專利名稱：液狀體噴出方法、配線襯底、濾色器及有機(jī)el發(fā)光元件的制法的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及含有功能性材料的液狀體的噴出方法、配線襯底的制造方法、濾色器 的制造方法、有機(jī)EL發(fā)光元件的制造方法。
背景技術(shù)：
作為含有功能性材料的液狀體的噴出方法，已知在襯底上形成所期望的膜圖形的 方法(專利文獻(xiàn)1)。該膜圖形形成方法，包括檢測(cè)工序和控制處理工序，檢測(cè)工序在所期望 的膜圖形的形成之前從液滴噴頭噴出功能性材料的液滴并檢測(cè)其噴落狀態(tài)，控制處理工序 根據(jù)由檢測(cè)工序檢測(cè)的液滴噴落狀態(tài)來(lái)檢測(cè)液滴噴頭的各噴嘴的噴出特性，根據(jù)該噴出特 性作成控制液滴噴頭的噴出的控制信號(hào)。另外，還具備根據(jù)所述控制信號(hào)控制液滴噴頭的 噴出并形成所述所期望的膜圖形的膜圖形形成處理。并且，在所述檢測(cè)工序中，向載置所述 襯底的載物臺(tái)上供給所述液滴所含有的溶劑或分散劑、或它們的蒸氣。因而，在載物臺(tái)上預(yù) 先存在溶劑或分散劑、或它們的蒸氣，因此，能夠抑制從用于檢查而噴落的液滴中蒸發(fā)必要 以上的溶劑或分散劑從而導(dǎo)致噴落狀態(tài)變化的情況。從而，能夠更準(zhǔn)確地檢測(cè)噴落狀態(tài)，根 據(jù)該噴落狀態(tài)檢測(cè)液滴噴頭的各噴頭的噴出特性，因此，能夠在控制處理工序中生成適當(dāng) 的控制信號(hào)，在膜圖形形成處理中形成高精度的膜圖形。
專利文獻(xiàn)1 :特開(kāi)2006-15243號(hào)公報(bào) 所述膜圖形形成方法中，作為液滴噴頭的各噴嘴的噴出特性，以液滴的噴落位置 和噴落直徑為著眼點(diǎn)。不過(guò)，沒(méi)有明確公布根據(jù)被檢測(cè)的噴落位置和噴落直徑如何生成驅(qū) 動(dòng)液滴噴頭的控制信號(hào)。特別是當(dāng)由于飛行彎曲而使噴落位置偏離時(shí)，由于飛行彎曲產(chǎn)生 的噴落位置偏離的方向不一定為一定，在如何解決這個(gè)問(wèn)題方面仍是不明確的。
另外，在這種所謂的液滴噴出法(噴墨方式)中，作為產(chǎn)生飛行彎曲的原因，認(rèn)為 是由于例如噴嘴的局部堵塞、在噴嘴的開(kāi)口部周邊附著液狀體和異物等造成的影響。從而， 為了預(yù)防飛行彎曲，而進(jìn)行吸引去除噴嘴內(nèi)的異物和液狀體(加蓋)、或者擦拭形成有噴嘴 的噴嘴板表面并清除異物(擦去)等使液滴噴頭恢復(fù)的恢復(fù)動(dòng)作(再生動(dòng)作)。不過(guò)，即使 進(jìn)行這種恢復(fù)動(dòng)作也還是存在不能完全清除原因、有可能產(chǎn)生飛行彎曲這樣的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明正是考慮所述問(wèn)題而產(chǎn)生的，其目的在于提供能夠驅(qū)動(dòng)控制噴頭、使液滴 高精度噴落的液狀體的噴出方法、適用了該液狀體的噴出方法的配線襯底的制造方法、濾 色器的制造方法、有機(jī)EL發(fā)光元件的制造方法。 本發(fā)明的液狀體的噴出方法，其使具有多個(gè)噴嘴的噴頭和襯底對(duì)置配置，與使所 述噴頭和所述襯底相對(duì)移動(dòng)的主掃描同步，在所述襯底上作為液滴噴出含有功能性材料的 液狀體，所述液狀體的噴出方法的特征在于，具備噴出工序，所述噴出工序根據(jù)從多個(gè)噴嘴 噴出的液滴的噴落位置信息，使多個(gè)噴嘴中規(guī)定的噴嘴改變噴出定時(shí)而進(jìn)行噴出。
根據(jù)該方法，在噴出工序中，根據(jù)從多個(gè)噴嘴噴出的液滴的噴落位置信息，使多個(gè)
噴嘴中規(guī)定的噴嘴改變噴出定時(shí)而進(jìn)行噴出。從而，根據(jù)所述噴落位置信息，特定需要修正
噴落位置的規(guī)定噴嘴，使其他噴嘴改變噴出定時(shí)，從而，能夠使液滴高精度噴落。 再有，其特征在于，還具備驅(qū)動(dòng)所述噴頭，取得從多個(gè)噴嘴噴出的液滴的噴落位置
信息的工序。根據(jù)該方法，由于具備取得所述噴落位置信息的工序，因此，能夠取得最新的
噴落位置信息，將其反映給噴出工序。 其特征在于，還具備配置圖形生成工序，配置圖形生成工序相對(duì)于通過(guò)所述主掃 描在襯底上配置液滴的第一配置圖形，生成根據(jù)噴落位置信息在主掃描的方向上對(duì)飛行彎 曲進(jìn)行了修正的第二配置圖形，噴出工序中，根據(jù)第二配置圖形，使產(chǎn)生了飛行彎曲的噴嘴 改變噴出定時(shí)而噴出液滴。 根據(jù)該方法，在噴出工序中，根據(jù)在配置圖形生成工序中修正的第二配置圖形，使 產(chǎn)生了飛行彎曲的噴嘴改變噴出定時(shí)進(jìn)行噴出。從而，預(yù)先考慮液滴相對(duì)于襯底的濡濕性 等物性和具有噴頭的液滴噴出裝置的描繪精度等而作成第一配置圖形，與之相對(duì)，如果生 成修正了飛行彎曲的第二配置圖形，則能夠至少在主掃描方向上高精度地控制液滴的噴落 位置。 優(yōu)選，所述配置圖形生成工序中，第二配置圖形在主掃描中的往動(dòng)和復(fù)動(dòng)中分開(kāi) 生成，飛行彎曲在主掃描方向上的修正在往動(dòng)和復(fù)動(dòng)中以不同方式進(jìn)行。根據(jù)該方法，考慮 由于主掃描的往動(dòng)和復(fù)動(dòng)而產(chǎn)生的噴落位置的變動(dòng)，生成第二配置圖形，因此，能夠更高精 度地控制液滴的噴落位置。 另外，其特征在于，所述飛行彎曲在主掃描方向上的噴出定時(shí)的修正，按照向襯底 噴出液滴的噴出分辨率的單位進(jìn)行。根據(jù)該方法，噴出定時(shí)的修正按照噴出分辨率的單位 進(jìn)行，因此，能夠高精細(xì)地進(jìn)行噴出控制。 另外，所述飛行彎曲在主掃描方向上的噴出定時(shí)的修正，也可以按照使襯底沿主 掃描的方向移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)的移動(dòng)分辨率的單位進(jìn)行。根據(jù)該方法，噴出定時(shí)的修正按照 移動(dòng)分辨率的單位進(jìn)行，因此，能夠高精細(xì)地進(jìn)行噴出控制。 本發(fā)明的其他液狀體的噴出方法，其使具有多個(gè)噴嘴的噴頭和襯底對(duì)置配置，與 使噴頭和襯底相對(duì)移動(dòng)的主掃描同步，在襯底上作為液滴噴出含有功能性材料的液狀體， 所述液狀體的噴出方法的特征在于，具備噴出工序，噴出工序根據(jù)從多個(gè)噴嘴噴出的液滴 的噴落位置信息，使多個(gè)噴嘴中規(guī)定的噴嘴改變噴出速度而進(jìn)行噴出。 根據(jù)該方法，在噴出工序中，根據(jù)從多個(gè)噴嘴噴出的液滴的噴落位置信息，使多個(gè)
噴嘴中規(guī)定的噴嘴改變噴出速度而進(jìn)行噴出。從而，根據(jù)所述噴落位置信息，特定需要修正
噴落位置的規(guī)定噴嘴，使其他噴嘴改變噴出速度，從而，能夠使液滴高精度噴落。 再有，其特征在于，還具備驅(qū)動(dòng)所述噴頭，取得從多個(gè)噴嘴噴出的液滴的噴落位置
信息的工序。根據(jù)該方法，由于具備取得所述噴落位置信息的工序，因此，能夠取得最新的
噴落位置信息，將其反映給噴出工序。 其特征在于，還具備配置圖形生成工序，配置圖形生成工序相對(duì)于通過(guò)所述主掃 描在襯底上配置液滴的第一配置圖形，生成根據(jù)噴落位置信息在主掃描的方向上對(duì)飛行彎 曲進(jìn)行了修正的第二配置圖形，噴出工序中，根據(jù)第二配置圖形，使產(chǎn)生了飛行彎曲的噴嘴 改變噴出速度而噴出液滴。
根據(jù)該方法，在噴出工序中，根據(jù)在配置圖形生成工序中修正的第二配置圖形，使 產(chǎn)生了飛行彎曲的噴嘴改變噴出速度進(jìn)行噴出。從而，預(yù)先考慮液滴相對(duì)于襯底的濡濕性 等物性和具有噴頭的液滴噴出裝置的描繪精度等而作成第一配置圖形，與之相對(duì)，如果生 成修正了飛行彎曲的第二配置圖形，則能夠至少在主掃描方向上高精度地控制液滴的噴落 位置。 優(yōu)選，所述配置圖形生成工序中，第二配置圖形在主掃描中的往動(dòng)和復(fù)動(dòng)中分開(kāi) 生成，飛行彎曲在主掃描方向上的修正在往動(dòng)和復(fù)動(dòng)中以不同方式進(jìn)行。根據(jù)該方法，考慮 由于主掃描的往動(dòng)和復(fù)動(dòng)而產(chǎn)生的噴落位置的變動(dòng)，生成第二配置圖形，因此，在噴出工序 中，能夠更高精度地控制液滴的噴落位置。 另外，所述本發(fā)明的液狀體的噴出方法，其特征在于，在所述襯底上具有由隔壁部 劃分的多個(gè)噴出區(qū)域，在噴出工序中，根據(jù)噴落位置信息而使產(chǎn)生了飛行彎曲的噴嘴改變 噴出定時(shí)進(jìn)行噴出，使從該噴嘴噴出的液滴至少一部分不噴落在隔壁部上，或使液滴不噴 落在隔壁部附近。 另外，所述本發(fā)明的液狀體的噴出方法，其特征在于，在所述襯底上具有由隔壁部 劃分的多個(gè)噴出區(qū)域，在噴出工序中，根據(jù)噴落位置信息而使產(chǎn)生了飛行彎曲的噴嘴改變 噴出速度進(jìn)行噴出，使從該噴嘴噴出的液滴的至少一部分不噴落在隔壁部上，或使液滴不 噴落在隔壁部附近。 根據(jù)這些方法，能夠進(jìn)行控制，使得必要量的液滴噴落在任意一個(gè)由隔壁部劃分 的各噴出區(qū)域。 本發(fā)明的配線襯底的制造方法，其是在襯底上具有由導(dǎo)電性材料構(gòu)成的配線的配 線襯底的制造方法，其特征在于，包括描繪工序，其采用所述發(fā)明的液狀體的噴出方法，向 襯底上作為液滴噴出描繪含有導(dǎo)電性材料的液狀體；干燥燒成工序，其將噴出描繪的液狀 體干燥、燒成，形成配線。 根據(jù)該方法，由于描繪工序采用所述發(fā)明的液狀體的噴出方法，因此，即使具有產(chǎn) 生了飛行彎曲的噴嘴，也能夠修正從該噴嘴噴出的液滴的噴落位置，使含有導(dǎo)電性材料的 液狀體的液滴高精度地噴落。從而，在干燥燒成后，能夠形成形狀穩(wěn)定的配線。即，可制造 具有高精細(xì)配線的配線襯底。 本發(fā)明的濾色器的制造方法，其是在襯底上利用隔壁部劃分形成的多個(gè)著色區(qū)域 上具有至少三色的著色層的濾色器的制造方法，其特征在于，包括描繪工序，其采用所述 發(fā)明的液狀體的噴出方法，向多個(gè)著色區(qū)域作為液滴噴出描繪含有著色層形成材料的至少 三色的液狀體；干燥工序，其將噴出描繪的液狀體干燥，形成至少三色的所述著色層。
根據(jù)該方法，由于描繪工序采用所述發(fā)明的液狀體的噴出方法，因此，即使具有產(chǎn) 生了飛行彎曲的噴嘴，也能夠修正從該噴嘴噴出的液滴的噴落位置，使含有著色層形成材 料的液狀體的液滴高精度地噴落。從而，能夠降低由于飛行彎曲引起的噴出不均和混色等。 即，可制造色彩不均少的具有穩(wěn)定品質(zhì)的濾色器。 本發(fā)明的有機(jī)EL元件的制造方法，其是在襯底上利用隔壁部劃分形成的多個(gè)發(fā) 光層形成區(qū)域上具有有機(jī)EL發(fā)光層的有機(jī)EL元件的制造方法，其特征在于，包括描繪工 序，其采用所述發(fā)明的液狀體的噴出方法，向發(fā)光層形成區(qū)域作為液滴噴出描繪至少含有 發(fā)光層形成材料的液狀體；干燥工序，其將噴出描繪的液狀體干燥，形成所述有機(jī)EL發(fā)光層。 根據(jù)該方法，由于描繪工序采用所述發(fā)明的液狀體的噴出方法，因此，即使具有產(chǎn) 生了飛行彎曲的噴嘴，也能夠修正從該噴嘴噴出的液滴的噴落位置，使含有發(fā)光層形成材 料的液狀體的液滴高精度地噴落。從而，能夠降低由于飛行彎曲引起的噴出不均。即，可制 造發(fā)光不均和亮度不均少的具有穩(wěn)定品質(zhì)的有機(jī)EL元件。


圖1是表示液滴噴出裝置的結(jié)構(gòu)的概略立體圖。 圖2(a)是表示液滴噴頭向滑架的配置的概略圖，(b)是噴嘴的配置圖。 圖3(a)是表示液滴噴頭結(jié)構(gòu)的概略分解立體圖，(b)是表示噴嘴部結(jié)構(gòu)的截面圖。 圖4是表示液狀體噴出裝置的電氣構(gòu)成的框圖。 圖5是表示噴出控制的控制信號(hào)的圖，(a)是表示噴出定時(shí)控制的一例的圖，(b)
是表示噴出速度控制的一例的圖。 圖6是表示配線襯底的概略俯視圖。 圖7是表示配線襯底的制造方法的流程圖。 圖8(a)及(b)是表示液滴的噴落位置的檢測(cè)方法的圖。 圖9(a)是表示位映像的圖，(b)是表示(a)的修正后的位映像的圖。 圖10是表示液晶顯示裝置結(jié)構(gòu)的概略分解立體圖。 圖11是表示液滴噴頭向滑架的配置的概略俯視圖。 圖12(a) (e)是表示濾色器的制造方法的概略截面圖。 圖13是表示有機(jī)EL顯示裝置的結(jié)構(gòu)的概略截面圖。 圖14(a) (f)是表示作為有機(jī)EL元件的發(fā)光元件部的制造方法的概略截面圖。
圖中2a-作為移動(dòng)機(jī)構(gòu)的主掃描移動(dòng)臺(tái)，50-作為噴頭的液滴噴頭，52-噴嘴， 80R、80G、80B-含有著色層形成材料的液狀體，IOOR、 IOOG、 100B-含有發(fā)光層形成材料的液 狀體，301-作為配線的輸入配線，303-作為配線的輸出配線，504、618-隔壁部，505、505R、 505G、505B-著色層，603-作為有機(jī)EL元件的發(fā)光元件部，617b、617R、617G、617B-作為有機(jī) EL發(fā)光層的發(fā)光層，A-作為噴出區(qū)域的著色區(qū)域或發(fā)光層形成區(qū)域，W-襯底。
具體實(shí)施例方式
本實(shí)施方式關(guān)于采用能夠以液滴形式噴出液狀體的液滴噴出裝置，在襯底上噴出 描繪含有功能性材料的液狀體的液狀體噴出方法，以配線襯底的制造方法、濾色器的制造 方法、有機(jī)EL元件的制造方法為例進(jìn)行了說(shuō)明。還有，說(shuō)明中使用的各圖與實(shí)際尺寸不同， 進(jìn)行了適宜的縮小放大。 首先，關(guān)于液滴噴出裝置，根據(jù)圖1 圖5進(jìn)行說(shuō)明。圖1是表示液滴噴出裝置的 結(jié)構(gòu)的概略立體圖。 如圖1所示，液滴噴出裝置1具備1對(duì)導(dǎo)軌2、通過(guò)設(shè)置在導(dǎo)軌2內(nèi)部的氣動(dòng)滑板 和直線馬達(dá)(未圖示)沿主掃描方向(X軸方向)移動(dòng)的主掃描移動(dòng)臺(tái)2a。另外，還具備在 導(dǎo)軌2上方與導(dǎo)軌2正交地設(shè)置的1對(duì)導(dǎo)軌3、通過(guò)設(shè)置在導(dǎo)軌3內(nèi)部的氣動(dòng)滑板和直線馬達(dá)(未圖示)沿副掃描方向移動(dòng)的副掃描移動(dòng)臺(tái)3a。 在主掃描移動(dòng)臺(tái)2a上，經(jīng)由e臺(tái)6設(shè)有用于載置作為噴出對(duì)象物的襯底W的載物臺(tái)5。載物臺(tái)5能夠吸附固定襯底W，并且，利用e臺(tái)6能夠使襯底W內(nèi)的基準(zhǔn)軸準(zhǔn)確對(duì)正主掃描方向、副掃描方向。 副掃描移動(dòng)臺(tái)3a具備經(jīng)由旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)7吊設(shè)的滑架8。另外，滑架8包括具備多個(gè)液滴噴頭50(參照?qǐng)D2)的噴頭組件9、用于向液滴噴頭50供給液狀體的液狀體供給機(jī)構(gòu)(未圖示)和用于進(jìn)行液滴噴頭50的電驅(qū)動(dòng)控制的控制電路襯底40(參照?qǐng)D4)。
沿著導(dǎo)軌2鋪設(shè)有線位移傳感器(未圖示)。在主掃描移動(dòng)臺(tái)2a上，在面向線位移傳感器的位置安裝有編碼器(未圖示)。此時(shí)，通過(guò)線位移傳感器使編碼器產(chǎn)生O. lym單位的脈沖。從而，能夠以移動(dòng)分辨率0. 1 ii m單位控制載物臺(tái)5向X軸方向的移動(dòng)。
除了所述構(gòu)成以外，還在面向多個(gè)液滴噴頭50的位置配置有維護(hù)機(jī)構(gòu)，其進(jìn)行搭載在噴頭組件9的多個(gè)液滴噴頭50的噴嘴眼堵塞的消除、噴嘴面的異物和污物的去除等維護(hù)，不過(guò)，省略了圖示。 接下來(lái)，關(guān)于搭載在噴頭組件9上的液滴噴頭50，根據(jù)圖2及圖3進(jìn)行說(shuō)明。圖2(a)是表示液滴噴頭向噴頭組件的配置的概略圖，(b)是噴嘴的配置圖。
如圖2 (a)所示，液滴噴頭50具有所謂2串的噴嘴列52a、52b。從X軸方向(主掃描方向)看，2個(gè)噴嘴列52a、52b相互局部重合地在Y軸方向偏離配置，并且6個(gè)液滴噴頭50在X軸方向并列地搭載在噴頭組件9上。 如圖2(b)所示，此時(shí)，2個(gè)噴嘴列52a、52b分別由以等間隔Pl配置的180個(gè)噴嘴52構(gòu)成。噴嘴徑約為20 ii m、等間隔Pl約為140 y m。位于各噴嘴列52a、52b兩端側(cè)的10個(gè)噴嘴52考慮其噴出量的差異而不使用。以這各10個(gè)噴嘴52的部分從X軸方向看時(shí)重合的方式配置6個(gè)液滴噴頭50。在1個(gè)液滴噴頭50上， 一噴嘴列52a與另一噴嘴列52b偏離等間隔P1的一半的噴嘴間距P2設(shè)置。從而，各噴嘴列52a、52b的有效噴嘴數(shù)為160個(gè)，若從X軸方向看則320個(gè)噴嘴52以噴嘴間距P2排列。再有，在噴頭組件9上配置6個(gè)液滴噴頭50，以使若從X軸方向看則各320噴嘴52以噴嘴間距P2排列。因而，如果在使噴頭組件9和襯底W對(duì)置地在X軸方向相對(duì)移動(dòng)的主掃描期間，從6個(gè)液滴噴頭50的各噴嘴52噴出液滴，那么能夠使液滴在Y軸方向等間隔地噴落。 圖3(a)是表示液滴噴頭結(jié)構(gòu)的概略分解立體圖，同圖中(b)是表示噴嘴部結(jié)構(gòu)的
截面圖。如圖3 (a)及(b)所示，液滴噴頭50形成為噴嘴板51、腔板53和振動(dòng)板58依次層
疊接合的結(jié)構(gòu)，噴嘴板51具有噴出液滴D的多個(gè)噴嘴52，腔板53具有將分別連通多個(gè)噴嘴
52的腔55進(jìn)行劃分的隔壁54，振動(dòng)板58具有與多個(gè)腔55對(duì)應(yīng)的振動(dòng)部件59。 腔板53具有將與噴嘴52連通的腔55劃分的隔壁54，并且，具有用于向該腔55填
充液狀體的流路56、57。流路57由噴嘴板51和振動(dòng)板58夾持，形成的空間發(fā)揮儲(chǔ)存液狀
體的儲(chǔ)存室的作用。 液狀體從液狀體供給機(jī)構(gòu)通過(guò)配管供給，通過(guò)設(shè)置在振動(dòng)板58上的供給孔58a儲(chǔ)存在儲(chǔ)存室后，通過(guò)流路56向各腔55填充。 如圖3(b)所示，振動(dòng)部件59是由壓電元件59c和夾著壓電元件59c的一對(duì)電極59a、59b構(gòu)成的壓電元件。從外部向一對(duì)電極59a、59b施加驅(qū)動(dòng)電壓脈沖，從而使接合的振動(dòng)板58變形。從而，由隔壁54分隔的腔55的體積增加，液狀體從儲(chǔ)存室被吸引到腔55。并且，若施加驅(qū)動(dòng)電壓脈沖結(jié)束，則振動(dòng)板58復(fù)原，對(duì)填充的液狀體加壓。從而，成為能夠從噴嘴52以液滴D形式噴出液狀體的結(jié)構(gòu)。通過(guò)控制向壓電元件59c施加的驅(qū)動(dòng)電壓脈沖，從而，能夠?qū)Ω鱾€(gè)噴嘴52進(jìn)行液狀體噴出控制。例如，控制液滴的噴出量、噴出定時(shí)、噴出速度等。關(guān)于噴出控制的詳情后述。 液滴噴頭50并不限定于具備壓電元件?？梢跃邆淅渺o電吸附使振動(dòng)板58變位的機(jī)電轉(zhuǎn)換元件、加熱液狀體使其從噴嘴52以液滴D形式噴出的電熱轉(zhuǎn)換元件等。
接下來(lái)，參照?qǐng)D4、圖5，關(guān)于液滴噴頭的噴出控制方法進(jìn)行說(shuō)明。圖4是表示液狀體噴出裝置的電氣構(gòu)成的框圖。液滴噴出裝置1具備對(duì)整個(gè)裝置進(jìn)行綜合控制的控制計(jì)算機(jī)10和用于進(jìn)行多個(gè)液滴噴頭50的電驅(qū)動(dòng)控制的控制電路襯底40 ?？刂齐娐芬r底40經(jīng)由撓性纜線41與各液滴噴頭50電連接。另外，各液滴噴頭50與每個(gè)噴嘴52(參照?qǐng)D3)上設(shè)置的壓電元件59相對(duì)應(yīng)，具備移位寄存器(SL)42、閂鎖電路(LAT)43、電平移位器(LS)44、開(kāi)關(guān)(SW)45。 液狀體噴出裝置l的噴出控制如下進(jìn)行。即，首先控制計(jì)算機(jī)10將對(duì)襯底W(參照?qǐng)D1)上的液狀體配置圖形進(jìn)行了數(shù)據(jù)化而得到的位映像數(shù)據(jù)(詳情后述)向控制電路襯底40傳送。然后，控制電路襯底40將位映像數(shù)據(jù)譯碼，生成作為每個(gè)噴嘴52的ON/OFF (噴出/不噴出)信息的噴嘴數(shù)據(jù)。噴嘴數(shù)據(jù)進(jìn)行串行信號(hào)(SI)化，與時(shí)鐘信號(hào)(CK)同步向各移位寄存器42傳送。 傳送到移位寄存器42的噴嘴數(shù)據(jù)，以閂鎖信號(hào)(LAT)向閂鎖電路43輸入的定時(shí)進(jìn)行閂鎖，再經(jīng)由電平移位器44轉(zhuǎn)換成開(kāi)關(guān)45用的選通信號(hào)。S卩，當(dāng)噴嘴數(shù)據(jù)為「0N」時(shí)，開(kāi)關(guān)45打開(kāi)，向壓電元件59供給驅(qū)動(dòng)信號(hào)(COM)，當(dāng)噴嘴數(shù)據(jù)為「0FF」時(shí)，開(kāi)關(guān)45關(guān)閉，不向壓電元件59供給驅(qū)動(dòng)信號(hào)(COM)。然后，從與「0N」對(duì)應(yīng)的噴嘴52中液狀體被液滴化而噴出，噴出的液狀體被配置在襯底W上。 這種噴出控制，與噴頭組件9和襯底W的相對(duì)移動(dòng)(主掃描)同步，如圖5所示周期性進(jìn)行。 圖5是表示噴出控制的控制信號(hào)的圖，同圖中(a)是表示噴出定時(shí)控制的一例的圖，同圖中(b)是表示噴出速度控制的一例的圖。 圖5(a)所示，驅(qū)動(dòng)信號(hào)(COM)形成具有放電脈沖201、充電脈沖202、放電脈沖203的一串脈沖組200-l、200-2…以中間電位204連接的構(gòu)成。并且，利用1個(gè)脈沖組，如下噴出1個(gè)液滴。 S卩，利用放電脈沖201，使電位電平上升，并且將液狀體吸入腔55(參照?qǐng)D3(b))內(nèi)。接著，利用陡的充電脈沖202對(duì)腔55內(nèi)的液狀體急劇加壓，將液狀體從噴嘴52壓出，液滴化(噴出)。最后利用放電脈沖203，將下降的電位電平恢復(fù)到中間電位204，并且抵銷由充電脈沖202生成的腔55內(nèi)的壓力振動(dòng)(固有振動(dòng))。 驅(qū)動(dòng)信號(hào)(COM)的電壓成分Vc、Vh和時(shí)間成分(脈沖的斜率和脈沖間的連接間隔等)等，是與噴出量和噴出穩(wěn)定性等有很大關(guān)系的參數(shù)，需要預(yù)先進(jìn)行適當(dāng)?shù)脑O(shè)計(jì)。此時(shí)，閂鎖信號(hào)(LAT)的周期，考慮液滴噴頭50的固有頻率特性，設(shè)定為20kHz。另外，主掃描中液滴噴頭50和襯底W的相對(duì)移動(dòng)速度(此時(shí)，使載物臺(tái)24沿X軸方向移動(dòng)的移動(dòng)速度)設(shè)定為200mm/秒。因而，如果噴出分辨率等于相對(duì)移動(dòng)速度除以閂鎖周期，那么，噴出分辨率的單位為lOym。即，可按照噴出分辨率的單位對(duì)每個(gè)噴嘴52設(shè)定噴出定時(shí)。還有，如果使閂鎖脈沖的產(chǎn)生定時(shí)，以主掃描移動(dòng)臺(tái)2a上設(shè)置的編碼器輸出的脈沖為基準(zhǔn)，那么也可以按照移動(dòng)分辨率的單位控制噴出定時(shí)。 噴出控制不僅僅限定于噴出定時(shí)的控制，例如，通過(guò)改變驅(qū)動(dòng)信號(hào)的放電脈沖203的斜率，可改變液滴的噴出速度。具體而言，放電脈沖203的斜率越陡、噴出速度越上升。若噴出速度變化，則液滴的噴出量隨之變化，從而，要噴出一定的噴出量，考慮液狀體的物性(粘度等)需要設(shè)定電壓成分Vc、Vh。還有，噴出速度也可以隨著改變充電脈沖202的充電時(shí)間、中間電位204的電位而變化。 如圖5 (b)所示，例如，在1個(gè)閂鎖周期，生成基準(zhǔn)的驅(qū)動(dòng)信號(hào)Wl、相對(duì)驅(qū)動(dòng)信號(hào)Wl改變放電脈沖203斜率的2個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)W2、W3。具體而言，與各驅(qū)動(dòng)信號(hào)W1、W2、W3對(duì)應(yīng)的噴出速度V1、V2、V3的關(guān)系是V2 < VI < V3。如果生成與各驅(qū)動(dòng)信號(hào)Wl、 W2、 W3對(duì)應(yīng)的溝道信號(hào)(CH)，并向電平移位器44傳送，則可對(duì)應(yīng)于噴嘴數(shù)據(jù)信號(hào)的「ON」，選擇噴出速度不同的驅(qū)動(dòng)信號(hào)(COM)，噴出液滴。 根據(jù)這種液滴噴出裝置l，可使噴頭組件9與襯底W對(duì)置，與由主掃描移動(dòng)臺(tái)2a進(jìn)行的主掃描同步，從配備在噴頭組件9上的6個(gè)液滴噴頭50以高位置精度噴出含有功能性材料的液狀體。液滴噴頭50的每個(gè)噴嘴52，可改變噴出量、噴出定時(shí)、噴出速度地以液滴形式噴出液狀體。從而，存在即使利用維護(hù)機(jī)構(gòu)維護(hù)液滴噴頭50也不能恢復(fù)的例如產(chǎn)生飛行彎曲的噴嘴52時(shí)，通過(guò)改變對(duì)該噴嘴52的噴出控制方法，可修正由于飛行彎曲造成的噴落位置的偏離。從而，能夠降低具有該噴嘴52的液滴噴頭50的更換頻率。
(實(shí)施方式l)〈液狀體的噴出方法及配線襯底的制造方法> 接下來(lái)，關(guān)于本發(fā)明的液狀體的噴出方法，以適用了它的配線襯底的制造為例進(jìn)行說(shuō)明。 圖6是表示配線襯底的概略俯視圖。如圖6所示，配線襯底300是平面安裝有半導(dǎo)體裝置(IC)的電路襯底，由對(duì)應(yīng)于IC輸入輸出電極(凸起)配置的由導(dǎo)電性材料形成的作為配線的輸入配線301及輸出配線303、絕緣膜307構(gòu)成。絕緣膜307避開(kāi)輸入端子部302及輸出端子部304，并且以輸入配線301和輸出配線303的各自一部分在安裝區(qū)域305內(nèi)側(cè)露出的方式覆蓋多個(gè)輸出配線301及輸出配線303。配線襯底300在作為工件的襯底W上呈矩陣狀形成，通過(guò)分割襯底W從而取出。襯底W作為絕緣襯底除了使用硬玻璃襯底、陶瓷襯底、玻璃環(huán)氧樹(shù)脂襯底以外，還可以采用撓性樹(shù)脂襯底。作為分割方法，按照襯底W的材料選擇劃、刻、激光切割、沖裁等。 本實(shí)施方式中，利用使用了所述液滴噴出裝置1的液滴噴出法形成由導(dǎo)電性材料構(gòu)成的配線和由絕緣材料構(gòu)成的絕緣膜。其目的在于，節(jié)約各材料的浪費(fèi)而形成配線和絕緣膜。與光刻法相比，不需要用于形成圖形的曝光用掩膜和顯影、蝕刻等工序，因此，不管襯底W尺寸如何都能夠簡(jiǎn)化工序。 圖7是表示配線襯底的制造方法的流程圖。本實(shí)施方式的配線襯底的制造方法具備檢測(cè)工序(步驟Sl)，其驅(qū)動(dòng)作為噴頭的液滴噴頭50，取得多個(gè)噴嘴52的每個(gè)噴嘴所噴出的含有導(dǎo)電性材料的液狀體的液滴D的噴落位置信息。另外，還包括配置圖形生成工序(步驟S2)、噴出工序(步驟S3)和干燥燒成工序(步驟S4)，配置圖形生成工序相對(duì)于通過(guò)主掃描在襯底W上配置液滴D的作為第一配置圖形的位映像數(shù)據(jù)，生成根據(jù)噴落位置信息在主掃描方向上修正了飛行彎曲的作為第二配置圖形的修正位映像數(shù)據(jù)，噴出工序根據(jù)修 正位映像數(shù)據(jù)使多個(gè)噴嘴52中產(chǎn)生了液滴D飛行彎曲的噴嘴52改變噴出定時(shí)進(jìn)行噴出， 干燥燒成工序?qū)姵雒枥L的液狀體干燥、燒成，形成各配線301、303。并且，還具備從液滴噴 頭50向形成有各配線301、303的襯底W噴出含有絕緣材料的液狀體的工序(步驟S5)和 將噴出的液狀體干燥、成膜的工序(步驟S6)。 首先，關(guān)于檢查工序(步驟S1)進(jìn)行說(shuō)明。圖8(a)及(b)是表示液滴的噴落位置 的檢測(cè)方法的圖。步驟S1的檢查工序中，檢測(cè)從搭載在噴頭組件9上的所有液滴噴頭50 的所有噴頭52噴出的液滴D的噴落位置。 如圖2所示，在噴頭組件9上，沿X軸方向以規(guī)定間隔偏離的狀態(tài)配置6個(gè)液滴噴 頭50。步驟Sl，如圖8(a)所示，從多個(gè)(6個(gè))液滴噴頭50的各噴嘴列1A、1B 噴嘴列 6A、6B的所有噴嘴52向載置在載物臺(tái)5上的記錄紙噴出液滴D。此時(shí)，根據(jù)配置在噴頭組 件9上的6個(gè)液滴噴頭50的位置信息，移動(dòng)主掃描移動(dòng)臺(tái)2a，使記錄紙相對(duì)于噴頭組件9 沿主掃描方向(X軸方向)移動(dòng)。另外，對(duì)每噴嘴列控制噴出定時(shí)，使噴出的液滴D沿記錄 紙的Y軸方向噴落在大致直線上。 如果是產(chǎn)生飛行彎曲的噴嘴52，則從該噴嘴52噴出的液滴D例如圖8 (b)所示，噴 落在從所述直線上沿X軸方向偏離Axl或Ax2的位置。 用具備CCD等攝像元件的照相機(jī)拍攝噴落在記錄紙上的液滴D，利用控制計(jì)算機(jī) IO處理拍攝的圖像信息，從而，取得Axl、 Ax2的值(偏離量)作為噴落位置信息。
即使利用控制計(jì)算機(jī)10對(duì)每個(gè)噴嘴列控制噴出定時(shí)，從所有噴嘴52噴出的液滴 D也不一定噴落在直線上。特別是，在噴嘴列產(chǎn)生變化的位置噴落位置有時(shí)產(chǎn)生偏離。作 為更具體的檢測(cè)方法，所述照相機(jī)的攝像范圍只要能夠拍攝與至少l個(gè)液滴噴頭50對(duì)應(yīng)的 噴落位置即可。根據(jù)每個(gè)液滴噴頭50被拍攝的圖像信息，通過(guò)圖像處理來(lái)特定所述直線， 對(duì)每個(gè)噴嘴52運(yùn)算主掃描方向相對(duì)于該直線的偏離量，作為噴落位置信息?；蛘?，也可以 特定與偏離規(guī)定值以上噴落的液滴D對(duì)應(yīng)的噴嘴52，將其作為噴落位置信息。將所述照相 機(jī)沿Y軸方向逐次偏離，拍攝噴落到記錄紙上的液滴D的狀態(tài)，從而，針對(duì)搭載在噴頭組件 9上的所有液滴噴頭50取得噴落位置信息。設(shè)置多個(gè)噴頭組件9的情況也同樣。還有，所 述照相機(jī)并不限定于1個(gè)，可以在Y軸方向能夠移動(dòng)地分別配置多個(gè)照相機(jī)進(jìn)行分散處理。
此時(shí)，圖8(b)所示的液滴D的噴落位置，沿主掃描方向(X軸方向)偏離，不過(guò)，從 產(chǎn)生飛行彎曲的噴嘴52噴出的液滴D的飛行方向不一定是一定的。本實(shí)施方式中，從各液 滴噴頭50噴出同種液狀體，因此，即使噴頭位置沿Y軸方向偏離，對(duì)液狀體的描繪造成的實(shí) 質(zhì)影響也小。從而，如果檢測(cè)沿主掃描方向的偏離量，就能夠有效地進(jìn)行后述的修正。
另外，此時(shí)，隔開(kāi)間隔地將液滴噴頭50和襯底W對(duì)置配置，與使襯底W相對(duì)于液滴 噴頭50往復(fù)的主掃描同步，噴出液狀體。因而，沿主掃描方向的偏離量，按照相對(duì)于往動(dòng)和 復(fù)動(dòng)中飛行彎曲的方向是順向還是反向而變化。因此，與主掃描同樣分成往動(dòng)和復(fù)動(dòng)執(zhí)行 將液滴D噴落在記錄紙上的記錄動(dòng)作，拍攝各噴落狀態(tài)，取得噴落位置信息。然后，轉(zhuǎn)到步 驟S2。 圖7的步驟S2是配置圖形生成工序。圖9(a)是表示原位映像數(shù)據(jù)的圖，圖9 (b) 是表示修正后的位映像數(shù)據(jù)的圖。 如圖9(a)所示，例如，以主掃描的多個(gè)噴嘴列的噴嘴號(hào)碼為橫軸，以主掃描的噴出分辨率的單位為縱軸。由縱軸和橫軸劃分的區(qū)域表示配置液滴D的配置區(qū)域。此時(shí)，劃 網(wǎng)格線的區(qū)域是根據(jù)配線襯底300的CAD數(shù)據(jù)作成的原位映像數(shù)據(jù)。還有，圖9(a)表示其 局部。另外，考慮噴落在襯底W上的液滴D的濡濕擴(kuò)散和液滴噴出裝置1的描繪精度等，確 定配置區(qū)域的位置和配置區(qū)域的數(shù)量而作成。還有，縱軸也可以如上所述按照編碼器的輸 出脈沖的單位而規(guī)定配置區(qū)域。 如圖9(b)所示，步驟S2中，控制計(jì)算機(jī)10相對(duì)于儲(chǔ)存在存儲(chǔ)器中的原位映像數(shù) 據(jù)，生成根據(jù)步驟l取得的噴落位置信息修正了飛行彎曲的修正位映像數(shù)據(jù)。如上所述，在 主掃描的往動(dòng)和復(fù)動(dòng)中分開(kāi)生成。對(duì)應(yīng)于飛行彎曲的偏離量，使該噴嘴52的液滴D的配置 區(qū)域的位置偏離。然后，轉(zhuǎn)到步驟S3。 圖7的步驟S3是液狀體的噴出工序。步驟S3中，往液滴噴頭50中填充含有導(dǎo)電 性材料的液狀體，控制計(jì)算機(jī)10控制主掃描移動(dòng)臺(tái)2a、副掃描移動(dòng)臺(tái)3a，使噴頭組件9和 襯底W相對(duì)移動(dòng)，并且，驅(qū)動(dòng)搭載在噴頭組件9上的多個(gè)液滴噴頭50。該主掃描中，控制計(jì) 算機(jī)10根據(jù)修正位映像數(shù)據(jù)，使多個(gè)噴嘴52中產(chǎn)生液滴D飛行彎曲的噴嘴52改變噴出定 時(shí)進(jìn)行噴出。即，選擇在修正了的配置區(qū)域配置液滴D的閂鎖信號(hào)(LAT)，進(jìn)行噴出，從而， 使液滴D噴落在實(shí)質(zhì)上合適的位置。從而，在襯底W上噴出描繪與各配線301、303對(duì)應(yīng)的 液狀體圖形。 作為液狀體中含有的導(dǎo)電性材料，除了含有例如金、銀、銅、鋁、鈀及鎳中至少任意 一種的金屬微粒子以外，還可采用它們的氧化物以及導(dǎo)電性聚合物或超電導(dǎo)體的微粒子 等。這些導(dǎo)電性微粒子也可以在表面涂布有機(jī)物等使用，以提高分散性。導(dǎo)電性微粒子的 粒徑優(yōu)選為lnm以上1. 0 ii m以下。若大于1. 0 y m，則液滴噴頭50的噴嘴52有可能產(chǎn)生眼 堵塞。另外，若小于1線則涂布劑相對(duì)于導(dǎo)電性微粒子的體積比增大，所獲得的膜中有機(jī)物 的比例過(guò)多。 作為分散劑，只要能夠分散所述導(dǎo)電性微粒子、不引起凝聚即可，并沒(méi)有特別限 定。例如，除了水以外，還可例示甲醇、乙醇、丙醇、丁醇等醇類，n-庚烷、n-辛烷、癸烷、十二 烷、十四烷、甲苯、二甲苯、異丙基苯、杜烯、茚、二戊烯、四氫萘、十氫萘、環(huán)已苯等碳?xì)湎祷?合物，還有乙二醇二甲醚、乙二醇二乙醚、乙二醇甲基乙基醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二 乙醚、二乙二醇甲基乙基醚、l，2-二甲氧基乙烷、雙(2-甲氧基乙基)醚、p-二環(huán)氧乙烷等 醚系化合物，再有碳酸丙烯、Y-丁內(nèi)酯、N-甲基-2吡咯烷酮、二甲基甲酰胺、二甲基亞砜、 環(huán)己酮等極性化合物。這些物質(zhì)中，在微粒子的分散性和分散液的穩(wěn)定性、還有向液滴噴 出法適用的容易程度方面上，優(yōu)選水、醇類、碳?xì)湎祷衔?、醚系化合物，作為更?yōu)選的分散 劑，能夠舉出水、碳?xì)湎祷衔铩?所述導(dǎo)電性微粒子的分散液的表面張力優(yōu)選在0. 02N/m以上0. 07N/m以下的范圍 內(nèi)。利用液滴噴出法噴出液狀體時(shí)，若表面張力小于0. 02N/m，則液狀體相對(duì)于噴嘴面的濡 濕性增大，從而容易產(chǎn)生飛行彎曲，若大于0. 07N/m，則噴嘴52前端的彎液面形狀不穩(wěn)定， 從而，很難進(jìn)行噴出量和噴出定時(shí)的控制。為了調(diào)節(jié)表面張力，在不使與襯底W的接觸角降 低很大的范圍，可以向所述分散液中微量添加氟系、硅系、非離子系等表面張力調(diào)節(jié)劑。非 離子系表面張力調(diào)節(jié)劑，有提高液狀體向襯底W的濡濕性，改善膜的平整性、防止膜產(chǎn)生微 細(xì)凹凸等的作用。所述表面張力調(diào)節(jié)劑，根據(jù)需要，可以含有醇、醚、酯、酮等有機(jī)化合物。
所述分散液的粘度優(yōu)先在lmPa s以上50mPa s以下。當(dāng)利用液滴噴出法以液滴D形式噴出液狀體之際，粘度小于ImPa *s時(shí)，噴嘴52周邊部由于液狀體流出而容易被污 染，另外，粘度大于50mPa s時(shí)，噴嘴孔的眼堵塞頻率升高，很難進(jìn)行順暢的液滴噴出。然 后，轉(zhuǎn)到步驟S4。 圖7的步驟S4是干燥 燒成工序。步驟S4中，將噴出的液狀體干燥 燒成從而 固化，形成配線301、303。干燥'燒成方法可舉出在干燥爐內(nèi)載置襯底W并在規(guī)定的溫度下 進(jìn)行干燥 燒成的分批方式和使其通過(guò)干燥爐內(nèi)的直接方式。作為熱源，可舉出加熱器和 紅外線燈等。然后，轉(zhuǎn)到步驟S5。 圖7的步驟S5是噴出含有絕緣材料的液狀體的工序。步驟S5中，向液滴噴頭50 中填充含有絕緣材料的液狀體，控制計(jì)算機(jī)10控制主掃描移動(dòng)臺(tái)2a、副掃描移動(dòng)臺(tái)3a，使 噴頭組件9和襯底W相對(duì)移動(dòng)，并且，驅(qū)動(dòng)搭載在噴頭組件9上的多個(gè)液滴噴頭50。此時(shí)， 在絕緣膜形成區(qū)域306(參照?qǐng)D6)配置該液狀體的位映像數(shù)據(jù)，根據(jù)絕緣膜形成區(qū)域306 的CAD數(shù)據(jù)生成，儲(chǔ)存在控制計(jì)算機(jī)10的存儲(chǔ)器中。根據(jù)該位映像數(shù)據(jù)，進(jìn)行該液狀體的 噴出。絕緣膜307，由于不要求以高位置精度形成，因此，此時(shí)，可以不進(jìn)行飛行彎曲的修正。
作為絕緣材料，例如，能夠采用具有絕緣性的環(huán)氧樹(shù)脂、氨基甲酸乙酯樹(shù)脂等高分 子材料。作為溶劑，例如，可舉出能夠溶解所述材料的碳?xì)湎等軇?。該液狀體的物性，與含 有導(dǎo)電性材料的液狀體的情況同樣，可對(duì)應(yīng)于液滴噴出法進(jìn)行調(diào)節(jié)。然后，轉(zhuǎn)到步驟S6。
圖7的步驟S6是干燥 成膜工序。步驟S6中，將噴出的液狀體干燥從而使其固 化，形成絕緣膜307。還有，作為絕緣材料，也可以采用感光性樹(shù)脂材料。此時(shí)，通過(guò)對(duì)噴出 的液狀體照射紫外線等從而使其固化。 這種配線襯底300的制造方法中，根據(jù)進(jìn)行了飛行彎曲修正的修正位映像數(shù)據(jù)進(jìn) 行的液狀體的噴出方法，不限定于通過(guò)選擇閂鎖信號(hào)(LAT)改變噴出定時(shí)的方法。也可以 相對(duì)于產(chǎn)生飛行彎曲的噴嘴52，選擇噴出速度不同的驅(qū)動(dòng)信號(hào)W2、 W3的任意一個(gè)，改變噴 出速度噴出液狀體。由此，能夠期待不僅降低主掃描方向上的噴落位置偏離，也降低沿副掃 描方向(Y軸方向)的噴落位置偏離的效果。 還有，所述檢查工序(步驟Sl)及所述配置圖形生成工序(步驟S2)，該情況下是 每噴出描繪1個(gè)襯底W都實(shí)施，不過(guò)，也可以在分別噴出描繪多個(gè)襯底W的作業(yè)的作業(yè)開(kāi)始 前、作業(yè)途中分開(kāi)實(shí)施。 所述實(shí)施方式1的效果，如下所述。 (1)采用所述實(shí)施方式1的液狀體的噴出方法的配線襯底300的制造方法，是使 產(chǎn)生飛行彎曲的噴嘴52根據(jù)修正的修正位映像數(shù)據(jù)改變噴出定時(shí)進(jìn)行噴出。因而，能夠降 低飛行彎曲的影響，位置精度好地配置液狀體，從而能夠制造具有穩(wěn)定形狀的配線301、303 的配線襯底300。 (2)采用所述實(shí)施方式1的液狀體的噴出方法的配線襯底300的制造方法，在步驟 Sl的檢查工序中，取得與主掃描同樣分成往動(dòng)和復(fù)動(dòng)而從多個(gè)噴嘴52噴出的液滴D的噴落 位置信息。因而，能夠取得更準(zhǔn)確的噴落位置信息，在液狀體的噴出描繪中，能夠在襯底W 上以更高位置精度配置液滴D。即，能夠制造具有高精細(xì)的配線301、303的配線襯底300。
(實(shí)施方式2)
〈濾色器的制造方法〉 接下來(lái)，作為適用了所述實(shí)施方式1的液狀體的噴出方法的其他實(shí)施方式，以濾色器的制造方法為例進(jìn)行說(shuō)明。 首先，關(guān)于具有濾色器的作為電光學(xué)裝置的液晶顯示裝置進(jìn)行簡(jiǎn)單說(shuō)明。圖10是
表示液晶顯示裝置的結(jié)構(gòu)的概略分解立體圖。如圖io所示，本實(shí)施方式的液晶顯示裝置 500具有TFT(Thin Film Transistor)透過(guò)型液晶顯示面板520和照明液晶顯示面板520 的照明裝置516。液晶顯示面板520包括具有作為濾色器的著色層505的對(duì)置襯底501、具 有3端子中有1個(gè)與像素電極510連接的TFT元件511的元件襯底508和由兩襯底501、 508夾持的液晶(未圖示)。另外，在成為液晶顯示面板520外面?zhèn)鹊膬梢r底501、508表面， 配置使透過(guò)的光偏轉(zhuǎn)的上偏振板514和下偏振板515。 對(duì)置襯底501由透明的玻璃等材料形成，在夾著液晶的表面?zhèn)扔筛舯诓?04呈矩 陣狀劃分成多個(gè)著色區(qū)域，在多個(gè)著色區(qū)域形成多種(RGB三色)著色層505R、505G、505B。 隔壁部504由被稱作黑矩陣的下層堤502和在下層堤502上(圖面中是向下)形成的上層 堤503構(gòu)成，下層堤502由Cr等具有遮光性的金屬或其氧化膜構(gòu)成，上層堤503由有機(jī)化 合物構(gòu)成。另外，對(duì)置襯底501具備覆蓋隔壁部504和由隔壁部504劃分的著色層505R、 505G、505B的作為平坦化層的涂層(OC層)506、和覆蓋OC層506而形成的由ITO(Indium Tin Oxide)等透明導(dǎo)電膜構(gòu)成的對(duì)置電極507。各著色層505R、505G、505B用后述的濾色 器的制造方法制造。 元件襯底508由相同的透明玻璃等材料形成，具有在夾著液晶的表面?zhèn)冉?jīng)由絕緣 膜509形成矩陣狀的像素電極510、對(duì)應(yīng)于像素電極510形成的多個(gè)TFT元件511。 TFT元 件511的3端子中沒(méi)有與像素電極510連接的另2個(gè)端子，以相互絕緣的狀態(tài)與圍繞像素 電極510配置成格子狀的掃描線512和數(shù)據(jù)線513連接。 照明裝置516作為光源采用白色的LED、 EL、冷陰極管等，只要具備能夠?qū)倪@些 光源發(fā)出的光向液晶顯示面板520照射的導(dǎo)光板或擴(kuò)散板、反射板等的構(gòu)成，采用哪種光 源都可以。還有，液晶顯示面板520作為有源元件不限定于TFT元件，也可以具有TFD(Thin Film Diode)元件，再有，只要在至少一襯底上具備濾色器，則也可以是構(gòu)成像素的電極相 互交叉配置的無(wú)源型液晶顯示裝置。另外，上下偏振板514、515也可以與以改善視角依存 性為目的等而使用的相位差薄膜等光學(xué)功能性薄膜進(jìn)行組合。
(濾色器的制造方法) 接下來(lái)，關(guān)于本實(shí)施方式的濾色器的制造方法，根據(jù)圖11、圖12進(jìn)行說(shuō)明。圖11 是表示液滴噴頭向噴頭組件的配置的概略俯視圖，圖12(a) (e)是表示濾色器的制造方 法的概略截面圖。 首先，關(guān)于與制造具有多色著色層的濾色器相適應(yīng)的液滴噴頭50向噴頭組件9的 配置進(jìn)行說(shuō)明。 如圖11所示，將噴出含有著色層形成材料的三種(RGB)液狀體的6個(gè)液滴噴頭 50，在Y軸方向(副掃描方向)并列搭載。另外，在X軸方向(主掃描方向)按照RGB的順 序并列搭載。并且，噴出不同種類液狀體的各噴嘴列52a、52b的端部位置，在相互偏離的狀 態(tài)下進(jìn)行搭載。噴頭組件9上，把噴出不同種類液狀體的3個(gè)液滴噴頭50作為1個(gè)組，使2 個(gè)噴頭組50A、50B沿X軸方向搭載。此時(shí)的偏離量等于，噴嘴列52a和噴嘴列52b的全長(zhǎng) (有效噴嘴320個(gè)量)加上1個(gè)噴嘴間距P2而得的長(zhǎng)度除以噴出的液狀體種類的數(shù)目而得的值。即，等于((P2X319)+P2)/3 = (P2X320)/3。從而，從X軸方向(主掃描方向)看， 則噴出相同種類液狀體的噴頭Rl和噴頭R2的液滴噴頭50的噴嘴52，以噴嘴間距P2配置 成320X2 = 640個(gè)連續(xù)的狀態(tài)。噴頭Gl和噴頭G2、噴頭Bl和噴頭B2的噴出相同種類液 狀體的各液滴噴頭50也同樣。另外，噴頭組50A中，噴出不同種類液狀體的噴頭Rl和噴頭 G1及噴頭B1的各噴嘴列52a的端部，相互偏離(P2X320)/3，從而，成為配置在相互偏離最 大的位置的狀態(tài)。其他組50b中也同樣。 基于所述噴頭組件9的構(gòu)成，能夠在1次主掃描中，利用搭載在噴頭組件9上的多 個(gè)液滴噴頭50，以噴出相同種類液狀體的1個(gè)液滴噴頭50的描繪寬度在Y軸方向(副掃描 方向)連續(xù)的描繪寬度，噴出三種不同的液狀體。 本實(shí)施方式的濾色器的制造方法，包括在對(duì)置襯底501表面形成隔壁部504的工 序和對(duì)由隔壁部504劃分的著色區(qū)域進(jìn)行表面處理的工序。另外，還包括描繪工序和成膜 工序，描繪工序采用液狀體噴出裝置l，對(duì)表面處理過(guò)的著色區(qū)域以液滴形式噴出描繪含有 著色層形成材料的三種(三色)液狀體，成膜工序?qū)⒚枥L的液狀體干燥，形成著色層505。 再有，還具備覆蓋隔壁部504和著色層505而形成OC層506的工序和覆蓋OC層而形成由 ITO構(gòu)成的透明對(duì)置電極507的工序。描繪工序包括所述實(shí)施方式1的液狀體的噴出方法 中的檢查工序、配置圖形生成工序和噴出工序。 在形成隔壁部504的工序中，如圖12(a)所示，首先在對(duì)置襯底501上形成作為黑 矩陣的下層堤502。下層堤502的材料，能夠采用例如Cr、Ni、Al等不透明的金屬或它們的 金屬氧化物等化合物。作為下層堤502的形成方法，用蒸鍍法或?yàn)R射法在對(duì)置襯底501上 形成由所述材料構(gòu)成的膜。膜厚對(duì)應(yīng)于選定材料設(shè)定保證遮光性的膜厚即可。例如，如果 是Cr，那么，優(yōu)選是100 200nm。然后，利用光刻法，將與開(kāi)口部502a(參照?qǐng)D10)對(duì)應(yīng)的 部分以外用抗蝕劑膜覆蓋，采用與所述材料對(duì)應(yīng)的酸等蝕刻液蝕刻膜。從而，形成具有開(kāi)口 部502a的下層堤502。 接著，在下層堤502上形成上層堤503。作為上層堤503的材料，能夠采用丙烯酸 系感光性樹(shù)脂材料。另外，感光性樹(shù)脂材料優(yōu)選具有遮光性。作為上層堤503的形成方法， 舉出一種方法例如是在形成有下層堤502的對(duì)置襯底501表面，用輥涂法或旋涂法等涂布 感光性樹(shù)脂材料并使其干燥，形成厚度約2ym的感光性樹(shù)脂層。然后，將以對(duì)應(yīng)于著色區(qū) 域A的大小設(shè)置有開(kāi)口部的掩膜，與對(duì)置襯底501在規(guī)定位置對(duì)置，進(jìn)行曝光*顯影，從而形 成上層堤503。從而，在對(duì)置襯底501上形成呈矩陣狀劃分多個(gè)著色區(qū)域A的隔壁部504。 然后，轉(zhuǎn)到表面處理工序。 表面處埋工序中，進(jìn)行以02作為處理氣體的等離子體處理和以氟氣體作為處理氣 體的等離子體處理。即，著色區(qū)域A被親液處理，其后，由感光性樹(shù)脂構(gòu)成的上層堤503表 面(包括壁面)被疏液處理。然后，轉(zhuǎn)到檢查工序。 檢查工序中，取得從所有液滴噴頭50噴出的液滴的噴落位置信息。此時(shí)，對(duì)應(yīng)于 三種(三色)液狀體在噴頭組件9上配置多個(gè)液滴噴頭50。從而，控制計(jì)算機(jī)10驅(qū)動(dòng)控制 主掃描移動(dòng)臺(tái)2a和各液滴噴頭50，以使同色液狀體的液滴噴落在記錄紙的Y軸方向的直線 上。關(guān)于記錄動(dòng)作，與所述實(shí)施方式l的情況同樣，在主掃描的往動(dòng)和復(fù)動(dòng)中分開(kāi)進(jìn)行。采 用如上所述具備CCD等攝像元件的照相機(jī)，按照每色及每噴嘴列拍攝液滴的噴落狀態(tài)。從 而，能夠按照每色及每噴嘴列取得液滴噴頭50的多個(gè)噴嘴52的噴落位置信息。
配置圖形生成工序中，預(yù)先生成在襯底501上劃分形成的多個(gè)著色區(qū)域A配置三 種液狀體而形成條狀構(gòu)成的位映像數(shù)據(jù)，事先儲(chǔ)存在控制計(jì)算機(jī)10的存儲(chǔ)器中。換言之， 將主掃描中各著色區(qū)域A的配置和噴嘴52的配置反映為位映像數(shù)據(jù)。然后，在所述檢查工 序中，根據(jù)按照每色及每噴嘴列取得的噴嘴52的噴落位置信息，生成修正位映像數(shù)據(jù)。此 時(shí)，由于著色區(qū)域A由隔壁部504劃分形成，從而，優(yōu)選事先修正原位映像數(shù)據(jù)，以使液狀體 的液滴的至少一部分不噴落在隔壁部504上，或使液狀體的液滴不噴落在隔壁部504附近。 這樣一來(lái)，即使具有產(chǎn)生飛行彎曲的噴嘴52，也能夠不溢出著色區(qū)域A而使必要量的液滴 噴落。另外，能夠降低在配置不同色液狀體的著色區(qū)域A間產(chǎn)生由于液滴飛行彎曲而造成 的混色。 噴出工序中，如圖12(b)所示，對(duì)表面處理過(guò)的各著色區(qū)域A分別以液滴形式噴出 描繪對(duì)應(yīng)的液狀體80R、80G、80B。液狀體80R含有R(紅色)濾色器形成材料，液狀體80G 含有G(綠色)濾色器形成材料，液狀體80B含有B(藍(lán)色)濾色器形成材料。采用液滴噴 頭裝置1，向液滴噴頭50填充各液狀體80R、80G、80B，以液滴形式噴落在著色區(qū)域A上。此 時(shí)，根據(jù)所述修正位映像數(shù)據(jù)，使產(chǎn)生飛行彎曲的噴嘴52改變噴出定時(shí)進(jìn)行噴出。或者，改 變噴出速度進(jìn)行噴出。各液狀體80R、80G、80B對(duì)應(yīng)于著色區(qū)域A的面積賦予必要量，在著 色區(qū)域A上濡濕擴(kuò)散，通過(guò)表面張力而隆起。如果采用液滴噴出裝置l，則能夠大致同時(shí)地 噴出描繪三種不同的液狀體80R、80G、80B。 接下來(lái)，在成膜工序中，如圖12(c)所示，將噴出描繪的各液狀體80R、80G、80B — 并干燥，去除溶劑成分，將各著色層505R、505G、505B成膜。作為干燥方法，優(yōu)選是能夠均勻 地干燥溶劑成分的減壓干燥等方法。然后，轉(zhuǎn)到OC層形成工序。 OC層形成工序中，如圖12(d)所示，覆蓋著色層505和上層堤503而形成0C層 506。作為0C層506的材料，能夠采用透明的丙烯酸系樹(shù)脂材料。作為形成方法，可舉出旋 涂法、膠版印刷等方法。OC層506為了緩和形成有著色層505的對(duì)置襯底501的表面凹凸， 使后來(lái)在該表面貼膜的對(duì)置電極507平整化而設(shè)置。另外，為了確保與對(duì)置電極507的密 接性，在OC層506上還可以形成Si02等薄膜。然后，轉(zhuǎn)到透明電極形成工序。
透明電極形成工序中，如圖12(e)所示，利用濺射法或蒸鍍法在真空中將ITO等透 明電極材料成膜，覆蓋0C層506而在整個(gè)面上形成對(duì)置電極507。 這樣作成的對(duì)置襯底501的著色層505，降低由于液滴飛行彎曲而造成的噴出不 均和混色，在著色區(qū)域A上具有大致均勻的膜厚。如果把該對(duì)置襯底501和具有像素電極 510及TFT元件511的元件襯底508用粘接劑在規(guī)定位置粘接，在兩襯底501、508間填充液 晶，則作成由于噴出不均和混色等引起的色彩不均少、具有外觀好的顯示品質(zhì)的液晶顯示 裝置500。 所述實(shí)施方式2的效果，如下所述。 (1)所述實(shí)施方式2的濾色器的制造方法，在噴出工序中，根據(jù)修正位映像數(shù)據(jù)， 使產(chǎn)生飛行彎曲的噴嘴52改變噴出定時(shí)或噴出速度，向由隔壁部504劃分的著色區(qū)域A以 液滴形式噴出三種(三色)液狀體。因而，能夠制造在著色區(qū)域A上具有大致均勻膜厚的 著色層505的濾色器。 (2)如果采用以所述實(shí)施方式2的濾色器的制造方法制造的對(duì)置襯底501，制造液 晶顯示裝置500，則能夠提供色彩不均少、具有外觀好的顯示品質(zhì)的液晶顯示裝置500。
(實(shí)施方式3)〈有機(jī)EL元件的制造方法〉 接下來(lái)，作為適用了所述實(shí)施方式1的液狀體的噴出方法的其他實(shí)施方式，以有 機(jī)EL元件的制造方法為例進(jìn)行說(shuō)明。 首先，關(guān)于具有有機(jī)EL元件的有機(jī)EL顯示裝置進(jìn)行簡(jiǎn)單說(shuō)明。
圖13是表示有機(jī)EL顯示裝置的要部結(jié)構(gòu)的概略截面圖。如圖13所示，有機(jī)EL 顯示裝置600包括具有作為有機(jī)EL元件的發(fā)光元件部603的元件襯底601和將元件襯底 601和空間622隔開(kāi)封閉的密封襯底620。另外，元件襯底601在元件襯底601上具備電路 元件部602，發(fā)光元件部603在電路元件部602上重疊形成，被電路元件部602驅(qū)動(dòng)。在發(fā) 光元件部603上，作為有機(jī)EL發(fā)光層的三色發(fā)光層617R、617G、617B在各發(fā)光層形成區(qū)域 A形成，呈條狀。元件襯底601以與三色發(fā)光層617R、617G、617B對(duì)應(yīng)的3個(gè)發(fā)光層形成區(qū) 域A作為1組像素，該像素呈矩陣狀配置在元件襯底601的電路元件部602上。有機(jī)EL顯 示裝置600中，從發(fā)光元件部603產(chǎn)生的光向元件襯底601側(cè)射出。 密封襯底620由玻璃或金屬構(gòu)成，經(jīng)由密封樹(shù)脂與元件襯底601接合，在被密封的 內(nèi)側(cè)表面粘貼吸氣劑621。吸氣劑621吸引侵入到元件襯底601和密封襯底602間的空間 622中的水或氧，防止發(fā)光元件部603由于侵入的水或氧而惡化。還有，該吸氣劑621也可 以省略。 元件襯底601在電路元件部602上具有多個(gè)發(fā)光層形成區(qū)域A，具備劃分多個(gè)發(fā)光 層形成區(qū)域A的隔壁部618、在多個(gè)發(fā)光層形成區(qū)域A上形成的電極613和層疊在電極613 上的空穴注入/輸送層617a。另外，還具備發(fā)光元件部603，其具有在多個(gè)發(fā)光層形成區(qū)域 A內(nèi)賦予含有發(fā)光層形成材料的三種液狀體而形成的發(fā)光層617R、617G、617B。隔壁部618 由下層堤618a和將發(fā)光層形成區(qū)域A作實(shí)質(zhì)劃分的上層堤618b構(gòu)成，下層堤618a向發(fā)光 層形成區(qū)域A內(nèi)側(cè)伸出設(shè)置，為了防止電極613和各發(fā)光層617R、617G、617B直接接觸而造 成電短路，利用Si02等無(wú)機(jī)絕緣材料形成下層堤618a。 元件襯底601由例如玻璃等透明的襯底構(gòu)成，在元件襯底601上形成由硅氧化膜 構(gòu)成的基底保護(hù)膜606，在該基底保護(hù)膜606上形成有由多晶硅構(gòu)成的島狀半導(dǎo)體膜607。 還有，在半導(dǎo)體膜607上，通過(guò)高濃度P離子射入而形成源區(qū)域607a及漏區(qū)域607b。還有， 沒(méi)有導(dǎo)入P的部分成為溝道區(qū)域607c。再有，還形成覆蓋基底保護(hù)膜606及半導(dǎo)體膜607 的透明的柵絕緣膜608，在柵絕緣膜608上，形成由Al、 Mo、 Ta、 Ti、 W等構(gòu)成的柵電極609， 在柵電極609及柵絕緣膜608上形成透明的第一層間絕緣膜611a和第二層間絕緣膜611b。 柵電極609設(shè)置在與半導(dǎo)體膜607的溝道區(qū)域607c對(duì)應(yīng)的位置。另外，貫通第一層間絕緣 膜611a及第二層間絕緣膜611b，形成分別與半導(dǎo)體膜607的源區(qū)域607a、漏區(qū)域607b連 接的接觸孔612a、612b。并且，由ITO (Indium Tin Oxide)等構(gòu)成的透明電極613形成規(guī)定 形狀的圖形配置在第二層間絕緣膜611b上(電極形成工序)， 一接觸孔612a與該電極613 連接。另外，另一接觸孔612b與電源線614連接。這樣一來(lái)，在電路元件部602上形成與 各電極613連接的驅(qū)動(dòng)用的薄膜晶體管615。還有，在電路元件部602上，也形成保持電容 和開(kāi)關(guān)用的薄膜晶體管，不過(guò)，在圖13中省略了它們的圖示。 發(fā)光元件部603具備作為陽(yáng)極的電極613、順次層疊在電極613上的空穴注入/ 輸送層617a、各發(fā)光層617R、617G、617B(總稱為發(fā)光層617b)、覆蓋上層堤618b和發(fā)光層617b層疊的陰極604。由空穴注入/輸送層617a和發(fā)光層617b構(gòu)成激勵(lì)發(fā)光的功能層 617。還有，如果用透明材料構(gòu)成陰極604和密封襯底620及吸氣劑621，則能夠使從密封襯 底620側(cè)發(fā)出的光射出。 有機(jī)EL顯示裝置600具有與柵電極609連接的掃描線(省略圖示)和與源區(qū)域 607a連接的信號(hào)線(省略圖示)，若根據(jù)傳送給掃描線的掃描信號(hào)使開(kāi)關(guān)用的薄膜晶體管 (省略圖示)ON，則此時(shí)的信號(hào)線的電位保持為保持電容，按照該保持電容的狀態(tài)，確定驅(qū) 動(dòng)用的薄膜晶體管615的ON OFF狀態(tài)。然后，經(jīng)由驅(qū)動(dòng)用的薄膜晶體管615的溝道區(qū)域 607c，從電源線614向電極613流通電流，再經(jīng)由空穴注入/輸送層617a和發(fā)光層617b向 陰極604流通電流。發(fā)光層617b對(duì)應(yīng)于其中流動(dòng)的電流量而發(fā)光。有機(jī)EL顯示裝置600 利用這種發(fā)光元件部603的發(fā)光機(jī)理，能夠顯示所期望的文字和圖像等。另外，由于發(fā)光層 617b以使用了液滴噴出裝置1的液狀體的噴出方法描繪形成，因而，具有很少產(chǎn)生由于描 繪時(shí)的噴出不均造成的發(fā)光不均、亮度不均等顯示不良情況的高顯示品質(zhì)。
(有機(jī)EL元件的制造方法) 接下來(lái)，關(guān)于作為本實(shí)施方式的有機(jī)EL元件的發(fā)光元件部的制造方法，根據(jù)圖14 進(jìn)行說(shuō)明。圖14(a) (f)是表示發(fā)光元件部的制造方法的概略截面圖。還有，圖14(a) (f)中，在元件襯底601上形成的電路元件部602省略圖示。 本實(shí)施方式的發(fā)光元件部603的制造方法包括在元件襯底601的與多個(gè)發(fā)光層 形成區(qū)域A對(duì)應(yīng)的位置形成電極613的工序；局部搭在電極613上形成下層堤618a，再在 下層堤618a上形成上層堤618b以實(shí)質(zhì)劃分發(fā)光層形成區(qū)域A的工序。另外，還包括對(duì)由 上層堤618b劃分的發(fā)光層形成區(qū)域A進(jìn)行表面處理的工序；向表面處理過(guò)的發(fā)光層形成區(qū) 域A賦予含有空穴注入/輸送層形成材料的液狀體，噴出描繪空穴注入/輸送層617a的工 序；將噴出的液狀體干燥，將空穴注入/輸送層617a成膜的工序。另外，還包括對(duì)形成有 空穴注入/輸送層617a的發(fā)光層形成區(qū)域A進(jìn)行表面處理的工序；向表面處理過(guò)的發(fā)光層 形成區(qū)域A噴出描繪含有發(fā)光層形成材料的三種液狀體的描繪工序；將噴出的三種液狀體 干燥，將發(fā)光層617b成膜的工序。再有，還具備覆蓋上層堤618b和發(fā)光層617b而形成陰 極604的工序。各液狀體向發(fā)光層形成區(qū)域A的賦予，采用與所述實(shí)施方式2的濾色器的 制造方法相同的液狀體的噴出方法。從而，適用圖11所示的液滴噴頭50向噴頭組件9的 配置。 電極(陽(yáng)極)形成工序中，如圖14(a)所示，在已經(jīng)形成有電路元件部602的元件 襯底601的對(duì)應(yīng)于發(fā)光層形成區(qū)域A的位置形成電極613。作為形成方法，例如可舉出的方 法是在元件襯底601表面，采用ITO等透明電極材料，在真空中經(jīng)濺射法或蒸鍍法形成透明 電極膜，其后，用光刻法只留下必要部分進(jìn)行蝕刻從而形成電極613。另外，也可以采用如 下方法首先用光致抗蝕劑覆蓋元件襯底601，使形成電極613的區(qū)域開(kāi)口而進(jìn)行曝光*顯 影，然后在開(kāi)口部形成ITO等透明電極膜，去除殘留的光致抗蝕劑。然后，轉(zhuǎn)到堤形成工序。
隔壁部形成工序中，如圖14(b)所示，覆蓋元件襯底601的多個(gè)電極613的一部分 而形成下層堤618a。作為下層堤618a的材料，采用作為無(wú)機(jī)材料的絕緣性的Si02(氧化 硅)。作為下層堤618a的形成方法，例如，可舉出以下方法，對(duì)應(yīng)于后面形成的發(fā)光層617b， 采用抗蝕劑等掩蔽各電極613的表面。其后，將掩蔽好的元件襯底601投入真空裝置中，以 Si02作為靶或原料進(jìn)行濺射或真空蒸鍍，從而形成下層堤618b。之后剝離抗蝕劑等的掩蔽。還有，下層堤618a由Si02形成，從而，只要其膜厚在200nm以下就具有足夠的透明性，即使 以后層疊空穴注入/輸送層617a及發(fā)光層617b也不會(huì)阻礙發(fā)光。 接下來(lái)，在下層堤618a上形成上層堤618b以實(shí)質(zhì)劃分發(fā)光層形成區(qū)域A。作為 上層堤618b的材料，優(yōu)選相對(duì)于含有后述的發(fā)光層形成材料的三種液狀體100R、100G、 100B溶劑具有耐久性，再有，能夠在以氟系氣體作為處理氣體的等離子體處理的作用下被 疏液化，優(yōu)選是例如丙烯酸樹(shù)脂、環(huán)氧樹(shù)脂、感光性聚酰亞胺等之類的有機(jī)材料。作為上層 堤618b的形成方法，例如可以列舉如下方法在形成有下層堤618a的元件襯底601表面用 輥涂法或旋涂法等涂布感光性的所述有機(jī)材料，使其干燥，形成厚度約2 ii m的感光性樹(shù)脂 層。然后，使以對(duì)應(yīng)于發(fā)光層形成區(qū)域A的大小設(shè)置有開(kāi)口部的掩膜與對(duì)置襯底601在規(guī) 定位置對(duì)置，進(jìn)行曝光*顯影，由此形成上層堤618b。從而，形成具有下層堤618b和上層堤 618a的隔壁部618。然后，轉(zhuǎn)到表面處理工序。 對(duì)發(fā)光層形成區(qū)域A進(jìn)行表面處理的工序中，首先以02氣體作為處理氣體對(duì)形成 有隔壁部618的元件襯底601的表面進(jìn)行等離子體處理。從而，使電極613的表面、下層堤 618a的伸出部及上層堤618b的表面(包括壁面)活性化而進(jìn)行親液處理。接著，以CF4等 氟系氣體作為處理氣體進(jìn)行等離子體處理。從而，只在由作為有機(jī)材料的感光性樹(shù)脂構(gòu)成 的上層堤618b的表面，氟系氣體反應(yīng)而進(jìn)行疏液處理。然后，轉(zhuǎn)到空穴注入/輸送層形成 工序。 空穴注入/輸送層形成工序中，如圖14(c)所示，向空穴注入/輸送層形成區(qū)域A 賦予含有空穴注入/輸送層形成材料的液狀體90。作為賦予液狀體90的方法，采用具備圖 11的噴頭組件9的液滴噴出裝置1。從液滴噴頭50噴出的液狀體90以液滴形式在元件襯 底601的電極613上噴落并濡濕擴(kuò)散。液狀體90對(duì)應(yīng)于空穴注入/輸送層形成區(qū)域A的 面積以液滴形式噴出必要量，通過(guò)表面張力形成隆起的狀態(tài)。然后，轉(zhuǎn)到干燥 成膜工序。
干燥 成膜工序中，用例如燈退火等方法加熱元件襯底601，從而使液狀體90的 溶劑成分干燥并將其去除，在由電極613的下層堤618a劃分的區(qū)域形成空穴注入/輸送層 617a。本實(shí)施方式中，作為空穴注入/輸送層形成材料，采用了PEDOT(Polyethylene Dioxy Thiophene :聚乙撐二氧噻吩)。還有，此時(shí)，在各發(fā)光層形成區(qū)域A上形成由相同材料構(gòu)成 的空穴注入/輸送層617a，不過(guò)，也可以對(duì)應(yīng)于后面形成的發(fā)光層617b，在每個(gè)發(fā)光層形成 區(qū)域A上改變空穴注入/輸送層617a的形成材料。然后，轉(zhuǎn)到下一個(gè)表面處理工序。
在下一個(gè)表面處理工序中，由于采用所述空穴注入/輸送層形成材料形成空穴注 入/輸送層617a時(shí)，其表面相對(duì)于三種液狀體100R、 100G、 100B具有疏液性，因此，進(jìn)行表 面處理以至少使發(fā)光層形成區(qū)域A的區(qū)域內(nèi)再次具有親液性。作為表面處理方法，可舉出 將三種液狀體100R、100G、100B中使用的溶劑進(jìn)行涂布、干燥。作為溶劑的涂布方法，可舉 出噴霧法、旋涂法等方法。然后，轉(zhuǎn)到發(fā)光層的描繪工序。 發(fā)光層的描繪工序中，如圖14(d)所示，采用液滴噴出裝置1從多個(gè)液滴噴頭50 向多個(gè)發(fā)光層形成區(qū)域A賦予含有發(fā)光層形成材料的三種液狀體100R、100G、100B。液狀體 100R含有形成發(fā)光層617R(紅色)的材料，液狀體100G含有形成發(fā)光層617G(綠色)的材 料，液狀體100B含有形成發(fā)光層617B (藍(lán)色)的材料。噴落的各液狀體100R、 100G、 100B，在 發(fā)光層形成區(qū)域A上濡濕擴(kuò)散，截面形狀呈圓弧狀隆起。作為賦予這些液狀體100R、100G、 100B的方法，與實(shí)施方式2的濾色器制造方法相同，包括取得液滴噴落位置信息的檢查工序；生成通過(guò)根據(jù)噴落位置信息修正了基于發(fā)光層形成區(qū)域A的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)(CAD數(shù)據(jù))的位 映像數(shù)據(jù)而得到的修正位映像數(shù)據(jù)的配置圖形生成工序；根據(jù)修正位映像數(shù)據(jù)使產(chǎn)生飛行 彎曲的噴嘴52改變噴出定時(shí)或噴出速度噴出液滴的噴出工序。噴出工序中，由于采用修正 位映像數(shù)據(jù)，從而，可進(jìn)行噴出控制，使得從產(chǎn)生飛行彎曲的噴嘴52噴出的液滴的至少一 部分不濺到隔壁部618上，或液滴不噴落在隔壁部618附近。然后，轉(zhuǎn)到干燥 成膜工序。
干燥*成膜工序中，如圖14 (e)所示，使噴出描繪的各液狀體100R、 100G、 100B的溶 劑成分干燥并將其去除，進(jìn)行成膜化以使在各發(fā)光層形成區(qū)域A的空穴注入/輸送層617a 上層疊各發(fā)光層617R、617G、617B。作為噴出描繪有各液狀體100R、IOOG、 100B的元件襯底 601的干燥方法，優(yōu)選能夠使溶劑的蒸發(fā)速度大致一定的減壓干燥。然后，轉(zhuǎn)到陰極形成工 序。 陰極形成工序中，如圖14(f)所示，覆蓋元件襯底601的各發(fā)光層617R、617G、617B 和上層堤618b的表面而形成陰極604。作為陰極604的材料，優(yōu)選組合使用Ca、Ba、Al等金 屬或LiF等氟化物。特別是，優(yōu)選在靠近發(fā)光層617R、617G、617B的側(cè)，形成功函數(shù)小的Ca、 Ba、LiF的膜，在遠(yuǎn)離的側(cè)，形成功函數(shù)大的Al等的膜。另外，在陰極604上可以層疊Si(^、 SiN等保護(hù)層。這樣一來(lái)，能夠防止陰極604的氧化。作為陰極604的形成方法，可舉出蒸 鍍法、濺射法、CVD法等。特別是在能夠防止發(fā)光層617R、617G、617B的熱所導(dǎo)致的損傷方 面，優(yōu)選蒸鍍法。這樣作成的元件襯底601具有噴出描繪時(shí)由于飛行彎曲引起的噴出不均少、干 燥 成膜化后的膜厚大致一定的各發(fā)光層617R、617G、617B。
所述實(shí)施方式3的效果，如下所述。 (1)所述實(shí)施方式3的發(fā)光元件部603的制造方法，在發(fā)光層617b的描繪工序中， 根據(jù)修正位映像數(shù)據(jù)，向元件襯底601的發(fā)光層形成區(qū)域A以液滴形式噴出描繪各液狀體 IOOR、 IOOG、 IOOB。使產(chǎn)生飛行彎曲的噴嘴52改變噴出定時(shí)或噴出速度進(jìn)行噴出，因此，在 發(fā)光層形成區(qū)域A的適當(dāng)位置配置液滴。所以，獲得噴出描繪時(shí)由于飛行彎曲引起的噴出 不均少、干燥 成膜化后的膜厚大致一定的各發(fā)光層617R、617G、617B。
(2)如果采用以所述實(shí)施方式3的發(fā)光元件部603的制造方法制造的元件襯底 601，制造有機(jī)EL顯示裝置600，則各發(fā)光層617R、617G、617B的膜厚大致一定，因而，每個(gè)發(fā) 光層617R、617G、617B的電阻大致一定。從而，若利用電路元件部602向發(fā)光元件部603施 加驅(qū)動(dòng)電壓使其發(fā)光，則降低了由于每個(gè)發(fā)光層617R、617G、617B的電阻不均而造成的發(fā) 光不均和亮度不均等。即，能夠提供由于飛行彎曲引起的噴出不均所產(chǎn)生的發(fā)光不均和亮 度不均等少、具有外觀良好的顯示品質(zhì)的有機(jī)EL顯示裝置600。 以上，關(guān)于本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，不過(guò)，對(duì)于所述各實(shí)施方式，能夠在不 脫離本發(fā)明宗旨的范圍內(nèi)加以各種變形。例如，所述各實(shí)施方式以外的變形例如下所述。
(變形例1)所述實(shí)施方式1的液狀體的噴出方法中，根據(jù)多個(gè)噴嘴52的噴落位置 信息對(duì)產(chǎn)生飛行彎曲的噴嘴52進(jìn)行的噴出控制，并不限定于修正原位映像數(shù)據(jù)的方法。例 如，也可以在控制電路襯底40中，裝入使閂鎖信號(hào)的產(chǎn)生定時(shí)提前或延遲的電路，對(duì)其進(jìn) 行選擇而進(jìn)行控制。(變形例2)所述實(shí)施方式1的液狀體的噴出方法中，取得噴落位置信息的檢查工 序(步驟S1)的實(shí)施方法，并不限定于此。例如，也可以根據(jù)取得的噴落位置信息特定產(chǎn)生飛行彎曲的噴嘴52，向與該噴嘴52對(duì)應(yīng)的壓電元件(振動(dòng)元件)59施加改變了噴出定時(shí)或 噴出速度的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，再次取得噴落位置信息，如此進(jìn)行重復(fù)。這樣一來(lái)，能夠確認(rèn)基于變 更的驅(qū)動(dòng)信號(hào)進(jìn)行的噴出控制是否適當(dāng)，并確認(rèn)其效果。(變形例3)所述實(shí)施方式1的液狀體的噴出方法中，液滴噴頭50向噴頭組件9的 配置，并不限定于此。例如，也可以配置為使液滴噴頭50相對(duì)于X軸方向傾斜并列。這樣 一來(lái)，能夠使液滴更高精細(xì)地在主掃描方向上噴落。(變形例4)所述實(shí)施方式1的配線襯底的制造方法中，配線301、303的配置，并不 限定于此。例如，對(duì)于在絕緣膜307上層疊配線的多層配線襯底也能夠適用本發(fā)明的液狀 體的噴出方法。(變形例5)所述實(shí)施方式2的濾色器的制造方法中，著色層505R、505G、505B的配 置，并不限定于此。例如，關(guān)于條型配置以外的鑲嵌配置、三角形配置也能夠適用本發(fā)明的 液狀體的噴出方法。(變形例6)所述實(shí)施方式2的濾色器的制造方法中，著色層505并不限定于三色。 例如，在除了 RGB三色以外組合了互補(bǔ)色等其他色的多色濾色器中也能夠適用本發(fā)明的液 狀體的噴出方法。(變形例7)所述實(shí)施方式3的作為有機(jī)EL元件的發(fā)光元件部603的制造方法中， 發(fā)光元件部603并不限定于多色發(fā)光。例如，也可以形成為使發(fā)光元件部630進(jìn)行白色發(fā) 光，在密封襯底620側(cè)配置濾色器的構(gòu)成、或在元件襯底601側(cè)配置濾色器的構(gòu)成。
(變形例8)所述實(shí)施方式1的液狀體的噴出方法，不僅僅是金屬配線、濾色器、 有機(jī)EL元件的制造方法，也能夠適用于熒光元件、電子釋放元件等各種功能元件的形成方 法。
權(quán)利要求
一種液狀體的噴出方法，其使具有多個(gè)噴嘴的噴頭和襯底對(duì)置配置，使所述噴頭和所述襯底沿主掃描方向相對(duì)移動(dòng)，與所述主掃描方向的噴出定時(shí)同步在所述襯底上作為液滴噴出含有功能性材料的液狀體，所述液狀體的噴出方法的特征在于，包括第一配置位映像圖案生成工序，第一配置位映像圖案在由所述多個(gè)噴嘴的噴嘴列方向和與所述噴嘴列方向交叉的所述主掃描方向構(gòu)成的平面上展開(kāi)，在所述第一配置位映像圖案生成工序中，以所述襯底的設(shè)計(jì)信息為基礎(chǔ)，生成由用于在所述襯底上配置從所述噴頭噴出的所述液滴的多個(gè)點(diǎn)構(gòu)成的所述第一配置位映像圖案；修正量算出工序，取得從所述多個(gè)噴嘴噴出的所述液滴的噴落位置，作為修正量算出所述噴落位置相對(duì)于基準(zhǔn)位置在所述主掃描方向上的偏離；第二配置位映像圖案生成工序，點(diǎn)是所述第一配置位映像圖案的點(diǎn)，在所述第二配置位映像圖案生成工序中，使噴出該點(diǎn)的所述噴嘴的所述修正量沿所述主掃描方向移動(dòng)而生成第二配置位映像圖案；噴出工序，基于所述第二配置位映像圖案，與所述主掃描方向的所述噴出定時(shí)同步作為所述液滴噴出所述液狀體。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的液狀體的噴出方法，其特征在于，在所述第二配置位映像圖案生成工序中，所述移動(dòng)的方向在所述主掃描方向的往動(dòng)和 復(fù)動(dòng)中是相反方向。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的液狀體的噴出方法，其特征在于， 所述修正量是向所述襯底噴出所述液滴的噴出分辨率的單位的整數(shù)倍。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的液狀體的噴出方法，其特征在于，所述噴出定時(shí)以使所述襯底沿所述主掃描方向移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)的移動(dòng)分辨率的單位 的整數(shù)倍進(jìn)行。
5. —種配線襯底的制造方法，其是在襯底上具有由導(dǎo)電性材料構(gòu)成的配線的配線襯底 的制造方法，其特征在于，包括描繪工序，其采用權(quán)利要求1 4中任意一項(xiàng)所述的液狀體的噴出方法，向所述襯底上 作為液滴噴出描繪含有導(dǎo)電性材料的液狀體；干燥燒成工序，其將噴出描繪的所述液狀體干燥、燒成，形成所述配線。
6. —種濾色器的制造方法，其是在襯底上利用隔壁部劃分形成的多個(gè)著色區(qū)域上具有 至少三色的著色層的濾色器的制造方法，其特征在于，包括描繪工序，其采用權(quán)利要求1 4中任意一項(xiàng)所述的液狀體的噴出方法，向所述多個(gè)著 色區(qū)域作為液滴噴出描繪含有著色層形成材料的至少三色的液狀體；干燥工序，其將噴出描繪的所述液狀體干燥，形成至少三色的所述著色層。
7. —種有機(jī)EL元件的制造方法，其是在襯底上利用隔壁部劃分形成的多個(gè)發(fā)光層形 成區(qū)域上具有有機(jī)EL發(fā)光層的有機(jī)EL元件的制造方法，其特征在于，包括描繪工序，其采用權(quán)利要求1 4中任意一項(xiàng)所述的液狀體的噴出方法，向所述多個(gè); 光層形成區(qū)域作為液滴噴出描繪至少含有發(fā)光層形成材料的液狀體；干燥工序，其將噴出描繪的所述液狀體干燥，形成所述有機(jī)EL發(fā)光層。
全文摘要
提供能夠驅(qū)動(dòng)控制噴頭、使液滴高精度噴落的液狀體的噴出方法、適用了該液狀體的噴出方法的配線襯底的制造方法、濾色器的制造方法、有機(jī)EL發(fā)光元件的制造方法。本發(fā)明的液狀體的噴出方法包括檢查工序(步驟S1)，其驅(qū)動(dòng)噴頭，取得從多個(gè)噴嘴的每個(gè)噴嘴噴出的液滴的噴落位置信息；配置圖形生成工序(步驟S2)，其相對(duì)于通過(guò)主掃描在襯底上配置液滴的第一配置圖形，生成根據(jù)噴落位置信息在主掃描的方向上對(duì)飛行彎曲進(jìn)行了修正的第二配置圖形；噴出工序(步驟S3)，其根據(jù)第二配置圖形，使產(chǎn)生了飛行彎曲的噴嘴改變噴出定時(shí)或噴出速度而進(jìn)行噴出。
文檔編號(hào)H05B33/10GK101698373SQ200910174039
公開(kāi)日2010年4月28日 申請(qǐng)日期2007年8月10日 優(yōu)先權(quán)日2006年8月11日
發(fā)明者北原強(qiáng), 宮阪洋一, 牛山佳彥 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社