專利名稱：光阻剝離液的供應(yīng)系統(tǒng)及其供應(yīng)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種液體供應(yīng)系統(tǒng)及其供應(yīng)方法，且特別涉及一種光阻剝離液的供應(yīng)系統(tǒng)及其供應(yīng)方法。
背景技術(shù)：
近年來，由于液晶顯示器具有重量輕、體積小與低耗電等優(yōu)點，因此液晶顯示器被廣泛地使用在各種電子產(chǎn)品(例如電視、手機(jī)、筆記本電腦或衛(wèi)星導(dǎo)航裝置等)上。液晶顯示器的工藝主要可區(qū)分為薄膜晶體管陣列(TFT Array)工藝、彩色濾光 (color filter)工藝、液晶面板組裝(LC Cell Assembly)與液晶面板模塊組裝(module Assembly)，其中在薄膜晶體管陣列的工藝中，于基板上使用光阻劑并經(jīng)過曝光與顯影等過程，以在基板上形成所需的電路圖案，而未反應(yīng)的光阻劑則在蝕刻階段使用光阻剝離液 (Stripper)去除。但是由于光阻剝離液的使用量大且單價高，因此，為節(jié)省化學(xué)藥品用量及達(dá)到環(huán)保減廢的目的，目前可利用光阻剝離液回收設(shè)備(Stripper Recycle System, SRS)依據(jù)物質(zhì)沸點不同的原理，利用加熱的蒸餾方法將光阻剝離廢液中的水分與光阻去除，以得到純凈的光阻剝離液并再度供應(yīng)到蝕刻機(jī)臺使用。然而，上述的光阻剝離液回收設(shè)備的回收效率仍有可改善的空間。舉例來說，請參照圖1，圖1為目前光阻剝離液回收設(shè)備的回收效率與時間關(guān)系的示意圖，其中光阻剝離液回收設(shè)備的運轉(zhuǎn)階段可分為冷啟動、穩(wěn)定運轉(zhuǎn)與關(guān)機(jī)。所述的冷啟動階段例如是光阻剝離液回收設(shè)備于常溫常壓下剛開機(jī)的階段。所述的穩(wěn)定運轉(zhuǎn)階段例如是光阻剝離液回收設(shè)備于高溫負(fù)壓下穩(wěn)定產(chǎn)出光阻剝離液。所述的關(guān)機(jī)階段例如是當(dāng)光阻剝離液回收設(shè)備的進(jìn)料儲槽液位已到達(dá)低點。如圖1所示，可發(fā)現(xiàn)光阻剝離液回收設(shè)備在時間點tl之前的回收效率較差，也就是說，光阻剝離液回收設(shè)備在冷啟動階段的回收效率較差，此原因可能是由于溫度尚未達(dá)到物質(zhì)沸點，故有相當(dāng)大比例仍可使用的光阻剝離液隨著廢液排出，而造成光阻剝離液回收效率下降與浪費的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提出一種光阻剝離液供應(yīng)系統(tǒng)及其供應(yīng)方法，通過管路的配置與控制閥的調(diào)配，以適應(yīng)不同的運轉(zhuǎn)階段，并提升光阻剝離液的回收效率。本發(fā)明的實施例的光阻剝離液的供應(yīng)系統(tǒng)，包括第一儲存槽、處理設(shè)備、第二儲存槽與第三儲存槽。第一儲存槽用以儲存并供應(yīng)第一光阻剝離廢液。處理設(shè)備與第一儲存槽連接，而所述的處理設(shè)備用以接收并處理第一光阻剝離廢液，以分別輸出光阻剝離液與第二光阻剝離廢液。第二儲存槽與處理設(shè)備連接，而所述的第二儲存槽用以儲存并輸出來自處理設(shè)備的光阻剝離液。第三儲存槽與處理設(shè)備連接，而所述的第三儲存槽用以儲存來自處理設(shè)備的第二光阻剝離廢液，其中于第一運轉(zhuǎn)階段時，處理設(shè)備輸出第二光阻剝離廢液至第一儲存槽，并停止輸出第二光阻剝離廢液至第三儲存槽。于第二運轉(zhuǎn)階段時，處理設(shè)備輸出第二光阻剝離廢液至第三儲存槽，并停止輸出第二光阻剝離廢液至第一儲存槽。另外，本發(fā)明的光阻剝離液的供應(yīng)方法，包括下列步驟首先，提供光阻剝離液的供應(yīng)系統(tǒng)，包括第一儲存槽、處理設(shè)備、第二儲存槽與第三儲存槽。所述的第一儲存槽用以儲存并供應(yīng)第一光阻剝離廢液，所述的處理設(shè)備用以接收并處理第一光阻剝離廢液，并輸出光阻剝離液與第二光阻剝離廢液，所述的第二儲存槽用以儲存處理設(shè)備輸出的光阻剝離液，所述的第三儲存槽用以儲存處理設(shè)備輸出的第二光阻剝離廢液；接著，于第一運轉(zhuǎn)階段時，處理設(shè)備輸出第二光阻剝離廢液至第一儲存槽，并停止輸出第二光阻剝離廢液至第三儲存槽；及于第二運轉(zhuǎn)階段時，處理設(shè)備輸出第二光阻剝離廢液至第三儲存槽，并停止輸出第二光阻剝離廢液至第一儲存槽。綜上所述，本發(fā)明的光阻剝離液供應(yīng)系統(tǒng)及其供應(yīng)方法，通過管路的配置與控制閥的調(diào)配，以使光阻剝離液供應(yīng)系統(tǒng)的處理設(shè)備在第一運轉(zhuǎn)階段時可重復(fù)地對第一光阻剝離廢液進(jìn)行循環(huán)處理，以使光阻剝離液供應(yīng)系統(tǒng)可從第一光阻剝離廢液中回收取得較高比例的光阻剝離液，進(jìn)而提升光阻剝離液供應(yīng)系統(tǒng)的回收效率。為讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉優(yōu)選實施例， 并配合附圖，作詳細(xì)說明如下。


圖1示出為公知技術(shù)的光阻剝離液回收設(shè)備的回收效率與時間關(guān)系的示意圖。圖2A示出為本發(fā)明的第一實施例的光阻剝離液供應(yīng)系統(tǒng)于第一運轉(zhuǎn)階段的示意圖。圖2B示出為本發(fā)明的第一實施例的光阻剝離液供應(yīng)系統(tǒng)于第二運轉(zhuǎn)階段的示意圖。圖3A示出為本發(fā)明的第二實施例的光阻剝離液供應(yīng)系統(tǒng)于第一運轉(zhuǎn)階段的示意圖。圖;3B示出為本發(fā)明的第二實施例的光阻剝離液供應(yīng)系統(tǒng)于第二運轉(zhuǎn)階段的示意圖。圖4A示出為本發(fā)明的第三實施例的光阻剝離液供應(yīng)系統(tǒng)于第一運轉(zhuǎn)階段的示意圖。圖4B示出為本發(fā)明的第三實施例的光阻剝離液供應(yīng)系統(tǒng)于第二運轉(zhuǎn)階段的示意圖。圖5示出為本發(fā)明的實施例的光阻剝離液供應(yīng)方法的步驟流程圖。圖6示出為本發(fā)明的實施例的光阻剝離液回收設(shè)備的回收效率與時間關(guān)系的示意圖。其中，附圖標(biāo)記說明如下10第一儲存槽12第一光阻剝離廢液120 第一管路122 第二管路
124第三管路
126第四管路
128第五管路
20處理設(shè)備
22光阻剝離液
24第二光阻剝離廢液
200光阻剝離液供應(yīng)系統(tǒng)
30第二儲存槽
300光阻剝離液供應(yīng)系統(tǒng)
40第三儲存槽
400光阻剝離液供應(yīng)系統(tǒng)
50第一控制閥
52第二控制閥
tl時間點
t2時間點
Vl控制閥
V2控制閥
V3控制閥
V4控制閥
S501 S505 步驟流程ij
具體實施例方式請參照圖2A，圖2A為本發(fā)明的第一實施例的光阻剝離液供應(yīng)系統(tǒng)于第一運轉(zhuǎn)階段的示意圖。如圖2A所示，本發(fā)明的第一實施例的光阻剝離液供應(yīng)系統(tǒng)200包括有第一儲存槽10、處理設(shè)備20、第二儲存槽30與第三儲存槽40。其中，處理設(shè)備20分別與第一儲存槽10、第二儲存槽30以及第三儲存槽40相連接。第一儲存槽10用以儲存第一光阻剝離廢液12，并且供應(yīng)第一光阻剝離廢液12至處理設(shè)備20。處理設(shè)備20接收來自第一儲存槽10的第一光阻剝離廢液12，并對第一光阻剝離廢液12進(jìn)行處理而產(chǎn)出光阻剝離液22與第二光阻剝離廢液M，第二儲存槽30以及第三儲存槽40則分別接收并且儲存光阻剝離液22及第二光阻剝離廢液M。第一儲存槽10中可設(shè)置低液位傳感器(圖中未示)，并于第一儲存槽10的第一光阻剝離廢液12的儲存液位低于或等于低液位傳感器的設(shè)置位置時，發(fā)出警告訊息提醒操作人員，或者發(fā)出控制信號停止處理設(shè)備20。同樣地，第二儲存槽30中可設(shè)置高/低液位傳感器(圖中未示)，并于第二儲存槽30的光阻剝離液22的儲存液位低于或等于低液位傳感器的設(shè)置位置時，發(fā)出警告訊息提醒操作人員，或者由另一管路(圖中未示)接收/補(bǔ)充新的光阻剝離液；于第二儲存槽30的光阻剝離液22的儲存液位高于或等于高液位傳感器 (圖中未示)的設(shè)置位置時，發(fā)出警告訊息提醒操作人員，或者發(fā)出控制信號停止處理設(shè)備 20，以避免光阻剝離液供應(yīng)系統(tǒng)200發(fā)生當(dāng)機(jī)的問題。處理設(shè)備20分別通過第一管路120、部分的第三管路IM及第五管路128、或部分的第二管路122及第四管路126與第一儲存槽10連接。另外，處理設(shè)備20還通過第二管路122與第二儲存槽30連接，以及，通過第三管路IM與第三儲存槽40連接。處理設(shè)備20 通過第一管路120接收來自第一儲存槽10的第一光阻剝離廢液12，并對第一光阻剝離廢液12進(jìn)行處理。舉例來說，處理設(shè)備20可通過加熱第一光阻剝離廢液12的方式，蒸餾取得光阻剝離液22，進(jìn)而將光阻剝離液22從第一光阻剝離廢液12中分離出來，而光阻剝離廢液12去除了光阻剝離液22的其余部分則為第二光阻剝離廢液M。具體地，處理設(shè)備20還可包括去光阻部(圖中未示)、去水分部(圖中未示)及精餾部(圖中未示)等基本設(shè)備， 以得到更為純化的光阻剝離液22。光阻剝離液22可通過部分的第二管路122及第四管路 126輸送至第一儲存槽10，或者，通過第二管路122輸送至第二儲存槽30 ；第二光阻剝離廢液M則可通過部分的第三管路1 與第五管路1 輸送至第一儲存槽10，或者，通過第三管路1 輸送至第三儲存槽40，而第二光阻剝離廢液M包含有殘留的光阻剝離液及光阻、 水分等不純物。更進(jìn)一步說，第二儲存槽30通過第二管路122與處理設(shè)備20連接，第四管路1 連接第一儲存槽10與第二管路122，而第一控制閥50設(shè)置于第二管路122與第四管路1 的相連接處。第一控制閥50例如是手動或自動的三通閥。第一控制閥50可連接控制器 (圖中未示)，并通過控制器控制第一控制閥50的開啟、關(guān)閉或路徑切換。第三儲存槽40 通過第三管路124與處理設(shè)備20連接，第五管路1 連接第一儲存槽10與第三管路124。 第二控制閥52設(shè)置于第三管路IM與第五管路128的相連接處。第二控制閥52例如是手動或自動的三通閥。第二控制閥52可連接控制器(圖中未示)，并通過控制器控制第二控制閥52的開啟、關(guān)閉或路徑切換。以下大致說明光阻剝離液供應(yīng)系統(tǒng)200在第一運轉(zhuǎn)階段的運轉(zhuǎn)情形。首先，第一儲存槽10中的第一光阻剝離廢液12通過第一管路120輸送至處理設(shè)備20。接著，處理設(shè)備20對第一光阻剝離廢液12進(jìn)行不純物分離處理(例如加熱，優(yōu)選為蒸餾)，以去除第一光阻剝離廢液12中的光阻與水分等不純物后，進(jìn)而分離出光阻剝離液22與第二光阻剝離廢液對。接著，將第二光阻剝離廢液M通過第五管路1 輸送至第一儲存槽10，并依此循環(huán)直到進(jìn)入第二運轉(zhuǎn)階段。值得一提的是，由于公知技術(shù)中的第一運轉(zhuǎn)階段的回收效率較差，所以本發(fā)明實施例于第一運轉(zhuǎn)階段時，將第二光阻剝離廢液M通過第五管路1 輸送至第一儲存槽10， 且在第一運轉(zhuǎn)階段中，處理設(shè)備20停止輸送第二光阻剝離廢液M至第三儲存槽40。經(jīng)由此種回收循環(huán)方式可進(jìn)一步提升第一運轉(zhuǎn)階段的回收效率。另外，在本發(fā)明的實施例中還可選擇性地將光阻剝離液22通過第四管路1 輸送至第一儲存槽10，并停止輸送光阻剝離液22至第二儲存槽30，以避免第一儲存槽10中的第一光阻剝離廢液22的組成變化過大。 但不限于此，于第一運轉(zhuǎn)階段中，亦可使處理設(shè)備輸送光阻剝離液22至第二儲存槽30，而不將光阻剝離液22通過第四管路1 輸送至第一儲存槽10。附帶一提，上述的各個管路中還可設(shè)置流量計(圖中未示)，并通過計算機(jī)系統(tǒng)(圖中未示)監(jiān)控或記錄各個管路的流量值、壓力值等數(shù)據(jù)，以進(jìn)一步遠(yuǎn)程調(diào)整各個控制閥的狀態(tài)。請參照圖2B，圖2B為本發(fā)明的第一實施例的光阻剝離液供應(yīng)系統(tǒng)于第二運轉(zhuǎn)階段的示意圖。如圖2B所示，于處理設(shè)備20中被加熱的第一光阻剝離廢液12的溫度到達(dá)一個預(yù)定溫度時，則光阻剝離液供應(yīng)系統(tǒng)200由第一運轉(zhuǎn)階段進(jìn)入第二運轉(zhuǎn)階段，而所述的預(yù)定溫度可例如是80°C至100°C，優(yōu)選約為90°C。換言之，在預(yù)定溫度到達(dá)之前，光阻剝離液供應(yīng)系統(tǒng)200處于第一運轉(zhuǎn)階段。以下大致說明光阻剝離液供應(yīng)系統(tǒng)200在第二運轉(zhuǎn)階段的運轉(zhuǎn)情形。首先，第一儲存槽10中的第一光阻剝離廢液12通過第一管路120輸送至處理設(shè)備20。接著，處理設(shè)備20對第一光阻剝離廢液12進(jìn)行不純物分離處理(例如加熱，優(yōu)選為蒸餾)，以去除第一光阻剝離廢液12中的光阻與水分等不純物后，進(jìn)而分離出光阻剝離液22與第二光阻剝離廢液對。接著，光阻剝離液22通過第二管路122輸送至第二儲存槽30，而第二光阻剝離廢液M通過第三管路1 輸送至第三儲存槽40，并依此循環(huán)直到進(jìn)入關(guān)機(jī)階段。更進(jìn)一步說，本發(fā)明的第一實施例于第二運轉(zhuǎn)階段時，處理設(shè)備20將光阻剝離液 22通過第二管路122輸送至第二儲存槽30，以及將第二光阻剝離廢液M通過第三管路IM 輸送至第三儲存槽40。另外，在第二運轉(zhuǎn)階段中，處理設(shè)備20停止輸送光阻剝離液22至第一儲存槽10以及停止輸送第二光阻剝離廢液M至第一儲存槽10。在本發(fā)明的第二實施例中，如圖3A所示，光阻剝離液供應(yīng)系統(tǒng)300可取消第一控制閥50以及第二控制閥52的設(shè)置，而改為多個控制閥Vl V4，分別設(shè)置于第二管路122、 第四管路126、第三管路124與第五管路128，以通過這些控制閥Vl V4分別控制處理設(shè)備20與第二儲存槽30間、處理設(shè)備20與第一儲存槽10間、處理設(shè)備20與第三儲存槽40 間以及處理設(shè)備20與第一儲存槽10間的連通與否。舉例來說，在第一運轉(zhuǎn)階段時，控制閥 Vl與控制閥V3分別為切斷狀態(tài)，以阻止光阻剝離液22輸送至第二儲存槽30以及阻止第二光阻剝離廢液M輸送至第三儲存槽40，而控制閥V2與控制閥V4分別為導(dǎo)通狀態(tài)，以使光阻剝離液22與第二光阻剝離廢液M輸送至第一儲存槽10。如圖:3B所示，在第二運轉(zhuǎn)階段時，控制閥Vl與控制閥V3分別為導(dǎo)通狀態(tài)，以使光阻剝離液22輸送至第二儲存槽30以及使第二光阻剝離廢液M輸送至第三儲存槽40，而控制閥V2與控制閥V4分別為切斷狀態(tài)， 以阻止光阻剝離液22與第二光阻剝離廢液M輸送至第一儲存槽10。在本發(fā)明的第三實施例中，如圖4A所示，光阻剝離液供應(yīng)系統(tǒng)400可使第四管路 126或第五管路1 直接連接處理設(shè)備20以及第一儲存槽10，使第四管路1 無須通過部分的第二管路122連接于處理設(shè)備20，或者使第五管路1 無須通過部分的第三管路IM 連接于處理設(shè)備20。而多個控制閥Vl V4，分別設(shè)置于第二管路122、第四管路126、第三管路IM與第五管路128。舉例來說，在第一運轉(zhuǎn)階段時，控制閥Vl與控制閥V3分別為切斷狀態(tài)，以阻止光阻剝離液22輸送至第二儲存槽30以及阻止第二光阻剝離廢液M輸送至第三儲存槽40，而控制閥V2與控制閥V4分別為導(dǎo)通狀態(tài)，以使光阻剝離液22與第二光阻剝離廢液M輸送至第一儲存槽10。如圖4B所示，在第二運轉(zhuǎn)階段時，控制閥Vl與控制閥 V3分別為導(dǎo)通狀態(tài)，以使光阻剝離液22輸送至第二儲存槽30以及使第二光阻剝離廢液M 輸送至第三儲存槽40，而控制閥V2與控制閥V4分別為切斷狀態(tài)，以阻止光阻剝離液22與第二光阻剝離廢液M輸送至第一儲存槽10。接下來，請參照圖5，圖5為本發(fā)明的第一實施例的光阻剝離液供應(yīng)方法的步驟流程圖。為了說明方便，可一并參閱圖2A、圖2B與圖5。首先，在步驟S501中，提供光阻剝離液的供應(yīng)系統(tǒng)200，包括儲存并供應(yīng)第一光阻剝離廢液12的第一儲存槽10、接收并處理第一光阻剝離廢液12以輸出光阻剝離液22與第二光阻剝離廢液M的處理設(shè)備20、儲存處理設(shè)備20輸出的光阻剝離液22的第二儲存槽30、以及儲存處理設(shè)備20輸出的第二光阻剝離廢液M的第三儲存槽40。如上所述，第一儲存槽10通過第一管路120與處理設(shè)備20連接。另外，第一儲存槽10還通過第四管路1 與第二管路122連接，以及通過第五管路1 與第三管路IM連接。所述的處理設(shè)備20通過第二管路122與第二儲存槽30連接，而處理設(shè)備20還通過第三管路124與第三儲存槽40連接。而第一控制閥50設(shè)置于第二管路122與第四管路1 的連接處，第二控制閥52設(shè)置于第三管路124與第五管路128的連接處。接下來，在步驟S503中，于第一運轉(zhuǎn)階段時，處理設(shè)備20輸出第二光阻剝離廢液 24至第一儲存槽10，并停止輸出第二光阻剝離廢液M至第三儲存槽40。另外，于第一運轉(zhuǎn)階段時，處理設(shè)備20還可選擇性地輸出光阻剝離液22至第一儲存槽10，并停止輸出光阻剝離液22至第二儲存槽30。然后，在步驟S505中，于第二運轉(zhuǎn)階段時，處理設(shè)備20輸出第二光阻剝離廢液M 至第三儲存槽40，并停止輸出第二光阻剝離廢液M至第一儲存槽10。另外，在本發(fā)明的實施例的另一個實施方式中，于第二運轉(zhuǎn)階段時，處理設(shè)備20還輸出光阻剝離液22至第二儲存槽30，并停止輸出光阻剝離液22至第一儲存槽10。另外，處理設(shè)備20可加熱處理第一光阻剝離廢液12，于處理設(shè)備20中被加熱的第一光阻剝離廢液12的溫度到達(dá)一個預(yù)定溫度時，則由第一運轉(zhuǎn)階段進(jìn)入第二運轉(zhuǎn)階段，而所述的預(yù)定溫度可例如是80°C至100°C，優(yōu)選約為90°C。請參照圖6，圖6為本發(fā)明的實施例的光阻剝離液回收設(shè)備的回收效率與時間關(guān)系的示意圖。如圖6所示，本發(fā)明的實施例在第一運轉(zhuǎn)階段時，光阻剝離液供應(yīng)系統(tǒng)200在時間點tl之前的回收效率提升至約90%，并且在第二運轉(zhuǎn)階段時，在時間點tl與時間點 t2之間的回收效率也是約90%，而所述的時間點tl依照處理設(shè)備的規(guī)格類型的差異，例如，約為4小時至6小時，但不限于此。也就是說，光阻剝離液供應(yīng)系統(tǒng)200的處理設(shè)備20 在處理溫度達(dá)到穩(wěn)定時，才供應(yīng)第二光阻剝離廢液M至第三儲存槽40，以改善公知技術(shù)中過多可回收的光阻剝離液隨第二光阻剝離廢液M排出至第三儲存槽40的問題，進(jìn)而提升光阻剝離液供應(yīng)系統(tǒng)200的回收效率。綜上所述，本發(fā)明的光阻剝離液供應(yīng)系統(tǒng)及其供應(yīng)方法，通過管路的配置與控制閥的調(diào)配，以使光阻剝離液供應(yīng)系統(tǒng)的處理設(shè)備在第一運轉(zhuǎn)階段時可重復(fù)地對第一光阻剝離廢液進(jìn)行循環(huán)處理，以使光阻剝離液供應(yīng)系統(tǒng)可從第一光阻剝離廢液中回收取得較高比例的光阻剝離液，進(jìn)而提升光阻剝離液供應(yīng)系統(tǒng)的回收效率。雖然本發(fā)明已以優(yōu)選實施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作許多的更動與變更，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視隨附的權(quán)利要求書界定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種光阻剝離液的供應(yīng)系統(tǒng)，包括一第一儲存槽，用以儲存并供應(yīng)一第一光阻剝離廢液；一處理設(shè)備，與該第一儲存槽連接，該處理設(shè)備接收并處理該第一光阻剝離廢液，以分別輸出一光阻剝離液與一第二光阻剝離廢液；一第二儲存槽，與該處理設(shè)備連接，該第二儲存槽用以儲存并輸出來自該處理設(shè)備的該光阻剝離液；及一第三儲存槽，與該處理設(shè)備連接，該第三儲存槽用以儲存來自該處理設(shè)備的該第二光阻剝離廢液；其中于一第一運轉(zhuǎn)階段時，該處理設(shè)備輸出該第二光阻剝離廢液至該第一儲存槽，并停止輸出該第二光阻剝離廢液至該第三儲存槽；于一第二運轉(zhuǎn)階段時，該處理設(shè)備輸出該第二光阻剝離廢液至第三儲存槽，并停止輸出該第二光阻剝離廢液至該第一儲存槽。
2.如權(quán)利要求1所述的光阻剝離液的供應(yīng)系統(tǒng)，其中于該第一運轉(zhuǎn)階段時，該處理設(shè)備還輸出該光阻剝離液至該第一儲存槽，并停止輸出該光阻剝離液至該第二儲存槽，于該第二運轉(zhuǎn)階段時，該處理設(shè)備還輸出該光阻剝離液至該第二儲存槽，并停止輸出該光阻剝離液至該第一儲存槽。
3.如權(quán)利要求1所述的光阻剝離液的供應(yīng)系統(tǒng)，其中該處理設(shè)備加熱該第一光阻剝離廢液，于該處理設(shè)備中被加熱的該第一光阻剝離廢液的溫度到達(dá)一預(yù)定溫度時，則由該第一運轉(zhuǎn)階段進(jìn)入該第二運轉(zhuǎn)階段，而該預(yù)定溫度介于80°C 10(TC之間。
4.如權(quán)利要求3所述的光阻剝離液的供應(yīng)系統(tǒng)，其中該預(yù)定溫度約為90°C。
5.如權(quán)利要求1所述的光阻剝離液的供應(yīng)系統(tǒng)，包括一第一管路，連接該第一儲存槽與該處理設(shè)備；一第二管路，連接該處理設(shè)備與該第二儲存槽；一第三管路，連接該處理設(shè)備與該第三儲存槽；一第四管路，連接該第一儲存槽與該處理設(shè)備；及一第五管路，連接該第一儲存槽與該處理設(shè)備。
6.如權(quán)利要求5所述的光阻剝離液的供應(yīng)系統(tǒng)，其中該第四管路還連接于該第二管路，該第五管路還連接于該第三管路，該第四管路通過部分的該第二管路連接于該處理設(shè)備，該第五管路通過部分的第三管路連接于該處理設(shè)備。
7.如權(quán)利要求6所述的光阻剝離液的供應(yīng)系統(tǒng)，還包括一控制閥，設(shè)置于該第二管路及該第四管路相連接處，或者，設(shè)置于該第三管路及該第五管路相連接處。
8.如權(quán)利要求7所述的光阻剝離液的供應(yīng)系統(tǒng)，其中該控制閥為三通閥。
9.如權(quán)利要求5所述的光阻剝離液的供應(yīng)系統(tǒng)，還包括一控制閥，設(shè)置于該第二管路、 第三管路、第四管路或該第五管路。
10.如權(quán)利要求7或9所述的光阻剝離液的供應(yīng)系統(tǒng)，還包括一控制器，該控制器連接該控制閥以控制該控制閥的啟閉。
11.一種光阻剝離液的供應(yīng)方法，包括有下列步驟提供一光阻剝離液的供應(yīng)系統(tǒng)，包括一第一儲存槽，以儲存并供應(yīng)一第一光阻剝離廢液；一處理設(shè)備，以接收并處理該第一光阻剝離廢液，并輸出一光阻剝離液與一第二光阻剝離廢液；一第二儲存槽，以儲存該處理設(shè)備輸出的該光阻剝離液；一第三儲存槽，以儲存該處理設(shè)備輸出的該第二光阻剝離廢液；于一第一運轉(zhuǎn)階段時，該處理設(shè)備輸出該第二光阻剝離廢液至該第一儲存槽，并停止輸出該第二光阻剝離廢液至該第三儲存槽；及于一第二運轉(zhuǎn)階段時，該處理設(shè)備輸出該第二光阻剝離廢液至該第三儲存槽，并停止輸出該第二光阻剝離廢液至該第一儲存槽。
12.如權(quán)利要求11所述的光阻剝離液的供應(yīng)方法，其中于該第一運轉(zhuǎn)階段時，該處理設(shè)備還輸出該光阻剝離液至該第一儲存槽，并停止輸出該光阻剝離液至該第二儲存槽，于該第二運轉(zhuǎn)階段時，該處理設(shè)備還輸出該光阻剝離液至該第二儲存槽，并停止輸出該光阻剝離液至該第一儲存槽。
13.如權(quán)利要求11所述的光阻剝離液的供應(yīng)方法，其中該處理設(shè)備加熱該第一光阻剝離廢液，于該處理設(shè)備中被加熱的該第一光阻剝離廢液的溫度到達(dá)一預(yù)定溫度時，則由該第一運轉(zhuǎn)階段進(jìn)入該第二運轉(zhuǎn)階段，而該預(yù)定溫度介于80°C 10(TC之間。
14.如權(quán)利要求13所述的光阻剝離液的供應(yīng)方法，其中該預(yù)定溫度約為90°C。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種光阻剝離液的供應(yīng)系統(tǒng)及其供應(yīng)方法，該光阻剝離液的供應(yīng)系統(tǒng)包括第一儲存槽，用以儲存并供應(yīng)第一光阻剝離廢液；處理設(shè)備，用以接收并處理來自第一儲存槽的第一光阻剝離廢液，并分別輸出光阻剝離液與第二光阻剝離廢液；第二儲存槽，用以儲存并輸出來自處理設(shè)備的光阻剝離液；及第三儲存槽，用以儲存來自處理設(shè)備的第二光阻剝離廢液。供應(yīng)系統(tǒng)處于第一運轉(zhuǎn)階段時，處理設(shè)備輸出第二光阻剝離廢液至第一儲存槽，并停止輸出第二光阻剝離廢液至第三儲存槽；供應(yīng)系統(tǒng)處于第二運轉(zhuǎn)階段時，處理設(shè)備輸出第二光阻剝離廢液至第三儲存槽，并停止輸出第二光阻剝離廢液至第一儲存槽。
文檔編號G03F7/42GK102566334SQ20121006861
公開日2012年7月11日 申請日期2012年3月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月23日
發(fā)明者吳昌駿, 李志文, 林家弘, 許譽(yù)騰 申請人:友達(dá)光電股份有限公司