一種測量剝離液中光阻的濃度的方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種測量剝離液中光阻的濃度的方法。該測量剝離液中光阻的濃度的方法以下步驟：S102：制備光阻標(biāo)樣；S104：采集標(biāo)樣及待測試的樣品對應(yīng)的光譜；S106：對所采集的光譜進行n階求導(dǎo)，得到并存儲第n階求導(dǎo)曲線，其中n為大于或等于1的整數(shù)；和S108：基于所得到的第n階求導(dǎo)曲線建立標(biāo)準(zhǔn)曲線，計算待測試的樣品的光阻的濃度。根據(jù)建立的標(biāo)準(zhǔn)曲線，即可準(zhǔn)確計算出作為測試樣品的剝離液中光阻的濃度。
【專利說明】一種測量剝離液中光阻的濃度的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種測量剝離液中光阻的濃度的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]光阻(Photoresist，簡稱PR)廣泛應(yīng)用于TFT行業(yè)中各膜層掩膜圖案的形成。光阻可分為負(fù)型光阻和正型光阻。正型光阻經(jīng)曝光后，其曝光部分會變得更加容易溶于顯影液中，而未曝光部分在基板上留下圖案。
[0003]剝離液(Stripper)中的正型光阻含量通常采用紫外-可見分光光度法(UV-VIS)測量?，F(xiàn)有的測量剝離液中光阻的濃度的方法通常為直接讀取吸光度法并建立數(shù)據(jù)庫。但這種方法操作復(fù)雜，應(yīng)用意義不大。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于，提供一種測量剝離液中光阻的濃度的方法，其可更準(zhǔn)確地測定剝離液中光阻的濃度。
[0005]本發(fā)明通過如下技術(shù)方案實現(xiàn):一種測量剝離液中光阻的濃度的方法，所述測量剝離液中光阻的濃度的方法包括以下步驟:
[0006]S102:制備光阻標(biāo)樣；
[0007]S104:采集標(biāo)樣及待測試的樣品對應(yīng)的光譜；
[0008]S106:對所采集的光譜進行η階求導(dǎo)，得到并存儲第η階求導(dǎo)曲線，其中η為大于或等于I的整數(shù)；和
[0009]S108:基于所得到的第η階求導(dǎo)曲線建立標(biāo)準(zhǔn)曲線，計算待測試的樣品的光阻的濃度。
[0010]作為上述技術(shù)方案的進一步改進，所述S102中，將光阻涂布在素玻璃上，經(jīng)過曝光制程、顯影制程和蝕刻制程，將光阻刮取目標(biāo)質(zhì)量，在燒杯中模擬剝離過程，得到目標(biāo)濃度的標(biāo)樣。
[0011]作為上述技術(shù)方案的進一步改進，所述S104中，利用紫外-可見分光光度計采集標(biāo)樣及待測試的樣品的光譜。
[0012]作為上述技術(shù)方案的進一步改進，所述S104包括以下步驟:
[0013]溶劑選擇:選擇合適的溶劑，并以該溶劑為測試參比液；
[0014]剝離液光譜采集:取一定量的新鮮剝離液，用所述溶劑稀釋一定倍數(shù)后，掃描在相同波長范圍內(nèi)的吸收曲線；
[0015]標(biāo)樣光譜采集:將多個目標(biāo)濃度的標(biāo)樣，用所述溶劑稀釋所述倍數(shù)后，掃描在相同波長范圍內(nèi)的吸收曲線；
[0016]樣品光譜采集:取待測試的樣品，用所述溶劑稀釋所述倍數(shù)后，掃描在相同波長范圍內(nèi)的吸收曲線。
[0017]作為上述技術(shù)方案的進一步改進，所述S106中，將新鮮剝離液、標(biāo)樣以及待測試的樣品的吸收曲線進行η階求導(dǎo)轉(zhuǎn)換，并保存各個轉(zhuǎn)換后的第η階求導(dǎo)曲線，其中η為1、2、3或4。
[0018]作為上述技術(shù)方案的進一步改進，所述S108中，當(dāng)新鮮剝離液的第η階求導(dǎo)曲線在第一波長處吸收為O,而標(biāo)樣及待測試的樣品在第一波長處有一致波谷時，以第一波長處波谷值與標(biāo)樣的光阻的濃度建立標(biāo)準(zhǔn)曲線。
[0019]作為上述技術(shù)方案的進一步改進，所述S108中，當(dāng)新鮮剝離液的第η階求導(dǎo)曲線在第二波長處吸收為0，而標(biāo)樣及待測試的樣品在第二波長處有一致波峰時，以第二波長處波峰值與標(biāo)樣的光阻的濃度建立標(biāo)準(zhǔn)曲線。
[0020]作為上述技術(shù)方案的進一步改進，所述S108中，當(dāng)新鮮剝離液的第η階求導(dǎo)曲線在第三波長至第四波長區(qū)間吸收均為0，而標(biāo)樣及待測試的樣品在第三波長處有一致波谷且在第四波長處有一致波峰時，以第三波長至第四波長的振幅與標(biāo)樣的光阻的濃度建立標(biāo)準(zhǔn)曲線。
[0021]作為上述技術(shù)方案的進一步改進，所述剝離液為有機胺類剝離液。
[0022]作為上述技術(shù)方案的進一步改進，所述光阻為酚醛樹脂類正型光阻。
[0023]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明的測量剝離液中光阻的濃度的方法中，先制備光阻標(biāo)樣；接著采集標(biāo)樣及待測試的樣品對應(yīng)的光譜；然后對所采集的光譜進行η階求導(dǎo)，得到并存儲第η階求導(dǎo)曲線，其中η為大于或等于I的整數(shù)；最后基于所得到的第η階求導(dǎo)曲線建立標(biāo)準(zhǔn)曲線，計算待測試的樣品的光阻的濃度。依據(jù)建立好的標(biāo)準(zhǔn)曲線，可更準(zhǔn)確地測定剝離液中光阻的濃度。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0024]圖1是根據(jù)本發(fā)明的一個具體實施例的測量剝離液中光阻的濃度的方法中制備光阻標(biāo)樣的步驟的示意圖；
[0025]圖2是顯示本發(fā)明的一個具體實施例的測量剝離液中光阻的濃度的方法中得到的第η階求導(dǎo)曲線在λ I處形成波谷的示意圖；
[0026]圖3是顯示本發(fā)明的一個具體實施例的測量剝離液中光阻的濃度的方法中得到的第η階求導(dǎo)曲線在λ 2處形成波峰的示意圖；
[0027]圖4是顯示本發(fā)明的一個具體實施例的測量剝離液中光阻的濃度的方法中得到的第η階求導(dǎo)曲線在λ 3處形成波谷并在λ 4處形成波峰的示意圖；
[0028]圖5是根據(jù)本發(fā)明的一個具體實施例的測量剝離液中光阻的濃度的方法的流程示意圖。
【具體實施方式】
[0029]以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的【具體實施方式】進行進一步的說明。
[0030]如圖1至圖5所示，本實施例的測量剝離液中光阻的濃度的方法包括以下步驟:
[0031]S102:制備光阻標(biāo)樣；
[0032]S104:采集標(biāo)樣及待測試的樣品對應(yīng)的光譜；
[0033]S106:對所采集的光譜進行η階求導(dǎo)，得到并存儲第η階求導(dǎo)曲線，其中η為大于或等于I的整數(shù)；和[0034]S108:基于所得到的第η階求導(dǎo)曲線建立標(biāo)準(zhǔn)曲線，計算待測試的樣品的光阻的濃度。
[0035]在本實施例中，所述剝離液為有機胺類剝離液。所述光阻為酚醛樹脂類正型光阻。
[0036]如圖1所示，在所述S102中，將光阻涂布在素玻璃上(步驟Α)，經(jīng)過曝光制程(步驟B)、顯影制程(步驟C)和蝕刻制程(步驟D)，將光阻刮取目標(biāo)質(zhì)量，在燒杯中模擬剝離過程，得到目標(biāo)濃度的標(biāo)樣(步驟F)。標(biāo)樣制備過程中，除用于涂布光阻的素玻璃不需要預(yù)先鍍好金屬膜或非金屬膜層外，其他制程參數(shù)的設(shè)計與控制均需與實際產(chǎn)線上的參數(shù)完全一致。
[0037]在所述S104中，利用紫外-可見分光光度計采集標(biāo)樣及待測試的樣品的光譜。
[0038]其中，所述S104包括以下步驟:
[0039]溶劑選擇:根據(jù)剝離液組分的溶解性質(zhì)與化學(xué)性質(zhì)，并結(jié)合經(jīng)濟、安全性，選擇合適的溶劑，并以該溶劑為測試參比液；
[0040]基線掃描:參比池以所述溶劑為參比，樣品池放置溶劑，在可見光區(qū)-紫外光區(qū)掃描基線，并保存掃描曲線；
[0041]剝離液光譜采集:取一定量的新鮮剝離液，用所述溶劑稀釋一定倍數(shù)后，掃描在相同波長范圍內(nèi)的吸收曲線，并保存；
[0042]標(biāo)樣光譜采集:將多個目標(biāo)濃度的標(biāo)樣(例如3至5個)，用所述溶劑稀釋所述倍數(shù)后，掃描在相同波長范圍內(nèi)的吸收曲線，并保存；
[0043]樣品光譜采集:取待測試的樣品，用所述溶劑稀釋所述倍數(shù)后，掃描在相同波長范圍內(nèi)的吸收曲線，并保存。
[0044]在所述S106中，將新鮮剝離液、標(biāo)樣以及待測試的樣品的吸收曲線進行η階求導(dǎo)轉(zhuǎn)換，并保存各個轉(zhuǎn)換后的第η階求導(dǎo)曲線，其中η例如為1、2、3或4。其中，可以采用紫外-可見分光光度計操作軟件自帶的“求導(dǎo)”功能，直接進行第η階求導(dǎo)轉(zhuǎn)換；也可以采用“吸光度-波長”的原始值進行積分逐級至第η階求導(dǎo)，并用作圖軟件進行曲線擬合。
[0045]在所述S108中，當(dāng)新鮮剝離液的第η階求導(dǎo)曲線在第一波長λ I處吸收為0，而標(biāo)樣及待測試的樣品在第一波長λ I處有一致波谷時，如圖2所示，以第一波長λ I處波谷值與標(biāo)樣的光阻的濃度建立標(biāo)準(zhǔn)曲線。
[0046]在所述S108中，當(dāng)新鮮剝離液的第η階求導(dǎo)曲線在第二波長λ 2處吸收為0，而標(biāo)樣及待測試的樣品在第二波長λ2處有一致波峰時，如圖3所示，以第二波長λ2處波峰值與標(biāo)樣的光阻的濃度建立標(biāo)準(zhǔn)曲線。
[0047]在所述S108中，當(dāng)新鮮剝離液的第η階求導(dǎo)曲線在第三波長λ 3至第四波長λ 4區(qū)間吸收均為0，而標(biāo)樣及待測試的樣品在第三波長λ 3處有一致波谷且在第四波長λ 4處有一致波峰時，如圖4所示，以第三波長λ3至第四波長λ4的振幅與標(biāo)樣的光阻的濃度建立標(biāo)準(zhǔn)曲線。
[0048]根據(jù)以上建立好的標(biāo)準(zhǔn)曲線(通常為直線)，即可計算出作為測試樣品的剝離液中光阻的濃度。以這種方式，可以準(zhǔn)確測定剝離液中光阻的濃度，便于直觀掌握剝離液剝離光阻的能力，可根據(jù)剝離藥液中實際光阻濃度判定更換藥液的時間，對剝離液使用壽命的提升有重要意義，可廣泛用于TFT行業(yè)。
[0049]以上【具體實施方式】對本發(fā)明進行了詳細(xì)的說明，但這些并非構(gòu)成對本發(fā)明的限制。本發(fā)明的保護范圍并不以上述實施方式為限，但凡本領(lǐng)域普通技術(shù)人員根據(jù)本發(fā)明所揭示內(nèi)容所作的等效修飾或變化，皆應(yīng)納入權(quán)利要求書中記載的保護范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種測量剝離液中光阻的濃度的方法，其特征在于，所述測量剝離液中光阻的濃度的方法包括以下步驟: S102:制備光阻標(biāo)樣； S104:采集標(biāo)樣及待測試的樣品對應(yīng)的光譜； S106:對所采集的光譜進行η階求導(dǎo)，得到并存儲第η階求導(dǎo)曲線，其中η為大于或等于I的整數(shù)；和 S108:基于所得到的第η階求導(dǎo)曲線建立標(biāo)準(zhǔn)曲線，計算待測試的樣品的光阻的濃度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量剝離液中光阻的濃度的方法，其特征在于，所述S102中，將光阻涂布在素玻璃上，經(jīng)過曝光制程、顯影制程和蝕刻制程，將光阻刮取目標(biāo)質(zhì)量，在燒杯中模擬剝離過程，得到目標(biāo)濃度的標(biāo)樣。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量剝離液中光阻的濃度的方法，其特征在于，所述S104中，利用紫外-可見分光光度計采集標(biāo)樣及待測試的樣品的光譜。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量剝離液中光阻的濃度的方法，其特征在于，所述S104包括以下步驟: 溶劑選擇:選擇合適的溶劑，并以該溶劑為測試參比液； 剝離液光譜采集:取一定量的新鮮剝離液，用所述溶劑稀釋一定倍數(shù)后，掃描在相同波長范圍內(nèi)的吸收曲線； 標(biāo)樣光譜采集:將多個目標(biāo)濃度的標(biāo)樣，用所述溶劑稀釋所述倍數(shù)后，掃描在相同波長范圍內(nèi)的吸收曲線； 樣品光譜采集:取待測試的樣品，用所述溶劑稀釋所述倍數(shù)后，掃描在相同波長范圍內(nèi)的吸收曲線。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的測量剝離液中光阻的濃度的方法，其特征在于，所述S106中，將新鮮剝離液、標(biāo)樣以及待測試的樣品的吸收曲線進行η階求導(dǎo)轉(zhuǎn)換，并保存各個轉(zhuǎn)換后的第η階求導(dǎo)曲線，其中η為1、2、3或4。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的測量剝離液中光阻的濃度的方法，其特征在于，所述S108中，當(dāng)新鮮剝離液的第η階求導(dǎo)曲線在第一波長(λ I)處吸收為0，而標(biāo)樣及待測試的樣品在第一波長(λ D處有一致波谷時，以第一波長(λ D處波谷值與標(biāo)樣的光阻的濃度建立標(biāo)準(zhǔn)曲線。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的測量剝離液中光阻的濃度的方法，其特征在于，所述S108中，當(dāng)新鮮剝離液的第η階求導(dǎo)曲線在第二波長(λ 2)處吸收為0，而標(biāo)樣及待測試的樣品在第二波長(λ 2)處有一致波峰時，以第二波長(λ 2)處波峰值與標(biāo)樣的光阻的濃度建立標(biāo)準(zhǔn)曲線。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的測量剝離液中光阻的濃度的方法，其特征在于，所述S108中，當(dāng)新鮮剝離液的第η階求導(dǎo)曲線在第三波長(λ 3)至第四波長(λ 4)區(qū)間吸收均為0，而標(biāo)樣及待測試的樣品在第三波長(λ 3)處有一致波谷且在第四波長(λ 4)處有一致波峰時，以第三波長(λ 3)至第四波長(λ 4)的振幅與標(biāo)樣的光阻的濃度建立標(biāo)準(zhǔn)曲線。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8任一項所述的測量剝離液中光阻的濃度的方法，其特征在于，所述剝離液為有機胺類剝離液。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至8任一項所述的測量剝離液中光阻的濃度的方法，其特征在于，所述光阻為酚醛樹 脂類正型光阻。
【文檔編號】G01N21/33GK103900978SQ201410118203
【公開日】2014年7月2日 申請日期:2014年3月27日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月27日
【發(fā)明者】王俐 申請人:深圳市華星光電技術(shù)有限公司