—種液晶面板銅膜光阻水系剝離液的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及液晶面板加工，特別是液晶面板的銅膜光阻水系剝離液。
【背景技術(shù)】
[0002] 目前高世代液晶面板生產(chǎn)工藝中，陣列制程需要用到光阻剝離液。通常是基板上 涂布一定圖案的光刻膠，曝光后形成一定圖案的光阻層，然后進(jìn)行干式或濕式蝕刻工序來 形成與光阻層一樣的圖案，最后使用光阻剝離液除去殘留在金屬布線上的光阻劑，要求在 剝離光阻層的同時(shí)不損傷A1布線和Cu布線等。
[0003] 傳統(tǒng)的用于制造LCD的光致抗蝕劑剝離組合物?；旌嫌胁坊蛑侔返扔袡C(jī)胺與 極性溶劑或二醇；如單乙醇胺（MEA)用作伯胺，2-甲氨基乙醇等用作仲胺，N-甲基吡咯烷 酮（NMP)、環(huán)丁烯砜、二甲亞砜（DMS0)等用作極性溶劑，二乙二醇單乙醚（EDG)、二乙二醇 單丁醚（BDG)、三乙二醇醚（TEG)等用作二醇。由于剝離液的載體為有機(jī)溶劑，環(huán)保性差， 對(duì)環(huán)境負(fù)載大，后期成本高；另外更重要的是，在剝離效果上，剝離后需要再用水洗滌，在用 水洗滌時(shí)，烷醇胺與水混合會(huì)繼續(xù)產(chǎn)生氫氧根離子，附著于金屬線表面，對(duì)金屬線(包括A1 布線）產(chǎn)生二次腐蝕而產(chǎn)生新的雜質(zhì)；且在剝離后沖洗時(shí)，純水可能混入剝離液中，導(dǎo)致藥 液剝離性能減弱。為此，出于環(huán)境等因素考慮，人們開始嘗試水性的剝離劑。但是含有水活 化的伯胺或仲胺等有機(jī)胺的親水性蝕刻液將不可避免地?fù)p害A1布線和Cu布線。
[0004][0005] 該專利申請(qǐng)還公開的一種水基的光刻膠剝離組合物，其在添加有譬如AMP的伯烷 烴醇胺、醇、水以及極性有機(jī)溶劑的情況下，更包含帶有巰基結(jié)構(gòu)的C5-C10雜環(huán)的阻蝕劑， 其中雜環(huán)上含有選自N、0、S所組成的組中的至少一種雜原子，且該雜環(huán)的碳原子被巰基取 代，該雜環(huán)如2-巰基苯并咪唑、2, 5-二巰基-1，3,4-噻二唑和2-巰基苯并噻唑，通過含有 巰基的唑基化合物作為阻蝕劑抑制水活性的伯烷烴醇胺對(duì)A1和Cu金屬線的腐蝕。但是該 剝離液中的外加型阻蝕劑無法有效阻蝕，因此無法根除再附著、二次腐蝕金屬線的問題。
[0006] 相比之下，公開號(hào)為CN102216855B的中國專利公開的光致抗蝕劑剝離組合物使 用具有極弱剝離性能的叔烷醇胺代替帶有活性氫的伯胺或仲胺等傳統(tǒng)有機(jī)胺以防止A1和 Cu金屬線的腐蝕，并添加水和有機(jī)溶劑為載體，其中叔烷醇胺不易與水混合會(huì)繼續(xù)產(chǎn)生氫 氧根離子，因此用該剝離液剝離后再用水洗滌時(shí)，不易附著在銅表面產(chǎn)生二次腐蝕。但是該 剝離液的缺點(diǎn)是，由于缺少活性氫，存在光阻剝離效果差、不能完全去除光刻膠、光刻膠易 殘留或回沾到玻璃表面的問題；且使用溫度高，有時(shí)需要達(dá)到60?70°C，該溫度下易形成 有機(jī)物混合蒸汽，有爆炸的可能性。
[0007] 因此，發(fā)明人試圖通過開發(fā)一種可以穩(wěn)定剝離光刻膠、且使用安全、可以盡大可能 地降低對(duì)金屬線腐蝕、特別對(duì)金屬線二次腐蝕風(fēng)險(xiǎn)的光阻水系剝離液，以解決上述問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008] 本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，提供一種液晶面板銅膜光阻水系 剝離液，實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定地剝離銅膜表面的光刻膠，且使用溫度低，無爆炸風(fēng)險(xiǎn)，且可以極其有效 地防止銅布線和鋁布線被腐蝕。
[0009] 為此，本發(fā)明的技術(shù)方案是一種液晶面板銅膜光阻水系剝離液，該剝離液由以下 組分組成： (1) 1?20%重量的脂環(huán)醇胺； (2) 10?60%重量的醇； (3) 10?50%重量的水； (4) 5?50%重量的極性有機(jī)溶劑； (5) 0. 001?3%重量的金屬抗蝕劑。
[0010] 本發(fā)明通過加入脂環(huán)醇胺，其本身具有的巨大的脂環(huán)空間位阻可以媲美譬如AMP 等，且在親水性以及極性方面，脂環(huán)醇胺更低于AMP等脂肪醇胺，從而從空間位阻、親水性 和極性三個(gè)方面，起到阻止醇胺與金屬的附著，抑制脂環(huán)醇胺在水中或者遇水在金屬表面 產(chǎn)生足以腐蝕金屬線數(shù)量的堿性氫氧根，大大降低腐蝕金屬特別是二次腐蝕金屬線的風(fēng) 險(xiǎn)，且在配方中脂環(huán)醇胺可以與醇等組分因協(xié)同作用而對(duì)光刻膠產(chǎn)生穩(wěn)定的剝離效果。且 該光阻水系剝離液使用溫度為40?50°C，因此其內(nèi)的有機(jī)極性溶劑僅會(huì)形成水蒸氣，不會(huì) 形成爆炸氣體氛圍，安全性大大提高。
[0011] 優(yōu)選地，所述脂環(huán)醇胺為伯脂環(huán)醇胺和/或仲脂環(huán)醇胺。伯脂環(huán)醇胺和/或仲脂 環(huán)醇胺作為具有較強(qiáng)的堿性，相比于叔胺，可以更有效地清除光阻劑使之溶解，而其本身具 有的巨大的脂環(huán)空間位阻，起到阻止其與金屬附著而腐蝕金屬的作用。
[0012] 所述脂環(huán)醇胺選自以下組的至少一種：氨基環(huán)己醇、氨基環(huán)戊醇、甲氨基環(huán)己醇、 甲氨基環(huán)戊醇。具體的說，譬如2-氨基環(huán)己醇，3-氨基環(huán)己醇，4-氨基環(huán)己醇；2-甲氨基 環(huán)己醇，3-甲氨基環(huán)己醇，4-甲氨基環(huán)己醇，2-氨基環(huán)戊醇，3-氨基環(huán)戊醇，2-甲氨基環(huán) 戊醇，3-甲氨基環(huán)戊醇等。選用這些環(huán)醇性能穩(wěn)定、且可穩(wěn)定地溶解于剝離液體系中，在剝 離之后不易附著在液晶面板表面而造成二次腐蝕。
[0013] 為了更進(jìn)一步抑制金屬腐蝕，優(yōu)選地，所述脂環(huán)醇胺選自以下組的至少一種： 2_氨基環(huán)己醇、2-氨基環(huán)戊醇。這里優(yōu)選脂環(huán)醇胺中羥基和氨基為鄰位關(guān)系，脂環(huán)醇胺上 的氫與鄰位的羥基形成氫鍵，可降低脂環(huán)醇胺與金屬表面形成氫鍵的幾率，從而在不降低 體系的剝離光阻劑的同時(shí)，更好地抑制了對(duì)金屬線的腐蝕。
[0014] 可用于本發(fā)明的理想的醇選自以下組的至少一種：乙二醇、1-己醇，1-辛醇、1-庚 醇、1-癸醇、2-庚醇、四氫糠醇以及結(jié)構(gòu)為R-0 (CH2CH20)H的二醇所組成的組中的至少一種， 其中R為直鏈烴、支鏈烴和環(huán)烷烴中的人任何一種。剝離液中常用的其他醇也可以使用，不 限于此。
[0015] 可用于本發(fā)明的理想的極性有機(jī)溶劑選自以下組的至少一種：N-甲基吡咯烷酮、 環(huán)丁砜、二甲基亞砜、二甲基乙酰胺、N-乙基甲酰胺和N-甲基甲酰胺。剝離液中常用的其 他極性有機(jī)溶劑也可以使用，不限于此。
[0016] 可用于本發(fā)明的理想的金屬抗蝕劑選自以下組的至少一種：巰基苯并噻唑、苯并 三唑和甲基苯并三唑。剝離液中常用的其他金屬抗蝕劑也可以使用，不限于此。
[0017] 可用于本發(fā)明的理想的金屬抗蝕劑選自以下組的至少一種：十六烷胺、十八烷胺。
[0018] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于，采用該銅膜光阻水系剝離液完美解決了以 往技術(shù)的缺陷： 1、采用新型脂環(huán)醇胺，其本身具有巨大的脂環(huán)空間位阻以及低于傳統(tǒng)脂肪醇胺的親水 性和極性，可起到阻止其附著于金屬表面，而避免了腐蝕金屬特別是在剝離后的水洗過程 中降低二次腐蝕金屬的風(fēng)險(xiǎn)。
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