預(yù)備桶32及每一混合桶33均由一底壁321( 331 ), 一與該底壁321 ( 331 )呈相對(duì)設(shè)置的頂壁322 ( 332 )，及一連結(jié)該底 壁321 ( 331 )與頂壁322 ( 332 )間以圏圍形成有一容置空間324 ( 334 ) 的圍繞壁323 ( 333 )所組成，同時(shí)在本實(shí)施例中，這些混合桶33以 設(shè)置兩個(gè)為例加以說(shuō)明；另外，每一攪拌裝置34具有一設(shè)置于頂壁 322 ( 332 )上的動(dòng)力源341,以及一由該頂壁322 ( 332 )伸入至容置 空間324 ( 334 )內(nèi)并受動(dòng)力源341驅(qū)動(dòng)的攪拌件342;又，恒溫裝置 35具有分別包覆于預(yù)備桶32、所述混合桶33外圍的外桶體351,以 使預(yù)備桶32、所述混合桶33與外桶體351之間形成有一冷卻環(huán)槽 352,以便將冷卻劑353 (如水、冷卻氣體等)注入冷卻環(huán)槽352內(nèi) 進(jìn)行循環(huán)，從而控制將預(yù)備桶32、混合桶33的光阻液溫度維持在一 定范圍中，避免光阻液在攪拌中溫度提高而導(dǎo)致變質(zhì)。
另外，抽真空裝置36具有一設(shè)置于伸入預(yù)備桶32、所述混合桶 33的容置空間324 ( 334 )內(nèi)的管路361，以及一連接該管路361且 將預(yù)備桶32、所述混合桶33內(nèi)的空氣抽出的抽氣動(dòng)力源362,以使 該預(yù)備桶32、混合桶33內(nèi)呈真空狀態(tài)；再則，本實(shí)施例中的篩;險(xiǎn)裝 置37則具有一檢測(cè)光阻液溫度的溫度計(jì)371，以及檢測(cè)光阻液的粘 度粘度計(jì)372,設(shè)置在混合桶33的圍繞壁323上并深入其容置空間 334內(nèi)。
再者，在本實(shí)施例中，溶劑裝置38具有一存;^文溶劑的溶劑供應(yīng) 桶381，以及一分別連結(jié)所述混合桶33、溶劑供應(yīng)桶381的溶劑管線 382,以便將該溶劑從溶劑供應(yīng)桶381輸送至混合桶33內(nèi)，并將光阻 液濃度進(jìn)行稀釋?zhuān)涣硗?，清洗裝置39具有一裝有清洗液的清洗液供 應(yīng)桶391, —分別連結(jié)清洗液供應(yīng)桶391、預(yù)備桶32、所述混合桶33
10的清洗液管線393,以及一將該清洗液供應(yīng)桶391內(nèi)的清洗液打入預(yù) 備桶32、所述混合桶33內(nèi)的清洗動(dòng)力源392。
最后，新液裝置30具有一供應(yīng)新光阻液的新液供應(yīng)桶301,以 及一分別連結(jié)作業(yè)才幾臺(tái)31、新液供應(yīng)桶301的新液管線302，以便將 該光阻液乂人該新液供應(yīng)桶301輸送至該作業(yè)才幾臺(tái)31，當(dāng)然該新液管 線302除可與作業(yè)機(jī)臺(tái)31連接外，更可與所述混合桶33進(jìn)行連接， 并可適時(shí)選擇供應(yīng)新的光阻液至作業(yè)機(jī)臺(tái)31或者所述混合桶33中； 此外，在本實(shí)施例中，在預(yù)備桶32、混合桶33、溶劑供應(yīng)桶381、 新液供應(yīng)桶301上，都增設(shè)有一重量器373，用以量測(cè)其內(nèi)液體變化 并以此定量。
參閱圖2、圖3,操作時(shí)，首先將作業(yè)機(jī)臺(tái)31運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中多余的 光阻液輸送至預(yù)備桶32內(nèi)集收，同時(shí)在集收過(guò)程中攪拌裝置34 —直 處于動(dòng)作的情況下，可避免長(zhǎng)時(shí)間的集收下光阻液與溶劑產(chǎn)生分離沉 淀甚至積存的情況產(chǎn)生，促使后續(xù)處理更為快速；而后當(dāng)預(yù)備桶32 收集的光阻液達(dá)到一定的量后，即可輸入至混合桶33內(nèi)進(jìn)4亍;險(xiǎn)測(cè)、 混合作業(yè)，以利用溫度計(jì)371與粘度計(jì)372,分別檢測(cè)帶回收液的溫 度與粘度，在粘度過(guò)高的情況下，可透過(guò)溶劑裝置38將溶劑輸送至 混合桶33內(nèi)進(jìn)行混合稀釋?zhuān)怨┳鳂I(yè)機(jī)臺(tái)31能正常進(jìn)行使用，當(dāng)然 前述不管混合過(guò)程或混合后，攪拌裝置34都在持續(xù)地進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，以 確保輸送至作業(yè)機(jī)臺(tái)31上的光阻液與溶劑處于均勻狀態(tài)；至于，通 過(guò)設(shè)置復(fù)數(shù)個(gè)混合桶33，能在其一混合桶33內(nèi)還儲(chǔ)存有光阻液時(shí)， 或者其一混合桶33故障時(shí)，預(yù)備桶32仍可將光阻液供應(yīng)至其它混合 桶33中進(jìn)行處理，確?；厥兆鳂I(yè)的順利進(jìn)行，更可l是升循環(huán)回收裝 置3的回收效率。
特別需要指出的是，預(yù)備桶32、所述混合桶33借助抽真空裝置36的設(shè)置，使預(yù)備桶32、混合桶33內(nèi)都處于真空狀態(tài)下，因此在攪 拌過(guò)程中，可避免光阻液產(chǎn)生氣泡，使得回收后的光阻液品質(zhì)更加穩(wěn) 定；再者，攪拌時(shí)所造成光阻液的溫度提高，也可通過(guò)恒溫裝置35 的設(shè)置，也即借助冷卻劑353在冷卻環(huán)槽352內(nèi)進(jìn)行循環(huán)，與容置空 間324 ( 334 )內(nèi)的光阻液溫度進(jìn)行熱交換作用，使光阻液的溫度維 持在一定溫度范圍內(nèi)，除能避免攪拌過(guò)程中因溫度提高而造成光阻液 變質(zhì)外，更可延長(zhǎng)光阻液的保存期限。
參閱圖4，是本實(shí)用新型光阻液的循環(huán)回收裝置3的第二較佳實(shí) 施例，其仍包含有預(yù)備桶32、復(fù)數(shù)個(gè)混合桶33、攪拌裝置34、恒溫 裝置35、抽真空裝置36、篩檢裝置37、溶劑裝置38、清洗裝置39 及新液裝置30等要件，且其動(dòng)作與欲達(dá)成的功效均在第一實(shí)施例中 詳細(xì)描述；特別地，在本實(shí)施例中預(yù)備桶32設(shè)置有復(fù)數(shù)個(gè)(圖中以 兩個(gè)表示)，這樣當(dāng)其一預(yù)備桶32故障或清洗作業(yè)等而無(wú)法使用時(shí)， 還能夠使用其它預(yù)備桶32，更具較佳的緩沖空間，確保循環(huán)回收裝 置3不中斷，當(dāng)然，該預(yù)備桶32與混合桶33的設(shè)計(jì)均為相同，因此， 當(dāng)其一預(yù)備桶32或混合桶33故障時(shí)，還可互相置換使用。
歸納前述，本實(shí)用新型光阻液的循環(huán)回收裝置3，利用預(yù)備桶32 配合復(fù)數(shù)個(gè)混合桶33的設(shè)計(jì)，使光阻液的處理上具有較充分的緩沖 空間，除了有效提升其回收效率外，同時(shí)在處理過(guò)程中利用抽真空裝 置36及恒溫裝置35,更可避免攪拌過(guò)程中產(chǎn)生氣泡或溫度提高而影 響其品質(zhì)，以使回收處理后的光阻液品質(zhì)更加穩(wěn)定且使用壽命更長(zhǎng)， 故確實(shí)能達(dá)到本實(shí)用新型的目的。
前述實(shí)施例僅為本實(shí)用新型例示，不能以此限制本實(shí)用新型的保 護(hù)范圍，凡是按照本實(shí)用新型提出的技術(shù)思想，在技術(shù)方案基礎(chǔ)上所 做的任何改動(dòng)，均落入本實(shí)用新型保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1、一種光阻液的循環(huán)回收裝置，其特征在于與一可將使用后的光阻液排出的作業(yè)機(jī)臺(tái)相互連結(jié)，該循環(huán)回收裝置包含至少一預(yù)備桶、復(fù)數(shù)混合桶、復(fù)數(shù)攪拌裝置、復(fù)數(shù)恒溫裝置、一抽真空裝置、復(fù)數(shù)篩檢裝置、一溶劑裝置、一清洗裝置和一新液裝置；預(yù)備桶連接作業(yè)機(jī)臺(tái)且承接作業(yè)機(jī)臺(tái)排出的光阻液加以集收，且該預(yù)備桶具有一底壁，一與該底壁呈相對(duì)設(shè)置的頂壁，及一連結(jié)該底壁與頂壁間以圈圍形成有一容置空間的圍繞壁；復(fù)數(shù)混合桶連結(jié)預(yù)備桶，每一混合桶具有一底壁，一與該底壁呈相對(duì)設(shè)置的頂壁，及一連結(jié)底壁與頂壁間以圈圍形成有一承接預(yù)備桶輸出的光阻液的容置空間的圍繞壁；前述預(yù)備桶、混合桶上各分別設(shè)有一攪拌裝置，每一攪拌裝置具有一設(shè)置于預(yù)備桶、混合桶上的動(dòng)力源，以及一受該動(dòng)力源驅(qū)動(dòng)且伸置該預(yù)備桶、混合桶內(nèi)的攪拌件；前述預(yù)備桶、混合桶的外桶體上各分別設(shè)有一恒溫裝置，控制該預(yù)備桶、混合桶內(nèi)的光阻液的溫度維持在一定設(shè)定溫度；抽真空裝置具有一設(shè)置于伸入預(yù)備桶、混合桶的容置空間內(nèi)的管路，以及一連接該管路且將預(yù)備桶、所述混合桶內(nèi)空氣加以抽出的抽氣動(dòng)力源；每一混合桶均設(shè)有一檢測(cè)容置空間內(nèi)的光阻液溫度、濃度數(shù)值的篩檢裝置，同時(shí)該篩檢裝置設(shè)置于圍繞壁上且伸置于容置空間內(nèi)；溶劑裝置具有一存放溶劑的溶劑供應(yīng)桶，以及分別連結(jié)所述混合桶、溶劑供應(yīng)桶的溶劑管線；清洗裝置具有一裝有清洗液的清洗液供應(yīng)桶，一分別連結(jié)預(yù)備桶、所述混合桶的清洗液管線，以及一將供應(yīng)桶內(nèi)的清洗液輸入預(yù)備桶與所述混合桶內(nèi)的清洗動(dòng)力源；新液裝置具有一供應(yīng)新光阻液的新液供應(yīng)桶，以及一分別連結(jié)作業(yè)機(jī)臺(tái)、新液供應(yīng)桶與混合桶的新液管線。
2、 如權(quán)利要求l所述的光阻液的循環(huán)回收裝置，其特征在于所 述恒溫裝置具有包覆預(yù)備桶、混合桶的外桶體，并在預(yù)備桶、混合桶 的外桶體間環(huán)設(shè)形成一冷卻環(huán)槽，以及充填于冷卻環(huán)槽內(nèi)的冷卻劑。
3、 如權(quán)利要求l所述的光阻液的循環(huán)回收裝置，其特征在于所 述篩檢裝置具有一檢測(cè)光阻液溫度的溫度計(jì)及一檢測(cè)光阻液粘度的 粘度計(jì)。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)一種光阻液的循環(huán)回收裝置，其與一可將使用后的光阻液排出的作業(yè)機(jī)臺(tái)相互連結(jié)，該循環(huán)回收裝置包含至少一預(yù)備桶、復(fù)數(shù)混合桶、復(fù)數(shù)攪拌裝置、復(fù)數(shù)恒溫裝置、一抽真空裝置、復(fù)數(shù)篩檢裝置、一溶劑裝置、一清洗裝置和一新液裝置；預(yù)備桶連接作業(yè)機(jī)臺(tái)且承接作業(yè)機(jī)臺(tái)排出的光阻液加以集收；恒溫裝置控制預(yù)備桶、混合桶內(nèi)的光阻液的溫度維持在一定設(shè)定溫度；篩檢裝置檢測(cè)容置空間內(nèi)的光阻液溫度、濃度數(shù)值；溶劑裝置用于稀釋光阻液的濃度；新液裝置將新光阻液從新液供應(yīng)桶輸送至作業(yè)機(jī)臺(tái)。此種回收裝置既可在回收處理過(guò)程中有效提升回收效率，還可使回收處理后的光阻液品質(zhì)更加穩(wěn)定。
文檔編號(hào)G03F7/16GK201417363SQ20092015842
公開(kāi)日2010年3月3日 申請(qǐng)日期2009年5月21日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月21日
發(fā)明者林淑芬 申請(qǐng)人:久弘慶股份有限公司