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用于形成著色層的放射線敏感性組合物、濾色器以及液晶顯示元件的制作方法

文檔序號:2752286閱讀:199來源:國知局

專利名稱::用于形成著色層的放射線敏感性組合物、濾色器以及液晶顯示元件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
:本發(fā)明涉及用于形成著色層的放射線敏感性組合物、濾色器以及液晶顯示元件,更詳細(xì)地說,涉及用于形成著色層的放射線敏感性組合物,該著色層用于在透射型或者反射型的液晶顯示裝置、彩色攝像管元件等中使用的濾色器;具有使用該放射線敏感性組合物形成的著色層的濾色器;以及具備該濾色器的液晶顯示元件。
背景技術(shù)
:作為使用用于形成著色層的放射線敏感性組合物形成濾色器的方法,已知在基板上或者在預(yù)先形成所期望的圖案的遮光層的基板上,形成顏料分散型的用于形成著色層的放射線敏感性組合物的涂膜,通過具有規(guī)定圖案的光掩模照射放射線(以下稱為"曝光"),進(jìn)行顯影并溶解除去未曝光部分,然后通過后烘烤從而得到各種顏色的像素的方法(例如參見專利文獻(xiàn)l、專利文獻(xiàn)2)。在此,后烘烤工序中,一般在200。C-250。C的溫度下,進(jìn)行30分鐘左右的熱燒成處理。近年來,從削減制造成本、或?qū)?yīng)于塑料基板等耐熱性具有限度的基板的觀點(diǎn)出發(fā),研究了后烘烤工序的低溫化或縮短化,強(qiáng)烈希望開發(fā)即使通過比以往低溫或短時(shí)間的熱燒成處理也具有與以往相同性能的用于形成著色層的放射線敏感性組合物。另一方面,伴隨著液晶顯示裝置的高色純度化,用于形成著色層的放射線敏感性組合物中所含的顏料的濃度有越來越高的傾向。但是,用于形成著色層的放射線敏感性組合物中所含的顏料的濃度增高,則產(chǎn)生形成的圖案相對于各種溶劑的耐性或與基板的密合性降低的問題。為了解決該問題,在專利文獻(xiàn)3中,提出了用于形成著色層的光線敏感性組合物中含有將具有氧雜環(huán)丁烷骨架的單體共聚得到的粘合劑聚合物的方案。但是,不能應(yīng)用于上述后烘烤工序的低溫化或縮短化。專利文獻(xiàn)1:日本特開平2-144502號公報(bào)專利文獻(xiàn)2:日本特開平3-53201號公4艮專利文獻(xiàn)3:日本特開2002-296778號乂>才艮
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是基于上述情況而完成的,其課題在于提供新型的用于形成著色層的放射線敏感性組合物,其即使在小于200。C的后烘烤溫度下,也可以提供對大范圍的溶劑的耐性優(yōu)異、并且與基板的密合性優(yōu)異的像素和黑底。本發(fā)明的目的還在于提供使用該用于形成著色層的放射線敏感性組合物而形成的濾色器、以及具備該濾色器的液晶顯示原件。本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)在用于形成著色層的放射線敏感性組合物中包含具有特定性狀的分散劑、和含有規(guī)定量以上的具有特定骨架的重復(fù)單元的聚合物,由此可以提供即使在小于200。C的后烘烤溫度下,也對大范圍的溶劑的耐性優(yōu)異、并且與基板的密合性優(yōu)異的像素和黑底。即,本發(fā)明的第一方面提供,用于形成著色層的放射線敏感性組合物,其含有(A)顏料、(B)酸價(jià)和氨價(jià)的至少任意一個(gè)大于0的分散劑、(C)堿溶性樹脂、(D)多官能性單體、(E)光聚合引發(fā)劑、以及(F)具有氧雜環(huán)丁烷基的重復(fù)單元的含量為70質(zhì)量%以上的聚合物。本發(fā)明的第二方面提供濾色器,其使用上述用于形成著色層的放射線敏感性組合物而形成。本發(fā)明的第三方面提供液晶顯示元件,其具備上述濾色器。根據(jù)本發(fā)明的用于形成著色層的放射線敏感性組合物,即使在小于200。C的后烘烤溫度下,也可以形成對大范圍的溶劑的耐性優(yōu)異、并且與基板的密合性優(yōu)異的像素和黑底。因此,本發(fā)明的用于形成著色層的放射線敏感性組合物對于以電子工業(yè)領(lǐng)域的液晶顯示面板用的濾色器為首的各種濾色器以及液晶顯示面板的制造是極為有用的。具體實(shí)施例方式以下,對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明。用于形成著色層的放射線敏感性組合物本發(fā)明的用于形成著色層的放射線敏感性組合物(以下也稱為"放射線敏感性組合物")中的"著色層"是指,用于濾色器的含有像素和/或黑底的層的意思。以下,說明本發(fā)明的用于形成著色層的放射線敏感性組合物的構(gòu)成成分。-(A)顏料-作為本發(fā)明的(A)顏料沒有特別的限定,可以是有機(jī)顏料、無機(jī)顏料的任意一種。其中,對于濾色器要求高純度并且高透射性的顯色和耐熱性,因此特別優(yōu)選有才幾顏泮+。作為有才幾顏灃牛,可以舉出例如在顏色索引(C丄;TheSocietyofDyersandColourists公司發(fā)行)中分類為顏料的化合物。具體可以舉出下述帶有顏色索引(C.I.)編號的化合物。C丄顏料黃12、C丄顏料黃13、C丄顏料黃14、C.I.顏料黃17、C丄顏料黃20、C.I.顏料黃24、C.I.顏料黃31、C.I.顏料黃55、C.I.顏料黃83、C丄顏料黃93、C丄顏料黃109、C丄顏料黃llO、C.I.顏料黃138、C丄顏料黃139、C丄顏料黃150、C.I.顏料黃153、C.I.顏料黃154、C.I.顏料黃155、C.I.顏料黃166、C丄顏料黃168、C丄顏料黃211;C.I.顏料橙5、C.I.顏料橙13、C.I.顏料橙14、C丄顏料橙24、C.I.顏料橙34、C丄顏料橙36、C.I.顏料橙38、C.I.顏料橙40、C.I.顏料橙43、C.I.顏料橙46、C.L顏料橙49、C.I.顏料橙61、C.I.顏料橙64、C.I.顏料橙68、C丄顏料橙70、C.I.顏料橙71、C.I.顏料橙72、C.I.顏料橙73、C.I.顏誶牛橙74;C.I.顏料紅1、C.I.顏料紅2、C.I.顏料紅5、C.I.顏料紅17、C.I.顏料紅31、C.I.顏料紅32、C.I.顏料紅41、C.I.顏沖牛紅122、C.I.顏誶牛紅123、C丄顏料紅144、C.I.顏料紅149、C丄顏料紅166、C.I.顏料紅168、C.I.顏料紅170、C.I.顏料紅171、C.I.顏料紅175、C.I.顏料紅176、C丄顏料紅177、C丄顏料紅178、C丄顏料紅179、C丄顏料紅180、C.I.顏料紅185、C.I.顏4牛紅187、C.I.顏:扦紅202、C.I.顏料紅206、C丄顏誶牛紅207、C丄顏料紅209、C.I.顏料紅214、C.I.顏料紅220、C.I.顏料紅221、C丄顏料紅224、C丄顏料紅242、C丄顏料紅243、C.I.顏料紅254、C.I.顏料紅255、C.I.顏3牛紅262、C.I.顏料紅264、C.I.顏4牛紅272;C.I.顏料紫1、C.I.顏料紫19、C.I.顏料紫23、C.I.顏料紫29、C.I.顏料紫32、C丄顏料紫36、C.I.顏料紫38;C.I.顏料藍(lán)15、C丄顏料藍(lán)15:3、C.I.顏料藍(lán)15:4、C.I.顏料藍(lán)15:6、C丄顏料藍(lán)60、C.I.顏料藍(lán)80;C丄顏料綠7、C.I.顏料綠36、C.I.顏料綠58;C丄顏料棕23、C.I.顏料棕25;C.I.顏料黑1、C丄顏料黑7。這些有機(jī)顏料可以單獨(dú)使用也可以2種以上混合使用。這些有機(jī)顏料之中,優(yōu)選選自C.I.顏料黃83、C.I.顏料黃138、C.I.顏料黃139、C丄顏料黃150、C.I.顏料黃180、C.I.顏料紅177、C丄顏料紅242、C.L顏泮牛紅254、C.I.顏4+藍(lán)15:3、C.I.顏泮牛藍(lán)15:4、C.L顏料藍(lán)15:6、C.I.顏料綠7、C.I.顏料綠36、C.I.顏料綠58;C.I.顏料紫23的至少1種。在本發(fā)明中,這些有機(jī)顏料可以通過重結(jié)晶法、再沉淀法、溶劑洗滌法、升華法、真空加熱法或者它們的組合來精制使用。作為無機(jī)顏料可列舉例如氧化鈦、硫酸鋇、碳酸鈣、鋅白、硫酸鉛、鉛黃、鋅黃、氧化鐵紅(紅色氧化鐵(III))、鎘紅、群青、普魯士藍(lán)、氧化鉻綠、鈷綠、椋土、鈦黑、氧化鐵黑(合成鐵黑)、炭黑等。這些無機(jī)顏料可以單獨(dú)使用,或者2種以上混合使用。進(jìn)而,本發(fā)明中,依據(jù)情況還可以與上述顏料合用1種以上染料或天然色素。在本發(fā)明中,根據(jù)需要,可以用聚合物對顏料的粒子表面進(jìn)行改性來使用。作為對顏料的粒子表面進(jìn)行改性的聚合物,可以舉出例如特開平8-259876號公報(bào)中記載的聚合物、市售的各種分散顏料用的聚合物或低聚物等。-(B)分散劑-本發(fā)明中的(B)分散劑是酸價(jià)和氨價(jià)的至少任意一個(gè)大于0的分散劑(以下也稱為"特定分散劑,,)。通過選擇該分散劑,在后烘烤工序中,由后述的(F)成分形成的交聯(lián)結(jié)構(gòu)更加堅(jiān)固,可以得到耐溶劑性或與基板的密合性優(yōu)良的圖案。作為分散劑,只要是酸價(jià)和氨價(jià)的至少任意一個(gè)大于0的分散劑就沒有特別限定,優(yōu)選聚合物分散劑。具體可以舉出改性丙烯酸系共聚物、丙烯酸系共聚物、改性聚氨酯、聚酯、高分子共聚物的烷基銨鹽或磷酸酯鹽、陽離子性梳型接枝聚合物等。在此,陽離子型梳型接枝聚合物是指在具有多個(gè)堿性基團(tuán)(陽離子型官能團(tuán))的主干聚合物1分子中,接枝鍵合2分子以上的分支聚合物得到的結(jié)構(gòu)的聚合物,例如可以舉出,由主干聚合物部分為聚乙烯胺、分支聚合物部分為"己內(nèi)酯的開環(huán)聚合物構(gòu)成的聚合物。在這些分散劑中,優(yōu)選改性丙烯酸系共聚物、丙烯酸系共聚物、陽離子型梳型接枝聚合物。本發(fā)明中,分散劑可以單獨(dú)使用或混合兩種以上使用。分散劑的酸價(jià)(mgKOH/g)優(yōu)選5-100,更優(yōu)選10-50,特別優(yōu)選20-50,氨價(jià)(mgKOH/g)優(yōu)選1-100,更優(yōu)選10-70,特別優(yōu)選20-70。通過選擇該分散劑,可以得到耐溶劑性或與基板的密合性優(yōu)良的圖案,進(jìn)而可以得到保存穩(wěn)定性優(yōu)良、殘?jiān)蚋」?地汚扎)也難以發(fā)生的放射線敏感性組合物。在此,氨價(jià)表示,相對于用于中和分散劑固體成分lg所必要的HC1量,作為當(dāng)量的KOH的mg數(shù)。酸價(jià)表示,相對于用于中和分散劑固體成分lg所必要的KOH的mg數(shù)。這樣的分散劑可以通過商業(yè)途徑得到,例如可以舉出,Disperbyk-142(不揮發(fā)成分=60%、胺價(jià)=43、酸價(jià)=46)、Disperbyk-145(不揮發(fā)成分=100%、胺價(jià)=71、酸價(jià)=76)、Disperbyk-161(不揮發(fā)成分=30%、胺價(jià)=11)、Disperbyk-170(不揮發(fā)成分=30%、酸價(jià)=11)、Disperbyk國182(不揮發(fā)成分=43%、胺價(jià)=13)、Disperbyk-2000(不揮發(fā)成分=40%、胺價(jià)=4)、Disperbyk-2001(不揮發(fā)成分=46%、胺價(jià)=29、酸價(jià)=19)、Disperbyk-2020(不揮發(fā)成分=70%、胺價(jià)=38、酸價(jià)=35)、Disperbyk-2150(不揮發(fā)成分=52%、胺價(jià)=57)、Disperbyk-9076(不揮發(fā)成分=96%、胺價(jià)=44、酸價(jià)=38)[以上、tT7夕少;、一(BYK)社制]、7'-X一PB-711(不揮發(fā)成分=40%、胺價(jià)=45)、7^只^一PB-821(不揮發(fā)成分=100%、胺價(jià)=9、酸價(jià)=13)、7*^只乂《一PB-822(不揮發(fā)成分=100%、胺價(jià)=13、酸價(jià)=16)[以上、味o素774》r夕乂(林)制]、乂》義一只24000(不揮發(fā)成分=100%、胺價(jià)=42、酸價(jià)=25)、V/l^^ys--只32000(不揮發(fā)成分:=100%、胺價(jià)=31、酸價(jià)=15)、'只32500(不揮發(fā)成分:=40%、胺價(jià)=12、酸價(jià)==7)、乂y^只乂《一-義32550(不揮發(fā)成分==50%、胺價(jià)=15、酸價(jià)=:7)、-義32600(不揮發(fā)成分:=40%、胺價(jià)=12、酸價(jià)=:6)、乂A7A—-只35100(不揮發(fā)成分==40%、胺價(jià)=14、酸價(jià)==6)、乂/k只乂5—735200(不揮發(fā)成分==40%、胺價(jià)=14、酸價(jià)=:6)、乂/L只戶一;37500(不揮發(fā)成分=40%、胺價(jià)=11、!脧價(jià)=5)[以上、^一7'乂、、一A(林)社制]等。本發(fā)明中與特定分散劑一起可以合并使用其他分散劑。作為該其他分散劑例如可以舉出聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯油基醚之類的聚氧乙烯烷基醚;聚氧乙烯正辛基苯基醚、聚氧乙烯正壬基苯基醚之類的聚氧乙烯烷基苯基醚;聚乙二醇二月桂酸酯、聚乙二醇二硬脂酸酯之類的聚乙二醇二脂肪酸酯;山梨糖醇脂肪酸酯;脂肪酸改性聚酯等。從確保顯影性以及;呆存穩(wěn)定性良^h々平衡的角t度考慮,相對于特定分散劑和其他的分散劑和總質(zhì)量,其他的分散劑的含有比例(固體成分換算)優(yōu)選0-75質(zhì)量%,更優(yōu)選0-50質(zhì)量%。從放射線敏感性組合物的保存穩(wěn)定性以及防止基板上的殘?jiān)陌l(fā)生的角度考慮,相對于(A)顏料100質(zhì)量份,本發(fā)明的特定分散劑的含量優(yōu)選1~50質(zhì)量份,更優(yōu)選3~30質(zhì)量份。-(C)堿溶性樹脂-作為本發(fā)明中的(C)堿溶性樹脂,對(A)顏料作為粘合劑發(fā)揮作用,并且只要在制造濾色器時(shí),對該顯影處理工序中使用的顯影液,特別優(yōu)選堿性顯影液具有可溶性的,即沒有特殊限定。作為這樣的堿溶性樹脂,優(yōu)選具有羧基的堿溶性樹脂,特別優(yōu)選具有1個(gè)以上羧基的烯鍵式不飽和單體(以下稱為"含有羧基的不飽和單體")、和與其可共聚的其他烯鍵式不飽和單體(以下稱為"共聚性不飽和單體,,)的共聚物(以下稱為"含有羧基的共聚物")。作為含有羧基的不飽和單體可以舉出例如(曱基)丙烯酸、巴豆酸、ot-氯丙烯酸、肉桂酸等不飽和單羧酸類;馬來酸、馬來酸酐、富馬酸、衣康酸、衣康酸酐、檸康酸、檸康酸酐、中康酸等不飽和二羧酸或其酸酐類;3元以上的不飽和多元羧酸或其酸酐類;琥珀酸單[2-(曱基)丙烯酰氧基乙基]酯、鄰苯二曱酸單[2-(曱基)丙烯酰氧基乙基]酯等2元以上的多元羧酸的單[(甲基)丙烯酰氧基烷基]酯類;ro-羧基聚己內(nèi)酯單(甲基)丙烯酸酯等兩末端具有羧基和羥基的聚合物的單(甲基)丙烯酸酯類等。含有歡基的不飽和單體可以單獨(dú)使用也可以2種以上混合使用。本發(fā)明中,作為含有羧基的不飽和單體優(yōu)選(甲基)丙烯酸、琥珀酸單[2-(曱基)丙烯酰氧基乙基]酯、co-羧基聚己內(nèi)酯單(曱基)丙烯酸酯等,特別優(yōu)選(曱基)丙烯酸。作為共聚性不飽和單體,例如如下所示。如N-苯基馬來酰亞胺、N-鄰羥基苯基馬來酰亞胺、N-間羥基苯基馬來酰亞胺、N-對羥基苯基馬來酰亞胺、N-千基馬來酰亞胺、N-環(huán)己基馬來酰亞胺、N-琥珀酰亞胺基-3-馬來酰亞胺苯曱酸鹽、N-琥珀酰亞胺基-4-馬來酰亞胺丁酸鹽、N-琥珀酰亞胺基-6-馬來酰亞胺己酸鹽、N-琥珀酰亞胺基-3-馬來酰亞胺丙酸鹽、N-(吖。定基)馬來酰亞胺的N-取代馬來酰亞胺;如苯乙烯、a-甲基苯乙烯、鄰乙烯基甲苯、間乙烯基曱苯、對乙烯基曱苯、對氯苯乙烯、鄰曱氧基苯乙烯、間曱氧基苯乙烯、對曱氧基苯乙烯、鄰乙烯基苯酚、間乙烯基苯酚、對乙烯基苯酚、對羥基-a-曱基苯乙烯、鄰乙烯基爺基甲基醚、間乙烯基節(jié)基曱基醚、對乙烯基千基曱基醚、鄰乙烯基節(jié)基縮水甘油基醚、間乙烯基千基縮水甘油基醚、對乙烯基千基縮水甘油基醚的芳香族乙烯基化合物;如茚、l-曱基茚的茚類;如(曱基)丙烯酸曱酯、(曱基)丙烯酸乙酯、(曱基)丙烯酸正丙酯、(曱基)丙烯酸異丙酯、(曱基)丙烯酸正丁酯、(曱基)丙烯酸異丁酯、(曱基)丙烯酸仲丁酯、(曱基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(曱基)丙烯酸2-羥基乙酯、(曱基)丙烯酸2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸3-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丁酯、(甲基)丙烯酸3-羥基丁酯、(甲基)丙烯酸4-羥基丁酯、曱基丙烯酸烯丙酯、(曱基)丙烯酸千酯、(曱基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(曱基)丙烯酸2-曱氧基乙酯、(甲基)丙烯酸2-苯氧基乙酯、(曱基)丙烯酸甲氧基二甘醇酯、(甲基)丙烯酸曱氧基三甘醇酯、(曱基)丙烯酸曱氧基丙二醇酯、(曱基)丙烯酸曱氧基雙丙甘醇酯、(曱基)丙烯酸異水片酯、(曱基)丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02,6]癸烷-8-基酯、(曱基)丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酯、甘油單(曱基)丙烯酸酯、(曱基)丙烯酸4-羥基苯酯、對枯基苯酚的環(huán)氧乙烷改性(曱基)丙烯酸酯的不飽和羧酸酯;(曱基)丙烯酸2-氨基乙酯、(甲基)丙烯酸2-二曱基氨基乙酯、(曱基)丙烯酸2-氨基丙酯、(曱基)丙烯酸2-二曱基氨基丙酯、(曱基)丙烯酸3-氨基丙酯、(曱基)丙烯酸3-二曱基氨基丙酯等不飽和羧酸氨基烷基酯類;(曱基)丙烯酸縮水甘油基酯等不飽和羧酸縮水甘油酯類;(曱基)丙烯腈、a-氯丙烯腈、亞乙烯基二腈等乙烯基腈化合物;(曱基)丙烯酰胺、a-氯丙烯酰胺、N-2-羥基乙基(甲基)丙烯酰胺等不飽和酰胺類;乙酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、丁酸乙烯酯、苯曱酸乙烯酯等羧酸乙烯基酯類;乙烯基曱基醚、乙烯基乙基醚、烯丙基縮水甘油基醚等不飽和醚類;1,3-丁二烯、異戊二烯、氯丁烯等脂肪族共軛二烯類。聚苯乙烯、聚(曱基)丙烯酸甲酯、聚(曱基)丙烯酸正丁酯、聚硅氧烷等聚合物分子鏈的末端具有單(甲基)丙烯?;拇蠓肿訂误w類。這些共聚性不飽和單體可以單獨(dú)使用或者2種以上混合使用。本發(fā)明中,作為共聚性不飽和單體優(yōu)選N-取代馬來酰亞胺、芳香族乙烯基化合物、不飽和羧酸酯、聚合物分子鏈的末端具有單(曱基)丙烯酰基的大分子單體等,特別優(yōu)選N-苯基馬來酰亞胺、N-環(huán)己基馬來酰亞胺、苯乙烯、a-甲基苯乙烯、對羥基-a-甲基苯乙烯、(甲基)丙烯酸甲酯、(曱基)丙烯酸正丁酯、(曱基)丙烯酸2-乙基己酯、(曱基)丙烯酸2-羥基乙酯、(曱基)丙烯酸烯丙酯、(曱基)丙烯酸爺酯、甘油單(曱基)丙烯酸酯、(曱基)丙烯酸4-羥基苯酯、對枯基苯酚的環(huán)氧乙烷改性(曱基)丙烯酸酯、聚苯乙烯大分子單體、聚曱基丙烯酸曱酯大分子單體等。作為含有羧基的共聚物的具體例,例如可舉出以下化合物。(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸曱酯共聚物、(曱基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸節(jié)酯共聚物、(曱基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯共聚物、(曱基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯/(曱基)丙烯酸芐酯、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸曱酯/聚苯乙烯大分子單體共聚物、(曱基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸甲酯/聚曱基丙烯酸曱酯大分子單體共聚物、(甲基)丙烯酸/(曱基)丙烯酸節(jié)酯/聚苯乙烯大分子單體共聚物、(曱基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸千酯/聚(曱基)丙烯酸曱酯大分子單體共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸千酯/甘油單(甲基)丙烯酸酯共聚物、(曱基)丙烯酸/苯乙烯/(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯/(曱基)丙烯酸芐酯共聚物、(曱基)丙烯酸/(曱基)丙烯酸2-羥基乙酯/(曱基)丙烯酸苯酯共聚物、(曱基)丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(曱基)丙烯酸芐酯共聚物、(曱基)丙烯酸/N-間羥基苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸千酯共聚物、(甲基)丙烯酸/N-對羥基苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸千酯共聚物、(曱基)丙烯酸/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸芐酯共聚物、(曱基)丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/a-甲基苯乙烯/(甲基)丙烯酸千酯共聚物、(甲基)丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(曱基)丙烯酸正丁酯共聚物、(曱基)丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(曱基)丙烯酸2-乙基己酯共聚物、(甲基)丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/對羥基-a-甲基苯乙烯/(甲基)丙烯酸節(jié)酯共聚物、(曱基)丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(曱基)丙烯酸正丁酯共聚物、(曱基)丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/對枯基苯酚的環(huán)氧乙烷改性(曱基)丙烯酸酯共聚物、(甲基)丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(曱基)丙烯酸2-乙基己酯/(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯/(曱基)丙烯酸千酯共聚物、(曱基)丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯/(曱基)丙烯酸節(jié)酯共聚物、(曱基)丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸芐酯/甘油單(曱基)丙烯酸酯共聚物、(曱基)丙烯酸/N-對羥基苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸千酯/甘油單(曱基)丙烯酸酯共聚物、(曱基)丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苯酯/(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯/聚苯乙烯大分子單體共聚物、(曱基)丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苯酯/(曱基)丙烯酸2-羥基乙酯/聚曱基丙烯酸甲酯大分子單體共聚物、(曱基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(曱基)丙烯酸千酯共聚物、(曱基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-對羥基苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(曱基)丙烯酸節(jié)酯共聚物、(曱基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸烯丙酯共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸烯丙酯共聚物、(曱基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(曱基)丙烯酸千酯共聚物、(曱基)丙烯酸/-羧基聚己內(nèi)酯單(甲基)丙烯酸酯/N-間羥基苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸節(jié)酯共聚物、(甲基)丙烯酸/-羧基聚己內(nèi)酯單(曱基)丙烯酸酯/N-對羥基苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸千酯共聚物、(甲基)丙烯酸/(D-羧基聚己內(nèi)酯單(曱基)丙烯酸酯/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(曱基)丙烯酸千酯/甘油單(曱基)丙烯酸酯共聚物、(曱基)丙烯酸/-羧基聚己內(nèi)酯單(甲基)丙烯酸酯/N-對羥基苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸千酯/甘油單(曱基)丙烯酸酯共聚物。'A、八/、"、、"z'、一、5-50質(zhì)量%,優(yōu)選10-40質(zhì)量%。如果該共聚比例小于5質(zhì)量%,則有得到的放射線敏感性組合物對堿性顯影液的溶解性降低的傾向。另一方面,如果超過50質(zhì)量%,則對堿性顯影液的溶解性變得過大,通過堿性顯影液顯影時(shí),則會(huì)有著色層從基板脫落或容易引起著色層表面的膜粗糙的傾向。本發(fā)明中堿溶性樹脂的重均分子量(以下,稱"Mw")通常為3,000-300,000,優(yōu)選5,000-100,000。另外,本發(fā)明中堿溶性樹脂的數(shù)均分子量(以下,稱"Mn")通常為3,000-60,000,優(yōu)選5,000-25,000。在此,本說明書中重均分子量(Mw)指用凝膠滲透色譜法(GPC,洗脫溶劑四氫呋喃)測定的聚苯乙烯換算的Mw,數(shù)均分子量(Mn)指用GPC(洗脫溶劑四氫呋喃)測定的聚苯乙烯換算的Mn。本發(fā)明中,通過使用具有這樣特定的Mw和Mn的堿溶性樹脂,能夠得到顯影性優(yōu)異的放射線敏感性組合物。由此,能夠形成具有清晰圖案邊緣的像素以及形成黑底,同時(shí)顯影時(shí)在未曝光部分的基板上和遮光層上難于產(chǎn)生殘?jiān)⒏」?地汚扎)、殘膜等。另外,本發(fā)明中堿溶性樹脂的Mw與Mn的比(Mw/Mn)優(yōu)選1-5,更優(yōu)選1-4。本發(fā)明中,堿溶性樹脂可以單獨(dú)使用或混合使用2種以上。相對于100質(zhì)量份(A)著色劑,本發(fā)明堿溶性樹脂的含量(以固體成分換算)通常為10-1,000質(zhì)量份,優(yōu)選20-500質(zhì)量份。如果堿溶性樹脂的含量小于IO質(zhì)量份,則有可能發(fā)生例如堿性顯影性降低、在未曝光部分的基板上或遮光層上發(fā)生浮垢或殘膜。另一方面,如果超過1,000質(zhì)量份,則由于著色劑濃度相對降低,有難以實(shí)現(xiàn)作為薄膜的目標(biāo)色濃度的可能。-(D)多官能性單體-本發(fā)明的多官能性單體含有具有2個(gè)以上聚合性不飽和鍵的單體。作為多官能性單體,可以列舉例如乙二醇、丙二醇等亞烷基二醇的二(曱基)丙烯酸酯類;聚乙二醇、聚丙二醇等聚亞烷基二醇的二(曱基)丙烯酸酯類;甘油、三羥曱基丙烷、季戊四醇、二季戊四醇等3元以上的多元醇的聚(甲基)丙烯酸酯類、或它們的二羧酸改性物;聚酯、環(huán)氧樹脂、聚氨酯樹脂、醇酸樹脂、有機(jī)硅樹脂、螺烷樹脂等低聚(甲基)丙烯酸酯類;兩末端羥基聚-l,3-丁二烯、兩末端羥基聚異戊二烯、兩末端羥基聚己內(nèi)酯等兩末端羥基化聚合物的二(甲基)丙烯酸酯類、以及三[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]磷酸酯等。在這些多官能性單體中,優(yōu)選3元以上的多元醇的聚(曱基)丙烯酸酯或它們的二羧酸改性物。具體來說,優(yōu)選三羥曱基丙烷三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三曱基丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇三曱基丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇四曱基丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇五曱基丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇六曱基丙烯酸酯、下述式(1)所示的化合物、下述式(2)所示的化合物等。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage14</formula>[化學(xué)式2]其中,出于著色層強(qiáng)度高、著色層表面的平滑性優(yōu)良、且在未曝光部分的基板上和遮光層上難以產(chǎn)生浮垢、殘膜等考慮,特別優(yōu)選三羥曱基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯以及上述式(1)和(2)所示的化合物。上述多官能性單體可以單獨(dú)使用或?qū)?種以上混合使用。在本發(fā)明中,可以將多官能性單體的一部分置換為具有1個(gè)聚合性不飽和鍵的單官能性單體。作為上述單官能性單體,例如可以舉出與(C)堿溶性樹脂中例示的含有羧基的不飽和單體或共聚性不飽和單體相同的化合物、或N-(甲基)丙烯?;鶈徇琋-乙烯基吡咯烷酮,N-乙烯基-s-己內(nèi)酰胺,除此之外,還有作為市售品的M-5600(商品名,東亞合成(林)制)等。這些單官能性單體可以單獨(dú)使用或者2種以上混合使用。單官能性單體的含有比例相對于多官能性單體和單官能性單體的總量,通常為90質(zhì)量%以下,優(yōu)選50質(zhì)量%以下。單官能性單體的使用比例如果超過卯質(zhì)量%的話,所得著色層的強(qiáng)度或表面平滑性可能不足。相對于100質(zhì)量份(按固體成分換算)(C)堿溶性樹脂,本發(fā)明的多官能性單體的含量通常為5-500質(zhì)量份,優(yōu)選為20~300質(zhì)量份。如果上述含量少于5質(zhì)量份,則著色層的強(qiáng)度或表面平滑性存在降低的傾向。而如果超過500質(zhì)量份,則存在例如堿顯影性降低,或者在未曝光部的基板上或者遮光層上易于產(chǎn)生浮垢、殘膜等的傾向。并用多官能性單體和單官能性單體時(shí),單官能性單體的質(zhì)量包含于多官能性單體的質(zhì)量中。-(E)光聚合引發(fā)劑-本發(fā)明的光聚合引發(fā)劑是通過可見光、紫外線、遠(yuǎn)紫外線、電子射線、X射線等放射線曝光,產(chǎn)生可引發(fā)(D)多官能性單體和根據(jù)情況使用的單官能性單體聚合的活性種的化合物。作為這樣的光聚合引發(fā)劑,例如可列舉苯乙酮系化合物、聯(lián)咪唑系化合物、三。秦系化合物、O-?;肯祷衔铩妍}系化合物、苯偶姻系化合物、二苯甲酮系化合物、a-二酮系化合物、多核醌(多核^乂》)系化合物、B占噸酮系化合物、重氮系化合物、酰亞胺石黃酸鹽(4;、卜'只^水大一卜)系化合物等。本發(fā)明中,光聚合引發(fā)劑可以單獨(dú)使用也可以2種以上混合使用。作為本發(fā)明的光聚合引發(fā)劑,優(yōu)選選自苯乙酮系化合物、聯(lián)咪唑系化合物、三。秦系化合物和O-?;蜗祷衔镏械闹辽賚種。相對于100質(zhì)量份(D)多官能性單體,本發(fā)明中光聚合引發(fā)劑的合計(jì)含量通常為0.01~120質(zhì)量份,優(yōu)選為1~100質(zhì)量份。如果光聚合引發(fā)劑的含量小于0.01質(zhì)量份,則利用曝光的固化變得不充分,有獲得著色層圖案按規(guī)定排列配置的濾色器變得困難的可能。另一方面,而如果超過120質(zhì)量份,會(huì)有形成的著色層在顯影時(shí)容易從基板脫落的傾向。合用多官能性單體和單官能性單體時(shí),單官能性單體的質(zhì)量包含在多官能性單體的質(zhì)量中。在本發(fā)明的優(yōu)選光聚合引發(fā)劑中,作為苯乙酮系化合物的具體例子可列舉2-曱基-1-[4-(曱硫基)苯基]-2-嗎啉代丙烷-l-酮、2-千基-2-二曱基氨基-l-(4-嗎啉代苯基)丁烷-l-酮等具有嗎啉代基的苯乙酮系化合物;2-羥基-2-曱基-l-苯基丙烷-l-酮、1-羥基環(huán)己基-苯基酮、2,2-二曱氧基-l,2-二苯基乙烷-l-S同、1,2-辛二酮等。在這些苯乙酮系化合物中,特別優(yōu)選2-甲基-l-[4-(曱硫基)苯基]-2-嗎啉代丙烷-l-酮、2-節(jié)基-2-二曱基氨基-l-(4-嗎啉代苯基)丁烷-l-酮、1,2-辛二酮等。上述苯乙酮系化合物可以單獨(dú)使用或?qū)?種以上混合使用。本發(fā)明中,相對于100質(zhì)量份(D)多官能性單體,使用苯乙酮系化合物作為光聚合引發(fā)劑時(shí),其含量通常為0.01~80質(zhì)量份,優(yōu)選為1-70質(zhì)量份,進(jìn)一步優(yōu)選為1~60質(zhì)量份。如果苯乙酮系化合物的含量小于0.01質(zhì)量份,則利用曝光的固化變得不充分,有獲得著色層圖案按規(guī)定排列配置的濾色器變得困難的可能。另一方面,如果超過80質(zhì)量份,會(huì)有形成的著色層在顯影時(shí)容易從基板脫落的傾向。并用多官能性單體和單官能性單體時(shí),單官能性單體的質(zhì)量包含于多官能性單體的質(zhì)量中。作為聯(lián)咪唑系化合物的具體例子,可列舉有2,2,-雙(2-氯苯基)誦4,4,,5,5,誦四(4-乙氧基羰基苯基)-1,2,-聯(lián)咪唑、2,2,畫雙(2-溴苯基)-4,4,,5,5,-四(4-乙氧基羰基苯基)-1,2,-聯(lián)咪唑等雙(卣素取代苯基)四(烷氧基羰基苯基)聯(lián)咪唑;2,2'國雙(2-氯苯基)-4,4,,5,5,-四苯基-1,2,-聯(lián)咪唑、2,2,國雙(2,4-二氯苯基)-4,4,,5,5,-四苯基-1,2,-聯(lián)咪唑、2,2,-雙(2,4,6-三氯苯基)一4,4,,5,5,-四苯基-l,2,-聯(lián)咪唑、2,2,畫雙(2-溴苯基)畫4,4,,5,5,-四苯基-1,2,-聯(lián)咪唑、2,2,-雙(2,4-二溴苯基)畫4,4,,5,5,-四苯基-l,2,-聯(lián)咪唑、2,2,-雙(2,4,6-三溴苯基)-4,4,,5,5,-四苯基-l,2,-聯(lián)咪唑等雙(卣素取代苯基)四苯基聯(lián)咪唑。在這些聯(lián)咪唾系化合物中,優(yōu)選2,2,-雙(2-氯苯基)-4,4,,5,5,-四苯基-l,2,-聯(lián)咪唑、2,2'畫雙(2,4-二氯苯基)國4,4,,5,5,-四苯基-l,2,-聯(lián)咪唑、2,2,-雙(2,4,6-三氯苯基)-4,4,,5,5,-四苯基-1,2,-聯(lián)咪唑等,特別優(yōu)選2,2,畫雙(2-氯苯基)-4,4,,5,5,-四苯基-1,2,-聯(lián)咪唑。這些聯(lián)咪唑系化合物對溶劑的溶解性優(yōu)良,不會(huì)產(chǎn)生未溶解物、析出物等雜質(zhì),且敏感度高,在少量能量的曝光下就可以充分進(jìn)行固化反應(yīng),同時(shí)未曝光部分不會(huì)發(fā)生固化反應(yīng)。因此曝光后的涂膜可以明確區(qū)分對顯影液不溶的固化部分和對顯影液具有高溶解性的未固化部分,因此可以形成沒有側(cè)壁腐蝕的著色層圖案按照規(guī)定排列配置的高精細(xì)濾色器。聯(lián)咪唑系化合物可以單獨(dú)使用或?qū)?種以上混合使用。本發(fā)明中,相對于100質(zhì)量份(D)多官能性單體,使用聯(lián)咪唑系化合物作為光聚合引發(fā)劑時(shí)的含量通常為0.01~40質(zhì)量份,優(yōu)選為1~30質(zhì)量份,更優(yōu)選為1-20質(zhì)量份。如聯(lián)咪唑系化合物的含量小于0.01質(zhì)量份,則由于曝光引起的固化變得不充分,有獲得著色層圖案按規(guī)定排列配置的濾色器變得困難的可能性,另一方面,如果超過40質(zhì)量份,則會(huì)有在顯影時(shí)形成的著色層從基板脫落、容易引起著色層表面的膜粗糙的傾向。并用多官能性單體和單官能性單體時(shí),單官能性單體的質(zhì)量包含于多官能性單體的質(zhì)量中。本發(fā)明中,使用聯(lián)咪唑系化合物作為光聚合引發(fā)劑時(shí),從進(jìn)一步改善敏感度來考慮,優(yōu)選與下述的氫供體并用。這里所稱的"氫供體"是指可向由曝光從聯(lián)咪唑系化合物產(chǎn)生的自由基提供氫原子的化合物。作為本發(fā)明中的氫供體,優(yōu)選下述定義的硫醇系化合物、胺系化合物。硫醇系化合物是指以苯環(huán)或雜環(huán)作為母核,具有1個(gè)以上、優(yōu)選1~3個(gè),更優(yōu)選1~2個(gè)直接鍵合到該母核上的巰基的化合物(以下稱為"硫醇系氫供體")。上述胺系化合物是指以苯環(huán)或雜環(huán)作為母核,具有1個(gè)以上、優(yōu)選1~3個(gè),更優(yōu)選1~2個(gè)直接鍵合到該母核上的氨基的化合物(以下稱為"胺系氫供體")。另外,這些氫供體可以同時(shí)具有巰基和氨基。以下更具體地說明氫供體。石危醇系氬供體可以分別具有1個(gè)以上苯環(huán)或雜環(huán),還可以同時(shí)具有苯環(huán)和雜環(huán)二者。具有2個(gè)以上這些環(huán)時(shí),可以形成稠合環(huán)。硫醇系氫供體在具有2個(gè)以上巰基時(shí),只要?dú)埩粲兄辽?個(gè)游離的巰基,殘留巰基的1個(gè)以上即可以被烷基、芳烷基或芳基取代。進(jìn)而只要?dú)埩粲兄辽?個(gè)游離巰基,可以具有通過亞烷基等2價(jià)有機(jī)基團(tuán)鍵合2個(gè)硫原子的結(jié)構(gòu)單元、或者2個(gè)硫原子以二硫化物的形態(tài)鍵合的結(jié)構(gòu)單元。進(jìn)而,硫醇系氫供體在巰基以外的位置可以被羧基、烷氧基羰基、取代烷氧基羰基、苯氧基羰基、取代苯氧基羰基、腈基等取代。作為這樣的硫醇系氬供體的具體例子,可列舉2-巰基苯并噻唑、2-巰基苯并噹唑、2-巰基苯并咪唑、2,5-二巰基-1,3,4-噻二唑、2-巰基-2,5-二曱基氨基吡啶等。這些硫醇系氫供體中,優(yōu)選2-巰基苯并噻唑、2-巰基苯并嘈、唑,特別優(yōu)選2-巰基苯并p塞唑。胺系氬供體可以分別具有1個(gè)以上苯環(huán)或雜環(huán),還可以同時(shí)具有苯環(huán)和雜環(huán)二者。具有2個(gè)以上這些環(huán)時(shí),可以形成稠合環(huán)。胺系氬供體可以用烷基或取代烷基取代1個(gè)以上的氨基,并且氨基以外的位置也可以被羧基、烷氧基羰基、取代烷氧基羰基、苯氧基羰基、取代苯氧基羰基、腈基等取代。作為這樣的胺系氫供體的具體例子,可列舉有4,4,-雙(二曱基氨基)二苯甲酮、4,4,-雙(二乙基氨基)二苯甲酮等氨基取代二苯曱酮類、4-二曱基氨基苯丙酮、4-二甲基氨基苯曱酸乙基酯、4-二曱基氨基苯甲酸、4-二甲基氨基苯基氰等。在這些胺系氬供體中,優(yōu)選4,4,-雙(二甲基氨基)二苯曱酮、4,4,-雙(二乙基氨基)二苯曱酮,特別優(yōu)選4,4,-雙(二乙基氨基)二苯曱酮。另外,即使是在聯(lián)咪唑系化合物以外的自由基發(fā)生劑的情況下,胺系氫供體也具有敏化劑的作用。在本發(fā)明中,氫供體可以單獨(dú)使用或?qū)?種以上混合使用。特別是,由于形成的著色層在顯影時(shí)難以從基板上脫落或著色層強(qiáng)度和敏感度也高,優(yōu)選將1種以上的硫醇系氬供體與1種以上的胺系氫供體組合使用。作為硫醇系氫供體與胺系氬供體組合的具體例子,可列舉2-巰基苯并噻唑/4,4,-雙(二曱基氨基)二苯曱酮、2-巰基苯并噻唑/4,4,-雙(二乙基氨基)二苯曱酮、2-巰基苯并P惡唑/4,4,-雙(二曱基氨基)二苯曱酮、2-巰基苯并哺唑/4,4,-雙(二乙基氨基)二苯甲酮等。其中,更優(yōu)選的組合有2-巰基苯并噻唑/4,4,-雙(二乙基氨基)二苯曱酮、2-巰基苯并噹唑/4,4,-雙(二乙基氨基)二苯曱酮,特別優(yōu)選的組合為2-巰基苯并噻唑/4,4,-雙(二乙基氨基)二苯曱酮。在硫醇系氬供體與胺系氬供體的組合中,硫醇系氫供體與胺系氫供體的質(zhì)量比優(yōu)選為1:1~1:4,更優(yōu)選為1:1~1:3。在本發(fā)明中,氫供體與聯(lián)咪唑系化合物并用時(shí),氫供體的含量,相對于100質(zhì)量份的(D)多官能性單體,優(yōu)選為0.01~40質(zhì)量份,更優(yōu)選為1~30質(zhì)量份,特別優(yōu)選1~20質(zhì)量份。如氫供體的含量小于0.01質(zhì)量份,則會(huì)有敏感度改良效果降低的傾向,另一方面,如果超過40質(zhì)量份,則會(huì)有形成的著色層在顯影時(shí)容易從基板脫落的傾向。并用多官能性單體和單官能性單體時(shí),單官能性單體的質(zhì)量包含于多官能性單體的質(zhì)量中。胺系氫供體在與苯乙酮系化合物等聯(lián)咪唑系化合物以外的光聚合SI發(fā)劑合用時(shí)可以作為敏化劑發(fā)揮作用。胺系氫供體作為敏化劑使用時(shí),相對于100質(zhì)量份聯(lián)咪唑化合物以外的光聚合引發(fā)劑,其含量通常為300質(zhì)量份以下,優(yōu)選200質(zhì)量份以下,更優(yōu)選100質(zhì)量份以下。如果所述含量過少則變得難于得到充分的效果,含量下限優(yōu)選2質(zhì)量份,更優(yōu)選為5質(zhì)量份。作為上述三溱系化合物的具體例子,可列舉2,4,6-三(三氯甲基)-s-三溱、2-曱基-4,6-雙(三氯曱基)-s-三溱、2-[2-(5-曱基呋喃-2-基)乙烯基]-4,6-雙(三氯曱基)-s-三溱、2-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]-4,6-雙(三氯曱基)-s-三嗪、2-[2-(4-二乙基氨基-2-甲基苯基)乙烯基]-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(3,4-二曱氧基苯基)乙烯基]-4,6-雙(三氯曱基)-s-三溱、2-(4-曱氧基苯基)-4,6-雙(三氯曱基)-s-三*、2-(4-乙氧基苯乙烯基)-4,6-雙(三氯曱基)-s-三溱、2-(4-正丁氧基苯基)_4,6-雙(三氯曱基)-s-三溱等具有卣代曱基的三嗪系化合物。在這些三。秦系化合物中,特別優(yōu)選2-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]國4,6-雙(三氯曱基)-s-三嗪。三溱系化合物可以單獨(dú)使用或?qū)?種以上混合使用。在本發(fā)明中,相對于IOO質(zhì)量份的(D)多官能性單體,使用三嗪系化合物作為光聚合引發(fā)劑時(shí),其含量優(yōu)選為0.01~40質(zhì)量份,更優(yōu)選為1~30質(zhì)量份,特別優(yōu)選為1~20質(zhì)量份。如三嗪系化合物的含量小于0.01質(zhì)量份,則由于曝光引起的固化變得不充分,有可能難以獲得著色層圖案按規(guī)定排列配置的濾色器。另一方面,如果超過40質(zhì)量份,則會(huì)有在顯影時(shí)形成的著色層容易從基板脫落的傾向。并用多官能性單體與單官能性單體時(shí),單官能性單體的質(zhì)量包含于多官能性單體的質(zhì)量中。作為O-?;肯祷衔?,可以舉出例如1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基苯基)]-,2-(O-苯甲?;?、l-[9-乙基-6-苯甲?;?-911-咔唑-3-基]-壬烷-l,2-壬烷-2-肟-0-苯曱酸酯、1-[9-乙基-6-苯曱?;?9H-咔唑國3國基]-壬烷畫1,2-壬烷-2國肟畫0-乙酸酯、l國[9畫乙基國6醫(yī)苯曱?;?H-咔唑畫3-基]-戊烷誦1,2誦戊烷-2-肝誦0-乙酸酯、1-[9-乙基誦6誦苯曱?;鶉?H國呻唑誦3國基]-辛烷-l-酮肟-O-乙酸酯、1-[9-乙基-6-(2-曱基苯曱酰基)-911-??ㄟ?3-基]-乙烷-1-酮肟-0-苯甲酸酯、1-[9-乙基-6-(1,3,5-三曱基苯曱?;?-9H-啼唑-3-基]-乙烷-l-酮坊-0-苯曱酸酯、1-[9-丁基-6-(2-乙基苯甲酰基)-9&。卡唑-3-基]-乙烷-1-酮將-0-苯甲酸酯、乙酮(工夕/》),1-[9-乙基-6-(2-曱基苯甲?;?-9H-??ㄟ?3-基]-,l-(0-乙?;?、乙酮,1-[9-乙基-6-[2-曱基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧戊環(huán)基)]曱氧基苯曱?;鵠-9H-口卡唑-3-基Kl-(O-乙?;?等。這些O-?;鶎⑾祷衔镏校貏e優(yōu)選1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基苯基)]-,2-(O-苯甲酰基肟)、乙酮,1-[9-乙基-6-(2-曱基苯曱?;?-9H-呼唑-3-基]-,1-(O-乙?;?、乙酮,1-[9-乙基-6-[2-甲基-4-(2,2-二甲基-l,3-二氧戊環(huán)基)]甲氧基苯曱?;鵠-9H-呼唑-3-基]-,1-(O-乙酰基肟)等。O-?;肯祷衔锟梢詥为?dú)使用或者混合使用2種以上。在本發(fā)明中,相對于100質(zhì)量份的(D)多官能性單體,使用O-?;肯祷衔镒鳛楣饩酆弦l(fā)劑時(shí),其含量優(yōu)選為0.01-60質(zhì)量份,更優(yōu)選為1~50質(zhì)量份,特別優(yōu)選為1-40質(zhì)量份。如O-?;肯祷衔锏暮啃∮?.01質(zhì)量份,則由于曝光引起的固化變得不充分,有可能難以獲得著色層圖案按規(guī)定排列配置的濾色器。另一方面,如果超過60質(zhì)量份,則會(huì)有在顯影時(shí)形成的著色層容易從基板脫落的傾向。合用多官能性單體與單官能性單體時(shí),單官能性單體的質(zhì)量包含在多官能性單體的質(zhì)量中。作為站噸酮系化合物,可以舉出例如卩占噸酮;蓬p屯酮、2,4-二乙基漆p屯酮、2-氯漆噸酮等蓬噸酮類。在本發(fā)明中,相對于100質(zhì)量份的(D)多官能性單體,使用咕噸酮系化合物作為光聚合引發(fā)劑時(shí),其含量優(yōu)選為0.01~50質(zhì)量份,更優(yōu)選為1~40質(zhì)量份,特別優(yōu)選為1~30質(zhì)量份。如0占噸酮系化合物的含量小于0.01質(zhì)量份,則由于曝光引起的固化變得不充分,有可能難以獲得著色層圖案按規(guī)定排列配置的濾色器。另一方面,如果超過50質(zhì)量份,則會(huì)有在顯影時(shí)形成的著色層容易從基板脫落的傾向。合用多官能性單體與單官能性單體時(shí),單官能性單體的質(zhì)量包含在多官能性單體的質(zhì)量中。誦(F)具有氧雜環(huán)丁烷基的重復(fù)單元的含量為70質(zhì)量%以上的聚合物-本發(fā)明中(F)具有氧雜環(huán)丁烷基的重復(fù)單元的含量為70質(zhì)量%以上的聚合物(以下,也成為"聚合物(F),,)是在后烘烤工序中將特定分散劑和(C)堿溶性樹脂交聯(lián)得到的成分。另外,通過加熱可以由聚合物(F)單獨(dú)聚合形成交聯(lián)結(jié)構(gòu)。從聚合物(F)即使在低后烘烤溫度下也得到具有優(yōu)異的耐溶劑性和密合性的著色層的角度,優(yōu)選具有氧雜環(huán)丁烷基的重復(fù)單元的含量為90質(zhì)量%以上,特別優(yōu)選95質(zhì)量%以上。在此,具有氧雜環(huán)丁烷基的重復(fù)單元的含量指以構(gòu)成聚合物(F)的全部重復(fù)單元的合計(jì)質(zhì)量為基準(zhǔn)的值。作為供給具有氧雜環(huán)丁烷基的重復(fù)單元的單體,只要是具有氧雜環(huán)丁烷基的不飽和化合物即沒有特殊限定,例如,可以例舉以下化合物。3-[(曱基)丙烯酰氧基甲基]氧雜環(huán)丁烷、3-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]氧雜環(huán)丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基曱基]氧雜環(huán)丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]氧雜環(huán)丁烷等(甲基)丙烯酰氧基烷基氧雜環(huán)丁烷;3-[(曱基)丙烯酰氧基甲基]-2-曱基氧雜環(huán)丁烷、3-[(曱基)丙烯酰氧基曱基]-3-曱基氧雜環(huán)丁烷、3-[(曱基)丙烯酰氧基曱基]-2-乙基氧雜環(huán)丁烷、3-[(甲基)丙烯酰氧基曱基]-3-乙基氧雜環(huán)丁烷、3-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-2-甲基氧雜環(huán)丁烷、3-[2-(曱基)丙烯酰氧基乙基]-3-甲基氧雜環(huán)丁烷、3-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-2-乙基氧雜環(huán)丁烷、3-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-3-乙基氧雜環(huán)丁烷、2-[(曱基)丙烯酰氧基曱基]-2-甲基氧雜環(huán)丁烷、2-[(曱基)丙烯酰氧基曱基]-3-甲基氧雜環(huán)丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-4-甲基氧雜環(huán)丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基曱基]-2-乙基氧雜環(huán)丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基曱基]-3-乙基氧雜環(huán)丁烷、2-[(曱基)丙烯酰氧基曱基]-4-乙基氧雜環(huán)丁烷、2-[2-(曱基)丙烯酰氧基乙基]-2-甲基氧雜環(huán)丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-3-曱基氧雜環(huán)丁烷、2-[2-(曱基)丙烯酰氧基乙基]-4-曱基氧雜環(huán)丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-2-乙基氧雜環(huán)丁烷、2-[2-(曱基)丙烯酰氧基乙基]-3-乙基氧雜環(huán)丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-4-乙基氧雜環(huán)丁烷等[(甲基)丙烯酰氧基烷基]烷基氧雜環(huán)丁烷;3-[(甲基)丙烯酰氧基曱基]-2-三氟曱基氧雜環(huán)丁烷、3-[(曱基)丙烯酰氧基曱基]-2-五氟乙基氧雜環(huán)丁烷、3-[(曱基)丙烯酰氧基曱基]-2-苯基氧雜環(huán)丁烷、3-[(曱基)丙烯酰氧基曱基]-2,2-二氟氧雜環(huán)丁烷、3-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-2,2,4-三氟氧雜環(huán)丁烷、3-[(甲基)丙烯酰氧基曱基]-2,2,4,4-四氟氧雜環(huán)丁烷、3-[2-(曱基)丙烯酰氧基乙基]-2-三氟曱基氧雜環(huán)丁烷、3-[2-(曱基)丙烯酰氧基乙基]-2-五氟乙基氧雜環(huán)丁烷、3-[2-(曱基)丙烯酰氧基乙基]-2-苯基氧雜環(huán)丁烷、3-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-2,2-二氟氧雜環(huán)丁烷、3-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-2,2,4-三氟氧雜環(huán)丁烷、3-[2-(曱基)丙烯酰氧基乙基]-2,2,4,4-四氟氧雜環(huán)丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基曱基]-2-三氟曱基氧雜環(huán)丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基曱基]-3-三氟甲基氧雜環(huán)丁烷、2-[(曱基)丙烯酰氧基曱基]-4-三氟甲基氧雜環(huán)丁烷、2-[(曱基)丙烯酰氧基曱基]-2-五氟乙基氧雜環(huán)丁烷、2-[(曱基)丙烯酰氧基曱基]-3-五氟乙基氧雜環(huán)丁烷、2-[(曱基)丙烯酰氧基曱基]-4-五氟乙基氧雜環(huán)丁烷、2-[(曱基)丙烯酰氧基甲基]-2,3-二氟氧雜環(huán)丁烷、2-[(曱基)丙烯酰氧基曱基]-2,4-二氟氧雜環(huán)丁烷、2-[(曱基)丙烯酰氧基曱基]-3,3-二氟氧雜環(huán)丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基曱基]-3,4-二氟氧雜環(huán)丁烷、2-[(曱基)丙烯酰氧基甲基]-4,4-二氟氧雜環(huán)丁烷、2-[(曱基)丙烯酰氧基曱基]-3,3,4-三氟氧雜環(huán)丁烷、2-[(曱基)丙烯酰氧基曱基]-3,4,4-三氟氧雜環(huán)丁烷、2-[(曱基)丙烯酰氧基甲基]-3,3,4,4-四氟氧雜環(huán)丁烷、2-[2-(曱基)丙烯酰氧基乙基]-2-三氟曱基氧雜環(huán)丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-3-三氟曱基氧雜環(huán)丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-4-三氟曱基氧雜環(huán)丁烷、2-[2-(曱基)丙烯酰氧基乙基]-2-五氟乙基氧雜環(huán)丁烷、2-[2-(曱基)丙烯酰氧基乙基]-3-五氟乙基氧雜環(huán)丁烷、2-[2-(曱基)丙烯酰氧基乙基]-4-五氟乙基氧雜環(huán)丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-2,3-二氟氧雜環(huán)丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-2,4-二氟氧雜環(huán)丁烷、2-[2-(曱基)丙烯酰氧基乙基]-3,3-二氟氧雜環(huán)丁烷、2-[2-(曱基)丙烯酰氧基乙基]-3,4-二氟氧雜環(huán)丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-4,4-二氟氧雜環(huán)丁烷、2-[2-(曱基)丙烯酰氧基乙基]-3,3,4-三氟氧雜環(huán)丁烷、2-[2-(曱基)丙烯酰氧基乙基]-3,4,4-三氟氧雜環(huán)丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-3,3,4,4-四氟氧雜環(huán)丁烷等[(曱基)丙烯酰氧基烷基]氟氧雜環(huán)丁烷;2-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-2-苯基氧雜環(huán)丁烷、2-[(曱基)丙烯酰氧基曱基]-3-苯基氧雜環(huán)丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基曱基]-4-苯基氧雜環(huán)丁烷、2-[2-(曱基)丙烯酰氧基乙基]-2-苯基氧雜環(huán)丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-3-苯基氧雜環(huán)丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-4-苯基氧雜環(huán)丁烷等[(曱基)丙烯酰氧基烷基]苯基氧雜環(huán)丁烷等(曱基)丙烯酸酸酯類;4-[3-(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基甲氧基)丙氧基]苯乙烯、4-[4-(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基曱氧基)丁基氧基]苯乙烯、4-[5-(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基曱氧基)戊基氧基]苯乙烯、4-[6-(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基甲氧基)己基氧基]苯乙烯、4-[7-(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基曱氧基)庚基氧基]苯乙烯等芳香族乙烯基類。上述的"(曱基)丙烯酰氧基烷基"和"烷基氧雜環(huán)丁烷"中的烷基部分的碳原子數(shù)優(yōu)選l~4。這些具有氧雜環(huán)丁烷基的不飽和化合物中,優(yōu)選3-[(曱基)丙烯酰氧基曱基]氧雜環(huán)丁烷、3-[(曱基)丙烯酰氧基曱基]-3-乙基氧雜環(huán)丁烷、3-[(甲基)丙烯酰氧基曱基]-2-三氟曱基氧雜環(huán)丁烷、3-[(曱基)丙烯酰氧基曱基]-2-苯基氧雜環(huán)丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基曱基]氧雜環(huán)丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-4-三氟曱基氧雜環(huán)丁烷等,特別是從得到的放射線敏感性組合物的顯影余量(7—^;z)寬,并且提高得到的著色層的耐化學(xué)藥品性的角度,優(yōu)選3-(甲基丙烯酰氧基氧基曱基)氧雜環(huán)丁烷、3-(曱基丙烯酰氧基氧基甲基)-3-乙基氧雜環(huán)丁烷、3-(曱基丙烯酰氧基氧基曱基)-2-三氟甲基氧雜環(huán)丁烷、3-(曱基丙烯酰氧基氧基曱基)-2-苯基氧雜環(huán)丁烷、2-(甲基丙烯酰氧基氧基曱基)氧雜環(huán)丁烷、2-(曱基丙烯酰氧基氧基甲基)-4-三氟甲基氧雜環(huán)丁烷等。另外,本發(fā)明中,作為具有氧雜環(huán)丁烷基的不飽和化合物,除了以外,例如也可以4吏用(3-氧雜環(huán)丁烷基甲氧基)-對乙烯基苯、[2-(3-氧雜環(huán)丁烷基)乙氧基]-對乙烯基苯、(2-氧雜環(huán)丁烷基曱氧基)-對乙烯基苯、[2-(2-氧雜環(huán)丁烷基)乙氧基]-對乙烯基苯等乙烯基苯酚的(氧雜環(huán)丁烷基烷基)醚類;(3-氧雜環(huán)丁烷基曱基)乙烯基醚、[2-(3-氧雜環(huán)丁烷基)乙基]乙烯基醚、(2-氧雜環(huán)丁烷基曱基)乙烯基醚、[2-(2-氧雜環(huán)丁烷基)乙基]乙烯基醚等的(氧雜環(huán)丁烷基烷基)乙烯基醚類等。聚合物(F)中,具有氧雜環(huán)丁烷基的不飽和化合物可以單獨(dú)使用或混合2種以上使用。聚合物(F)中,還可以將具有氧雜環(huán)丁烷基的不飽和化合物與和其可共聚的其他不飽和化合物共聚。作為其他不飽和化合物,可以舉出在(C)堿溶性樹脂中作為共聚性不飽和單體舉出的N-取代馬來酰亞胺、不飽和羧酸酯、不飽和羧酸氨基烷基酯類、不飽和羧酸縮水甘油酯類、丙烯腈化合物、不飽和酰胺類、羧酸乙烯基酯、不飽和醚類、脂肪族共軛二烯類、聚合物分子鏈末端上具有單(甲基)丙烯?;拇蠓肿訂误w類、或者如苯乙烯、a-曱基苯乙烯、鄰乙烯基曱苯、間乙烯基甲苯、對乙烯基曱苯、對氯苯乙烯、鄰曱氧基苯乙烯、間曱氧基苯乙烯、對曱氧基苯乙烯、鄰乙烯基千基甲基醚、間乙烯基千基甲基醚、對乙烯基節(jié)基甲基醚、鄰乙烯基千基縮水甘油基醚、間乙烯基千基縮水甘油基醚、對乙烯基爺基縮水甘油基醚的芳香族乙烯基化合物等。本發(fā)明中聚合物(F)的Mw優(yōu)選2,000-50,000,特別優(yōu)選2,000-30,000。另外,本發(fā)明中聚合物(F)的Mw與Mn的比(Mw/Mn)優(yōu)選1.0-2.5,特別優(yōu)選1.0-2.0。本發(fā)明中,通過4吏用具有這樣特定的Mw和/或Mw/Mn的聚合物(F),可以進(jìn)一步提高得到的放射線敏感性組合物的耐溶劑性或與基板的密合性。本發(fā)明的聚合物(F)可以通過例如將具有氧雜環(huán)丁烷基的不飽和化合物在適當(dāng)?shù)娜軇┲?,?,2,-偶氮二異丁腈、2,2,-偶氮二(2,4-二曱基戊腈)、2,2,-偶氮二(4-甲氧基-2,4-二曱基戊腈)、4,4,-偶氮二(4-氰基丙酸)、4,4,-偶氮二(4-氰基丁酸)、4,4,-偶氮二(4-氰基戊酸)、4,4,-偶氮二(4-氰基乙基苯曱酸)、4,4,-偶氮二(4-氰基乙基環(huán)己烷羧酸)等自由基聚合引發(fā)劑的存在下聚合來制備。另外,將Mw/Mn控制在上述范圍意味著,作為本發(fā)明中的聚合物(F),優(yōu)選將具有氧雜環(huán)丁烷基的不飽和化合物在上述作為自由基聚合引發(fā)劑、和鏈轉(zhuǎn)移發(fā)揮作用的多價(jià)硫醇化合物的存在下,在適當(dāng)?shù)娜軇┲羞M(jìn)行自由基聚合來制備。在此,本說明書中,多元硫醇化合物是指1分子中具有2個(gè)以上的巰基的化合物,例如可以舉出三羥曱基丙烷三(3-巰基丙酸酯)、季戊四醇四(3-巰基丙酸酯)、四甘醇二(3-巰基丙酸酯)、二季戊四醇六(3-巰基丙酸酯)、季戊四醇四(巰基乙酸酯)、1,4-二(3-巰基丁?;趸?丁烷、季戊四醇四(3-巰基丁酸酯)、1,3,5,腸三(3-巰基丁基氧基乙基)畫1,3,5國三口秦-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮等。相對于100質(zhì)量份具有氧雜環(huán)丁烷基的不飽和化合物,通過聚合物(F)聚合合成時(shí)的多元硫醇化合物的用量通常為0.5-20質(zhì)量份,優(yōu)選1-10質(zhì)量份。相對于100質(zhì)量份該不飽和化合物,自由基聚合引發(fā)劑的用量通常為0.1-50質(zhì)量份,優(yōu)選0.1-20質(zhì)量份。另外,聚合溫度通常為0-150。C,優(yōu)選50-12(TC。聚合時(shí)間通常為10分鐘-20小時(shí),優(yōu)選30分鐘-6小時(shí)。本發(fā)明中,通過聚合合成聚合物(F)時(shí),以相對于鏈轉(zhuǎn)移劑全部質(zhì)量通常為90質(zhì)量%以下,優(yōu)選60質(zhì)量%以下的量合用多元硫醇化合物以外的鏈轉(zhuǎn)移劑,例如叔十二烷基硫醇、2,4-二苯基-4-甲基-1-戊烯等的1種以上。相對于100質(zhì)量份(以固體成分換算)(C)堿溶性樹脂,本發(fā)明中聚合物(F)的含量通常為1-400質(zhì)量份,優(yōu)選3-200質(zhì)量份,特別優(yōu)選5-100質(zhì)量份。如果該含量小于l質(zhì)量份,則存在難于得到期望效果的傾向。另一方面,如果超過400質(zhì)量份,則存在顯著地時(shí)區(qū)顯影性的傾向。-添力口劑-作為上述添加劑,可以舉出例如有機(jī)酸或有機(jī)氨基化合物(但是,上述氫供給體除外)、固化劑、固化助劑等。上述有機(jī)酸和有機(jī)氨基化合物是顯示進(jìn)一步改善放射線敏感性組合物對堿性顯影液的溶解性且在顯影后進(jìn)一步抑制未溶解物的殘存的作用等的成分。作為有機(jī)酸,優(yōu)選在分子中具有1個(gè)以上羧基的脂肪族羧酸或含有苯基的羧酸。作為脂肪族羧酸,可以舉出例如曱酸、乙酸、丙酸、丁酸、戊酸、新戊酸、己酸、二乙基乙酸、庚酸、辛酸等單羧酸;草酸、丙二酸、琥珀酸、戊二酸、己二酸、庚二酸、辛二酸、壬二酸、癸二酸、巴西二酸、曱基丙二酸、乙基丙二酸、二曱基丙二酸、曱基琥珀酸、四曱基琥珀酸、環(huán)己烷二羧酸、衣康酸、檸康酸、馬來酸、富馬酸、中康酸等二羧酸類;丙三羧酸、烏頭酸、分解樟腦酸等三羧酸類等。另外,作為上述含有苯基的羧酸,可以舉出例如羧基直接與苯基鍵合的化合物、羧基通過碳鏈與苯基鍵合的羧酸等。作為含有苯基的羧酸,可以舉出例如苯曱酸、曱苯酸、枯酸、2,3-二曱基苯曱酸、3,5-二甲基苯曱酸等芳香族單羧酸類;鄰苯二甲酸、間苯二曱酸、對苯二甲酸、亞肉桂基丙二酸等芳香族二羧酸類;偏苯三酸、均苯三酸、偏苯四酸、均苯四酸等3元以上的芳香族多羧酸類、苯基乙酸、氫化阿托酸、氫化肉桂酸、扁桃酸、苯基琥珀酸、阿托酸、肉桂酸、亞肉桂基乙酸、香豆酸、傘形酸等。在這些有機(jī)酸中,從堿溶解性、對后述溶劑的溶解性、防止在未曝光部的基板上或者遮光層上的浮垢和膜殘留等觀點(diǎn)出發(fā),作為脂肪族羧酸,優(yōu)選脂肪族二羧酸,特別優(yōu)選丙二酸、己二酸、衣康酸、檸康酸、富馬酸、中康酸等。另外,作為含苯基的羧酸,優(yōu)選芳香族二酸酸,特別優(yōu)選鄰苯二曱酸。上述有機(jī)酸可以單獨(dú)使用或者2種以上混合使用。有機(jī)酸的含量相對于全部放射線敏感性組合物的固體成分,通常為15質(zhì)量%以下,優(yōu)選10質(zhì)量%以下。此時(shí),有機(jī)酸的含量如果超過15質(zhì)量%,存在形成的著色層對基板的密合性降低的傾向。另外,作為有機(jī)氨基化合物,優(yōu)選在分子中具有1個(gè)以上的氨基的脂肪族胺或含苯基的胺。作為脂肪族胺,可以舉出例如下述化合物。正丙胺、異丙胺、正丁胺、異丁胺、仲丁胺、叔丁胺、正戊胺、正己胺、正庚胺、正辛胺、正壬胺、正癸胺、正十一烷胺、正十二烷胺、環(huán)己胺、2-甲基環(huán)己胺、3-甲基環(huán)己胺、4-曱基環(huán)己胺、2-乙基環(huán)己胺、3-乙基環(huán)己胺、4-乙基環(huán)己胺等單(環(huán))烷基胺類;曱基乙基胺、二乙基胺、曱基正丙基胺、乙基正丙基胺、二正丙基胺、二異丙基胺、二正丁基胺、二異丁基胺、二仲丁基胺、二叔丁基胺、二正戊基胺、二正己基胺、甲基環(huán)己胺、乙基環(huán)己胺、二環(huán)己基胺等二(環(huán))烷基胺類;二曱基乙基胺、曱基二乙基胺、三乙基胺、二曱基正丙基胺、二乙基正丙基胺、甲基二正丙基胺、乙基二正丙基胺、三正丙基胺、三異丙基胺、三正丁基胺、三異丁基胺、三仲丁基胺、三叔丁基胺、三正戊基胺、三正己基胺、二曱基環(huán)己胺、二乙基環(huán)己胺、甲基二環(huán)己胺、乙基二環(huán)己胺、三環(huán)己胺等三(環(huán))烷基胺類;2-氨基乙醇、3-氨基-l-丙醇、l-氨基-2-丙醇、4-氨基-l-丁醇、5-氨基-l-戊醇、6-氨基-l-己醇、4-氨基-l-環(huán)己醇等單(環(huán))烷醇胺類;二乙醇胺、二正丙醇胺、二異丙醇胺、二正丁醇胺、二異丁醇胺、二正戊醇胺、二正己醇胺、二(4-環(huán)己醇)胺等二(環(huán))烷醇胺類;三乙醇胺、三正丙醇胺、三異丙醇胺、三正丁醇胺、三異丁醇胺、三正戊醇胺、三正己醇胺、三(4-環(huán)己醇)胺等三(環(huán))烷醇胺類;3-氨基-l,2-丙二醇、2-氨基-l,3-丙二醇、4-氨基-l,2-丁二醇、4國氨基-l,3-丁二醇、4-氨基-l,2-環(huán)己二醇、4-氨基-l,3-環(huán)己二醇、3-二曱基氨基-l,2-丙二醇、3-二乙基氨基-l,2-丙二醇、2-二曱基氨基-l,3-丙二醇、2-二乙基氨基-l,3-丙二醇等氨基(環(huán))烷二醇類;1-氨基環(huán)戊烷曱醇、4-氨基環(huán)戊烷甲醇、1-氨基環(huán)己烷曱醇、4-氨基環(huán)己烷甲醇、4-二曱基氨基環(huán)戊烷甲醇、4-二乙基氨基環(huán)戊烷甲醇、4-二甲基氨基環(huán)己烷甲醇、4-二乙基氨基環(huán)己烷甲醇等含氨基的環(huán)烷甲醇類;P-丙氨酸、2-氨基丁酸、3-氨基丁酸、4-氨基丁酸、2-氨基異丁酸、3-氨基異丁酸、2-氨基戊酸、5-氨基戊酸、6-氨基己酸、1-氨基環(huán)丙烷羧酸、1-氨基環(huán)己烷羧酸、4-氨基環(huán)己烷羧酸等氨基羧酸類。另外,作為含苯基的胺,可以舉出例如氨基直接與苯基鍵合的化合物、氨基通過碳鏈與苯基鍵合的化合物等。作為含苯基的胺,可以舉出例如苯胺、2-曱基苯胺、3-甲基苯胺、4-曱基苯胺、4-乙基苯胺、4-正丙基苯胺、4-異丙基苯胺、4-正丁基苯胺、4-叔丁基苯胺、l-萘胺、2-萘胺、N,N-二甲基苯胺、N,N-二乙基苯胺、4-甲基-N,N-二甲基苯胺等芳香族胺類;2-氨基芐醇、3-氨基芐醇、4-氨基芐醇、4-二曱基氨基芐醇、4-二乙基氨基節(jié)醇等氨基節(jié)醇類;2-氨基苯酚、3-氨基苯酚、4-氨基苯酚、4-二甲基氨基苯酚、4-二乙基氨基苯酚等氨基酚類等。在這些有機(jī)胺化合物中,從對后述溶劑的溶解性、防止在未曝光部的基板上或者遮光層上的浮垢和膜殘留等觀點(diǎn)出發(fā),作為脂肪族胺,脂肪族胺,優(yōu)選單(環(huán))烷醇胺類、氨基(環(huán))烷二醇類,特別優(yōu)選2-氨基乙醇、3-氨基-l-丙醇、5-氨基-l-戊醇、3-氨基-l,2-丙二醇、2-氨基-l,3-丙二醇、4-氨基-l,2-丁二醇等。作為含苯基的胺,優(yōu)選氨基苯酚類,特別優(yōu)選2-氨基苯酚、3-氨基苯酚、4-氨基苯酚等。固化劑是與特定分散劑、含有羧基的共聚物和/或聚合物(F)反應(yīng)其自身被組合入交聯(lián)結(jié)構(gòu),使固化度和耐溶劑性提高的成分。作為這樣的固化劑,可以舉出例如環(huán)氧化合物、氧雜環(huán)丁烷化合物(其中,除去聚合物(F))、多元羧酸酐等。作為環(huán)氧化合物,優(yōu)選多官能環(huán)氧化合物。其具體例子可以舉出雙酚A環(huán)氧樹脂、氬化雙酚A環(huán)氧樹脂、雙酚F環(huán)氧樹脂、氪化雙酚F環(huán)氧樹脂、酚醛清漆型環(huán)氧樹脂等芳香族系環(huán)氧樹脂;脂環(huán)族系環(huán)氧樹脂、雜環(huán)環(huán)氧樹脂、縮水甘油酯系樹脂、縮水甘油胺系樹脂、環(huán)氧化油等其它環(huán)氧樹脂;這些環(huán)氧樹脂的溴代衍生物,除此之外,還可以舉出丁二烯的(共)聚合物的環(huán)氧化物、異戊二烯的(共)聚合物的環(huán)氧化物、含有縮水甘油基的不飽和化合物的(共)聚合物、異氰酸三縮水甘油基酯等。作為上述環(huán)氧化合物,也優(yōu)選含有環(huán)氧基的不飽和化合物。其具體例子可以舉出(甲基)丙烯酸縮水甘油基酯、(甲基)丙烯酸3,4-環(huán)氧基丁基酯、(甲基)丙烯酸6,7-環(huán)氧基庚基酯、鄰乙烯基芐基縮水甘油基醚、間乙烯基千基縮水甘油基醚、對乙烯基千基縮水甘油基醚等。作為氧雜環(huán)丁烷化合物,優(yōu)選多官能氧雜環(huán)丁烷化合物。其具體例子可以舉出碳酸二氧雜環(huán)丁烷酯、己二酸二氧雜環(huán)丁烷酯、對苯二甲酸二氧雜環(huán)丁烷酯、對亞二曱苯二羧酸二氧雜環(huán)丁烷酯、1,4-環(huán)己烷二羧酸二氧雜環(huán)丁烷酯等低分子化合物、或苯酚線型酚醛清漆樹脂的氧雜環(huán)丁烷醚化物等高分子化合物。另外作為氧雜環(huán)丁烷化合物,可以使用前述聚合物(F)中使用的單體以外的化合物。作為上述多元羧酸酐的具體例子,可以舉出苯二甲酸酐、均苯四酸二酐、偏苯三酸酐、3,3,,4,4,-二苯甲酮四羧酸二酐等芳香族多元羧酸酐類;衣康酸酐、琥珀酸酐、檸康酸酐、十二碳烯琥珀酸酐、丙三羧酸酐、馬來酸酐、1,2,3,4-丁烷四羧酸二酐等脂肪族多元羧酸酐類;六氫苯二曱酸酐、3,4-二曱基四氫苯二曱酸酐、1,2,4-環(huán)戊烷三羧酸酐、1,2,4-環(huán)己烷三羧酸酐、環(huán)戊烷四羧酸二酐、1,2,4,5-環(huán)己烷四羧酸二酐、降水片烯二酸酐(無水乂、J;、、7夕酸)、四氬苯二曱酸酐(無水大^>酸)等脂環(huán)族多元羧酸肝類;乙二醇二偏苯三酸酯酐(工f卩-一A匕'義卜卩>卩f4卜無水物)、甘油三偏苯三酸酯酐(夕'y七!i>卜卩只卜卩>'J亍4卜無水物)等含有酯基羧酸酐類,除此之外,還可以舉出以7^力乂、一K大一EH-700(旭電化工業(yè)(株)制)、卩力〉少卜'HH(新日本理化(才朱)制)、MH-700(新日本理化(抹)制)等商品名市售的環(huán)氧樹脂固化劑等。這些固化劑可以單獨(dú)4吏用,也可以混合4吏用2種以上。相對于全部放射線敏感性組合物,固化劑的含量通常為30質(zhì)量%以下,優(yōu)選20質(zhì)量%以下。固化劑的含量如果超過30質(zhì)量%,則有得到的放射線敏感性組合物的保存穩(wěn)定性下降的傾向。固化助劑是使上述聚合物(F)和上述固化劑具有的官能團(tuán)(例如,環(huán)氧基、氧雜環(huán)丁烷基)開環(huán),其自身不被組合入交聯(lián)結(jié)構(gòu)地促進(jìn)固化反應(yīng)的成分。作為這樣的固化助劑例如可以舉出锍鹽類、苯并噻唑鏃鹽類、銨鹽類、轔鹽類、磺酸酯化合物、硫酰亞胺化合物、重氮甲烷化合物等熱酸發(fā)生劑、它們之中,優(yōu)選锍鹽類、苯并噻唑镥鹽類、磺酸酯化合物、硫酰亞胺化合物等。作為锍鹽鹽的具體例子,例如可以舉出以下的化合物。4-乙酰苯基二曱基锍六氟銻酸鹽、4-乙酰氧基苯基二曱基锍六氟砷酸鹽、二甲基-4-(節(jié)氧基羰基氧基)苯基锍六氟銻酸鹽、二甲基-4-(苯曱酰氧基)苯基锍六氟銻酸鹽、二曱基-4-(苯甲酰氧基)苯基锍六氟砷酸鹽、二甲基-3-氯-4-乙酰氧基苯基锍六氟銻酸鹽等烷基锍鹽;千基_4-羥基苯基曱基锍六氟銻酸鹽、千基-4-羥基苯基曱基锍六氟磷酸鹽、4-乙酰氧基苯基千基曱基锍六氟銻酸鹽、千基-4-甲氧基苯基甲基锍六氟銻酸鹽、千基-2-曱基-4-羥基苯基曱基锍六氟銻酸鹽、千基一3-氯-4-鞋基苯基甲基锍六氟砷酸鹽、4-甲氧基節(jié)基-4-羥基苯基甲基锍六氟磷酸鹽等千基锍鹽;二千基_4_羥基苯基锍六氟銻酸鹽、二千基-4-羥基苯基锍六氟磷酸鹽、4-乙酰氧基苯基二千基锍六氟銻酸鹽、二千基-4-曱氧基苯基锍六氟銻酸鹽、二千基-3-氯-4-羥基苯基锍六氟砷酸鹽、二千基-3-曱基-4-羥基-5-叔丁基苯基锍六氟銻酸鹽、節(jié)基-4-曱氧基節(jié)基-4-羥基苯基锍六氟磷酸鹽等二節(jié)基锍鹽;對氯芐基-4-羥基苯基曱基锍六氟銻酸鹽、對硝基芐基-4-羥基苯基曱基锍六氟銻酸鹽、對氯千基-4-羥基苯基曱基锍六氟磷酸鹽、對硝基節(jié)基-3-甲基-4-羥基苯基甲基锍六氟銻酸鹽、3,5-二氯節(jié)基-4-羥基苯基曱基锍六氟銻酸鹽、鄰氯卡基-3-氯-4-羥基苯基曱基锍六氟銻酸鹽等取代千基锍鹽。作為苯并蓬唑镥鹽類的具體例子,可以舉出3-千基苯并噻唑镥六氟銻酸鹽、3-節(jié)基苯并噻唑條六氟磷酸鹽、3-芐基苯并噻唑像四氟硼酸鹽、3-(對曱氧基千基)苯并噻唑鏡六氟銻酸鹽、3-芐基-2-甲基苯并噻唑鏡六氟銻酸鹽、3-千基-5-氯苯并噻唑鏡六氟銻酸鹽等苯并噻唑鏡鹽等。作為石黃酸酯化合物的具體例子,可以舉出苯偶姻甲苯石黃酸酯、a-羥曱基苯偶姻曱苯磺酸酯、a-羥曱基苯偶姻正辛磺酸酯、連苯三酚三(三氟甲磺酸酯)、連苯三酚三(九氟正丁磺酸酯)、連苯三酚三(曱磺酸酯)、硝基千基-9,10-二乙氧基蒽-2-磺酸酯等。作為硫酰亞胺化合物的具體例子,可以舉出N-(三氟甲磺酰基氧基)琥珀酰亞胺、N-(三氟曱磺酰基氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亞胺、N-(10-樟腦磺酰基氧基)琥珀酰亞胺、N-(10-樟腦磺?;趸?雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亞胺、N-[(5-甲基-5-羧基甲烷雙環(huán)[2.2.1]庚-2-基)磺?;趸鵠琥珀酰亞胺等。作為重氮曱烷化合物的具體例子,可以舉出雙(環(huán)己烷磺?;?重氮甲烷、雙(叔丁基磺酰基)重氮曱烷、雙(1,4-二氧雜螺[4.5]-癸烷-7-石黃酰基)重氮曱烷等。它們之中,特別優(yōu)選使用4-乙酰氧基苯基二甲基锍六氟砷酸鹽、芐基_4_羥基苯基甲基锍六氟銻酸鹽、4-乙酰氧基苯基節(jié)基曱基锍六氟銻酸鹽、二千基-4-羥基苯基锍六氟銻酸鹽、4-乙酰氧基苯基節(jié)基锍六氟銻酸鹽、3-節(jié)基苯并噻唑條六氟銻酸鹽、N-(三氟曱磺?;趸?雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亞胺等。這些固化助劑可以單獨(dú)使用或混合使用2種以上。固化助劑的含量相對于全部放射線敏感性組合物的固體成分,通常為15質(zhì)量%以下,優(yōu)選10質(zhì)量%以下。固化助劑的含量如果超過15質(zhì)量%,則存在得到的放射線敏感性組合物的保存穩(wěn)定性降低、或形成的著色層在顯影時(shí)易于從基板脫落的傾向。固化劑和固化助劑的含量的下限相對于全部放射線敏感性組合物的固體成分通常為0.1質(zhì)量份,優(yōu)選0.5質(zhì)量份。作為上述以外的添加劑,可以舉出例如銅酞菁衍生物等藍(lán)色顏料衍生物、黃色顏料衍生物等分散助劑;玻璃、氧化鋁等填充劑;聚乙烯醇、聚乙二醇單烷基醚類、聚(氟烷基丙烯酸酯)類等高分子化合物;非離子型、陽離子型、陰離子型等表面活性劑;乙烯基三曱氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、3-環(huán)氧丙氧基丙基甲基二曱氧基硅烷、2-(3,4-環(huán)氧環(huán)己基)乙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-曱基丙烯酰氧基丙基三曱氧基硅烷、3-巰基丙基三曱氧基硅烷等密合促進(jìn)劑;2,2,-硫代雙(4-曱基-6-叔丁基苯酚)、2,6-二-叔丁基苯酚等抗氧化劑;2-(3-叔丁基-5-甲基-2-羥基苯基)-5-氯苯并三唑、烷氧基二苯酮類等紫外線吸收劑;聚丙烯酸鈉等抗凝集劑;1,1,-偶氮雙(環(huán)己烷-l-腈)、2-苯基偶氮-4-曱氧基-2,4-二曱基戊腈等熱自由基引發(fā)劑等。溶劑本發(fā)明的放射線敏感性組合物以前述(A)~(F)成分作為必須成分,可以根據(jù)需要含有添加劑成分,通??梢耘浜先軇┲瞥梢簯B(tài)組合物。作為溶劑只要可分散或溶解構(gòu)成放射線敏感性組合物(A)~(F)成分或添加劑成分,且不與這些成分反應(yīng),具有適度的揮發(fā)性即可,可以適當(dāng)選擇使用。作為這樣的溶劑,例如可以舉出下述化合物。乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙基醚、乙二醇單正丙基醚、乙二醇單正丁基醚、二甘醇單曱基醚、二甘醇單乙基醚、二甘醇單正丙基醚、二甘醇單正丁基醚、三甘醇單曱基醚、三甘醇單乙基醚、丙二醇單曱基醚、丙二醇單乙基醚、丙二醇單正丙基醚、丙二醇單正丁基醚、雙丙甘醇單曱基醚、雙丙甘醇單乙基醚、雙丙甘醇單正丙基醚、雙丙甘醇單正丁基醚、三丙二醇單甲基醚、三丙二醇單乙基醚等(多)亞烷基二醇單烷基醚類;乙二醇單甲基醚乙酸酯、乙二醇單乙基醚乙酸酯、二甘醇單曱基醚乙酸酯、二甘醇單乙基醚乙酸酯、丙二醇單曱基醚乙酸酯、丙二醇單乙基醚乙酸酯等(多)亞烷基二醇單烷基醚乙酸酯類;二甘醇二曱基醚、二甘醇甲基乙基醚、二甘醇二乙基醚、四氫呋喃等其它醚類;甲乙酮、環(huán)己酮、2-庚酮、3-庚酮等酮類;乳酸曱酯、乳酸乙酯等乳酸烷基酯類;2-羥基-2-曱基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸曱酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯、羥基乙酸乙酯、2-羥基-3-曱基丁酸甲酯、乙酸3-甲氧基丁酯、乙酸3-曱基-3-曱氧基丁酯、丙酸3-甲基-3-甲氧基丁酯、乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸異丙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、甲酸正戊酯、乙酸異戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸異丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸正丙酯、乙酰乙酸曱酯、乙酰乙酸乙酯、2-氧代丁酸乙酯等其它酯類;甲苯、二曱苯等芳族烴類;N,N-二曱基曱酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N-曱基吡咯烷酮等酰胺或內(nèi)酰胺類。這些溶劑中,從溶解性、顏料分散性、涂布性等角度考慮,優(yōu)選丙二醇單曱基醚、乙二醇單甲基醚乙酸酯、丙二醇單曱基醚乙酸酯、丙二醇單乙基醚乙酸酯、二甘醇二甲基醚、二甘醇甲基乙基醚、環(huán)己酮、2-庚酮、3-庚酮、乳酸乙酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸曱酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-曱氧基丁基乙酸酯、丙酸3-曱基-3-曱氧基丁酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、曱酸正戊酯、乙酸異戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸異丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸乙酯等。溶劑可以單獨(dú)使用或?qū)?種以上混合使用。還可以與上述溶劑一起,結(jié)合使用千基乙基醚、二正己醚、丙酮基丙酮、異佛爾酮、己酸、辛酸、l-辛醇、l-壬醇、千醇、乙酸千基酯、苯甲酸乙酯、草酸二乙酯、馬來酸二乙酯、Y-丁內(nèi)酯、碳酸亞乙酯、碳酸亞丙酯、乙二醇單苯基醚乙酸酯等高沸點(diǎn)溶劑。這些高沸點(diǎn)溶劑可以單獨(dú)使用或?qū)?種以上混合使用。溶劑的含量沒有特別限定,從得到的放射線敏感性組合物的涂布性、穩(wěn)定性等觀點(diǎn)考慮,通常使除去該組合物溶劑的各成分總濃度通常達(dá)到5~50質(zhì)量%,優(yōu)選達(dá)到10~40質(zhì)量%的量。濾色器本發(fā)明的濾色器具有由本發(fā)明的用于形成著色層的放射線敏感性組合物形成的著色層。以下對于形成本發(fā)明的濾色器中著色層的方法進(jìn)行說明。首先,根據(jù)需要,在基板的表面上形成遮光層,將形成像素的部分進(jìn)行區(qū)分,在該基板上涂布例如分散有紅色顏料的放射線敏感性組合物的液態(tài)組合物,然后進(jìn)行預(yù)烘烤,使溶劑蒸發(fā),形成涂膜。接著,經(jīng)由光掩膜對該涂膜曝光,然后使用堿性顯影液進(jìn)行顯影,溶解除去涂膜未曝光部分,然后通過后烘烤,形成像素矩陣,該像素矩陣是紅色的像素圖案按照規(guī)定的排列配置得到的。然后使用分散有綠色或藍(lán)色顏料的各放射線敏感性組合物的液態(tài)組合物,與上述同樣地進(jìn)行各液態(tài)組合物的涂布、預(yù)烘烤、曝光、顯影和后烘烤,在同一基板上依次形成綠色像素矩陣和藍(lán)色像素矩陣,紅色、綠色和藍(lán)色三原色的像素矩陣配置于基板上,得到濾色器。本發(fā)明中,形成各色像素的順序并不限于上述。另外,黑底例如使用分散有黑色顏料的用于形成著色層的放射線敏感性組合物,與上述像素的形成的情形同樣地形成。作為形成像素和/或黑底時(shí)使用的基板的材質(zhì),例如有玻璃、硅、聚碳酸酯、聚酯、芳族聚酰胺、聚酰胺酰亞胺、聚酰亞胺等。并且,根據(jù)期望,還可以對這些基板實(shí)施利用硅烷偶聯(lián)劑等進(jìn)行的化學(xué)試劑處理、等離子體處理、離子鍍敷、濺射、氣相反應(yīng)法、真空蒸鍍等適宜的前處理。將放射線敏感性組合物的液態(tài)組合物涂布于基板上時(shí),可采用噴霧法、輥涂法、旋轉(zhuǎn)涂布法(旋涂法)、狹縫噴嘴涂布法、棒涂法、噴墨法等適當(dāng)?shù)耐坎挤椒āL貏e優(yōu)選旋涂法、狹縫噴嘴涂布法。涂布的厚度作為干燥后的膜厚,通常為0.1~10|iim,優(yōu)選0.2-8.0)um,特別優(yōu)選0.26.0iLim。作為形成著色層時(shí)使用的放射線,可使用例如可見光、紫外線、遠(yuǎn)紫外線、電子射線、X射線等,優(yōu)選波長在190~450nm范圍的放射線。放射線的曝光量優(yōu)選為10~10,000J/m2。另外,作為堿性顯影液,優(yōu)選例如碳酸鈉、氫氧化鈉、氫氧化鉀、氫氧化四曱基銨、膽堿、1,8-二氮雜雙環(huán)-[5.4.0]-7-十一碳烯、1,5-二氮雜雙環(huán)_[4.3.0]-5-壬烯等的水溶液。在石咸性顯影液中還可以適量添加例如曱醇、乙醇等水溶性有機(jī)溶劑或表面活性劑等。另外,通常在堿性顯影后進(jìn)行水洗。作為顯影處理方法,可以采用噴淋顯影法、噴霧顯影法、浸漬顯影法、浸置(液洼)顯影法等。顯影條件優(yōu)選在常溫下進(jìn)行5~300秒左右。作為后烘烤中的加熱溫度,以往,可以優(yōu)選采用20025(TC作為的處理溫度,本發(fā)明的用于形成本發(fā)明的著色層的放射線敏感性組合物中,即使在150-200。C左右的處理溫度也可以形成具有充分的諸性能的濾色器。另外,作為加熱時(shí)間,以往一直優(yōu)選采用20~40分鐘左右的處理時(shí)間,在本發(fā)明的用于形成本發(fā)明的著色層的放射線敏感性組合物中,如果是20(TC以上的加熱溫度,10~20分鐘為左右,如果小于200。C的加熱溫度,即使是20-30分鐘左右的處理時(shí)間,也可以形成具有充分的諸性能的濾色器。如此形成的像素的膜厚通常為0.5~5.0ium,優(yōu)選1.5~3.0pm。這樣得到的本發(fā)明的濾色器例如對于透射型或反射型液晶顯示元件、彩色攝像管元件、顏色傳感器等極為有用。液晶顯示元件本發(fā)明的液晶顯示元件具備本發(fā)明的濾色器。本發(fā)明的液晶顯示元件的一個(gè)方案是使用本發(fā)明的用于形成著色層的放射線敏感性組合物,如上所述,在薄膜晶體管基板矩陣上形成像素和/或黑底,從而可以制備具有特別優(yōu)異的特性的液晶顯示元件。實(shí)施例下面,列舉實(shí)施例,進(jìn)一步具體地說明本發(fā)明。但是,本發(fā)明不受下述實(shí)施例的限定。以下"部,,和"%"在沒有特別指示時(shí)為質(zhì)量基準(zhǔn)。下述各合成例中得到的樹脂的Mw和Mn通過如下的凝膠滲透色譜法(GPC)測定。裝置GPC-101(昭和電工(林)制)柱結(jié)合使用GPC-KF-801、GPC-KF-802、GPC-KF-803和GPC畫KF誦804洗脫溶劑含有0.5%磷酸的四氫呋喃本實(shí)施例中使用的分散劑、多官能性單體、光聚合引發(fā)劑和固化劑如下所示。分散劑b國l:、Disperbyk-2001(不揮發(fā)成分=46%,胺價(jià)=29,酸{介=19,匕'、7夕少(一(BYK)社制)b-2:、乂^義一義24000(不揮發(fā)成分=100%,胺價(jià)=42,酸價(jià)=25,/k一:/卩乂"^(抹)社制)b-3:、Disperbyk-192(不揮發(fā)成分=100%,胺價(jià)=0,酸價(jià)=0,tT少夕少;、一(BYK)社制)多官能性單量體d-l:二季戊四醇六丙烯酸酯光聚合引發(fā)劑e-l:2-甲基-1-〔4-(曱硫基)苯基〕-2-嗎啉基丙烷-1-酉同e-2:乙酮,1-〔9-乙基-6-(2-甲基苯甲?;?-911-呻唑-3-基〕-,1-(O-乙?;鶎?e-3:2-節(jié)基-2-二曱基氨基-1-(4-嗎啉基苯基)丁烷-l-酮e-4:2,4-二乙基瘞噸酮e_5:4,4,-雙(二乙基氨基)二苯甲酮固化劑g-l:雙酚A酚醛清漆型環(huán)氧樹脂(商品名157S65,r々Z:x工求^'〉k->(株)制)g-2:偏苯三酸酐g-3:N-(三氟曱磺?;趸?雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亞胺(C)堿溶性樹脂的合成合成例1在具備冷凝管和攪拌機(jī)的燒瓶中加入3份2,2,-偶氮二異丁腈、200份丙二醇單甲基醚乙酸酯,接著加入15份甲基丙烯酸、20份N-苯基馬來酰亞胺、IO份苯乙烯、55份甲基丙烯酸千酯、和5份2,4-二苯基-4-甲基-1-戊烯(日本油脂(林)制商品名乂7T—MSD)作為分子量調(diào)節(jié)劑,氮取代。之后緩慢攪拌,使反應(yīng)溶液的溫度上升至80°C,在該溫度保持5小時(shí)進(jìn)行聚合,由此得到樹脂溶液。將該樹脂作為"堿溶性樹脂(c-l)"。該堿溶性樹脂用凝膠滲透色譜法測定的聚苯乙烯換算的重均分子量為11,000,Mw/Mn為2.6。合成例2在具備冷凝管和攪拌機(jī)的燒瓶中加入3份2,2,-偶氮二異丁腈、200份丙二醇單曱基醚乙酸酯,接著加入15份甲基丙烯酸、85份甲基丙烯酸千酯、和5份2,4-二苯基-4-曱基-l-戊烯(曰本油脂(林)制商品名乂77—MSD)作為分子量調(diào)節(jié)劑,氮取代。之后緩慢攪拌,使反應(yīng)溶液的溫度上升至80°C,在該溫度保持5小時(shí)進(jìn)行聚合,由此得到樹脂溶液。將該樹脂作為"堿溶性樹脂(c-2)"。該堿溶性樹脂用凝膠滲透色鐠法測定的聚苯乙烯換算的重均分子量為13,000,Mw/Mn為2.8。比4支合成例1在具備冷凝管和攪拌機(jī)的燒瓶中加入3份2,2,-偶氮二異丁腈、200份丙二醇單甲基醚乙酸酯,接著加入15份曱基丙烯酸、70份曱基丙烯酸千酯、15份3-(曱基丙烯酰氧基甲基)-3-乙基氧雜環(huán)丁烷、和5份2,4-二苯基-4-曱基-1-戊烯(日本油脂(抹)制商品名乂7T—MSD)作為分子量調(diào)節(jié)劑,氮取代。之后緩慢攪拌,使反應(yīng)溶液的溫度上升至80。C,在該溫度保持5小時(shí)進(jìn)行聚合,由此得到樹脂溶液。將該樹脂作為"堿溶性樹脂(c-3)"。該堿溶性樹脂用凝膠滲透色譜法測定的聚苯乙烯換算的重均分子量為13,000,Mw/Mn為2.7。聚合物(F)的合成合成例3在具備冷凝管和攪拌機(jī)的燒瓶中加入3份2,2,-偶氮二異丁腈、200份丙二醇單曱基醚乙酸酯,接著加入100份3-(甲基丙烯酰氧基曱基)-3-乙基氧雜環(huán)丁烷、和5份2,4-二苯基-4-甲基-l-戊烯(日本油脂(株)制商品名乂7T—MSD)作為分子量調(diào)節(jié)劑,氮取代。之后緩慢攪拌,使反應(yīng)溶液的溫度上升至80°C,在該溫度保持5小時(shí)進(jìn)行聚合,由此得到樹脂溶液。將該樹脂作為"聚合物(f-l)"。該聚合物用凝膠滲透色譜法測定的聚苯乙烯換算的重均分子量為12,000,Mw/Mn為2.9。合成例4在具備冷凝管和攪拌機(jī)的燒瓶中加入3份2,2,-偶氮二異丁腈、200份丙二醇單曱基醚乙酸酯,接著加入100份3-(曱基丙烯酰氧基曱基)-3-乙基氧雜環(huán)丁烷、和7份季戊四醇四(3-巰基丙酸酯)(堺化學(xué)工業(yè)(抹)制商品名PEMP)作為分子量調(diào)節(jié)劑,氮取代。之后緩慢攪拌,使反應(yīng)溶液的溫度上升至80°C,在該溫度保持5小時(shí)進(jìn)行聚合,由此得到樹脂溶液。將該樹脂作為"聚合物(f-2)"。該聚合物用凝膠滲透色譜法測定的聚苯乙烯換算的重均分子量為7,000,Mw/Mn為1.7。合成例5在具備冷凝管和攪拌機(jī)的燒瓶中加入3份4,4,-偶氮二(4-氰基丙酸)、200份丙二醇單甲基醚乙酸酯,接著加入100份3-(甲基丙烯酰氧基曱基)-3-乙基氧雜環(huán)丁烷、和5份2,4-二苯基-4-甲基-l-戊烯(曰本油脂(林)制商品名乂77—MSD)作為分子量調(diào)節(jié)劑,氮取代。之后緩慢攪拌,使反應(yīng)溶液的溫度上升至80°C,在該溫度保持5小時(shí)進(jìn)行聚合,由此得到樹脂溶液。將該樹脂作為"聚合物(f-3),,。該聚合物用凝膠滲透色譜法測定的聚苯乙烯換算的重均分子量為16,000,Mw/Mn為2.8。合成例6在具備冷凝管和攪拌機(jī)的燒瓶中加入3份2,2,-偶氮二異丁腈、200份丙二醇單甲基醚乙酸酯,接著加入100份4-[3-(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基甲氧基)丙氧基]苯乙烯,和5份2,4-二苯基-4-甲基-l-戊烯(曰本油脂(林)制商品名乂77—MSD)作為分子量調(diào)節(jié)劑,氮取代。之后緩慢攪拌,使反應(yīng)溶液的溫度上升至8CTC,在該溫度保持5小時(shí)進(jìn)行聚合,由此得到樹脂溶液。將該樹脂作為"聚合物(f-4)"。該聚合物用凝膠滲透色譜法測定的聚苯乙烯換算的重均分子量為11,000,Mw/Mn為2.6。合成例7在具備冷凝管和攪拌機(jī)的燒瓶中加入3份2,2,-偶氮二異丁腈、200份丙二醇單甲基醚乙酸酯,接著加入95份3-(甲基丙烯酰氧基甲基)-3-乙基氧雜環(huán)丁烷、5份甲基丙烯酸芐酯、和7份季戊四醇四(3-巰基丙酸酯)(堺化學(xué)工業(yè)(株)制商品名PEMP)作為分子量調(diào)節(jié)劑,氮取代。之后緩慢攪拌,使反應(yīng)溶液的溫度上升至80°C,在該溫度保持5小時(shí)進(jìn)行聚合,由此得到樹脂溶液。將該樹脂作為"聚合物(f-5)"。該聚合物用凝膠滲透色譜法測定的聚苯乙烯換算的重均分子量為7,000,Mw/Mn為1.7。合成例8在具備冷凝管和攪拌機(jī)的燒瓶中加入3份2,2,-偶氮二異丁腈、200份丙二醇單甲基醚乙酸酯,接著加入90份3-(甲基丙烯酰氧基甲基)-3-乙基氧雜環(huán)丁烷、IO份曱基丙烯酸千酯、和7份季戊四醇四(3-巰基丙酸酯)(堺化學(xué)工業(yè)(林)制商品名PEMP)作為分子量調(diào)節(jié)劑,氮取代。之后緩慢攪拌,使反應(yīng)溶液的溫度上升至8(TC,在該溫度保持5小時(shí)進(jìn)行聚合,由此得到樹脂溶液。將該樹脂作為"聚合物(f-6)"。該聚合物用凝膠滲透色譜法測定的聚苯乙烯換算的重均分子量為7,000,Mw/Mn為1.7。合成例9在具備冷凝管和攪拌機(jī)的燒瓶中加入3份2,2,-偶氮二異丁腈、200份丙二醇單曱基醚乙酸酯,接著加入80份3-(曱基丙烯酰氧基曱基)-3-乙基氧雜環(huán)丁烷、20份曱基丙烯酸芐酯、和7份季戊四醇四(3-巰基丙酸酯)(堺化學(xué)工業(yè)(抹)制商品名PEMP)作為分子量調(diào)節(jié)劑,氮取代。之后緩慢攪拌,使反應(yīng)溶液的溫度上升至80°C,在該溫度保持5小時(shí)進(jìn)行聚合,由此得到樹脂溶液。將該樹脂作為"聚合物(f-7)"。該聚合物用凝膠滲透色譜法測定的聚苯乙烯換算的重均分子量為7,000,Mw/Mn為1.7。合成例10在具備冷凝管和攪拌機(jī)的燒瓶中加入3份2,2,-偶氮二異丁腈、200份丙二醇單曱基醚乙酸酯,接著加入70份3-(甲基丙烯酰氧基曱基)-3-乙基氧雜環(huán)丁烷、30份曱基丙烯酸芐酯、和7份季戊四醇四(3-巰基丙酸酯)(堺化學(xué)工業(yè)(林)制商品名PEMP)作為分子量調(diào)節(jié)劑,氮取代。之后緩慢攪拌,使反應(yīng)溶液的溫度上升至8(TC,在該溫度保持5小時(shí)進(jìn)行聚合,由此得到樹脂溶液。將該樹脂作為"聚合物(f-8)"。該聚合物用凝膠滲透色譜法測定的聚苯乙烯換算的重均分子量為7,000,Mw/Mn為1.7。比4支合成例2在具備冷凝管和攪拌機(jī)的燒瓶中加入3份2,2,-偶氮二異丁腈、200份丙二醇單曱基醚乙酸酯,接著加入60份3-(曱基丙烯酰氧基曱基)-3-乙基氧雜環(huán)丁烷、40份甲基丙烯酸爺酯、和7份季戊四醇四(3-巰基丙酸酯)(堺化學(xué)工業(yè)(抹)制商品名PEMP)作為分子量調(diào)節(jié)劑,氮取代。之后緩慢攪拌,使反應(yīng)溶液的溫度上升至8(TC,在該溫度保持5小時(shí)進(jìn)行聚合,由此得到樹脂溶液。將該樹脂作為"聚合物(f-9)"。該聚合物用凝膠滲透色鐠法測定的聚苯乙烯換算的重均分子量為7,000,Mw/Mn為1.7。顏料分散液制備制備例1將C丄顏料紅254/C丄顏料紅242/C.I.顏料黃139=45/30/25(質(zhì)量比)混合物20份作為(A)著色劑、5份(以固體成分換算)(b-l)作為分散劑、丙二醇單甲基醚乙酸酯75份作為溶劑通過珠磨機(jī)進(jìn)行處理,制備顏料分散液(R)。制備例2將C.I.顏料綠58/C丄顏料黃150=50/50(質(zhì)量比)混合物20份作為(A)著色劑、5份(以固體成分換算)(b-2)作為分散劑、丙二醇單甲基醚乙酸酯75份作為溶劑通過珠磨機(jī)進(jìn)行處理,制備顏料分散液(S)。制備例3將C.I.顏料綠58/C.I.顏料黃150=50/50(質(zhì)量比)混合物20份作為(A)著色劑、5份(以固體成分換算)(b-3)作為分散劑、丙二醇單曱基醚乙酸酯75份作為溶劑通過珠磨機(jī)進(jìn)行處理,制備顏料分散液(T)。實(shí)施例1混合顏料分散液(R)100份、堿溶性樹脂(c-l)溶液10份(以固體成分換算)、聚合物(f-l)溶液3份(以固體成分換算)、(D)(d-l)17份作為多官能性單體、(E)(e-l)5份和(e-4)3份作為光聚合引發(fā)劑、丙二醇單甲基醚乙酸酯作為溶劑,制備固體成分濃度為25%的液態(tài)組合物(R-l)。對于液態(tài)組合物(R-l),根據(jù)下述的順序形成圖案進(jìn)行評價(jià)。評價(jià)結(jié)果如表3所示。圖案形成將液態(tài)組合物(R-l)用旋涂機(jī)涂布在玻璃基板的表面上后,在90。C下進(jìn)行4分鐘預(yù)烘烤,形成膜厚1.3|Lim的涂膜。之后,將3片該基板冷卻至室溫,對各基板上的涂膜,使用高壓水銀燈,通過光掩模對各基板上的涂膜以2,000J/n^的曝光量進(jìn)行曝光。之后,對各基板上的涂膜,通過23。C的0.04%氫氧化鉀水溶液以1kgf/cn^的顯影壓力(噴嘴直徑1mm)排出而進(jìn)行噴淋顯影后,在220。C或18(TC下進(jìn)行30分鐘后烘烤,形成200x200pm的點(diǎn)圖案。耐溶劑性的評價(jià)分別將3片在220。C或180。C下進(jìn)行30分鐘后烘烤制作的基板,分別在25。C的N-曱基吡咯烷酮(表3和表4中記為"NMP")、18%HC1水溶液(表3和表4中記為"HC1")或5%K0H水溶液(表3和表4中記為"KOH")中分別浸漬30分鐘,將浸漬前后的點(diǎn)圖案用掃描型電子顯微鏡進(jìn)行觀察。然后圖案良好地形成,以浸漬前后的膜厚比(浸漬后的膜厚x100/浸漬前的膜厚)為95%以上的情況評價(jià)為A,浸漬前后的膜厚比小于95%、或確認(rèn)圖案的一部分有缺陷的情況評價(jià)為B、浸漬后的圖案全部從基板剝離的情況評價(jià)為C。密合性的評價(jià)將液態(tài)組合物(R-l)用旋涂機(jī)涂布在玻璃基板的表面上后,在90。C下進(jìn)行4分鐘預(yù)烘烤,形成膜厚1.3pm的涂膜。之后,將該基板冷卻至室溫后,使用高壓水銀燈,對涂膜以2,000J/m2的曝光量進(jìn)行曝光。之后,通過23。C的0.04%氫氧化鉀水溶液以1kgf/cm2的顯影壓力(噴嘴直徑1mm)排出而對涂膜進(jìn)行噴淋顯影后,在18(TC進(jìn)行30分鐘后烘烤。之后,根據(jù)JISK5400標(biāo)準(zhǔn),將涂膜劃格為IOO個(gè)棋盤格,進(jìn)行密合性試驗(yàn)。然后,棋盤格沒有發(fā)生剝離的情況評價(jià)為A,棋盤格中1~10個(gè)剝離的情況評價(jià)為B,棋盤格中超過10個(gè)發(fā)生剝離的情況平均為C。實(shí)施例2~16除了變更為表1所示的配合成分和配合量之外,與實(shí)施例1同樣地制備各液態(tài)組合物(R-2)~(R-16)。然后除了分別使用液態(tài)組合物(R-2)~(R-16)代替液態(tài)組合物(R-l)之外,與實(shí)施例l同樣進(jìn)行評價(jià)。評價(jià)結(jié)果示于表3。比較例1~4除了變更為表1所示的配合成分和配合量之外,與實(shí)施例1同樣地制備液態(tài)組合物(R-17)~(R-20)。然后除了分別使用液態(tài)組合物(R-17)~(R-20)代替液態(tài)組合物(R-l)之外,與實(shí)施例1同樣進(jìn)行評價(jià)。評價(jià)結(jié)果示于表3。表l<table>tableseeoriginaldocumentpage43</column></row><table>實(shí)施例17混合顏料分散液(S)100份、堿溶性樹脂(c-l)溶液12份(以固體成分換算)、聚合物(f-l)溶液3份(以固體成分換算)、(D)(d-l)IO份多官能性單體、(E)(e-3)5份和(e-5)1份作為光聚合引發(fā)劑、丙二醇單曱基醚乙酸酯作為溶劑,制備固體成分濃度為25%的液態(tài)組合物(S-l)。然后,除了使用液態(tài)組合物(S-l)代替液態(tài)組合物(R-l)之外,與實(shí)施例1同樣形成圖案進(jìn)行評價(jià)。評價(jià)結(jié)果如表4所示。實(shí)施例18~32除了變更為表2所示的配合成分和配合量之外,與實(shí)施例17同樣調(diào)制液態(tài)組合物(S-2)~(S-16)然后,除了使用液態(tài)組合物(S-2)~(S-16)代替液態(tài)組合物(R-1)之外,與實(shí)施例l同樣進(jìn)行評價(jià)。評價(jià)結(jié)果如表4所示。比較例5~9除了變更為表2所示的配合成分和配合量之外,與實(shí)施例17同樣調(diào)制液態(tài)組合物(S-17)~(S-20)和(T-l)。然后,除了使用液態(tài)組合物(S-17)~(S-20)、(T-l)代替液態(tài)組合物(R-l)之外,與實(shí)施例1同樣進(jìn)行評價(jià)。評價(jià)結(jié)果如表4所示。<table>tableseeoriginaldocumentpage45</column></row><table>表3<table>tableseeoriginaldocumentpage46</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage47</column></row><table>權(quán)利要求1.用于形成著色層的放射線敏感性組合物,其含有(A)顏料、(B)酸價(jià)和氨價(jià)的至少任意一個(gè)大于0的分散劑、(C)堿溶性樹脂、(D)多官能性單體、(E)光聚合引發(fā)劑、以及(F)具有氧雜環(huán)丁烷基的重復(fù)單元的含量為70質(zhì)量%以上的聚合物。2.權(quán)利要求1所述的用于形成著色層的放射線敏感性組合物,其中,(F)成分的重均分子量(Mw)與數(shù)均分子量(Mn)之比(Mw/Mn)為1.0-2.5。3.權(quán)利要求1所述的用于形成著色層的放射線敏感性組合物,其中,(F)成分是在多元硫醇化合物的存在下進(jìn)行聚合得到的聚合物。4.濾色器,其使用權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的用于形成著色層的放射線敏感性組合物而形成。5.液晶顯示元件,其具備權(quán)利要求4所述的濾色器。全文摘要本發(fā)明涉及用于形成著色層的放射線敏感性組合物、濾色器以及液晶顯示元件。本發(fā)明的用于形成著色層的放射線敏感性組合物,其特征在于,含有(A)顏料、(B)酸價(jià)和氨價(jià)的至少任意一個(gè)大于0的分散劑、(C)堿溶性樹脂、(D)多官能性單體、(E)光聚合引發(fā)劑、以及(F)具有氧雜環(huán)丁烷基的重復(fù)單元的含量為70質(zhì)量%以上的聚合物。由此,本發(fā)明的用于形成著色層的放射線敏感性組合物,即使在小于200℃的后烘烤溫度下,也可以形成對大范圍的溶劑的耐性優(yōu)異、并且與基板的密合性優(yōu)異的像素和黑底。文檔編號G02F1/13GK101414121SQ20081016905公開日2009年4月22日申請日期2008年10月20日優(yōu)先權(quán)日2007年10月19日發(fā)明者依田杏介,森下聰申請人:Jsr株式會(huì)社
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