條斑評價裝置、條斑評價方法、記錄介質和濾色器制造方法

文檔序號：2808864閱讀：114來源：國知局

專利名稱：條斑評價裝置、條斑評價方法、記錄介質和濾色器制造方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種用于根據(jù)評價對象物的圖像數(shù)據(jù)對特定周期的條
斑(uneven streak)出現(xiàn)傾向進行評價的條斑評價裝置。
背景技術：
近年來，諸如電視機、監(jiān)視器等的顯示裝置趨于薄型化和大型化，所以，其需求在不斷增加。與此同時，對顯示裝置的顯示性能提出了更高的要求。
在構成顯示裝置的部件中，用于進行彩色顯示的濾色器是一種決定顯示品質的重要部件。因此，也對濾色器提出了更高的質量要求。
另外，由于濾色器在制造成本中所占的比重較大，因此，也要求提高濾色器的成品率，降低濾色器的單位制造成本。
最近，一種基于噴射方式的濾色器形成方法已經引起人們的關注。根據(jù)這種濾色器形成方法，噴射頭的噴嘴對各像素排出R(紅)、G(綠)、 B (藍)的墨，由此形成濾色器。噴射方式的特征在于，其所需步驟較少，墨的浪費較少等等。因此，能夠縮短處理過程，實現(xiàn)低成本化。
但是，在通過噴射方式形成濾色器的情況下，特別容易發(fā)生條斑。其結果，可能會導致顯示品質惡化或者出現(xiàn)次品。并且，在這種情況下，由于發(fā)生特定周期的條斑，所以，對這種特定周期的條斑進行評價是非常重要的。
例如，在專利文獻1 (日本國專利申請公開公報特開2005-77181 號公報，2005年3月24日公開)中揭示了一種條斑檢測技術。
根據(jù)上述專利文獻1所揭示的條斑檢測技術，分別對攝影圖像的垂直亮度數(shù)據(jù)和水平亮度數(shù)據(jù)進行積算從而得到積算數(shù)據(jù)，通過計算上述積算數(shù)據(jù)的移動平均而求出積算移動平均數(shù)據(jù)，并根據(jù)上述積算數(shù)據(jù)與上述積算移動平均數(shù)據(jù)的差分對周期性的條斑進行檢測。
上述專利文獻1的問題在于，雖然能夠對周期性的條痕狀斑進行檢測，但是，未能對條斑的出現(xiàn)傾向、尤其是預先設定的特定周期的條斑出現(xiàn)傾向進行評價。

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的在于提供一種能夠根據(jù)圖像數(shù)據(jù)適當評價特定周期條斑的出現(xiàn)傾向的條斑評價裝置。
為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的條斑評價裝置的特征在于，具有根據(jù) 圖像數(shù)據(jù)生成評價數(shù)據(jù)的評價數(shù)據(jù)生成部，上述圖像數(shù)據(jù)是通過對顯示構件的被光照射的評價對象面進行拍攝所得到的圖像數(shù)據(jù)，上述評價數(shù) 據(jù)成為評價在上迷評價對象面上發(fā)生的周期性條斑的指標，其中，上迷
評價數(shù)據(jù)生成部包括一維投影處理部，對上述圖像數(shù)據(jù)中包含的光分布信息實施一維投影處理；能譜計算部，根據(jù)由上述一維投影處理部實施一維投影處理后的光分布信息計算出能鐠；積分處理部，根據(jù)上述能鐠計算部計算出的能譜來計算預先設定的周期的區(qū)間積分值；以及噪聲成分清除部，清除上述積分處理部計算出的區(qū)間積分值中含有的噪聲成分。
另外，為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的條斑評價方法是根據(jù)圖像數(shù)據(jù) 對周期性條斑進行評價的方法，其中，上述圖像數(shù)據(jù)是通過對顯示構件的被光照射的評價對象面進行拍攝所得到的圖像數(shù)據(jù)，上述周期性條斑是在上述評價對象面上發(fā)生的條斑，該條斑評價方法的特征在于，包括第一步驟，以包括條斑出現(xiàn)方向的向量在內的方向為投影方向對上述圖像數(shù)據(jù)中包含的光分布信息實施一維投影處理；第二步驟，根據(jù)在上述第一步驟中實施一維投影處理后的光分布信息計算出能譜；第三步驟，根據(jù)在上述第二步驟中計算出的能譜來計算預先設定的周期的區(qū)間積分值；以及第四步驟，清除在上述第三步驟中計算出的區(qū)間積分值中含有的噪聲成分。
根據(jù)上述結構，對圖像數(shù)據(jù)中包含的光分布信息實施一維投影處理，該圖像數(shù)據(jù)是通過對顯示構件的評價對象面進行拍攝所得到的圖像數(shù)據(jù)，由此，可確定在上述評價對象面上發(fā)生的條斑的發(fā)生方向。另外，根據(jù)一維投影處理后的光分布信息計算出能鐠，由此，可表達周期性條斑的發(fā)生強度。進而，根據(jù)所計算出的能i普來計算預先設定的周期的區(qū) 間積分值，由此，可求出特定周期成分的條斑發(fā)生強度的積分值。通過上述，可求出在評價對象面上發(fā)生的特定周期條斑的發(fā)生方向(出現(xiàn)位置)、發(fā)生強度(出現(xiàn)強度)等，所以，能夠對所發(fā)生的特定周期條斑的出現(xiàn)傾向(出現(xiàn)位置、出現(xiàn)強度)進行評價。
并且，清除在上述積分值中含有的噪聲成分，由此，即使在評價對象物中發(fā)生的條斑具有多種不同的周期，也能夠高精度地評價各特定周期條斑的出現(xiàn)傾向。
另外，本發(fā)明可以構成為具備區(qū)域分割部，該區(qū)域分割部將上述圖像數(shù)據(jù)分割成多個分割區(qū)域；上述評價數(shù)據(jù)生成部對上述圖像數(shù)據(jù)經區(qū)域分割后所得到的每一個分割區(qū)域生成評價數(shù)據(jù)。
根據(jù)上述結構，通過對圖像數(shù)據(jù)的每一部分區(qū)域進行評價，可提高圖像數(shù)據(jù)整體的評價精度。例如，在因描畫異常導致發(fā)生條斑時，由于條斑發(fā)生在描畫單元的范圍內，因此，根據(jù)描畫單元的尺寸對圖像數(shù)據(jù) 進行區(qū)域分割，由此可提高圖像數(shù)據(jù)的評價精度。
經上述區(qū)域分割部分割所得到的分割區(qū)域的尺寸并沒有特別限定，根據(jù)條斑在評價對象物的出現(xiàn)傾向對其進行適當?shù)脑O定即可。
在上述情況下，上述區(qū)域分割部可以根據(jù)預先設定的條斑發(fā)生范圍對圖像數(shù)據(jù)進行區(qū)域分割。
另外，本發(fā)明可以構成為上述區(qū)域分割部在對上述圖像數(shù)據(jù)實施區(qū)域分割時使各分割區(qū)域重疊，使得以特定周期發(fā)生的條斑的出現(xiàn)范圍為同一區(qū)域。
如上所述，通過使各分割區(qū)域重疊，能夠無遺漏地對評價對象物的評價區(qū)域進行評價，因此，可提高條斑評價精度。
另外，本發(fā)明可以構成為具有評價值計算部，該評價值計算部根據(jù)上述評價數(shù)據(jù)來計算出用于表示以特定周期發(fā)生的條斑在上述圖像數(shù)據(jù)中的出現(xiàn)位置和出現(xiàn)強度的評價值；上述評價值計算部根據(jù)上述評價數(shù)據(jù)生成部對上述每一個分割區(qū)域生成的評價數(shù)據(jù)來計算出上述評價值。
根據(jù)上述結構，可掌握條斑在圖像數(shù)據(jù)中的出現(xiàn)位置和出現(xiàn)程度。
另外，本發(fā)明可以構成為上述評價值計算部從所得到的評價數(shù)據(jù) 中提取出其方向與條斑出現(xiàn)方向相同的區(qū)域的評價數(shù)據(jù)，并根據(jù)所提取出的評價數(shù)據(jù)來計算出條斑的評價值。
根據(jù)上述結構，能夠高精度地評價在縱向或橫向呈直線狀發(fā)生的條斑。適于評價諸如濾色器等的、易于呈直線狀發(fā)生條斑的器件。
在上述情況下，上述評價值計算部可以計算出所提取的評價數(shù)據(jù)的算術平均值作為條斑的評價值。
另外，上述評價值計算部可以計算出所提取的評價數(shù)據(jù)的切尾平均值作為條斑的評價值。
另外，上述評價值計算部計算出所提取的評價數(shù)據(jù)的中位數(shù)值作為條斑的評價值。
另外，上述評價值計算部計算出所提取的評價數(shù)據(jù)的均方根值作為條斑的評價值。
上述任何一種結構的評價值計算部均能適當?shù)厍蟪鰲l斑的評價值。
但是，優(yōu)選下述評價值計算部，即對實際發(fā)生條斑的部分和未發(fā)生條斑的部分進行評價，并對這兩部分(組)進行計算，使得組內離散與組間離散之比最大。即，上述組內離散與組間離散之比越大，發(fā)生條斑的組和未發(fā)生條斑的組之間的離散度越高，因此，能夠更適當?shù)剡M行條斑評價。
另外，本發(fā)明可以構成為上述一維投影處理部以與條斑出現(xiàn)方向相同的方向為投影方向對上述光分布信息實施一維投影處理。
根據(jù)上述結構，能夠抑制圖像數(shù)據(jù)中所包含的亮度值的偏差，從而可改善信噪比。
另外，本發(fā)明可以構成為上述積分處理部求取區(qū)間積分值的范圍包括評價對象的條斑周期。
另外，本發(fā)明可以構成為上述積分處理部求取區(qū)間積分值的范圍包括具有一定強度的條斑周期。
根據(jù)上述結構，例如，可以實現(xiàn)下述，即在需評價的條斑周期已確定時預先設定區(qū)間積分范圍，根據(jù)能譜的計算結果等對出現(xiàn)強度較大的周期條斑進行評價。
另外，本發(fā)明可以構成為上述積分處理部根據(jù)上述能譜來計算能譜密度，并以預先設定的周期對計算結果實施區(qū)間積分處理從而計算出區(qū)間積分值。
另外，本發(fā)明可以構成為上述積分處理部根據(jù)上述能譜來計算能譜密度，以預先設定的周期對計算結果實施區(qū)間積分處理，并求出上述區(qū)間積分處理所得值的平方根，從而計算出區(qū)間積分值。
根據(jù)上述結構，能夠對評價結果實施定量評價。
另外，本發(fā)明可以構成為由上述噪聲成分清除部所清除的噪聲成分的周期不同于評價對象的條斑周期。
另外，本發(fā)明可以構成為在上述噪聲成分中包括具有一定強度的周期成分。
根據(jù)上述結構，可實現(xiàn)下述評價，即在噪聲的出現(xiàn)周期已確定時預先設定周期區(qū)間，在噪聲的出現(xiàn)周期未確定時，則將圖像數(shù)據(jù)中所包含的、其強度為一定值以上的周期成分評價為噪聲成分。
另外，本發(fā)明可以構成為具有評價值計算部，該評價值計算部根據(jù)上述評價數(shù)據(jù)來計算用于表示以特定周期發(fā)生的條斑在上述圖像數(shù) 據(jù)中的出現(xiàn)位置和出現(xiàn)強度的評價值；上述評價數(shù)據(jù)生成部根據(jù)多個圖像數(shù)據(jù)分別生成評價數(shù)據(jù)，上述多個圖像數(shù)據(jù)是通過從不同方向對同一個顯示構件的評價對象面進行拍攝所得到的圖像數(shù)據(jù)；上述評價值計算部從上述評價數(shù)據(jù)生成部生成的評價數(shù)據(jù)中提取出根據(jù)在噪聲成分影響較小的方向上進行拍攝得到的圖像數(shù)據(jù)所生成的評價數(shù)據(jù)，并根據(jù)上述所提取的評價數(shù)據(jù)來計算出上述評價值。
根據(jù)上述結構，通過采用在噪聲成分較少的方向上拍攝所得到的圖像數(shù)據(jù)的評價結果，可提高評價精度，能夠評價在從多個不同方向進行拍攝所得到的圖像數(shù)據(jù)中哪一個圖像數(shù)據(jù)的條斑出現(xiàn)強度最大。
在上述情況下，優(yōu)選的是，上述多個圖像數(shù)據(jù)的拍攝方向至少包括能夠對條斑特征進行觀察的傾斜方向以及與該傾斜方向相反側的方向。
另外，本發(fā)明可以構成為上述顯示構件是濾色器。
根據(jù)上述結構，能夠高精度地評價特定周期的條斑在濾色器正面上的出現(xiàn)傾向。
另外，為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的濾色器制造方法是利用濾色器制造裝置來制造濾色器的方法，其特征在于包括執(zhí)行上述條斑評價方法的條斑評價步驟，對上述濾色器制造裝置輸出評價值作為反饋信息，該評價值是通過上述條斑評價步驟獲得的、用于表示諸如條斑的出現(xiàn)范圍、出現(xiàn)強度、出現(xiàn)方向等條斑出現(xiàn)傾向的值。
根據(jù)上述結構，特定周期的條斑的出現(xiàn)傾向信息作為反饋信息被輸出到濾色器制造裝置，所以，可恰當?shù)叵跒V色器描畫步驟中發(fā)生的缺陷情形(條斑發(fā)生)。其結果，可提高濾色器的顯示品質。
本發(fā)明的其他目的、特征和優(yōu)點在以下的描述中會變得十分明了。此外，以下參照附圖來明確本發(fā)明的優(yōu)點。

圖1表示本發(fā)明的實施方式，是表示評價裝置的要部結構的框圖。
圖2是表示其中采用了圖1所示的評價裝置的特定周期條斑評價系
統(tǒng)的概略的框圖。
圖3是表示作為評價對象物的濾色器的制造步驟的圖。
圖4表示利用圖2所示的特定周期條斑評價系統(tǒng)的照相機來拍攝濾
色器所得到的圖像。
圖5是表示根據(jù)由圖4的圖像得到的二維亮度分布信息進行一維投
影處理的結果的圖表。
圖6是表示對圖5所示的圖表數(shù)據(jù)進行傅立葉變換的結果的圖表。圖7是表示由圖1所示的評價裝置執(zhí)行的特定周期條斑評價處理的
流程圖。
圖8是表示噪聲強度計算示例的圖。
圖9是表示根據(jù)圖8所示的噪聲強度確定條斑發(fā)生部位的方法的一個示例的圖。
圖10是表示從兩個方向拍攝作為評價對象物的濾色器基板時的評價示例的圖。
圖11是表示圖2所示的特定周期條斑評價系統(tǒng)的具體處理的流程圖。
圖12是表示從條斑周期1的圖像中除去噪聲的處理示例的圖。圖13是表示從條斑周期2的圖像中除去噪聲的處理示例的圖。圖14是表示從混雜了條斑周期1和條斑周期2的圖像中除去噪聲的處理示例的圖。
圖15是表示濾色器基板的制造步驟的流程圖。
具體實施例方式
下面，說明本發(fā)明的實施方式。
另外，本申請發(fā)明中的顯示構件是指，在視頻顯示裝置中所使用的
透光和/或反光的構件。
在本實施方式中，以噴射方式形成的濾色器為例說明顯示構件。在下述說明中，濾色器是指，使特定波長的光透過從而使顯示裝置
進行色彩顯示的濾色器。并且，假定濾色器是通過噴射方式在形成有黑
矩陣的玻璃基板上排出液狀材料所形成的濾色器。另外，形成有黑矩陣和濾色器的玻璃基板被稱為濾色器基板。
圖2是表示特定周期條斑評價系統(tǒng)300的概略結構的框圖，其中，特定周期條斑評價系統(tǒng)300具備本發(fā)明的評價裝置。
如圖2所示，特定周期條斑評價系統(tǒng)300對濾色器基板330的正面 (濾色器形成面)所發(fā)生的特定周期的條斑進行評價，濾色器基板330 為評價對象物。特定周期條斑評價系統(tǒng)300包括照明裝置(照射裝置) 310a、 310b,對濾色器基板330的正面實施光照射；照相機(檢測裝置) 320a、 320b，對來自濾色器基板330的正面的反射光進行拍攝；以及栽臺340，用于載置濾色器基板330。
即，在上述結構的特定周期條斑評價系統(tǒng)300中，多個照相機(在本實施方式中為兩個)320a、 320b從不同角度朝向作為評價對象物的濾色器基板330。照相機320a、 320b所拍攝到的圖像數(shù)據(jù)被暫時保存于數(shù) 據(jù)保持裝置400中。評價裝置IOO根據(jù)需要來取得由數(shù)據(jù)保持裝置400 保存的圖像數(shù)據(jù)。由此，評價裝置IOO對所取得的圖像數(shù)據(jù)實施諸如投影處理等的各種處理，并進行評價。上述評價結果由結果輸出裝置500 進行顯示。
上述照相機320a、 320b包括有輸出部，該輸出部向評4介裝置100 輸出經拍攝得到的圖像。上述照相機320a、 320b輸出的信息是其中包含有上述濾色器基板330正面的亮度分布信息的圖像信息。亮度分布信息是表示濾色器基板330的預定區(qū)域單位、例如像素單位的亮度值分布狀態(tài)的信息。
另外，相對于中心線O傾斜地配置上述照相機320a、 320b，上述中心線O垂直于作為評價對象物的上述濾色器基板330的正面并通過該正面的大致中央位置，上述照相才幾320a、 320b分別與中心線O形成等角。與上述照相機320a、 320b同樣地，相對于上述中心線0傾凍+地配置上述照明裝置310a、 310b,上述中心線0垂直于上述濾色器基板330 的正面并通過該正面的大致中央位置，上述照明裝置310a、 310b分別與中心線O形成等角。由此，可由同一個評價對象物、即，濾色器基板 330得到兩種從相反角度拍攝的圖像。關于這一點，詳見后述。
由上述評價裝置100評價的信息被作為特定周期條斑評價值輸出至結果輸出裝置500，上述特定周期條斑評價值表示特定周期的條斑出現(xiàn)傾向評價。另外，關于評價裝置ioo和特定周期，詳見后述。
上述結果輸出裝置500輸出諸如經圖表化后得到的數(shù)據(jù)作為結果數(shù) 據(jù)，操作員可根據(jù)這些數(shù)據(jù)來確認所輸入的特定周期條斑評價值。關于輸出結果，詳見后述。
上述評價裝置100連接數(shù)據(jù)保持裝置400。照相機320a、 320b對濾色器基板330進行拍攝所得到的圖像數(shù)據(jù)被保存在上述數(shù)據(jù)保持裝置 400中，另外，通過上述評價裝置100所得到的評價值(詳見后述)等的各種數(shù)據(jù)被保存在上述數(shù)據(jù)保持裝置400中。
以下，對濾色器基板330的形成方法進行說明。
圖3表示濾色器基板330的制造步驟(制造方法)中的一部分步驟，表示基于噴射法排出濾色器液狀材料的排出步驟。噴頭單元230在掃描方向(圖中，垂直于紙面向里或者向外的方向)上，相對于已形成有黑矩陣210的玻璃基板220進行移動，噴嘴240沿掃描方向依次對玻璃基板220上的黑矩陣210之間的部分排出液狀材料。在完成掃描方向的排出后，噴頭單元230在垂直于掃描方向的方向(圖中，左右方向)上移動預定距離，然后，再次沿掃描方向(圖中，垂直于紙面向里或者向外的方向)進行移動，噴嘴240沿掃描方向依次排出液狀材料。這樣，通過反復進行噴頭單元230的上述動作，從而在濾色器基板330上形成濾色器。
這時，由于某種原因，噴頭單元230的各噴頭240的液狀材料排出量可能出現(xiàn)差異。在這種情況下，濾色器就會以噴嘴間的間隔發(fā)生條斑。
另外，由于某種原因，噴頭單元230的某個噴頭出現(xiàn)阻塞時，濾色器就會以噴頭單元230的間隔發(fā)生條斑。具體而言，在掃描方向上，以噴頭單元230在垂直于掃描方向的方向上配置的噴嘴240的數(shù)量為單位 (例如，根據(jù)圖2，以三個噴嘴240為單位)發(fā)生條斑。
如上所述，在用噴射法制造濾色器基板330時，由于各種原因發(fā)生其周期各不相同的條斑(特定周期條斑)。
利用圖2所示的拍攝裝置、即，照相機320a和320b，能夠清楚地發(fā)現(xiàn)上述條斑。
圖4是表示由上述照相機320a、 320b對濾色器基板330進行拍攝所得到的二維圖像的一個示例的圖。在圖4中，表示了在使用上述噴頭單元230時所發(fā)生的條斑，在拍攝到的圖像中，平行于條斑方向的方向
為Y方向，垂直于條斑方向的方向為X方向。其中，條斑是指，在濾色器基板330的濾色器形成面上因膜厚差異而被識別為多個條痕狀的光斑。所以，條斑方向是指所形成的條痕的長度方向。
在本申請發(fā)明中，評價裝置IOO根據(jù)二維亮度分布信息(光分布信息)來評價在濾色器中以特定周期發(fā)生的條斑，其中，該二維亮度分布信息是由對濾色器基板330進行拍攝得到的二維圖像中提取出的信息，所述濾色器形成于上述濾色器基板330的正面。上述評價的信息包括與條斑發(fā)生強度、發(fā)生方向有關的信息。用戶可根據(jù)上述評價來了解在濾色器基板330的正面上特定周期的條斑的發(fā)生傾向。
在本申請發(fā)明中，上述特定周期條斑評價系統(tǒng)300所具備的評價裝置IOO提供用于根據(jù)二維亮度分布信息(光分布信息)來評價在濾色器中以特定周期發(fā)生的條斑的信息，其中，該二維亮度分布信息是由對濾色器基板330進行拍攝得到的二維圖像中提取出的信息，濾色器基板 330作為評價對象物，所述濾色器形成于上述濾色器基板330的正面。
圖1是表示上述評價裝置100的概略結構的框圖。
如上所述，評價裝置IOO具有這樣的功能，即，向結果輸出裝置500 輸出根據(jù)圖像信息來評價特定周期條斑所得到的評價值作為條斑評價的信息，其中，上述圖像信息是上述特定周期條斑評價系統(tǒng)300所具備的照相機320a、 320b通過拍攝所得到的圖像信息。
如圖1所示，上述評價裝置100包括區(qū)域分割部110、評價數(shù)據(jù)生成部120、評價值計算部130。
具體而言，在上述評價裝置100中，區(qū)域分割部110或評價數(shù)據(jù)生成部120根據(jù)未圖示的CPU的命令從數(shù)據(jù)保持裝置400或照相機320a、 320b取得上述圖像信息。
上述區(qū)域分割部110將所取得的圖像數(shù)據(jù)分割為預先設定了大小的區(qū)域，并按照分割單位向后一級、即，評價數(shù)據(jù)生成部120輸出上述圖像數(shù)據(jù)。
一般而言，關于由評價對象物得到的光分布信息在一維投影方向上的區(qū)域范圍，當上述區(qū)域較短時噪聲變大，當上述區(qū)域較長時所需信息容易被隱埋而漏掉。所以，例如將長度設定為512像素(pix)。另夕卜，關于與一維投影方向垂直的方向上的區(qū)域范圍，將其設定為預測將發(fā)生條斑的范圍。如上所述地設定分割區(qū)域中一維投影方向上的長度以及與
一維投影方向垂直的方向上的長度。另外，根據(jù)濾色器的描畫方法、描畫噴頭單元的尺寸等來推測上述預測將發(fā)生條斑的范圍。
上述區(qū)域分割部uo在對圖像數(shù)據(jù)進行區(qū)域分割時，可將各分割區(qū)
域重疊，使得以特定周期發(fā)生的條斑的出現(xiàn)范圍為同一區(qū)域。這樣，通過重疊各分割區(qū)域，能夠無遺漏地對評價對象物的評價區(qū)域進行評價，因此，可提高條斑評價的精度。
上述評價數(shù)據(jù)生成部120包括一維投影處理部121、能鐠計算部
122、積分處理部123和噪聲成分清除部124。上述一維投影處理部121將所輸入的圖像數(shù)據(jù)中包含的二維亮度分
布信息變換為一維亮度分布信息。關于上述一維投影處理部121的一維投影處理，詳見后述。然后，上述一維投影處理部121將一維投影處理的結果輸出到下一級、即，能譜計算部122。
能譜計算部122對所輸入的一維亮度分布信息進行傅立葉變換，分析一維亮度分布信息的周期性從而計算出能譜。關于上述能譜計算部 122的周期分析處理，詳見后述。然后，能鐠計算部122將傅立葉變換后的一維亮度分布信息與周期分析結果輸出到下一級、即，積分處理部
123。
上述積分處理部123以預先設定的區(qū)間對所輸入的經傅立葉變換后的一維亮度分布信息進行積分處理，然后，將積分處理后的一維亮度分布信息輸出到下一級、即，噪聲成分清除部124。
上述噪聲成分清除部124根據(jù)所輸入的區(qū)間積分值來確定噪聲成分的區(qū)間積分值，并從特定周期的條斑的區(qū)間積分值中減去已確定的噪聲成分的區(qū)間積分值，從而生成特定周期的條斑的評價數(shù)據(jù)。所生成的評價數(shù)據(jù)暫時保存在上述數(shù)椐保持裝置400中，或者，被直接輸出到下一級、即，評價值計算部130。
上述評價值計算部130根據(jù)上述評價數(shù)據(jù)進行運算并求出特定周期條斑的評價值，其中，上述評價數(shù)據(jù)是從上述噪聲成分清除部124輸入的評價數(shù)據(jù)或者保存在上述數(shù)據(jù)保持裝置400中的評價數(shù)據(jù)，上述特定周期條斑是發(fā)生在作為評價對象物的濾色器基板330的濾色器上的條斑。關于上述運算，詳見后述。
之后，上述評價值計算部130將上述運算結果作為特定周期條斑的評價值輸出到下一級、即，結果輸出裝置500。
上述結果輸出裝置500利用易于被人識別的形式輸出上述所輸入的評價值，例如，將上述所輸入的評價值進行圖表化后進行輸出。操作人員根據(jù)上述輸出結果，對濾色器基板330的正面上所形成的濾色器的周期性條斑進行評價。所以，關于上述結果輸出裝置500輸出的結果，只要是操作人員能夠判斷的形式，其可以是任何形式。
以下，詳細說明上述特定周期條斑評價系統(tǒng)300關于條斑有無周期性的判斷，另外，詳細說明對特定周期條斑的評價。
關于入射至上述特定周期條斑評價系統(tǒng)300的照相機320a、 320b 的反射光，在濾色器基板330的像素的厚度較其他區(qū)域相對較厚的部分，反射光量較多，在濾色器基板330的像素的厚度較其他區(qū)域相對較薄的部分，反射光量較少。上述反射光量的差被識別為光斑。
另外，基于上述原因，一般情況下，噴射法引起的膜厚差大多在噴頭單元230的掃描方向的一列上發(fā)生。在一列上發(fā)生膜厚差時，可在照相機(檢測裝置)320拍攝到的圖像數(shù)據(jù)中觀察到條斑。
另外，如上所述，基于人眼的視覺特性關系，在濾色器基板330上發(fā)生的條斑中，周期性發(fā)生的條斑比較顯著。所以，判斷是否存在周期性發(fā)生的條斑，對提高顯示品質來說是很重要的。
以下，說明由上述結構的評價裝置IOO執(zhí)行的用于判斷條斑是否具有周期性的處理。具體而言，對條斑是否具有周期性的判斷是由評價裝置100中的一維投影處理部121和能語計算部122來執(zhí)行的。另外，評價裝置100中的積分處理部123和噪聲成分清除部124對特定周期的條斑進行評價。
首先，說明一維投影處理部121的一維投影處理。圖4是表示由作為攝像裝置的照相機320a、 320b拍攝的圖像的一個示例的圖。另外，一維投影處理部121以包括條斑出現(xiàn)方向的向量方向作為投影方向對上述照相機320a、 320b拍攝到的圖像數(shù)據(jù)(例如，圖4)中所包含的光分布信息實施一維投影處理。其中，投影方向成為沿上述條斑方向對亮度值進行加法運算的方向(實施一維投影處理的方向)。在本實施方式中，如圖4所示，在拍攝到的圖像中，以平行于條斑方向的Y方向為投影方向。
因此，在本實施方式的一維投影處理中，以上述任意的方向為Y方向，對圖4所示的圖像在Y方向上進行亮度值平均化處理，從而將二維
亮度分布信息變換為一維亮度分布信息。
在本實施方式中，Pxy表示所拍攝的圖像的亮度分布信息，x、 y分別是X方向、Y方向的坐標值。由此，根據(jù)下述式(1)進行運算，可得到一維亮度分布信息。
<formula>formula see original document page 17</formula>
其中，N是Y方向上的數(shù)據(jù)的個數(shù)。
圖5是表示由式(1)求得的一維亮度分布信息的圖表?？v軸表示亮度值，橫軸表示X坐標的位置。另外，橫軸的單位為像素(pix)。
上述所求得的一維亮度分布信息經過下一級、即，能語計算部122 進行傅立葉變換。
另外，在本實施方式中，作為一維投影處理的一個示例，采用了求
取亮度值的平均值的方法。但是，如果能夠將二維數(shù)據(jù)變換成一維數(shù)據(jù)，則本發(fā)明并不限于上述。例如，可以采用在Y方向上求取亮度值的積分的方法，也可以采用在Y方向上加權并相加的方法。接著，說明能譜計算部122的周期分析處理。上述能譜計算部122利用下述式(2)進行傅立葉變換處理。
冬二i;尸,讚 …(2)
通過上述式(2)進行傅立葉變換處理，可求出頻率分布。再通過計算頻率的倒數(shù)得到周期，從而可導出周期的函數(shù)。
圖6是表示直接對圖5所示的圖表數(shù)據(jù)進行傅立葉變換后的結果的圖表，其中，圖5所示的圖表數(shù)據(jù)是由一維投影處理部121進行一維投影處理所得到的數(shù)據(jù)。在圖6中，縱軸表示頻鐠的強度，橫軸表示周期的對數(shù)，該周期是通過將頻率進行倒數(shù)變換后得到的。另外，周期的單位為<象素(pix)。
在上述圖表中，存在可觀察到有明顯的頻語的部分A (T2像素周期的條斑所引起的頻鐠)，由此可知發(fā)生了周期性的條斑。這樣，通過進行傅立葉變換，可得到用于表示在濾色器基板330發(fā)生的條斑是否有
周期性的數(shù)據(jù)(光斑周期信息)。
在本實施方式中，上述光斑周期信息以能夠由操作人員通過結果輸
出裝置500識別的圖表等形式進行輸出。由此，操作人員能夠判斷條斑是否具有周期性。
另外，也可以根據(jù)光斑周期信息中包含的頻譜與周期的關系來自動判斷，以取代上述操作人員的目測判斷條斑是否有周期性。
例如，關于條斑是否有周期性的判斷、即，是否有明顯的頻譜的判斷，可通過讀出預先保存的判斷基準信息并將其與檢測到的頻譜進行比較，從而自動判斷條斑是否有周期性。上述判斷基準信息預先登錄在判斷基準數(shù)據(jù)庫中。例如，可以將上述判斷基準數(shù)據(jù)庫設置在特定周期條斑評價系統(tǒng)300的結果輸出裝置500內，也可以另行設置。
具體而言，有這樣一種方法，即例如，取得圖6的移動平均，將移動平均值的近似數(shù)值范圍(例如，以移動平均值的1.2倍為上限值，且以移動平均值的0.8倍為下限值的范圍)作為上述判斷基準信息，并判斷是否出現(xiàn)有脫離上述范圍的頻譜值，從而自動判斷條斑是否有周期性。另外，也可以通過其他各種方法進行上述關于條斑是否有周期性的判斷。
如上所述，由于發(fā)生原因的不同，從而發(fā)生具有各種周期的條斑。因此，可預先將其中含有預測條斑寬度及周期的信息與條斑發(fā)生原因相關聯(lián)地登錄在上述判斷基準數(shù)據(jù)庫中，并通過對所檢測出的條斑周期信息中包含的條斑寬度、周期與所登錄的信息進行比較來確定條斑的發(fā)生原因。
例如，作為被登錄在上述判斷基準數(shù)據(jù)庫中的信息，采用近似數(shù)值范圍，該近似數(shù)值范圍包括與條斑發(fā)生原因相關聯(lián)的條斑周期及該周期的近似值在內。對光斑周期信息中含有的周期依次進行確認，確認其相
的近似數(shù)i范"內，然后根據(jù)其是否被包含^所^^錄的周期的近似i值范圍內來進行判斷。如果判斷出在已登錄的某周期的近似數(shù)值范圍內含
有所;險測到的光斑周期信息中的條斑周期，就能夠確定導致發(fā)生上迷周期條斑的原因。
在本發(fā)明中，之所以將周期設定為某近似數(shù)值范圍，是因為噴頭單元的位置偏差及其他原因可能引起誤差的緣故，從而在考慮到上述誤差
的情況下設定上述近似數(shù)值范圍。例如，可根據(jù)噴頭、噴嘴、掃描載臺等構件的尺寸誤差值和/或動作誤差值、經驗值等來決定上述近似數(shù)值范圍。另外，還可以將與條斑寬度有關的信息追加登錄在判斷基準數(shù)據(jù)庫中進行判斷。
如上所述，通過對條斑的周期性進行判斷，能夠將該判斷結果反饋到生產工序中。
另外，在T2像素附近發(fā)生明顯的條斑，由此可知條斑的周期為T2 像素左右。這樣，通過傅立葉變換，還可求出條斑的周期。
如上所述，關于條斑周期性的判斷結果可被反饋到生產工序中，因此，可在一定程度上提高生產率(成品率)。
但是，僅檢測周期性的條斑，并不足以提高生產率。也就是說，即使檢測出具有周期性的條斑，但如果不能確定所檢測出的條斑的強度和發(fā)生方向，也不能適當?shù)卣{節(jié)用以制造濾色器的噴頭單元。
因此，在檢測到具有周期性的條斑時，特別在檢測到特定周期的條斑時，求出評價值，并利用所求出的評價值，與特定周期的條斑相應地對噴頭進行適當?shù)恼{節(jié)，其中，上述評價值成為用于表示上述特定周期的條斑的發(fā)生強度、發(fā)生方向等的指標。其結果，可提高濾色器的生產率。
以下，it明條斑評價方法，即，條斑評價值的求取方法。所謂條斑評價，就是確定條斑的發(fā)生強度(亮度強度)和發(fā)生位置。圖7是表示由圖1所示的評價裝置100執(zhí)行的評價處理的流程圖。首先，區(qū)域分割部U0對評價圖像進行區(qū)域分割(步驟S1)。其中，評價圖像是通過拍攝作為評價對象物的濾色器基板330的正面所得到的圖像。另外，例如，如圖8(a)所示，所述區(qū)域分割可將一個圖像數(shù)據(jù) 分割為12個區(qū)域。通過區(qū)域分割所得的區(qū)域的尺寸被預先設定。
也可以省略上述步驟S1。即，也可以直接進行一維投影處理而無需對評價圖像進行分割。但是，通過步驟Sl對評價圖像進行分割，不但能夠對圖像進行整體評價，還可對每一個區(qū)域進行評價。
接著，評價數(shù)據(jù)生成部120內的一維投影處理部121對圖像數(shù)據(jù)的每一個分割區(qū)域實施一維投影處理(步驟S2)。例如，如圖8 (a)所示，區(qū)域R是圖像數(shù)據(jù)的一個分割區(qū)域，在對區(qū)域R實施一維投影處理后，例如，可得到圖8 (b)所示的圖表，其中，橫軸表示像素位置，縱軸表示亮度值。具體而言，上述圖表成為如上述圖5所示的圖表。
如上述步驟S2所示，對評價圖像實施一維投影處理，由此，能夠改善信噪比。即，能夠明確地區(qū)分噪聲成分和信號成分(條斑)。
接著，評價數(shù)據(jù)生成部120內的能譜計算部122根據(jù)上述通過一維投影處理所得到的圖像數(shù)據(jù)進行頻譜推定(步驟S3 )。所謂頻譜推定是指，對上述通過一維投影處理所得到的圖像數(shù)據(jù)進行周期分析，從而得到能鐠，例如，參見圖8 (c)所示的圖表。在該圖表中，與圖8 (b) 同樣地，橫軸表示像素位置，縱軸表示頻譜的強度。
接著，評價數(shù)據(jù)生成部120內的積分處理部123進行區(qū)間積分(步驟S4)。如圖8(c)的圖表所示，分別對對象條斑的周期a (預先指定的條斑周期)的周期附近和噪聲的周期b(噪聲成分周期)的周期附近進行區(qū)間積分。
接著，上述積分處理部123計算出各周期的區(qū)間積分值(步驟S5)。其中，對對象條斑的周期a的周期附近進行區(qū)間積分所得的區(qū)間積分值為A,對噪聲的周期b的周期附近進行區(qū)間積分所得的區(qū)間積分值為B, 積分處理部123將所得的上述區(qū)間積分值輸出到后一級、即，噪聲成分清除部124。，
接著，上述噪聲成分清除部124清除噪聲成分(步驟S6)。其中，對象條斑的周期a的區(qū)間積分值為A，噪聲的周期b的區(qū)間積分值為B, 根據(jù)下述式(3),清除噪聲成分，從而得到區(qū)域R的強度。
區(qū)域R的強度-f (A) -K>f (B) ... (3)
其中，K是任意的系數(shù)。
根據(jù)上述式(3),計算出用于表示評價圖像的分割區(qū)域的強度、即，條斑的出現(xiàn)強度的值。如圖9(a)所示，對每一個分割區(qū)域求出表示上述強度的值作為評價數(shù)據(jù)。
上述噪聲成分清除部124將上述評價數(shù)據(jù)輸出到下一級、即，評價值計算部130，或者，輸出到輸出保持裝置400。
接著，評價值計算部130進行評價值計算(步驟S7)。如圖9 (a) 所示，分別求出第l列分割區(qū)域、第2列分割區(qū)域、第3列分割區(qū)域的評價數(shù)據(jù)的平均值，并分別將所求出的上述平均值作為相應列的代表
值。將上述代表值作為特定周期條斑評價值輸出到后一級、即，結果輸
出裝置500。
作為上述代表值的取得方法，除上述求取列方向的評價數(shù)據(jù)的平均值的方法之外，還可以利用算術平均、切尾平均、中位數(shù)、均方根(RMS: Root Mean Square)等方法。例如，當條斑在縱向連續(xù)發(fā)生的情況下，通過統(tǒng)計評價結果(評價數(shù)據(jù))，能夠提高條斑評價的信噪比。即，能夠提高條斑評價的精度。
根據(jù)所輸入的特定周期條斑評價值，上述結果輸出裝置500輸出用于表示如圖9 (b)所示那樣在圖像的中央部分發(fā)生了條斑的數(shù)據(jù)。如上所述，如果用戶能夠確定條斑在圖像中的發(fā)生位置和發(fā)生強度，無需對上述輸出數(shù)據(jù)做出任何限制。
上述對使用了一臺用于拍攝評價對象物的照相機的情況進行說明。但是，由于上述結構的特定周期條斑評價系統(tǒng)300具有兩臺照相機，所以，以下，對使用兩臺照相機的情況進行說明。
在圖2所示的特定周期條斑評價系統(tǒng)300中，照相機320a、 320b 可從不同角度對同一個評價對象物進行拍攝。相對于中心線O傾斜地配置上述照相機320a、 320b,上述中心線O垂直于上述作為評價對象物的濾色器基板330的正面并通過該正面的大致中央位置，上述照相機 320a、 320b分別與中心線O形成等角。另外，與上述照相機320a、 320b 同樣地，相對于上述中心線O傾斜地配置上述照明裝置310a、 310b，
央位置，上述照明裝置310a、 310b分別與中心線O形成等角。
另外，關于上述照相機的拍攝角度，如果能夠獲得同一個評價對象物的不同角度的拍攝圖像，就可任意變更上述拍攝角度。優(yōu)選的拍攝角度是能夠使兩臺照相機拍攝到的圖像中所含的噪聲成分的大小各不相同的角度。如上所述，通過調整照相機的拍攝角度以使得噪聲成分的大小各不相同，從而能夠非常精確地確定評價對象物的評價面上發(fā)生的噪聲成分，所以，其結果，能夠對特定周期的條斑進行適當?shù)脑u價。
例如，如圖10(a)所示，兩臺照相機(照相機l、照相機2)對作為評價對象物的基板進行拍攝，從而得到圖10 (b)所示的兩種圖像、即，圖像1和圖像2。通過統(tǒng)計上述兩種圖像、即，圖像1和圖像2，得到評價結果。其中，圖像1和圖像2所含的噪聲成分的大小各不相同。
如上所述，通過由不同角度對同一個評價對象物進行拍攝，可得到所含噪聲成分的大小各不相同的圖像。由此，在兩個圖像的同一區(qū)域中，利用從噪聲成分較小的方向所取得的結果進行評價，從而可實現(xiàn)更高精度的評價。
關于這一點，參照圖1、圖2和圖11進行詳細說明。
圖11表示在特定周期條斑評價系統(tǒng)300中，使用兩臺照相機時的具體處理示例。圖像數(shù)據(jù)1是通過照相機320a進行拍攝而得到的圖像數(shù)據(jù)，圖像數(shù)據(jù)2是通過照相機320b進行拍攝而得到的圖像數(shù)據(jù)。
上述通過照相機進行拍攝而得到的圖像數(shù)據(jù)被輸入評價裝置100，然后，執(zhí)行下述的處理。在本實施方式中，通過照相機320a進行拍攝而得到的圖像數(shù)據(jù)為圖像數(shù)據(jù)1，通過照相機320b進行拍攝而得到的圖像數(shù)據(jù)為圖像數(shù)據(jù)2。
首先，在區(qū)域分割部110中，對已輸入評價裝置100的圖像數(shù)據(jù)1
進行區(qū)域分割。圖像數(shù)據(jù)1被分割為圖像數(shù)據(jù)A、圖像數(shù)據(jù)B.......。
這樣，通過對圖像數(shù)據(jù)進行分割，能夠提高特定周期條斑的評價精度。分別對圖像數(shù)據(jù)A、圖像數(shù)據(jù)B.......執(zhí)行下述處理。
接著，評價數(shù)據(jù)生成部120內的一維投影處理部121對區(qū)域分割后的圖像數(shù)據(jù)進行一維投影處理，從而得到一維亮度值數(shù)據(jù)。這樣，通過將圖像數(shù)據(jù)變換為一維亮度值數(shù)據(jù)，可抑制圖像數(shù)據(jù)中包含的亮度值的偏差，從而可提高信噪比。另外，通過將圖像數(shù)據(jù)變換為一維亮度值數(shù) 據(jù)，可提高之后的數(shù)據(jù)計算速度。
接著，能譜計算部122對一維亮度值數(shù)據(jù)進行傅立葉變換(周期分析)。然后，根據(jù)傅立葉變換結果計算出能鐠和能譜密度。由此，能夠顯示各頻率成分的出現(xiàn)強度。
接著，積分處理部123以預先設定的評價對象的條斑周期區(qū)間對能譜計算部122計算出的能譜密度進行區(qū)間積分處理，從而計算出區(qū)間積分值。由此，能夠對發(fā)生在條斑周期區(qū)間的條斑的強度進行評價。另外，也可根據(jù)頻鐠推定結果來設定條斑周期。例如，根據(jù)頻鐠推定結果，對最大強度的頻語周期附近進行區(qū)間設定，由此，能夠評價在圖像數(shù)據(jù)中出現(xiàn)的條斑的周期和強度。另外，在計算區(qū)間積分值時，還可以采用區(qū) 間積分結果的平方根。
接著，與評價對象的條斑周期的區(qū)間積分值同樣地，以預先設定的
噪聲周期區(qū)間對能譜密度進行區(qū)間積分處理，從而計算出特定區(qū)間積分值。由此，能夠對發(fā)生在噪聲周期區(qū)間的噪聲的強度進行評價。另外，也可根據(jù)頻鐠推定結果設定噪聲周期。例如'，根據(jù)頻鐠推定結果，將其強度在某個一定閾值以上的周期區(qū)間設定為噪聲成分，由此，能夠評價在圖像數(shù)據(jù)中出現(xiàn)的噪聲的周期和強度。另外，在計算區(qū)間積分值時，還可以采用區(qū)間積分結果的平方根。
接著，噪聲成分清除部124利用噪聲成分的區(qū)間積分值，從條斑周期成分的區(qū)間積分值中清除噪聲，從而計算出評價值?？紤]到噪聲成分對條斑周期成分的區(qū)間積分值帶來的影響，例如，設條斑周期成分的區(qū) 間積分值為A、噪聲成分的區(qū)間積分值為N，則可由下述式(4)計算出評價值(評價數(shù)據(jù))S。
S=A-K x N ( K是常數(shù)) ...(4)
如上所迷，由評價數(shù)據(jù)生成部120生成評價值S。
接著，評價值計算部130對所計算出的圖像數(shù)據(jù)A、圖像數(shù)據(jù)B.......
的評價值S進行統(tǒng)計處理。由此，能夠對整體圖像數(shù)據(jù)中的條斑出現(xiàn)傾向進行評價。例如，通過統(tǒng)計經區(qū)域分割后的圖像數(shù)椐的評價值中的、縱向區(qū)域的評價值，能夠提高在縱向呈直線狀發(fā)生條斑時的評價精度。在對濾色器基板等進行評價時，由于條斑呈直線狀發(fā)生的傾向性較強，所以，縱向統(tǒng)計評價結果是非常有效的。同樣，也可橫向統(tǒng)計評價結果。其中，在某一個方向已確定時，將垂直于上迷已確定方向的方向作為另一個方向，從而確定縱向、橫向即可。另外，只要進行統(tǒng)計的方向為條斑出3見的方向即可。
如上所述，對圖像數(shù)據(jù)1實施了條斑評價。同樣地，對圖像數(shù)據(jù)2 也實施與圖像數(shù)據(jù)l相同的處理來進行評價。
然后，統(tǒng)計上述所得到的圖像數(shù)據(jù)1的評價值和圖像數(shù)據(jù)2的評價值，從而得到評價對象物的特定周期條斑的評價值。
如上所述，利用相同方式對從多個方向拍攝同一個評價對象物所得到的數(shù)據(jù)進行評價值的計算，由此，通過采用噪聲成分較少的方向的評價值，可提高評價精度。例如，在由多個圖像數(shù)據(jù)分別計算評價值時，利用噪聲成分的特征量。通過計算出其噪聲成分的特征量為較小值的圖
像數(shù)據(jù)的評價值，可提高評價精度。
在評價對象物中包含有不同周期的條斑時，如果適當?shù)厍宄肼暢?分，就能夠高精度地評價各周期的條斑。
以下，說明由噪聲成分清除部124實施的噪聲成分清除處理。圖12至圖14表示噪聲成分清除方法的具體示例。首先，對圖12 (a)所示的條斑周期1的圖像進行頻譜推定(圖12 (b))。這時，如圖12 (c)所示，能夠不受噪聲影響地求出條斑周期 1的成分的區(qū)間積分值S。另外，如圖12(b)所示，出現(xiàn)了與條斑周期不同的低周期(高頻率)成分。
接著，對圖13 (a)所示的條斑周期2的圖像進行頻譜推定(圖13 (b))。這時，如圖13(c)所示，除了條斑周期2的成分的區(qū)間積分值N之外，還在條斑周期1的周期計算出區(qū)間積分值N'。在這種情況下，可用某常數(shù)K，通過N'-KN來表示。
如圖14(a)所示，在圖像中混雜有周期1和周期2的條斑，對該圖像進行頻鐠推定(圖14 (b))。這時，如圖14 (c)所示，周期1 的條斑為評價對象的條斑，周期2的條斑為噪聲成分，根據(jù)頻譜分布計算出周期1成分的區(qū)間積分值A,由于區(qū)間積分值A中含有周期1的條斑的區(qū)間積分值S和周期2的條斑的區(qū)間積分值的低周期成分N'，因此，區(qū)間積分值A以下述式(5)進行表示。所以，根據(jù)下述式(6), 計算出周期1的條斑的區(qū)間積分值S，從而能夠計算出已清除噪聲的區(qū) 間積分值。
<formula>formula see original document page 24</formula> (5)
<formula>formula see original document page 24</formula> (6)
如上所述，一般情況下，在噴射方式中，可觀察到其周期由于條斑發(fā)生原因不同而各異的條斑。
所以，如果能夠判斷出條斑是否具有周期性并且求出條斑周期，那么，就可了解到條斑的發(fā)生原因，并將其反饋給濾色器生產工序。
在上述情況下，判斷結果包括下述信息即可，即，用于表示條斑是否具有周期性的光斑周期信息以及用于確定上述條斑的發(fā)生原因的信
息、例如，上述特定周期條斑的評價值(發(fā)生強度、發(fā)生方向)。
以下，說明對濾色器基板330的生產工序(制造工序)反饋濾色器基板330上的濾色器的光斑周期信息時的具體示例。
另外，在下述說明中，在濾色器基板330的連貫的制造工序中包括用于執(zhí)行上述濾色器條斑的評價方法的步驟(以下，稱之為條斑評價步驟)。例如，在圖15所示的濾色器基板的制造工序(步驟S11 S14) 中，上述條斑評價步驟被包括在濾色器測試步驟S12中。另外，在以濾色器測試步驟S12為基準時，步驟SU為前步驟，步驟S13為后續(xù)步驟。
如圖15所示，上述步驟Sll包括黑矩陣制造步驟和濾色器制造步驟。
在上述黑矩陣制造步驟中，通過旋轉涂敷法在玻璃基板上涂布其中分散有碳微粒的液狀負型丙烯酸類感光樹脂，然后，進行干燥處理，從而形成黑色感光樹脂層。接著，利用光學掩膜對上述黑色感光樹脂層進行曝光，然后，進行顯影處理，從而形成黑矩陣(BM)。例如，如圖3 所示，在玻璃基板220上形成黑矩陣210。此時，形成黑矩陣210,以形成在后續(xù)的濾色器制造步驟所使用的開口部、即，用于接受由噴頭單元230的各噴嘴240排出的墨的開口部(相當于各色的濾色器)。
在上述濾色器制造步驟中，如上所述，噴頭單元230相對于上述形成有黑矩陣210的玻璃基板220在掃描方向(如圖3中，垂直于紙面向里或者向外的方向)上移動，由此，噴嘴240沿掃描方向依次對玻璃基板220上黑矩陣210之間的部分排出液狀材料，從而在玻璃基板220上形成濾色器。另外，也可以通過噴墨或者輥轉印等方式來形成黑矩陣 210。此外，還可根據(jù)需要實施表面加工處理。
在完成上述步驟Sll(前步驟)后，執(zhí)行濾色器測試步驟(步驟S12 )。在濾色器測試步驟中，檢測出濾色器的光斑周期信息，并根據(jù)檢測結果對濾色器的優(yōu)劣進行判斷。
其中，在上述光斑周期信息中，除用于表示條斑有無周期性的信息和用于確定條斑發(fā)生原因的信息之外，還至少包括用于表示諸如條斑的出現(xiàn)范圍、強度、方向等條斑出現(xiàn)傾向信息的條斑評價值。
例如，在生產濾色器的裝置(濾色器制造裝置)中，當通過上述濾色器測試步驟所獲得的光斑周期信息中包含有用于表示條斑具有周期性的信息時，對上述光斑周期信息所包含的信息和預先生成并保存的測試基準信息進行比較，并根據(jù)其比較結果變更對被測試制品、即，濾色器的處理(包括測試步驟及其后續(xù)處理)。另外，上述測試基準信息可以被登錄在上述判斷基準數(shù)椐庫中，也可以被登錄在其他的數(shù)據(jù)庫中。只要是濾色器制造裝置可讀入的數(shù)據(jù)庫，則可以根據(jù)需要將上述測試基準信息登錄在任意的數(shù)據(jù)庫中。
變更對濾色器的處理是指，例如，根據(jù)預先生成并保存的被測試物處理變更信息，廢棄其上形成有被判斷出光斑周期信息所包含的頻譜值
大于或等于測試基準信息所包含的笫一預定值的濾色器的濾色器基板，或向返工步驟輸送其上形成有被判斷出光斑周期信息所包含的頻鐠值大于或等于第二預定值且小于上述第一預定值的濾色器的濾色器基板。另外，將其上形成有被判斷出光斑周期信息所包含的頻譜值小于上述第二預定值的濾色器的濾色器基板判斷為良品，并將其輸送給測試步驟之后的制造步驟。
上述被輸送給返工步驟的濾色器是被判斷為處于可修復狀態(tài)的濾色器，與返工信息一起輸送給返工步驟，其中，返工信息包括在濾色器測試步驟中得到的異常部分的位置信息等。在返工步驟中經返工修理后的濾色器再次被輸送給測試步驟接受測試。另外，上述返工步驟被包括
在濾色器基板制造步驟Sll的黑矩陣制造步驟或濾色器制造步驟中。在
返工步驟中，包括只對異常部分進行修復(局部修復)的情況，也包括對濾色器基板進行整體修復的情況，另外，包括只對濾色器進行修復的情況，也包括修復黑矩陣和濾色器的情況等。
在步驟S12、即濾色器測試步驟中，在判斷為需要進行廢棄處理或返工處理時的頻語值等被反饋給前步驟Sll。在被反饋給濾色器制造步驟時，在濾色器制造步驟中，根據(jù)反饋的頻鐠值和上述判斷基準數(shù)據(jù)庫，進行濾色器制造步驟的制造條件的變更(例如，排墨量的調整、噴頭單元移動速度的變更等)，制造濾色器。另外，在步驟S12、即濾色器測試步驟中，在判斷出因黑矩陣的寬度不適當而導致發(fā)生了光斑時，指示在黑矩陣制造步驟中變更黑矩陣的制造條件(例如，調整用于形成黑矩
陣的光學掩膜的形成位置)。然后，在黑矩陣制造步驟中，根據(jù)所指示的內容來變更制造條件，制造黑矩陣?？稍诤诰仃囍圃觳襟E中根據(jù)頻譜值和上述判斷基準數(shù)據(jù)庫等來決定變更制造條件，也可以在濾色器測試步驟中根據(jù)頻語值和上述判斷基準數(shù)據(jù)庫等來決定變更制造條件，并指
示在黑矩陣制造步驟中變更制造條件。
其上形成有已完成上述測試并被判斷為良品的濾色器的濾色器基
板被輸送給后續(xù)步驟(步驟S13)。另外，即使在被判斷為良品的情況下，如果處于良品的臨界值附近，那么，也可以指示變更制造條件，以使得可按照已考慮了濾色器測試結果的制造條件來執(zhí)行后續(xù)步驟。
在步驟S13中，通過濺射形成由ITO等透明電極構成的對置電極，然后，涂布丙烯酸類感光類樹脂，利用光學掩膜進行曝光，經顯影、固化后形成例如用于規(guī)定液晶面板的液晶盒厚的柱狀襯墊微粒(未圖示)。
通過上述，形成濾色器基板330。
如上所述，根據(jù)在濾色器測試步驟中得到的測試結果即光斑周期信息，可對測試后的濾色器實施基于測試結果的處理。因此，能夠提高最后得到的濾色器的良品率。
并且，即使在條斑具有周期性的情況下，也能根據(jù)條斑的發(fā)生程度 (頻傳值的大小)來判斷是否可修復，所以，發(fā)生了周期性條斑的濾色器不會被全部判斷為劣品，而只是將其中發(fā)生了不可修復的條斑的濾色器判斷為劣品并廢棄之。由此，可消除不必要的廢棄處理，從而可提高濾色器的成品率以及降低生產成本。
通過上述，可在整體上縮短濾色器的制造時間。
關于被測試制品(評價對象物)即濾色器的處理變更，可對單個濾色器實施，也可對所屬批次的所有濾色器實施，也可對同一型號的所有濾色器實施。
對于被判斷為劣品的濾色器，可在濾色器基板的預定位置或者濾色器的異常發(fā)生區(qū)域作出標記等。
在這種情況下，在制造步驟中不對被判斷為劣品的濾色器進行廢棄處理，操作人員在確定劣品發(fā)生原因時可利用之。
另外，在測試值數(shù)據(jù)庫等(例如，測試裝置的數(shù)據(jù)庫)中保存通過
測試步驟所得到的多個濾色器(或者，濾色器內的多個部位)的測試值，如果符合在判斷基準數(shù)據(jù)庫中預先登錄的測試基準信息所記栽的條件，
可以變更所記載的制造步驟以及制造步驟條件。
例如，對滿足下述條件的濾色器的連續(xù)個數(shù)或者發(fā)生頻度進行計數(shù)，即，其光斑周期信息中包含的頻鐠值大于或等于某基準值(上迷第一預定值或第二預定值)。當超過預定的濾色器個數(shù)或發(fā)生頻度時，就
向導致發(fā)生缺陷的步驟之前的制造步驟反饋上述情況，并變更制造方法。
作為制造方法的變更，例如，可以考慮下述變更制造裝置的制造條件，或者，確認是否需要維護上述制造裝置，或者，停止制造裝置，或者，清潔或更換導致發(fā)生缺陷的部件。
另夕卜，還可以向測試步驟之后的制造步驟傳送測試值，變更制造方法。
例如，對于測試值(頻語值)大于或等于某基準值的、其個數(shù)在預定數(shù)量以上的濾色器所屬批次中的濾色器，可根據(jù)制造步驟變更信息來變更后續(xù)制造步驟的制造條件，以使得最大測試值變小，例如，使得最終亮度值處在最終測試基準范圍內。
在本實施方式中，采用了傅立葉變換處理作為周期分析處理的一個示例，但本發(fā)明并不限于此，只要是能夠確認是否具有周期性的處理即可。
另外，在本實施方式中，對顯示構件的正面實施光照射并根據(jù)反射光分布進行分析，但本發(fā)明并不限于此，也可以根椐透射光分布進行分析。
根據(jù)透射光分布進行分析時，所采用的圖像處理步驟可以與根據(jù)反射光分布進行分析時的圖像處理步驟相同。
例如，可以考慮下述對顯示構件(濾色器)的背面實施光照射，使光透射顯示構件的正面、即濾色器形成面從而得到透射光分布，根據(jù) 透射光分布進行周期分析。
在上述情況下，在未形成濾色器的一側(顯示構件的背面?zhèn)?配置照明裝置，在形成濾色器的一側(顯示構件的正面?zhèn)?配置照相機。照相機的配置角度優(yōu)選的是，易于使濾色器形成面出現(xiàn)光斑的角度。例如，與反射的情況同樣地，較之于直線透射的透射光，更優(yōu)選下述，即入射光對基板的入射角度不同于透射光對基板的出射角度。具體而言，例如，照明裝置被配置在基板的法線方向上，照相機被配置在偏離基板的法線方向的方向上，或者，照明裝置被配置在偏離基板的法線方向的方向上，照相機被配置在基板的法線方向的方向上或偏離直線透射的透射光方向的方向上。
在本實施方式中，直接對一維投影處理后的數(shù)據(jù)實施周期分析處
理。也可以在實施周期分析處理之前進行濾波處理(形態(tài)學處理)。
另外，上迷濾波處理是指下述處理，即對于將光分布信息(亮度分布信息)進行一維投影處理后所得到的信息，對一定周期幅度的凸凹實施去除或抑制處理。
本發(fā)明并不限于上述具體實施方式
，可在權利要求的范圍內進行各種變更。即，通過適當組合各實施方式揭示的技術方式所得到的實施方式也包括在本發(fā)明的技術范圍內。
最后，評價裝置100的各塊、特別是一維投影處理部121、能鐠計算部122、積分處理部123和噪聲成分清除部124可以由硬件邏輯構成，也可以如下所述利用CPU并借助于軟件來實現(xiàn)。
即，評價裝置100具有執(zhí)行用以實現(xiàn)各功能的控制程序命令的 CPU (中央處理器)、存儲上述程序的ROM (只讀存儲器)、展開上述程序的RAM (隨機存取存儲器)、存儲上述程序及各種數(shù)據(jù)的存儲器等的存儲裝置(記錄介質)等。另外，向上述評價裝置100提供記錄介質，該記錄介質記錄有可由計算機讀取的并用于實現(xiàn)上迷功能的軟件，由其計算機(或CPU、 MPU)讀出并執(zhí)行記錄介質中記錄的軟件，這樣也能夠實現(xiàn)本發(fā)明的目的，其中，上迷記錄介質所記錄的軟件為上述評價裝置100的控制程序的程序代碼(執(zhí)行形式程序、中間代碼程序、源程序)。
作為上述記錄介質，例如，可以是磁帶、盒式帶等的帶類、包括軟盤、硬盤等磁盤以及CD-ROM、 MO、 MD、 DVD、 CD-R等光盤的盤類、 IC卡(包括存儲卡)、光卡等的卡類或掩膜型ROM、 EPROM、 EEPROM、閃存ROM等的半導體存儲器類。
另外，評價裝置100可以連接通信網(wǎng)絡，借助于通信網(wǎng)絡供給上述程序代碼。作為上述通信網(wǎng)絡，并沒有特別的限制，例如，可利用互聯(lián) 網(wǎng)、內聯(lián)網(wǎng)、外聯(lián)網(wǎng)、LAN、 ISDN、 VAN、 CATV通信網(wǎng)、虛擬專用網(wǎng) 絡(virtual private network)、電話回線網(wǎng)絡、移動通信網(wǎng)絡、衛(wèi)星通信網(wǎng)絡等。另外，作為構成通信網(wǎng)絡的傳送介質，并沒有特別的限制，例如，可以利用IEEE1394、 USB、電力線、電纜電視回線、電話線、ADSL 回線等的有線通信，也可以利用諸如IrDA或遙控器等的紅外線、 Bluetooth (注冊商標)、802.11無線通信、HDR、《更攜式電話網(wǎng)絡、衛(wèi) 星回線、地面數(shù)字廣播網(wǎng)絡(terrestrial digital net)等的無線通信。另夕卜，
即使是通過電子傳送而實現(xiàn)了上述程序代碼的、載置于載波的計算機數(shù) 字信號的形態(tài)，也可以實現(xiàn)本發(fā)明。
以上，對本發(fā)明進行了詳細的說明，上述具體實施方式
或實施例僅僅是揭示本發(fā)明的技術內容的示例，本發(fā)明并不限于上述具體示例，不應對本發(fā)明進行狹義的解釋，可在本發(fā)明的精神和權利要求的范圍內進行各種變更來實施之。
權利要求
1.一種條斑評價裝置，其特征在于，具有根據(jù)圖像數(shù)據(jù)來生成評價數(shù)據(jù)的評價數(shù)據(jù)生成部，上述圖像數(shù)據(jù)是通過對顯示構件的被光照射的評價對象面進行拍攝所得到的圖像數(shù)據(jù)，上述評價數(shù)據(jù)成為評價在上述評價對象面上發(fā)生的周期性條斑的指標，其中，上述評價數(shù)據(jù)生成部包括一維投影處理部，對上述圖像數(shù)據(jù)中包含的光分布信息實施一維投影處理；能譜計算部，根據(jù)由上述一維投影處理部實施一維投影處理后的光分布信息來計算出能譜；積分處理部，根據(jù)上述能譜計算部計算出的能譜來計算預先設定的周期的區(qū)間積分值；以及噪聲成分清除部，清除上述積分處理部計算出的區(qū)間積分值中含有的噪聲成分。
2. 根據(jù)權利要求1所迷的條斑評價裝置，其特征在于具備區(qū)域分割部，該區(qū)域分割部將上述圖像數(shù)據(jù)分割成多個分割區(qū)域；上述評價數(shù)據(jù)生成部對上述圖像數(shù)據(jù)經區(qū)域分割后所得到的每一個分割區(qū)域生成評價數(shù)據(jù)。
3. 根據(jù)權利要求2所述的條斑評價裝置，其特征在于上述區(qū)域分割部根據(jù)預先設定的條斑的發(fā)生范圍對上述圖像數(shù)據(jù) 實施區(qū)域分割。
4. 根據(jù)權利要求2所述的條斑評價裝置，其特征在于上述區(qū)域分割部在對上述圖像數(shù)據(jù)實施區(qū)域分割時使各分割區(qū)域重疊，使得以特定周期發(fā)生的條斑的出現(xiàn)范圍為同一區(qū)域。
5. 根據(jù)權利要求2至4中的任意一項所述的條斑評價裝置，其特征在于具有評價值計算部，該評價值計算部根據(jù)上述評價數(shù)據(jù)來計算出用于表示以特定周期發(fā)生的條斑在上述圖像數(shù)據(jù)中的出現(xiàn)位置和出現(xiàn)強度的評價值；上述評價值計算部根據(jù)上述評價數(shù)據(jù)生成部對上述每一個分割區(qū) 域生成的評價數(shù)據(jù)來計算出上述評價值。
6. 根據(jù)權利要求5所述的條斑評價裝置，其特征在于上述評價值計算部從所得到的評價數(shù)據(jù)中提取出其方向與條斑出現(xiàn)方向相同的區(qū)域的評價數(shù)據(jù)，并根據(jù)所提取出的評價數(shù)據(jù)計算出條斑的評價值。
7. 根據(jù)權利要求6所述的條斑評價裝置，其特征在于上述評價值計算部計算出所提取的評價數(shù)據(jù)的算術平均值作為條斑的評價值。
8. 根據(jù)權利要求6所述的條斑評價裝置，其特征在于上述評價值計算部計算出所提取的評價數(shù)據(jù)的切尾平均值作為條斑的評價值。
9. 根據(jù)權利要求6所述的條斑評價裝置，其特征在于上述評價值計算部計算出所提取的評價數(shù)據(jù)的中位數(shù)值作為條斑的評價值。
10. 根據(jù)權利要求6所迷的條斑評價裝置，其特征在于上述評價值計算部計算出所提取的評價數(shù)據(jù)的均方根值作為條斑的評價值。
11. 根據(jù)權利要求1所述的條斑評價裝置，其特征在于上述一維投影處理部以與條斑出現(xiàn)方向相同的方向為投影方向對上述光分布信息實施一維投影處理。
12. 根據(jù)權利要求l所述的條斑評價裝置，其特征在于上述積分處理部求取區(qū)間積分值的范圍包括評價對象的條斑周期。
13. 根據(jù)權利要求1所述的條斑評價裝置，其特征在于上述積分處理部求取區(qū)間積分值的范圍包括具有一定強度的條斑周期。
14. 根據(jù)權利要求1所述的條斑評價裝置，其特征在于上述積分處理部根據(jù)上迷能譜計算出能語密度，并以預先設定的周期對計算結果實施區(qū)間積分處理，從而計算出區(qū)間積分值。
15. 根據(jù)權利要求1所述的條斑評價裝置，其特征在于上述積分處理部根據(jù)上述能語計算出能譜密度，以預先設定的周期對計算結果實施區(qū)間積分處理，并對上述區(qū)間積分處理所得值進行平方根，從而計算出區(qū)間積分值。
16. 根據(jù)權利要求1所述的條斑評價裝置，其特征在于通過上述噪聲成分清除部所清除的噪聲成分的周期不同于評價對象的條斑周期。
17. 根據(jù)權利要求16所述的條斑評價裝置，其特征在于在上述噪聲成分中包括具有一定強度的周期成分。
18. 根據(jù)權利要求1所述的條斑評價裝置，其特征在于具有評價值計算部，該評價值計算部根據(jù)上述評價數(shù)據(jù)來計算用于表示以特定周期發(fā)生的條斑在上述圖像數(shù)據(jù)中的出現(xiàn)位置和出現(xiàn)強度的評價值；上述評價數(shù)據(jù)生成部根據(jù)多個圖像數(shù)據(jù)分別生成評價數(shù)據(jù)，上述多個圖像數(shù)據(jù)是通過從不同方向對同一個顯示構件的評價對象面進行拍攝所得到的圖像數(shù)據(jù)；上述評價值計算部從上述評價數(shù)據(jù)生成部生成的評價數(shù)據(jù)中提取出根據(jù)在噪聲成分影響較小的方向上進行拍攝得到的圖像數(shù)據(jù)所生成的評價數(shù)據(jù)，并根據(jù)上述所提取的評價數(shù)據(jù)計算出上述評價值。
19. 根椐權利要求18所述的條斑評價裝置，其特征在于上述多個圖像數(shù)據(jù)的拍攝方向至少包括能夠對條斑特征進行觀察的傾斜方向以及與該傾斜方向相反側的方向。
20. 根據(jù)權利要求1至19中的任意一項所述的條斑評價裝置，其特征在于上述顯示構件是濾色器。
21. —種條斑評價方法，根據(jù)圖像數(shù)據(jù)對周期性條斑進行評價，其中，上述圖像數(shù)據(jù)是通過對顯示構件的被光照射的評價對象面進行拍攝所得到的圖像數(shù)據(jù)，上述周期性條斑是在上述評價對象面上發(fā)生的條斑，該條斑評價方法的特征在于，包括第一步驟，以包括條斑出現(xiàn)方向的向量在內的方向為投影方向，對上迷圖像數(shù)據(jù)中包含的光分布信息實施一維投影處理；第二步驟，根據(jù)在上述第一步驟中實施一維投影處理后的光分布信息來計算出能譜；第三步驟，根據(jù)在上述第二步驟中計算出的能鐠來計算預先設定的周期的區(qū)間積分值；以及第四步驟，清除在上述第三步驟中計算出的區(qū)間積分值中含有的噪聲成分。
22. —種計算機可讀取的記錄介質，記錄有使計算機作為條斑評價裝置的各部發(fā)揮作用的控制程序，其中，上述條斑評價裝置具有根據(jù)圖像數(shù)據(jù)來生成評價數(shù)據(jù)的評價數(shù)據(jù)生成部，上述圖像數(shù)據(jù)是通過對顯示構件的被光照射的評價對象面進行拍攝所得到的圖像數(shù)據(jù)，上述評價數(shù) 據(jù)成為評價在上述評價對象面上發(fā)生的周期性條斑的指標，上述評價數(shù) 據(jù)生成部包括一維投影處理部，對上述圖像數(shù)據(jù)中包含的光分布信息實施一維投影處理；能譜計算部，根椐由上述一維投影處理部實施一維投影處理后的光分布信息計算出能譜；積分處理部，根據(jù)上述能譜計算部計算出的能鐠來計算預先設定的周期的區(qū)間積分值；以及噪聲成分清除部，清除上述積分處理部計算出的區(qū)間積分值中含有的噪聲成分。
23. —種濾色器制造方法，利用濾色器制造裝置來制造濾色器，其特征在于包括執(zhí)行條斑評價方法的條斑評價步驟，上述條斑評價方法是根據(jù) 圖像數(shù)據(jù)對周期性條斑進行評價的方法，其中，上述圖像數(shù)據(jù)是通過對顯示構件的被光照射的評價對象面進行拍攝所得到的圖像數(shù)據(jù)，上述周期性條斑是在上述評價對象面上發(fā)生的條斑，上述條斑評價方法包括第一步驟、第二步驟、第三步驟和第四步驟，在第一步驟中以包括條斑出現(xiàn)方向的向量在內的方向為投影方向對上述圖像數(shù)據(jù)中包含的光分布信息實施一維投影處理，在第二步驟中根據(jù)在上述笫一步驟中實施一維投影處理后的光分布信息計算出能譜，在第三步驟中根據(jù)在上述第二步驟中計算出的能語來計算預先設定的周期的區(qū)間積分值，在第四步驟中清除在上述第三步驟中計算出的區(qū)間積分值中含有的噪聲成分；對上述濾色器制造裝置輸出通過上述條斑評價步驟獲得的用于表示條斑出現(xiàn)傾向的評價值作為反饋信息。
全文摘要
本發(fā)明涉及條斑評價裝置、條斑評價方法、記錄介質和濾色器制造方法。該條斑評價裝置具有根據(jù)圖像數(shù)據(jù)生成評價數(shù)據(jù)的評價數(shù)據(jù)生成部，上述圖像數(shù)據(jù)是通過對濾色器的被光照射的評價對象面進行拍攝所得到的圖像數(shù)據(jù)，上述評價數(shù)據(jù)成為評價在上述評價對象面上發(fā)生的周期性條斑的指標。上述評價數(shù)據(jù)生成部包括一維投影處理部，對光分布信息實施一維投影處理；能譜計算部，根據(jù)上述一維投影處理部處理后的光分布信息計算出能譜；積分處理部，根據(jù)上述能譜計算部計算出的能譜來計算預先設定的周期的區(qū)間積分值；和噪聲成分清除部，清除上述積分處理部計算出的區(qū)間積分值中含有的噪聲成分。由此，能夠根據(jù)圖像數(shù)據(jù)適當?shù)卦u價特定周期條斑的出現(xiàn)傾向。
文檔編號G02F1/1335GK101373232SQ20081013119
公開日2009年2月25日申請日期2008年7月30日優(yōu)先權日2007年7月31日
發(fā)明者山田榮二, 村上豪申請人:夏普株式會社

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