去光阻液回收系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提出一種去光阻液回收系統(tǒng)，至少包括薄膜蒸發(fā)器、過濾裝置、回收槽、排放管路、流入管路、排渣管路以及回收管路，其中排放管路的一端接設(shè)于薄膜蒸發(fā)器的出液口，另一端接設(shè)于過濾裝置的流入口；流入管路的一端接設(shè)于過濾裝置的流出口，另一端則接設(shè)于薄膜蒸發(fā)器的進液口；排渣管路一端連通于排放管路，另一端則連通于流入管路；回收管路一端接設(shè)于過濾裝置的排渣口，另一端則接設(shè)于回收槽的回收口。如此，前述各個裝置借由各個管路相互連結(jié)后，便組成了一個去光阻液的回收系統(tǒng)。利用去光阻液回收系統(tǒng)進行廢渣排放作業(yè)時，去光阻液自過濾裝置的流出口進入于過濾裝置內(nèi)，并將廢渣帶走，經(jīng)由排渣口流入回收管路中，再流入回收槽中進行回收。
【專利說明】去光阻液回收系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明有關(guān)于一種去光阻液回收系統(tǒng)，特別是一種能自動排出廢渣的去光阻液回收系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體或液晶面板等的制造制程中，會利用在基板上涂布光阻液而曝光顯影的微影技術(shù)。而在曝光顯影后欲進行下個制程前，又必需要將光阻去除，此時就必需再使用去光阻液來達到目的。相對的，伴隨著近年來液晶面板等的大型化，所使用的基板亦在朝大型化方向發(fā)展，因此去光阻液的使用量亦在增大。
[0003]在使用去光阻液除去基板光阻后，必需要將已用過的去光阻液進行回收。如圖1所示，為目前所使用的去光阻回收系統(tǒng)10，其包括有薄膜蒸發(fā)器11、過濾器12、加壓器13以及回收槽14，其中過濾器12設(shè)置于薄膜蒸發(fā)器11與加壓器13之間，也就是說，過濾器12位于加壓器13的入口端處，由于去光阻回收系統(tǒng)10采用負壓設(shè)計，在目前過濾器12位于加壓器13入口端處的配置下，容易發(fā)生孔蝕及空抽的現(xiàn)象。
[0004]此外，由于過濾器12必需定期清理，在進行清理時必需要停機，且必需由人工進行清理，十分耗時耗力。而且在去光阻回收系統(tǒng)10停/開機時，需要進行降/升溫暖機，過程需要約2至4小時，不僅耗時而且又耗能。
[0005]因此，就經(jīng)濟方面、環(huán)境方面考慮，業(yè)界均期望對于去光阻液的回收系統(tǒng)能夠有一套更有效率的方式來進行回收。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]有鑒于現(xiàn)有技術(shù)問題，本發(fā)明提出一種去光阻液回收系統(tǒng)，本實施例的光阻液回收系統(tǒng)至少包括有薄膜蒸發(fā)器、過濾裝置、回收槽、排放管路、流入管路、排渣管路以及回收管路，其中排放管路的一端接設(shè)于薄膜蒸發(fā)器的出液口，另一端則接設(shè)于過濾裝置的流入口 ；流入管路的一端接設(shè)于過濾裝置的流出口，另一端則接設(shè)于薄膜蒸發(fā)器的進液口 ；排渣管路一端連通于排放管路，另一端則連通于流入管路；回收管路一端接設(shè)于過濾裝置的排渣口，另一端則接設(shè)于回收槽的回收口。如此，前述各個裝置在藉由各個管路相互連結(jié)后，便組成了 一個去光阻液的回收系統(tǒng)。
[0007]除此之外，在此去光阻液回收系統(tǒng)中還可以包括有加壓裝置，其設(shè)置于排放管路上，提供適當(dāng)?shù)膲毫?，使回收系統(tǒng)中的去光阻液能夠于各管路及各裝置間流動。
[0008]本實施例中的去光阻液回收系統(tǒng)中還包括第一控制閥、第二控制閥、第三控制閥，其中第一控制閥設(shè)置于流入管路上，借以控制流入管路的啟閉，第二控制閥設(shè)置于回收管路上，藉以控制回收管路的啟閉，第三控制閥設(shè)置于排渣管路上，同樣可借以控制排渣管路的啟閉。
[0009]另外，本發(fā)明中的過濾裝置是針對去光阻液回收系統(tǒng)所設(shè)計，其除了包括在過濾裝置的本體上的流入口、流出口與排渣口等構(gòu)件外，在過濾裝置的實施例中還包括隔板以及過濾組件，其中隔板徑向設(shè)置于本體內(nèi)，使本體內(nèi)形成有上下層迭的第一空間與第二空間，而過濾組件則設(shè)置于隔板下方，并位于第二空間中，借由此種設(shè)計方式，可使得流出口與第一空間連通，而流入口與排放口則與第二空間連通。
[0010]最后，在利用本發(fā)明的去光阻液回收系統(tǒng)進行廢渣排放作業(yè)時，其中第一控制閥為緊閉的狀態(tài)，以確認(rèn)流入管路為斷路形態(tài)，第二控制閥為開啟的狀態(tài)，使回收管路為通路形態(tài)，最后第三控制閥則為開啟的狀態(tài)，使排渣管路為通路形態(tài)，此時由薄膜蒸發(fā)器流出的去光阻液，自出液口流出后，經(jīng)由排放管路及排放管路上的加壓裝置進行加壓后，去光阻液自過濾裝置的流出口進入于過濾裝置的第一空間內(nèi)，在去光阻液由第一空間通過濾組件進入第二空間后，會將位于第二空間內(nèi)的廢渣同時帶走，并經(jīng)由排渣口而流入回收管路中，再從回收管路自回收口流入于回收槽中進行回收，此即為廢渣排放作業(yè)流程。
[0011]通過上述設(shè)計，去光阻液回收系統(tǒng)在進行廢渣排放作業(yè)時無需停機，利用系統(tǒng)的自動排液設(shè)計，經(jīng)由切換管路，便可達到排液時順帶將廢渣一并排除的目的。
[0012]為讓本發(fā)明的目的、特征和優(yōu)點能使本領(lǐng)域普通技術(shù)人員更易理解，下文舉一優(yōu)選實施例，并結(jié)合附圖作詳細說明如下。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1為目前所使用的去光阻回收系統(tǒng)示意圖。
[0014]圖2為本發(fā)明去光阻液回收系統(tǒng)的實施例示意圖。
[0015]圖3為本發(fā)明過濾裝置的實施例示意圖。
[0016]圖4為本發(fā)明去光阻液回收系統(tǒng)的廢液回收示意圖。
[0017]圖5為本發(fā)明去光阻液回收系統(tǒng)的廢渣回收示意圖。
[0018]符號說明
[0019]去光阻回收系統(tǒng)10
[0020]薄膜蒸發(fā)器11
[0021]過濾器12
[0022]加壓器13
[0023]回收槽14
[0024]去光阻液回收系統(tǒng)20
[0025]加壓裝置21
[0026]第一控制閥22
[0027]第二控制閥23
[0028]第三控制閥24
[0029]薄膜蒸發(fā)器30
[0030]出液口31
[0031]進液口32
[0032]過濾裝置40
[0033]流入口41
[0034]流出口42
[0035]排渣口 43[0036]本體 44
[0037]第一空間441第二空間442
[0038]隔板45
[0039]過濾組件46
[0040]回收槽5O
[0041]回收口51
[0042]排放管路60
[0043]流入管路70
[0044]排渣管路80
[0045]回收管路90
[0046]去光阻液w
[0047]廢渣d
【具體實施方式】
[0048]如圖2、3圖所示，圖2是本發(fā)明去光阻液回收系統(tǒng)的實施例示意圖、圖3是本發(fā)明過濾裝置的實施例示意圖，在本實施例中的去光阻液回收系統(tǒng)20至少包括薄膜蒸發(fā)器30、過濾裝置40、回收槽50、排放管路60、流入管路70、排洛管路80以及回收管路90,而上述的各個組件裝置仍分別具有細部的構(gòu)件，且各個組件裝置間具有相互的連結(jié)關(guān)系，其多以管路來作為各裝置間的連結(jié)，詳細說明如下:其中薄膜蒸發(fā)器30，具有出液口 31與進液口 32 ；過濾裝置40則具有流入口 41、流出口 42與排渣口 43 ;回收槽50具有回收口 51 ;以下即為用于連接各裝置的各式管路，說明如下:其中排放管路60的一端接設(shè)于薄膜蒸發(fā)器30的出液口 31，另一端則接設(shè)于過濾裝置40的流入口 41 ;流入管路70的一端接設(shè)于過濾裝置40的流出口 42，另一端則接設(shè)于薄膜蒸發(fā)器30的進液口 32 ;排渣管路80 —端連通于排放管路，另一端則連通于流入管路70 ;回收管路90 —端接設(shè)于過濾裝置40的排渣口 43，另一端則接設(shè)于回收槽50的回收口 51。如此，前述各個裝置在藉由各個管路相互連結(jié)后，便組成了一個去光阻液的回收系統(tǒng)，而在此去光阻液的回收系統(tǒng)中還可以包括有加壓裝置21，其設(shè)置于排放管路60上，提供適當(dāng)?shù)膲毫Γ够厥障到y(tǒng)中的去光阻液能夠于各管路及各裝置間流動。此外，去光阻液的回收系統(tǒng)中還包括了有第一控制閥22、第二控制閥23、第三控制閥24，其中第一控制閥22設(shè)置于流入管路70上，借以控制流入管路70的啟閉，第二控制閥23設(shè)置于回收管路90上，借以控制回收管路90的啟閉，最后第三控制閥23，其設(shè)置于排渣管路80上，同樣可借以控制排渣管路80的啟閉。
[0049]另外，在本發(fā)明的各個裝置中，要特別說明的是過濾裝置40，本發(fā)明中的過濾裝置40是針對去光阻液回收系統(tǒng)所設(shè)計，除了包括在過濾裝置40的本體44上的流入口 41、流出口 42與排渣口 43等構(gòu)件外，在過濾裝置40的實施例中還包括隔板45以及過濾組件46，其中隔板45徑向設(shè)置于本體44內(nèi)，使本體44內(nèi)形成有上下層迭的第一空間441與第二空間442，而過濾組件46則設(shè)置于隔板45下方，并位于第二空間442中，更進一步說，過濾組件46用于區(qū)隔本體44的內(nèi)部空間，使本體44內(nèi)形成二個獨立的空間配置，因此，第一空間441與第二空間442在隔板間隔的部分是不連通的，但是經(jīng)由設(shè)置于隔板45下方的過濾組件46，則可使第一空間441與第二空間442，借由過濾組件46形成連通，而形成連通的方式，例如在隔板上開設(shè)有通孔，而過濾組件46則對應(yīng)通孔設(shè)置，由于過濾組件46本身即具有使流體通過的設(shè)計，故可以達到第一空間441與第二空間442連通的目的，因此借由此種設(shè)計方式，可使得流出口 42與第一空間441連通，而流入口 41與排放口 43則與第二空間442連通。
[0050]通過上述設(shè)計，在去光阻液回收系統(tǒng)20進行正常循環(huán)作業(yè)時，其中的第一控制閥22為開啟的狀態(tài),使流入管路70為通路形態(tài),第二控制閥23為緊閉的狀態(tài),使回收管路90為斷路形態(tài)，最后第三控制閥23亦為緊閉的狀態(tài)，使排渣管路80同樣為斷路形態(tài)，此時由薄膜蒸發(fā)器30流出的具有廢渣的去光阻液W，自出液口 31流出后，經(jīng)由排放管路60及排放管路60上的加壓裝置21進行加壓后，自過濾裝置40的流入口 41進入于過濾裝置40的第二空間442內(nèi)，再借由位于第二空間442內(nèi)的過濾組件46過濾后，具有廢渣的去光阻液W，其廢渣d便會留在第二空間442內(nèi)，而通過過濾組件46流入于第一空間441內(nèi)的去光阻液w便不會含有廢渣d，成為過濾完成干凈可用的去光阻液《，此時，干凈可用的去光阻液w再經(jīng)由流出口 42流入至流入管路70中，并經(jīng)由進液口 32再進入于薄膜蒸發(fā)器30中重新使用，此即為正常的循環(huán)過濾流程。
[0051]但在去光阻液w使用一段時間后，仍會質(zhì)變需要進行更換，如圖4所示，為本發(fā)明去光阻液回收系統(tǒng)的廢液回收實施例示意圖，在去光阻液回收系統(tǒng)20進行廢液排放作業(yè)時，其中的第一控制閥22為開啟的狀態(tài)，使流入管路70為通路形態(tài)，第二控制閥23為開啟的狀態(tài)，使回收管路90為通路形態(tài)，最后第三控制閥23仍為緊閉的狀態(tài)，使排渣管路80為斷路形態(tài)，此時由薄膜蒸發(fā)器30流出的具有廢渣的去光阻液W，自出液口 31流出后，經(jīng)由排放管路60及排放管路60上的加壓裝置21進行加壓后，自過濾裝置40的流入口 41進入于過濾裝置40的第二空間442內(nèi)，此時，部分具有廢渣的去光阻液W，會直接經(jīng)由排渣口 43而流入回收管路90中，并經(jīng)由回收管路90自回收口 51流入于回收槽50中進行回收，而部分具有廢渣的去光阻液w，再同樣借由位于第二空間442內(nèi)的過濾組件46過濾后，具有廢渣的去光阻液W，其廢渣d便會留在第二空間442內(nèi)，而通過過濾組件46流入于第一空間441內(nèi)的去光阻液w便不會含有廢渣d，成為過濾完成干凈可用的去光阻液W，此時，干凈可用的去光阻液w再經(jīng)由流出口 42流入至流入管路70中，并經(jīng)由進液口 32再進入于薄膜蒸發(fā)器30中，此即為廢液排放作業(yè)流程。
[0052]最后，如圖5所示，為本發(fā)明去光阻液回收系統(tǒng)的廢渣排放實施例示意圖，在去光阻液回收系統(tǒng)20進行廢渣排放作業(yè)時，其中的第一控制閥22為緊閉的狀態(tài)，使流入管路70為斷路形態(tài)，第二控制閥23為開啟的狀態(tài)，使回收管路90為通路形態(tài)，最后第三控制閥23則為開啟的狀態(tài)，使排渣管路80為通路形態(tài)，此時由薄膜蒸發(fā)器30流出的去光阻液W，自出液口 31流出后，經(jīng)由排放管路60及排放管路60上的加壓裝置21進行加壓后，去光阻液w自過濾裝置40的流出口 42進入于過濾裝置40的第一空間441內(nèi)，此時，去光阻液w為反向流入過濾裝置40中，在去光阻液w由第一空間441通過濾組件46進入第二空間442后，會將位于第二空間442內(nèi)的廢渣同時帶走，并經(jīng)由排渣口 43而流入回收管路90中，再從回收管路90自回收口 51流入于回收槽50中進行回收，此即為廢渣排放作業(yè)流程，借由此設(shè)計，在進行廢渣排放作業(yè)時無需停機，利用系統(tǒng)的自動排液設(shè)計，經(jīng)由切換管路，便可達到排液時順帶將廢渣一并排除的目的。
[0053]雖然本發(fā)明是結(jié)合以上實施例進行描述的，但本發(fā)明并不限定于上述實施例，而只受所附權(quán)利要求的限定，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員能夠容易地對其進行修改和變化，但并不離開本發(fā)明的實質(zhì)構(gòu)思和范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種去光阻液回收系統(tǒng)，包括: 薄膜蒸發(fā)器，具有出液口與進液口 ； 過濾裝置，具有流入口、流出口與排渣口 ； 回收槽，具有回收口 ； 排放管路，一端接設(shè)于所述出液口，另一端接設(shè)于所述流入口 ； 流入管路，一端接設(shè)于所述流出口，另一端接設(shè)于所述進液口 ； 排渣管路，一端連通于所述排放管路，另一端連通于所述流入管路；以及 回收管路，一端接設(shè)于所述排渣口，另一端接設(shè)于所述回收口。
2.如權(quán)利要求1所述的去光阻液回收系統(tǒng)，其特征在于，還包括加壓裝置，設(shè)置于所述排放管路上。
3.如權(quán)利要求1所述的去光阻液回收系統(tǒng)，其特征在于，還包括第一控制閥，設(shè)置于所述流入管路上。
4.如權(quán)利要求1所述的去光阻液回收系統(tǒng)，其特征在于，還包括第二控制閥，設(shè)置于所述回收管路上。
5.如權(quán)利要求1所述的去光阻液回收系統(tǒng)，其特征在于，還包括第三控制閥，設(shè)置于所述排渣管路上。
6.一種過濾裝置，適用于去光阻液回收系統(tǒng)，包括: 本體，其上具有流入口、流出口與排渣口 ； 隔板，徑向設(shè)置于所述本體內(nèi)，使所述本體內(nèi)形成有上下層迭的第一空間與第二空間； 過濾組件，設(shè)置于所述隔板下方，并位于所述第二空間中； 其中，所述流出口與所述第一空間連通，而所述流入口與排放口則與所述第二空間連通。
【文檔編號】G03F7/42GK103728846SQ201210393186
【公開日】2014年4月16日 申請日期:2012年10月16日 優(yōu)先權(quán)日:2012年10月16日
【發(fā)明者】孟文雄, 許譽騰 申請人:友達光電股份有限公司