專利名稱：液狀體噴出方法、配線襯底、濾色器及有機(jī)el發(fā)光元件的制法的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及含有功能性材料的液狀體的噴出方法、配線襯底的制造方 法、濾色器的制造方法、有機(jī)EL發(fā)光元件的制造方法。
背景技術(shù)：
作為含有功能性材料的液狀體的噴出方法，已知在襯底上形成所期望的膜圖形的方法(專利文獻(xiàn)l)。該膜圖形形成方法，包括檢測工序和控制 處理工序，檢測工序在所期望的膜圖形的形成之前從液滴噴頭噴出功能性 材料的液滴并檢測其噴落狀態(tài)，控制處理工序根據(jù)由檢測工序檢測的液滴 噴落狀態(tài)來檢測液滴噴頭的各噴嘴的噴出特性，根據(jù)該噴出特性作成控制 液滴噴頭的噴出的控制信號。另外，還具備根據(jù)所述控制信號控制液滴噴 頭的噴出并形成所述所期望的膜圖形的膜圖形形成處理。并且，在所述檢 測工序中，向載置所述襯底的載物臺上供給所述液滴所含有的溶劑或分散 劑、或它們的蒸氣。因而，在載物臺上預(yù)先存在溶劑或分散劑、或它們的 蒸氣，因此，能夠抑制從用于檢查而噴落的液滴中蒸發(fā)必要以上的溶劑或 分散劑從而導(dǎo)致噴落狀態(tài)變化的情況。從而，能夠更準(zhǔn)確地檢測噴落狀態(tài)， 根據(jù)該噴落狀態(tài)檢測液滴噴頭的各噴頭的噴出特性，因此，能夠在控制處 理工序中生成適當(dāng)?shù)目刂菩盘枺谀D形形成處理中形成高精度的膜圖 形。專利文獻(xiàn)l:特開2006 — 15243號公報(bào)所述膜圖形形成方法中，作為液滴噴頭的各噴嘴的噴出特性，以液滴 的噴落位置和噴落直徑為著眼點(diǎn)。不過，沒有明確公布根據(jù)被檢測的噴落 位置和噴落直徑如何生成驅(qū)動液滴噴頭的控制信號。特別是當(dāng)由于飛行彎 曲而使噴落位置偏離時，由于飛行彎曲產(chǎn)生的噴落位置偏離的方向不一定 為一定，在如何解決這個問題方面仍是不明確的。
另外，在這種所謂的液滴噴出法(噴墨方式)中，作為產(chǎn)生飛行彎曲 的原因，認(rèn)為是由于例如噴嘴的局部堵塞、在噴嘴的開口部周邊附著液狀 體和異物等造成的影響。從而，為了預(yù)防飛行彎曲，而進(jìn)行吸引去除噴嘴 內(nèi)的異物和液狀體(加蓋)、或者擦拭形成有噴嘴的噴嘴板表面并清除異 物(擦去)等使液滴噴頭恢復(fù)的恢復(fù)動作(再生動作)。不過，即使進(jìn)行 這種恢復(fù)動作也還是存在不能完全清除原因、有可能產(chǎn)生飛行彎曲這樣的 問題。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明正是考慮所述問題而產(chǎn)生的，其目的在于提供能夠驅(qū)動控制噴 頭、使液滴高精度噴落的液狀體的噴出方法、適用了該液狀體的噴出方法的配線襯底的制造方法、濾色器的制造方法、有機(jī)EL發(fā)光元件的制造方法。本發(fā)明的液狀體的噴出方法，其使具有多個噴嘴的噴頭和襯底對置配 置，與使所述噴頭和所述襯底相對移動的主掃描同步，在所述襯底上作為 液滴噴出含有功能性材料的液狀體，所述液狀體的噴出方法的特征在于， 具備噴出工序，所述噴出工序根據(jù)從多個噴嘴噴出的液滴的噴落位置信 息，使多個噴嘴中規(guī)定的噴嘴改變噴出定時而進(jìn)行噴出。根據(jù)該方法，在噴出工序中，根據(jù)從多個噴嘴噴出的液滴的噴落位置 信息，使多個噴嘴中規(guī)定的噴嘴改變噴出定時而進(jìn)行噴出。從而，根據(jù)所 述噴落位置信息，特定需要修正噴落位置的規(guī)定噴嘴，使其他噴嘴改變噴 出定時，從而，能夠使液滴高精度噴落。再有，其特征在于，還具備驅(qū)動所述噴頭，取得從多個噴嘴噴出的液 滴的噴落位置信息的工序。根據(jù)該方法，由于具備取得所述噴落位置信息 的工序，因此，能夠取得最新的噴落位置信息，將其反映給噴出工序。其特征在于，還具備配置圖形生成工序，配置圖形生成工序相對于通 過所述主掃描在襯底上配置液滴的第一配置圖形，生成根據(jù)噴落位置信息 在主掃描的方向上對飛行彎曲進(jìn)行了修正的第二配置圖形，噴出工序中， 根據(jù)第二配置圖形，使產(chǎn)生了飛行彎曲的噴嘴改變噴出定時而噴出液滴。根據(jù)該方法，在噴出工序中，根據(jù)在配置圖形生成工序中修正的第二配置圖形，使產(chǎn)生了飛行彎曲的噴嘴改變噴出定時進(jìn)行噴出。從而，預(yù)先 考慮液滴相對于襯底的濡濕性等物性和具有噴頭的液滴噴出裝置的描繪 精度等而作成第一配置圖形，與之相對，如果生成修正了飛行彎曲的第二 配置圖形，則能夠至少在主掃描方向上高精度地控制液滴的噴落位置。優(yōu)選，所述配置圖形生成工序中，第二配置圖形在主掃描中的往動和 復(fù)動中分開生成，飛行彎曲在主掃描方向上的修正在往動和復(fù)動中以不同 方式進(jìn)行。根據(jù)該方法，考慮由于主掃描的往動和復(fù)動而產(chǎn)生的噴落位置 的變動，生成第二配置圖形，因此，能夠更高精度地控制液滴的噴落位置。另外，其特征在于，所述飛行彎曲在主掃描方向上的噴出定時的修正， 按將向襯底噴出液滴的噴出分辨率的單位進(jìn)行。根據(jù)該方法，噴出定時的 修正按照噴出分辨率的單位進(jìn)行，因此，能夠高精細(xì)地進(jìn)行噴出控制。另外，所述飛行彎曲在主掃描方向上的噴出定時的修正，也可以按照 使襯底沿主掃描的方向移動的移動機(jī)構(gòu)的移動分辨率的單位進(jìn)行。根據(jù)該 方法，噴出定時的修正按照移動分辨率的單位進(jìn)行，因此，能夠高精細(xì)地 進(jìn)行噴出控制。本發(fā)明的其他液狀體的噴出方法，其使具有多個噴嘴的噴頭和襯底對 置配置，與使噴頭和襯底相對移動的主掃描同步，在襯底上作為液滴噴出 含有功能性材料的液狀體，所述液狀體的噴出方法的特征在于，具備噴出 工序，噴出工序根據(jù)從多個噴嘴噴出的液滴的噴落位置信息，使多個噴嘴 中規(guī)定的噴嘴改變噴出速度而進(jìn)行噴出。根據(jù)該方法，在噴出工序中，根據(jù)從多個噴嘴噴出的液滴的噴落位置 信息，使多個噴嘴中規(guī)定的噴嘴改變噴出速度而進(jìn)行噴出。從而，根據(jù)所 述噴落位置信息，特定需要修正噴落位置的規(guī)定噴嘴，使其他噴嘴改變噴 出速度，從而，能夠使液滴高精度噴落。再有，其特征在于，還具備驅(qū)動所述噴頭，取得從多個噴嘴噴出的液 滴的噴落位置信息的工序。根據(jù)該方法，由于具備取得所述噴落位置信息 的工序，因此，能夠取得最新的噴落位置信息，將其反映給噴出工序。其特征在于，還具備配置圖形生成工序，配置圖形生成工序相對于通 過所述主掃描在襯底上配置液滴的第一配置圖形，生成根據(jù)噴落位置信息
在主掃描的方向上對飛行彎曲進(jìn)行了修正的第二配置圖形，噴出工序中， 根據(jù)第二配置圖形，使產(chǎn)生了飛行彎曲的噴嘴改變噴出速度而噴出液滴。根據(jù)該方法，在噴出工序中，根據(jù)在配置圖形生成工序中修正的第二 配置圖形，使產(chǎn)生了飛行彎曲的噴嘴改變噴出速度進(jìn)行噴出。從而，預(yù)先 考慮液滴相對于襯底的濡濕性等物性和具有噴頭的液滴噴出裝置的描繪 精度等而作成第一配置圖形，與之相對，如果生成修正了飛行彎曲的第二 配置圖形，則能夠至少在主掃描方向上高精度地控制液滴的噴落位置。優(yōu)選，所述配置圖形生成工序中，第二配置圖形在主掃描中的往動和 復(fù)動中分開生成，飛行彎曲在主掃描方向上的修正在往動和復(fù)動中以不同 方式進(jìn)行。根難該方法，考慮由于主掃描的往動和復(fù)動而產(chǎn)生的噴落位置 的變動，生成第二配置圖形，因此，在噴出工序中，能夠更高精度地控制 液滴的噴落位置。另外，所述本發(fā)明的液狀體的噴出方法，其特征在于，在所述襯底上 具有由隔壁部劃分的多個噴出區(qū)域，在噴出工序中，根據(jù)噴落位置信息而 使產(chǎn)生了飛行彎曲的噴嘴改變噴出定時進(jìn)行噴出，使從該噴嘴噴出的液滴 至少一部分不噴落在隔壁部上，或使液滴不噴落在隔壁部附近。另外，所述本發(fā)明的液狀體的噴出方法，其特征在于，在所述襯底上 具有由隔壁部劃分的多個噴出區(qū)域，在噴出工序中，根據(jù)噴落位置信息而 使產(chǎn)生了飛行彎曲的噴嘴改變噴出速度進(jìn)行噴出，使從該噴嘴噴出的液滴 的至少一部分不噴落在隔壁部上，或使液滴不噴落在隔壁部附近。根據(jù)這些方法，能夠進(jìn)行控制，使得必要量的液滴噴落在任意一個由 隔壁部劃分的各噴出區(qū)域。本發(fā)明的配線襯底的制造方法，其是在襯底上具有由導(dǎo)電性材料構(gòu)成 的配線的配線襯底的制造方法，其特征在于，包括描繪工序，其采用所 述發(fā)明的液狀體的噴出方法，向襯底上作為液滴噴出描繪含有導(dǎo)電性材料 的液狀體；干燥燒成工序，其將噴出描繪的液狀體干燥、燒成，形成配線。根據(jù)該方法，由于描繪工序采用所述發(fā)明的液狀體的噴出方法，因此， 即使具有產(chǎn)生了飛行彎曲的噴嘴，也能夠修正從該噴嘴噴出的液滴的噴落 位置，使含有導(dǎo)電性材料的液狀體的液滴高精度地噴落。從而，在干燥燒
成后，能夠形成形狀穩(wěn)定的配線。即，可制造具有高精細(xì)配線的配線襯底。 本發(fā)明的濾色器的制造方法，其是在襯底上利用隔壁部劃分形成的多 個著色區(qū)域上具有至少三色的著色層的濾色器的制造方法，其特征在于， 包括描繪工序，其采用所述發(fā)明的液狀體的噴出方法，向多個著色區(qū)域 作為液滴噴出描繪含有著色層形成材料的至少三色的液狀體；干燥工序， 其將噴出描繪的液狀體干燥，形成至少三色的所述著色層。根據(jù)該方法，由于描繪工序采用所述發(fā)明的液狀體的噴出方法，因此， 即使具有產(chǎn)生了飛行彎曲的噴嘴，也能夠修正從該噴嘴噴出的液滴的噴落 位置，使含有著色層形成材料的液狀體的液滴高精度地噴落。從而，能夠 降低由于飛行彎曲引起的噴出不均和混色等。即，可制造色彩不均少的具 有穩(wěn)定品質(zhì)的濾色器。本發(fā)明的有機(jī)EL元件的制造方法，其是在襯底上利用隔壁部劃分形 成的多個發(fā)光層形成區(qū)域上具有有機(jī)EL發(fā)光層的有機(jī)EL元件的制造方 法，其特征在于，包括描繪工序，其采用所述發(fā)明的液狀體的噴出方法， 向發(fā)光層形成區(qū)域作為液滴噴出描繪至少含有發(fā)光層形成材料的液狀體； 干燥工序，其將噴出描繪的液狀體干燥，形成所述有機(jī)EL發(fā)光層。根據(jù)該方法，由于描繪工序采用所述發(fā)明的液狀體的噴出方法，因此， 即使具有產(chǎn)生了飛行彎曲的噴嘴，也能夠修正從該噴嘴噴出的液滴的噴落 位置，使含有發(fā)光層形成材料的液狀體的液滴高精度地噴落。從而，能夠 降低由于飛行彎曲引起的噴出不均。即，可制造發(fā)光不均和亮度不均少的 具有穩(wěn)定品質(zhì)的有機(jī)EL元件。


圖1是表示液滴噴出裝置的結(jié)構(gòu)的概略立體圖。圖2 (a)是表示液滴噴頭向滑架的配置的概略圖，(b)是噴嘴的配置圖。圖3 (a)是表示液滴噴頭結(jié)構(gòu)的概略分解立體圖，(b)是表示噴嘴部 結(jié)構(gòu)的截面圖。圖4是表示液狀體噴出裝置的電氣構(gòu)成的框圖。圖5是表示噴出控制的控制信號的圖，(a)是表示噴出定時控制的一 例的圖，(b)是表示噴出速度控制的一例的圖。 圖6是表示配線襯底的概略俯視圖。 圖7是表示配線襯底的制造方法的流程圖。 圖8 (a)及(b)是表示液滴的噴落位置的檢測方法的圖。 圖9 (a)是表示位映像的圖，(b)是表示(a)的修正后的位映像的圖。
圖IO是表示液晶顯示裝置結(jié)構(gòu)的概略分解立體圖。 圖11是表示液滴噴頭向滑架的配置的概略俯視圖。 圖12 (a) ~ (e)是表示濾色器的制造方法的概略截面圖。 圖13是表示有機(jī)EL顯示裝置的結(jié)構(gòu)的概略截面圖。 圖14 (a) ~ (f)是表示作為有機(jī)EL元件的發(fā)光元件部的制造方法 的概略截面圖。
圖中2a—作為移動機(jī)構(gòu)的主掃描移動臺，50—作為噴頭的液滴噴頭， 52 —噴嘴，80R、 80G、 80B —含有著色層形成材料的液狀體，IOOR、 IOOG、 IOOB —含有發(fā)光層形成材料的液狀體，301 —作為配線的輸入配線，303 一作為配線的輸出配線，504、 618 —隔壁部，505、 505R、 505G、 505B — 著色層，603 —作為有機(jī)EL元件的發(fā)光元件部，617b、 617R、 617G、 617B 一作為有機(jī)EL發(fā)光層的發(fā)光層，A—作為噴出區(qū)域的著色區(qū)域或發(fā)光層 形成區(qū)域，W—襯底。
具體實(shí)施例方式
本實(shí)施方式關(guān)于采用能夠以液滴形式噴出液狀體的液滴噴出裝置，在 襯底上噴出描繪含有功能性材料的液狀體的液狀體噴出方法，以配線襯底 的制造方法、濾色器的制造方法、有機(jī)EL元件的制造方法為例進(jìn)行了說明。還有，說明中使用的各圖與實(shí)際尺寸不同，進(jìn)行了適宜的縮小放大。首先，關(guān)于液滴噴出裝置，根據(jù)圖1 圖5進(jìn)行說明。圖l是表示液滴噴出裝置的結(jié)構(gòu)的概略立體圖。如圖1所示，液滴噴出裝置1具備1對導(dǎo)軌2、通過設(shè)置在導(dǎo)軌2內(nèi)部的氣動滑板和直線馬達(dá)(未圖示)沿主掃描方向(X軸方向)移動的主
掃描移動臺2a。另外，還具備在導(dǎo)軌2上方與導(dǎo)軌2正交地設(shè)置的1對導(dǎo) 軌3、通過設(shè)置在導(dǎo)軌3內(nèi)部的氣動滑板和直線馬達(dá)(未圖示)沿副掃描 方向移動的副掃描移動臺3a。在主掃描移動臺2a上，經(jīng)由9臺6設(shè)有用于載置作為噴出對象物的 襯底W的載物臺5。載物臺5能夠吸附固定襯底W，并且，利用e臺6 能夠使襯底W內(nèi)的基準(zhǔn)軸準(zhǔn)確對正主掃描方向、副掃描方向。副掃描移動臺3a具備經(jīng)由旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)7吊設(shè)的滑架8。另外，滑架8包括 具備多個液滴噴頭50 (參照圖2)的噴頭組件9、用于向液滴噴頭50供給液 狀體的液狀體供給機(jī)構(gòu)(未圖示)和用于進(jìn)行液滴噴頭50的電驅(qū)動控制的 控制電路襯底40 (參照圖4)。沿著導(dǎo)軌2鋪設(shè)有線位移傳感器(未圖示)。在主掃描移動臺2a上，在 面向線位移傳感器的位置安裝有編碼器(未圖示)。此時，通過線位移傳 感器使編碼器產(chǎn)生O.lpm單位的脈沖。從而，能夠以移動分辨率0.1iim單位 控制載物臺5向X軸方向的移動。除了所述構(gòu)成以外，還在面向多個液滴噴頭50的位置配置有維護(hù)機(jī) 構(gòu)，其進(jìn)行搭載在噴頭組件9的多個液滴噴頭50的噴嘴眼堵塞的消除、噴 嘴面的異物和污物的去除等維護(hù)，不過，省略了圖示。接下來，關(guān)于搭載在噴頭組件9上的液滴噴頭50，根據(jù)圖2及圖3 進(jìn)行說明。圖2 (a)是表示液滴噴頭向噴頭組件的配置的概略圖，(b)是 噴嘴的配置圖。如圖2 (a)所示，液滴噴頭50具有所謂2串的噴嘴列52a、 52b。從 X軸方向(主掃描方向)看，2個噴嘴列52a、 52b相互局部重合地在Y 軸方向偏離配置，并且6個液滴噴頭50在X軸方向并列地搭載在噴頭組 件9上。如圖2 (b)所示，此時，2個噴嘴列52a、 52b分別由以等間隔Pl配 置的180個噴嘴52構(gòu)成。噴嘴徑約為2(Him、等間隔Pl約為140pm。位 于各噴嘴列52a、 52b兩端側(cè)的10個噴嘴52考慮其噴出量的差異而不使 用。以這各10個噴嘴52的部分從X軸方向看時重合的方式配置6個液滴 噴頭50。在1個液滴噴頭50上， 一噴嘴列52a與另一噴嘴列52b偏離等 間隔Pl的一半的噴嘴間距P2設(shè)置。從而，各噴嘴列52a、 52b的有效噴
嘴數(shù)為160個，若從X軸方向看則320個噴嘴52以噴嘴間距P2排列。再 有，在噴頭組件9上配置6個液滴噴頭50，以使若從X軸方向看則各320 噴嘴52以噴嘴間距P2排列。因而，如果在使噴頭組件9和襯底W對置 地在X軸方向相對移動的主掃描期間，從6個液滴噴頭50的各噴嘴52 噴出液滴，那么能夠使液滴在Y軸方向等間隔地噴落。圖3 (a)是表示液滴噴頭結(jié)構(gòu)的概略分解立體圖，同圖中(b)是表 示噴嘴部結(jié)構(gòu)的截面圖。如圖3 (a)及(b)所示，液滴噴頭50形成為噴 嘴板5K腔板53和振動板58依次層疊接合的結(jié)構(gòu)，噴嘴板51具有噴出 液滴D的多個噴嘴52，腔板53具有將分別連通多個噴嘴52的腔55進(jìn)行 劃分的隔壁54，振動板58具有與多個腔55對應(yīng)的振動部件59。腔板53具有將與噴嘴52連通的腔55劃分的隔壁54，并且，具有用 于向該腔55填充液狀體的流路56、 57。流路57由噴嘴板51和振動板58 夾持，形成的空間發(fā)揮儲存液狀體的儲存室的作用。液狀體從液狀體供給機(jī)構(gòu)通過配管供給，通過設(shè)置在振動板58上的 供給孔58a儲存在儲存室后，通過流路56向各腔55填充。如圖3 (b)所示，振動部件59是由壓電元件59c和夾著壓電元件59c 的一對電極59a、 59b構(gòu)成的壓電元件。從外部向一對電極59a、 59b施加 驅(qū)動電壓脈沖，從而使接合的振動板58變形。從而，由隔壁54分隔的腔 55的體積增加，液狀體從儲存室被吸引到腔55。并且，若施加驅(qū)動電壓 脈沖結(jié)束，則振動板58復(fù)原，對填充的液狀體加壓。從而，成為能夠從 噴嘴52以液滴D形式噴出液狀體的結(jié)構(gòu)。通過控制向壓電元件59c施加 的驅(qū)動電壓脈沖，從而，能夠?qū)Ω鱾€噴嘴52進(jìn)行液狀體噴出控制。例如， 控制液滴的噴出量、噴出定時、噴出速度等。關(guān)于噴出控制的詳情后述。液滴噴頭50并不限定于具備壓電元件?？梢跃邆淅渺o電吸附使振 動板58變位的機(jī)電轉(zhuǎn)換元件、加熱液狀體使其從噴嘴52以液滴D形式噴 出的電熱轉(zhuǎn)換元件等。接下來，參照圖4、圖5，關(guān)于液滴噴頭的噴出控制方法進(jìn)行說明。 圖4是表示液狀體噴出裝置的電氣構(gòu)成的框圖。液滴噴出裝置1具備對整 個裝置進(jìn)行綜合控制的控制計(jì)算機(jī)10和用于進(jìn)行多個液滴噴頭50的電驅(qū) 動控制的控制電路襯底40。控制電路襯底40經(jīng)由撓性纜線41與各液滴噴 頭50電連接。另外，各液滴噴頭50與每個噴嘴52 (參照圖3)上設(shè)置的 壓電元件59相對應(yīng)，具備移位寄存器(SL) 42、閂鎖電路(LAT) 43、 電平移位器(LS) 44、開關(guān)(SW) 45。液狀體噴出裝置1的噴出控制如下進(jìn)行。即，首先控制計(jì)算機(jī)10將 對襯底W (參照圖1)上的液狀體配置圖形進(jìn)行了數(shù)據(jù)化而得到的位映像 數(shù)據(jù)(詳情后述)向控制電路襯底40傳送。然后，控制電路襯底40將位 映像數(shù)據(jù)譯碼，生成作為每個噴嘴52的ON/OFF (噴出/不噴出)信息的 噴嘴數(shù)據(jù)。噴嘴數(shù)據(jù)進(jìn)行串行信號(SI)化，與時鐘信號(CK)同步向各 移位寄存器42傳送。傳送到移位寄存器42的噴嘴數(shù)據(jù)，以閂鎖信號(LAT)向閂鎖電路 43輸入的定時進(jìn)行閂鎖，再經(jīng)由電平移位器44轉(zhuǎn)換成開關(guān)45用的選通信 號。即，當(dāng)噴嘴數(shù)據(jù)為「ON」時，開關(guān)45打開，向壓電元件59供給驅(qū) 動信號(COM)，當(dāng)噴嘴數(shù)據(jù)為「OFF」時，開關(guān)45關(guān)閉，不向壓電元件 59供給驅(qū)動信號(COM)。然后，從與「ON」對應(yīng)的噴嘴52中液狀體被 液滴化而噴出，噴出的液狀體被配置在襯底W上。這種噴出控制，與噴頭組件9和襯底W的相對移動(主掃描)同步， 如圖5所示周期性進(jìn)行。圖5是表示噴出控制的控制信號的圖，同圖中(a)是表示噴出定時 控制的一例的圖，同圖中(b)是表示噴出速度控制的一例的圖。圖5 (a)所示，驅(qū)動信號(COM)形成具有放電脈沖201、充電脈沖 202、放電脈沖203的一串脈沖組200—1、 200—2…以中間電位204連接 的構(gòu)成。并且，利用1個脈沖組，如下噴出1個液滴。艮P，利用放電脈沖201，使電位電平上升，并且將液狀體吸入腔55(參 照圖3 (b))內(nèi)。接著，利用陡的充電脈沖202對腔55內(nèi)的液狀體急劇加 壓，將液狀體從噴嘴52壓出，液滴化(噴出)。最后利用放電脈沖203， 將下降的電位電平恢復(fù)到中間電位204，并且抵銷由充電脈沖202生成的 腔55內(nèi)的壓力振動(固有振動)。驅(qū)動信號(COM)的電壓成分Vc、 Vh和時間成分(脈沖的斜率和脈 沖間的連接間隔等)等，是與噴出量和噴出穩(wěn)定性等有很大關(guān)系的參數(shù)， 需要預(yù)先進(jìn)行適當(dāng)?shù)脑O(shè)計(jì)。此時，閂鎖信號(LAT)的周期，考慮液滴噴
頭50的固有頻率特性，設(shè)定為20kHz。另外，主掃描中液滴噴頭50和襯 底W的相對移動速度(此時，使載物臺24沿X軸方向移動的移動速度) 設(shè)定為200mm/秒。因而，如果噴出分辨率等于相對移動速度除以閂鎖周 期，那么，噴出分辨率的單位為10nm。即，可按照噴出分辨率的單位對 每個噴嘴52設(shè)定噴出定時。還有，如果使閂鎖脈沖的產(chǎn)生定時，以主掃 描移動臺2a上設(shè)置的編碼器輸出的脈沖為基準(zhǔn)，那么也可以按照移動分 辨率的單位控制噴出定時。噴出控制不僅僅限定于噴出定時的控制，例如，通過改變驅(qū)動信號的 放電脈沖203的斜率，可改變液滴的噴出速度。具體而言，放電脈沖203 的斜率越陡、噴出速度越上升。若噴出速度變化，則液滴的噴出量隨之變 化，從而，要噴出一定的噴出量，考慮液狀體的物性(粘度等)需要設(shè)定 電壓成分Vc、 Vh。還有，噴出速度也可以隨著改變充電脈沖202的充電 時間、中間電位204的電位而變化。如圖5 (b)所示，例如，在1個閂鎖周期，生成基準(zhǔn)的驅(qū)動信號Wl、 相對驅(qū)動信號Wl改變放電脈沖203斜率的2個驅(qū)動信號W2、 W3。具體 而言，與各驅(qū)動信號W1、 W2、 W3對應(yīng)的噴出速度V1、 V2、 V3的關(guān)系 是V2〈VKV3。如果生成與各驅(qū)動信號Wl、 W2、 W3對應(yīng)的溝道信號(CH)，并向電平移位器44傳送，則可對應(yīng)于噴嘴數(shù)據(jù)信號的「ONJ， 選擇噴出速度不同的驅(qū)動信號(COM)，噴出液滴。根據(jù)這種液滴噴出裝置l，可使噴頭組件9與襯底W對置，與由主掃 描移動臺2a進(jìn)行的主掃描同步，從配備在噴頭組件9上的6個液滴噴頭 50以高位置精度噴出含有功能性材料的液狀體。液滴噴頭50的每個噴嘴 52，可改變噴出量、噴出定時、噴出速度地以液滴形式噴出液狀體。從而， 存在即使利用維護(hù)機(jī)構(gòu)維護(hù)液滴噴頭50也不能恢復(fù)的例如產(chǎn)生飛行彎曲 的噴嘴52時，通過改變對該噴嘴52的噴出控制方法，可修正由于飛行彎 曲造成的噴落位置的偏離。從而，能夠降低具有該噴嘴52的液滴噴頭50 的更換頻率。(實(shí)施方式l)<液狀體的噴出方法及配線襯底的制造方法〉接下來，關(guān)于本發(fā)明的液狀體的噴出方法，以適用了它的配線襯底的 制造為例進(jìn)行說明。圖6是表示配線襯底的概略俯視圖。如圖6所示，配線襯底300是平 面安裝有半導(dǎo)體裝置(ic)的電路襯底，由對應(yīng)于IC輸入輸出電極(凸 起)配置的由導(dǎo)電性材料形成的作為配線的輸入配線301及輸出配線303、 絕緣膜307構(gòu)成。絕緣膜307避開輸入端子部302及輸出端子部304，并 且以輸入配線301和輸出配線303的各自一部分在安裝區(qū)域305內(nèi)側(cè)露出 的方式覆蓋多個輸出配線301及輸出配線303。配線襯底300在作為工件 的襯底W上呈矩陣狀形成，通過分割襯底W從而取出。襯底W作為絕 緣襯底除了使用硬玻璃襯底、陶瓷襯底、玻璃環(huán)氧樹脂襯底以外，還可以 采用撓性樹脂襯底。作為分割方法，按照襯底W的材料選擇劃、亥IJ、激 光切割、沖裁等。本實(shí)施方式中，利用使用了所述液滴噴出裝置1的液滴噴出法形成由 導(dǎo)電性材料構(gòu)成的配線和由絕緣材料構(gòu)成的絕緣膜。其目的在于，節(jié)約各 材料的浪費(fèi)而形成配線和絕緣膜。與光刻法相比，不需要用于形成圖形的 曝光用掩膜和顯影、蝕刻等工序，因此，不管襯底W尺寸如何都能夠簡 化工序。圖7是表示配線襯底的制造方法的流程圖。本實(shí)施方式的配線襯底的 制造方法具備檢測工序(步驟S1)，其驅(qū)動作為噴頭的液滴噴頭50，取得 多個噴嘴52的每個噴嘴所噴出的含有導(dǎo)電性材料的液狀體的液滴D的噴 落位置信息。另外，還包括配置圖形生成工序(步驟S2)、噴出工序(步 驟S3)和干燥燒成工序(步驟S4)，配置圖形生成工序相對于通過主掃描 在襯底W上配置液滴D的作為第一配置圖形的位映像數(shù)據(jù)，生成根據(jù)噴 落位置信息在主掃描方向上修正了飛行彎曲的作為第二配置圖形的修正 位映像數(shù)據(jù)，噴出工序根據(jù)修正位映像數(shù)據(jù)使多個噴嘴52中產(chǎn)生了液滴 D飛行彎曲的噴嘴52改變噴出定時進(jìn)行噴出，干燥燒成工序?qū)姵雒枥L 的液狀體干燥、燒成，形成各配線301、 303。并且，還具備從液滴噴頭 50向形成有各配線301、303的襯底W噴出含有絕緣材料的液狀體的工序 (步驟S5)和將噴出的液狀體干燥、成膜的工序(步驟S6)。首先，關(guān)于檢査工序(步驟S1)進(jìn)行說明。圖8 (a)及(b)是表示 液滴的噴落位置的檢測方法的圖。步驟S1的檢查工序中，檢測從搭載在
噴頭組件9上的所有液滴噴頭50的所有噴頭52噴出的液滴D的噴落位置。如圖2所示，在噴頭組件9上，沿X軸方向以規(guī)定間隔偏離的狀態(tài)配 置6個液滴噴頭50。步驟S1，如圖8 (a)所示，從多個(6個)液滴噴 頭50的各噴嘴列1A、 1B 噴嘴列6A、 6B的所有噴嘴52向載置在載物臺 5上的記錄紙噴出液滴D。此時，根據(jù)配置在噴頭組件9上的6個液滴噴 頭50的位置信息，移動主掃描移動臺2a，使記錄紙相對于噴頭組件9沿 主掃描方向(X軸方向)移動。另外，對每噴嘴列控制噴出定時，使噴出 的液滴D沿記錄紙的Y軸方向噴落在大致直線上。如果是產(chǎn)生飛行彎曲的噴嘴52，則從該噴嘴52噴出的液滴D例如圖 8 (b)所示，噴落在從所述直線上沿X軸方向偏離Axl或Ax2的位置。用具備CCD等攝像元件的照相機(jī)拍攝噴落在記錄紙上的液滴D，利 用控制計(jì)算機(jī)10處理拍攝的圖像信息，從而，取得Axl、 Ax2的值(偏 離量)作為噴落位置信息。即使利用控制計(jì)算機(jī)10對每個噴嘴列控制噴出定時，從所有噴嘴52 噴出的液滴D也不一定噴落在直線上。特別是，在噴嘴列產(chǎn)生變化的位置 噴落位置有時產(chǎn)生偏離。作為更具體的檢測方法，所述照相機(jī)的攝像范圍 只要能夠拍攝與至少1個液滴噴頭50對應(yīng)的噴落位置即可。根據(jù)每個液 滴噴頭50被拍攝的圖像信息，通過圖像處理來特定所述直線，對每個噴 嘴52運(yùn)算主掃描方向相對于該直線的偏離量，作為噴落位置信息。或者， 也可以特定與偏離規(guī)定值以上噴落的液滴D對應(yīng)的噴嘴52，將其作為噴 落位置信息。將所述照相機(jī)沿Y軸方向逐次偏離，拍攝噴落到記錄紙上的 液滴D的狀態(tài)，從而，針對搭載在噴頭組件9上的所有液滴噴頭50取得 噴落位置信息。設(shè)置多個噴頭組件9的情況也同樣。還有，所述照相機(jī)并 不限定于1個，可以在Y軸方向能夠移動地分別配置多個照相機(jī)進(jìn)行分散 處理。此時，圖8 (b)所示的液滴D的噴落位置，沿主掃描方向(X軸方 向)偏離，不過，從產(chǎn)生飛行彎曲的噴嘴52噴出的液滴D的飛行方向不 一定是一定的。本實(shí)施方式中，從各液滴噴頭50噴出同種液狀體，因此， 即使噴頭位置沿Y軸方向偏離，對液狀體的描繪造成的實(shí)質(zhì)影響也小。從 而，如果檢測沿主掃描方向的偏離量，就能夠有效地進(jìn)行后述的修正。
另外，此時，隔開間隔地將液滴噴頭50和襯底W對置配置，與使襯底W相對于液滴噴頭50往復(fù)的主掃描同步，噴出液狀體。因而，沿主掃描方向的偏離量，按照相對于往動和復(fù)動中飛行彎曲的方向是順向還是反向而變化。因此，與主掃描同樣分成往動和復(fù)動執(zhí)行將液滴D噴落在記錄 紙上的記錄動作，拍攝各噴落狀態(tài)，取得噴落位置信息。然后，轉(zhuǎn)到步驟 S2。
圖7的步驟S2是配置圖形生成工序。圖9 (a)是表示原位映像數(shù)據(jù) 的圖，圖9 (b)是表示修正后的位映像數(shù)據(jù)的圖。
如圖9 (a)所示，例如，以主掃描的多個噴嘴列的噴嘴號碼為橫軸， 以主掃描的噴出分辨率的單位為縱軸。由縱軸和橫軸劃分的區(qū)域表示配置 液滴D的配置區(qū)域。此時，劃網(wǎng)格線的區(qū)域是根據(jù)配線襯底300的CAD 數(shù)據(jù)作成的原位映像數(shù)據(jù)。還有，圖9 (a)表示其局部。另外，考慮噴落 在襯底W上的液滴D的濡濕擴(kuò)散和液滴噴出裝置1的描繪精度等，確定 配置區(qū)域的位置和配置區(qū)域的數(shù)量而作成。還有，縱軸也可以如上所述按 照編碼器的輸出脈沖的單位而規(guī)定配置區(qū)域。
如圖9 (b)所示，步驟S2中，控制計(jì)算機(jī)10相對于儲存在存儲器 中的原位映像數(shù)據(jù)，生成根據(jù)步驟1取得的噴落位置信息修正了飛行彎曲 的修正位映像數(shù)據(jù)。如上所述，在主掃描的往動和復(fù)動中分開生成。對應(yīng) 于飛行彎曲的偏離量，使該噴嘴52的液滴D的配置區(qū)域的位置偏離。然 后，轉(zhuǎn)到步驟S3。
圖7的步驟S3是液狀體的噴出工序。步驟S3中，往液滴噴頭50中 填充含有導(dǎo)電性材料的液狀體，控制計(jì)算機(jī)10控制主掃描移動臺2a、副 掃描移動臺3a，使噴頭組件9和襯底W相對移動，并且，驅(qū)動搭載在噴 頭組件9上的多個液滴噴頭50。該主掃描中，控制計(jì)算機(jī)10根據(jù)修正位 映像數(shù)據(jù)，使多個噴嘴52中產(chǎn)生液滴D飛行彎曲的噴嘴52改變噴出定時 進(jìn)行噴出。即，選擇在修正了的配置區(qū)域配置液滴D的閂鎖信號(LAT)， 進(jìn)行噴出，從而，使液滴D噴落在實(shí)質(zhì)上合適的位置。從而，在襯底W 上噴出描繪與各配線301、 303對應(yīng)的液狀體圖形。作為液狀體中含有的導(dǎo)電性材料，除了含有例如金、銀、銅、鋁、鈀 及鎳中至少任意一種的金屬微粒子以外，還可采用它們的氧化物以及導(dǎo)電
性聚合物或超電導(dǎo)體的微粒子等。這些導(dǎo)電性微粒子也可以在表面涂布有機(jī)物等使用，以提高分散性。導(dǎo)電性微粒子的粒徑優(yōu)選為lnm以上1.0, 以下。若大于l.O)im，則液滴噴頭50的噴嘴52有可能產(chǎn)生眼堵塞。另外， 若小于lnm，則涂布劑相對于導(dǎo)電性微粒子的體積比增大，所獲得的膜中 有機(jī)物的比例過多。作為分散劑，只要能夠分散所述導(dǎo)電性微粒子、不引起凝聚即可，并 沒有特別限定。例如，除了水以外，還可例示甲醇、乙醇、丙醇、丁醇等 醇類，n—庚烷、n—辛烷、癸烷、十二烷、十四垸、甲苯、二甲苯、異丙 基苯、杜烯、茚、二戊烯、四氫萘、十氫萘、環(huán)己苯等碳?xì)湎祷衔?，還 有乙二醇二甲醚、乙二醇二乙醚、乙二醇甲基乙基醚、二乙二醇二甲醚、 二乙二醇二乙醚、二乙二醇甲基乙基醚、1,2—二甲氧基乙烷、雙(2—甲 氧基乙基)醚、p-二環(huán)氧乙烷等醚系化合物，再有碳酸丙烯、丁內(nèi)酯、 N—甲基一2吡咯垸酮、二甲基甲酰胺、二甲基亞砜、環(huán)己酮等極性化合 物。這些物質(zhì)中，在微粒子的分散性和分散液的穩(wěn)定性、還有向液滴噴出 法適用的容易程度方面上，優(yōu)選水、醇類、碳?xì)湎祷衔?、醚系化合物?作為更優(yōu)選的分散劑，能夠舉出水、碳?xì)湎祷衔?。所述?dǎo)電性微粒子的分散液的表面張力優(yōu)選在0.02N/m以上0.07N/m 以下的范圍內(nèi)。利用液滴噴出法噴出液狀體時，若表面張力小于0.02N/m， 則液狀體相對于噴嘴面的濡濕性增大，從而容易產(chǎn)生飛行彎曲，若大于 0.07N/m，則噴嘴52前端的彎液面形狀不穩(wěn)定，從而，很難進(jìn)行噴出量和 噴出定時的控制。為了調(diào)節(jié)表面張力，在不使與襯底W的接觸角降低很 大的范圍，可以向所述分散液中微量添加氟系、硅系、非離子系等表面張 力調(diào)節(jié)劑。非離子系表面張力調(diào)節(jié)劑，有提高液狀體向襯底W的濡濕性， 改善膜的平整性、防止膜產(chǎn)生微細(xì)凹凸等的作用。所述表面張力調(diào)節(jié)劑， 根據(jù)需要，可以含有醇、醚、酯、酮等有機(jī)化合物。所述分散液的粘度優(yōu)先在lmPa.s以上50mPa.s以下。當(dāng)利用液滴噴 出法以液滴D形式噴出液狀體之際，粘度小于lmPa，s時，噴嘴52周邊部 由于液狀體流出而容易被污染，另夕卜，粘度大于50mPa>s時，噴嘴孔的眼 堵塞頻率升高，很難進(jìn)行順暢的液滴噴出。然后，轉(zhuǎn)到步驟S4。圖7的步驟S4是干燥'燒成工序。步驟S4中，將噴出的液狀體干燥'燒 成從而固化，形成配線301、 303。干燥，燒成方法可舉出在干燥爐內(nèi)載置 襯底W并在規(guī)定的溫度下進(jìn)行干燥 燒成的分批方式和使其通過干燥爐 內(nèi)的直接方式。作為熱源，可舉出加熱器和紅外線燈等。然后，轉(zhuǎn)到步驟 S5。圖7的步驟S5是噴出含有絕緣材料的液狀體的工序。步驟S5中，向 液滴噴頭50中填充含有絕緣材料的液狀體，控制計(jì)算機(jī)10控制主掃描移 動臺2a、副掃描移動臺3a，使噴頭組件9和襯底W相對移動，并且，驅(qū) 動搭載在噴頭組件9上的多個液滴噴頭50。此時，在絕緣膜形成區(qū)域306 (參照圖6)配置該液狀體的位映像數(shù)據(jù)，根據(jù)絕緣膜形成區(qū)域306的CAD 數(shù)據(jù)生成，儲存在控制計(jì)算機(jī)10的存儲器中。根據(jù)該位映像數(shù)據(jù)，進(jìn)行 該液狀體的噴出。絕緣膜307，由于不要求以高位置精度形成，因此，此 時，可以不進(jìn)行飛行彎曲的修正。作為絕緣材料，例如，能夠采用具有絕緣性的環(huán)氧樹脂、氨基甲酸乙 酯樹脂等高分子材料。作為溶劑，例如，可舉出能夠溶解所述材料的碳?xì)?系溶劑。該液狀體的物性，與含有導(dǎo)電性材料的液狀體的情況同樣，可對 應(yīng)于液滴噴出法進(jìn)行調(diào)節(jié)。然后，轉(zhuǎn)到步驟S6。圖7的步驟S6是干燥，成膜工序。步驟S6中，將噴出的液狀體干燥 從而使其固化，形成絕緣膜307。還有，作為絕緣材料，也可以采用感光 性樹脂材料。此時，通過對噴出的液狀體照射紫外線等從而使其固化。這種配線襯底300的制造方法中，根據(jù)進(jìn)行了飛行彎曲修正的修正位 映像數(shù)據(jù)進(jìn)行的液狀體的噴出方法，不限定于通過選擇閂鎖信號(LAT) 改變噴出定時的方法。也可以相對于產(chǎn)生飛行彎曲的噴嘴52，選擇噴出速 度不同的驅(qū)動信號W2、 W3的任意一個，改變噴出速度噴出液狀體。由 此，能夠期待不僅降低主掃描方向上的噴落位置偏離，也降低沿副掃描方 向(Y軸方向)的噴落位置偏離的效果。還有，所述檢查工序(步驟Sl )及所述配置圖形生成工序(步驟S2)， 該情況下是每噴出描繪1個襯底W都實(shí)施，不過，也可以在分別噴出描 繪多個襯底W的作業(yè)的作業(yè)開始前、作業(yè)途中分開實(shí)施。所述實(shí)施方式l的效果，如下所述。 (1)采用所述實(shí)施方式1的液狀體的噴出方法的配線襯底300的制
造方法，是使產(chǎn)生飛行彎曲的噴嘴52根據(jù)修正的修正位映像數(shù)據(jù)改變噴 出定時進(jìn)行噴出。因而，能夠降低飛行彎曲的影響，位置精度好地配置液狀體，從而能夠制造具有穩(wěn)定形狀的配線301、 303的配線襯底300。(2)采用所述實(shí)施方式1的液狀體的噴出方法的配線襯底300的制 造方法，在步驟S1的檢查工序中，取得與主掃描同樣分成往動和復(fù)動而 從多個噴嘴52噴出的液滴D的噴落位置信息。因而，能夠取得更準(zhǔn)確的 噴落位置信息，在液狀體的噴出描繪中，能夠在襯底W上以更高位置精 度配置液滴D。 g卩，能夠制造具有高精細(xì)的配線301、 303的配線襯底300。 (實(shí)施方式2) <濾色器的制造方法>接下來，作為適用了所述實(shí)施方式1的液狀體的噴出方法的其他實(shí)施 方式，以濾色器的制造方法為例進(jìn)行說明。首先，關(guān)于具有濾色器的作為電光學(xué)裝置的液晶顯示裝置進(jìn)行簡單說 明。圖IO是表示液晶顯示裝置的結(jié)構(gòu)的概略分解立體圖。如圖10所示， 本實(shí)施方式的液晶顯示裝置500具有TFT (Thin Film Transistor)透過型 液晶顯示面板520和照明液晶顯示面板520的照明裝置516。液晶顯示面 板520包括具有作為濾色器的著色層505的對置襯底501、具有3端子中 有1個與像素電極510連接的TFT元件511的元件襯底508和由兩襯底 501、 508夾持的液晶(未圖示)。另外，在成為液晶顯示面板520外面?zhèn)?的兩襯底501、 508表面，配置使透過的光偏轉(zhuǎn)的上偏振板514和下偏振 板515。對置襯底501由透明的玻璃等材料形成，在夾著液晶的表面?zhèn)扔筛舯?部504呈矩陣狀劃分成多個著色區(qū)域，在多個著色區(qū)域形成多種(RGB 三色)著色層505R、 505G、 505B。隔壁部504由被稱作黑矩陣的下層堤 502和在下層堤502上(圖面中是向下)形成的上層堤503構(gòu)成，下層堤 502由Cr等具有遮光性的金屬或其氧化膜構(gòu)成，上層堤503由有機(jī)化合物 構(gòu)成。另外，對置襯底501具備覆蓋隔壁部504和由隔壁部504劃分的著 色層505R、 505G、 505B的作為平坦化層的涂層(OC層)506、和覆蓋 OC層506而形成的由ITO (Indium Tin Oxide)等透明導(dǎo)電膜構(gòu)成的對置 電極507。各著色層505R、 505G、 505B用后述的濾色器的制造方法制造。
元件襯底508由相同的透明玻璃等材料形成，具有在夾著液晶的表面 側(cè)經(jīng)由絕緣膜509形成矩陣狀的像素電極510、對應(yīng)于像素電極510形成 的多個TFT元件511。 TFT元件511的3端子中沒有與像素電極510連接 的另2個端子，以相互絕緣的狀態(tài)與圍繞像素電極510配置成格子狀的掃 描線512和數(shù)據(jù)線513連接。照明裝置516作為光源采用白色的LED、 EL、冷陰極管等，只要具 備能夠?qū)倪@些光源發(fā)出的光向液晶顯示面板520照射的導(dǎo)光板或擴(kuò)散 板、反射板等的構(gòu)成，采用哪種光源都可以。還有，液晶顯示面板520作為有源元件不限定于TFT元件，也可以 具有TFD (Thin Film Diode)元件，再有，只要在至少一襯底上具備濾色 器，則也可以是構(gòu)成像素的電極相互交叉配置的無源型液晶顯示^置。另 外，上下偏振板514、 515也可以與以改善視角依存性為目的等而使用的 相位差薄膜等光學(xué)功能性薄膜進(jìn)行組合。 (濾色器的制造方法)接下來，關(guān)于本實(shí)施方式的濾色器的制造方法，根據(jù)圖ll、圖12進(jìn) 行說明。圖11是表示液滴噴頭向噴頭組件的配置的概略俯視圖，圖12(a) (e)是表示濾色器的制造方法的概略截面圖。首先，關(guān)于與制造具有多色著色層的濾色器相適應(yīng)的液滴噴頭50向 噴頭組件9的配置進(jìn)行說明。如圖11所示，將噴出含有著色層形成材料的三種(RGB)液狀體的 6個液滴噴頭50，在Y軸方向(副掃描方向)并列搭載。另外，在X軸 方向(主掃描方向)按照RGB的順序并列搭載。并且，噴出不同種類液 狀體的各噴嘴列52a、 52b的端部位置，在相互偏離的狀態(tài)下進(jìn)行搭載。 噴頭組件9上，把噴出不同種類液狀體的3個液滴噴頭50作為1個組， 使2個噴頭組50A、 50B沿X軸方向搭載。此時的偏離量等于，噴嘴列 52a和噴嘴列52b的全長(有效噴嘴320個量)加上1個噴嘴間距P2而得 的長度除以噴出的液狀體種類的數(shù)目而得的值。即，等于((P2X319) + P2) /3二 (P2X320) / 3。從而，從X軸方向(主掃描方向)看，則噴 出相同種類液狀體的噴頭Rl和噴頭R2的液滴噴頭50的噴嘴52，以噴嘴 間距P2配置成320X2 = 640個連續(xù)的狀態(tài)。噴頭Gl和噴頭G2、噴頭Bl
和噴頭B2的噴出相同種類液狀體的各液滴噴頭50也同樣。另外，噴頭組 50A中，噴出不同種類液狀體的噴頭R1和噴頭Gl及噴頭B1的各噴嘴列 52a的端部，相互偏離(P2X320) /3，從而，成為配置在相互偏離最大 的位置的狀態(tài)。其他組50b中也同樣。基于所述噴頭組件9的構(gòu)成，能夠在l次主掃描中，利用搭載在噴頭 組件9上的多個液滴噴頭50，以噴出相同種類液狀體的1個液滴噴頭50 的描繪寬度在Y軸方向(副掃描方向)連續(xù)的描繪寬度，噴出三種不同的 液狀體。本實(shí)施方式的濾色器的制造方法，包括在對置襯底501表面形成隔壁 部504的工序和對由隔壁部504劃分的著色區(qū)域進(jìn)行表面處理的工序。另 外，還包括描繪工序和成膜工序，描繪工序采用液狀體噴出裝置1，對表 面處理過的著色區(qū)域以液滴形式噴出描繪含有著色層形成材料的三種(三 色)液狀體，成膜工序?qū)⒚枥L的液狀體干燥，形成著色層505。再有，還 具備覆蓋隔壁部504和著色層505而形成OC層506的工序和覆蓋OC層 而形成由ITO構(gòu)成的透明對置電極507的工序。描繪工序包括所述實(shí)施方 式1的液狀體的噴出方法中的檢查工序、配置圖形生成工序和噴出工序。在形成隔壁部504的工序中，如圖12(a)所示，首先在對置襯底501 上形成作為黑矩陣的下層堤502。下層堤502的材料，能夠采用例如Cr、 Ni、 Al等不透明的金屬或它們的金屬氧化物等化合物。作為下層堤502 的形成方法，用蒸鍍法或?yàn)R射法在對置襯底501上形成由所述材料構(gòu)成的 膜。膜厚對應(yīng)于選定材料設(shè)定保證遮光性的膜厚即可。例如，如果是Cr， 那么，優(yōu)選是100 200nrn。然后，利用光刻法，將與開口部502a (參照圖 10)對應(yīng)的部分以外用抗蝕劑膜覆蓋，采用與所述材料對應(yīng)的酸等蝕刻液 蝕刻膜。從而，形成具有開口部502a的下層堤502。接著，在下層堤502上形成上層堤503。作為上層堤503的材料，能 夠采用丙烯酸系感光性樹脂材料。另外，感光性樹脂材料優(yōu)選具有遮光性。 作為上層堤503的形成方法，舉出一種方法例如是在形成有下層堤502的 對置襯底501表面，用輥涂法或旋涂法等涂布感光性樹脂材料并使其干燥， 形成厚度約2pm的感光性樹脂層。然后，將以對應(yīng)于著色區(qū)域A的大小 設(shè)置有開口部的掩膜，與對置襯底501在規(guī)定位置對置，進(jìn)行曝光，顯影， 從而形成上層堤503。從而，在對置襯底501上形成呈矩陣狀劃分多個著 色區(qū)域A的隔壁部504。然后，轉(zhuǎn)到表面處理工序。表面處理工序中，進(jìn)行以02作為處理氣體的等離子體處理和以氟氣 體作為處理氣體的等離子體處理。即，著色區(qū)域A被親液處理，其后，由 感光性樹脂構(gòu)成的上層堤503表面(包括壁面)被疏液處理。然后，轉(zhuǎn)到 檢査工序。檢査工序中，取得從所有液滴噴頭50噴出的液滴的噴落位置信息。 此時，對應(yīng)于三種(三色)液狀體在噴頭組件9上配置多個液滴噴頭50。 從而，控制計(jì)算機(jī)10驅(qū)動控制主掃描移動臺2a和各液滴噴頭50，以使同 色液狀體的液滴噴落在記錄紙的Y軸方向的直線上。關(guān)于記錄動作，與所 述實(shí)施方式1的情況同樣，在主掃描的往動和復(fù)動中分開進(jìn)行。采用如上 所述具備CCD等攝像元件的照相機(jī)，按照每色及每噴嘴列拍攝液滴的噴 落狀態(tài)。從而，能夠按照每色及每噴嘴列取得液滴噴頭50的多個噴嘴52 的噴落位置信息。配置圖形生成工序中，預(yù)先生成在襯底501上劃分形成的多個著色區(qū) 域A配置三種液狀體而形成條狀構(gòu)成的位映像數(shù)據(jù)，事先儲存在控制計(jì)算 機(jī)10的存儲器中。換言之，將主掃描中各著色區(qū)域A的配置和噴嘴52 的配置反映為位映像數(shù)據(jù)。然后，在所述檢查工序中，根據(jù)按照每色及每 噴嘴列取得的噴嘴52的噴落位置信息，生成修正位映像數(shù)據(jù)。此時，由 于著色區(qū)域A由隔壁部504劃分形成，從而，優(yōu)選事先修正原位映像數(shù)據(jù)， 以使液狀體的液滴的至少一部分不噴落在隔壁部504上，或使液狀體的液 滴不噴落在隔壁部504附近。這樣一來，即使具有產(chǎn)生飛行彎曲的噴嘴52， 也能夠不溢出著色區(qū)域A而使必要量的液滴噴落。另外，能夠降低在配置 不同色液狀體的著色區(qū)域A間產(chǎn)生由于液滴飛行彎曲而造成的混色。噴出工序中，如圖12 (b)所示，對表面處理過的各著色區(qū)域A分別 以液滴形式噴出描繪對應(yīng)的液狀體80R、 80G、 80B。液狀體80R含有R (紅色)濾色器形成材料，液狀體80G含有G (綠色)濾色器形成材料， 液狀體80B含有B (藍(lán)色)濾色器形成材料。采用液滴噴頭裝置l，向液 滴噴頭50填充各液狀體80R、 80G、 80B，以液滴形式噴落在著色區(qū)域A 上。此時，根據(jù)所述修正位映像數(shù)據(jù)，使產(chǎn)生飛行彎曲的噴嘴52改變噴 出定時進(jìn)行噴出?；蛘?，改變噴出速度進(jìn)行噴出。各液狀體80R、 80G、 80B對應(yīng)于著色區(qū)域A的面積賦予必要量，在著色區(qū)域A上濡濕擴(kuò)散， 通過表面張力而隆起。如果采用液滴噴出裝置l，則能夠大致同時地噴出 描繪三種不同的液狀體80R、 80G、 80B。接下來，在成膜工序中，如圖12 (c)所示，將噴出描繪的各液狀體 80R、 80G、 80B —并干燥，去除溶劑成分，將各著色層505R、 505G、 505B 成膜。作為干燥方法，優(yōu)選是能夠均勻地干燥溶劑成分的減壓干燥等方法。 然后，轉(zhuǎn)到OC層形成工序。OC層形成工序中，如圖12 (d)所示，覆蓋著色層505和上層堤503 而形成OC層506。作為OC層506的材料，能夠采用透明的丙烯酸系樹 脂材料。作為形成方法，可舉出旋涂法、膠版印刷等方法。OC層506為 了緩和形成有著色層505的對置襯底501的表面凹凸，使后來在該表面貼 膜的對置電極507平整化而設(shè)置。另外，為了確保與對置電極507的密接 性，在OC層506上還可以形成SiO2等薄膜。然后，轉(zhuǎn)到透明電極形成工 序。透明電極形成工序中，如圖12 (e)所示，利用濺射法或蒸鍍法在真 空中將ITO等透明電極材料成膜，覆蓋OC層506而在整個面上形成對置 電極507。這樣作成的對置襯底501的著色層505，降低由于液滴飛行彎曲而造 成的噴出不均和混色，在著色區(qū)域A上具有大致均勻的膜厚。如果把該對 置襯底501和具有像素電極510及TFT元件511的元件襯底508用粘接劑 在規(guī)定位置粘接，在兩襯底501、 508間填充液晶，則作成由于噴出不均 和混色等引起的色彩不均少、具有外觀好的顯示品質(zhì)的液晶顯示裝置500。所述實(shí)施方式2的效果，如下所述。(1) 所述實(shí)施方式2的濾色器的制造方法，在噴出工序中，根據(jù)修 正位映像數(shù)據(jù)，使產(chǎn)生飛行彎曲的噴嘴52改變噴出定時或噴出速度，向 由隔壁部504劃分的著色區(qū)域A以液滴形式噴出三種(三色)液狀體。因 而，能夠制造在著色區(qū)域A上具有大致均勻膜厚的著色層505的濾色器。(2) 如果采用以所述實(shí)施方式2的濾色器的制造方法制造的對置襯 底501，制造液晶顯示裝置500，則能夠提供色彩不均少、具有外觀好的
顯示品質(zhì)的液晶顯示裝置500。 (實(shí)施方式3)<有機(jī)EL元件的制造方法〉接下來，作為適用了所述實(shí)施方式1的液狀體的噴出方法的其他實(shí)施 方式，以有機(jī)EL元件的制造方法為例進(jìn)行說明。首先，關(guān)于具有有機(jī)EL元件的有機(jī)EL顯示裝置進(jìn)行簡單說明。圖13是表示有機(jī)EL顯示裝置的要部結(jié)構(gòu)的概略截面圖。如圖13所 示，有機(jī)EL顯示裝置600包括具有作為有機(jī)EL元件的發(fā)光元件部603 的元件襯底601和將元件襯底601和空間622隔開封閉的密封襯底620。 另外，元件襯底601在元件襯底601上具備電路元件部602，發(fā)光元件部 603在電路元件部602上重疊形成，被電路元件部602驅(qū)動。在發(fā)光元件 部603上，作為有機(jī)EL發(fā)光層的三色發(fā)光層617R、 617G、 617B在各發(fā) 光層形成區(qū)域A形成，呈條狀。元件襯底601以與三色發(fā)光層617R、617G、 617B對應(yīng)的3個發(fā)光層形成區(qū)域A作為1組像素，該像素呈矩陣狀配置 在元件襯底601的電路元件部602上。有機(jī)EL顯示裝置600中，從發(fā)光 元件部603產(chǎn)生的光向元件襯底601側(cè)射出。密封襯底620由玻璃或金屬構(gòu)成，經(jīng)由密封樹脂與元件襯底601接合， 在被密封的內(nèi)側(cè)表面粘貼吸氣劑621。吸氣劑621吸引侵入到元件襯底601 和密封襯底602間的空間622中的水或氧，防止發(fā)光元件部603由于侵入 的水或氧而惡化。還有，該吸氣劑621也可以省略。元件襯底601在電路元件部602上具有多個發(fā)光層形成區(qū)域A，具備 劃分多個發(fā)光層形成區(qū)域A的隔壁部618、在多個發(fā)光層形成區(qū)域A上形 成的電極613和層疊在電極613上的空穴注入/輸送層617a。另外，還具 備發(fā)光元件部603，其具有在多個發(fā)光層形成區(qū)域A內(nèi)賦予含有發(fā)光層形 成材料的三種液狀體而形成的發(fā)光層617R、 617G、 617B。隔壁部618由 下層堤618a和將發(fā)光層形成區(qū)域A作實(shí)質(zhì)劃分的上層堤618b構(gòu)成，下層 堤618a向發(fā)光層形成區(qū)域A內(nèi)側(cè)伸出設(shè)置，為了防止電極613和各發(fā)光 層617R、 617G、 617B直接接觸而造成電短路，利用Si02等無機(jī)絕緣材 料形成下層堤618a。元件襯底601由例如玻璃等透明的襯底構(gòu)成，在元件襯底601上形成
由硅氧化膜構(gòu)成的基底保護(hù)膜606，在該基底保護(hù)膜606上形成有由多晶 硅構(gòu)成的島狀半導(dǎo)體膜607。還有，在半導(dǎo)體膜607上，通過高濃度P離 子射入而形成源區(qū)域607a及漏區(qū)域607b。還有，沒有導(dǎo)入P的部分成為 溝道區(qū)域607c。再有，還形成覆蓋基底保護(hù)膜606及半導(dǎo)體膜607的透明 的柵絕緣膜608，在柵絕緣膜608上，形成由A1、 Mo、 Ta、 Ti、 W等構(gòu) 成的柵電極609，在柵電極609及柵絕緣膜608上形成透明的第一層間絕 緣膜611a和第二層間絕緣膜611b。柵電極609設(shè)置在與半導(dǎo)體膜607的 溝道區(qū)域607c對應(yīng)的位置。另外，貫通第一層間絕緣膜611a及第二層間 絕緣膜611b，形成分別與半導(dǎo)體膜607的源區(qū)域607a、漏區(qū)域607b連接 的接觸孔612a、 612b。并且，由ITO (Indium Tin Oxide)等構(gòu)成的透明電 極613形成規(guī)定形狀的圖形配置在第二層間絕緣膜611b上(電極形成工 序)， 一接觸孔612a與該電極613連接。另外，另一接觸孔612b與電源 線614連接。這樣一來，在電路元件部602上形成與各電極613連接的驅(qū) 動用的薄膜晶體管615。還有，在電路元件部602上，也形成保持電容和 開關(guān)用的薄膜晶體管，不過，在圖13中省略了它們的圖示。發(fā)光元件部603具備作為陽極的電極613、順次層疊在電極613上的 空穴注入/輸送層617a、各發(fā)光層617R、617G、617B(總稱為發(fā)光層617b)、 覆蓋上層堤618b和發(fā)光層617b層疊的陰極604。由空穴注入/輸送層617a 和發(fā)光層617b構(gòu)成激勵發(fā)光的功能層617。還有，如果用透明材料構(gòu)成陰 極604和密封襯底620及吸氣劑621，則能夠使從密封襯底620側(cè)發(fā)出的 光射出。有機(jī)EL顯示裝置600具有與柵電極609連接的掃描線(省略圖示) 和與源區(qū)域607a連接的信號線(省略圖示)，若根據(jù)傳送給掃描線的掃描 信號使開關(guān)用的薄膜晶體管(省略圖示)ON，則此時的信號線的電位保 持為保持電容，按照該保持電容的狀態(tài)，確定驅(qū)動用的薄膜晶體管615的 ON.OFF狀態(tài)。然后，經(jīng)由驅(qū)動用的薄膜晶體管615的溝道區(qū)域607c， 從電源線614向電極613流通電流，再經(jīng)由空穴注入/輸送層617a和發(fā)光 層617b向陰極604流通電流。發(fā)光層617b對應(yīng)于其中流動的電流量而發(fā) 光。有機(jī)EL顯示裝置600利用這種發(fā)光元件部603的發(fā)光機(jī)理，能夠顯 示所期望的文字和圖像等。另外，由于發(fā)光層617b以使用了液滴噴出裝
置1的液狀體的噴出方法描繪形成，因而，具有很少產(chǎn)生由于描繪時的噴 出不均造成的發(fā)光不均、亮度不均等顯示不良情況的高顯示品質(zhì)。(有機(jī)EL元件的制造方法)接下來，關(guān)于作為本實(shí)施方式的有機(jī)EL元件的發(fā)光元件部的制造方 法，根據(jù)圖14進(jìn)行說明。圖14 (a) ~ (f)是表示發(fā)光元件部的制造方法 的概略截面圖。還有，圖14 (a) ~ (f)中，在元件襯底601上形成的電 路元件部602省略圖示。本實(shí)施方式的發(fā)光元件部603的制造方法包括在元件襯底601的與 多個發(fā)光層形成區(qū)域A對應(yīng)的位置形成電極613的工序；局部搭在電極 613上形成下層堤618a，再在下層堤618a上形成上層堤618b以實(shí)質(zhì)劃分 發(fā)光層形成區(qū)域A的工序。另外，還包括對由上層堤618b劃分的發(fā)光 層形成區(qū)域A進(jìn)行表面處理的工序；向表面處理過的發(fā)光層形成區(qū)域A 賦予含有空穴注入/輸送層形成材料的液狀體，噴出描繪空穴注入/輸送層 617a的工序；將噴出的液狀體干燥，將空穴注入/輸送層617a成膜的工序。 另外，還包括對形成有空穴注入/輸送層617a的發(fā)光層形成區(qū)域A進(jìn)行 表面處理的工序；向表面處理過的發(fā)光層形成區(qū)域A噴出描繪含有發(fā)光層 形成材料的三種液狀體的描繪工序；將噴出的三種液狀體干燥，將發(fā)光層 617b成膜的工序。再有，還具備覆蓋上層堤618b和發(fā)光層617b而形成陰 極604的工序。各液狀體向發(fā)光層形成區(qū)域A的賦予，采用與所述實(shí)施方 式2的濾色器的制造方法相同的液狀體的噴出方法。從而，適用圖11所 示的液滴噴頭50向噴頭組件9的配置。電極(陽極)形成工序中，如圖14 (a)所示，在己經(jīng)形成有電路元 件部602的元件襯底601的對應(yīng)于發(fā)光層形成區(qū)域A的位置形成電極613。 作為形成方法，例如可舉出的方法是在元件襯底601表面，采用ITO等透 明電極材料，在真空中經(jīng)濺射法或蒸鍍法形成透明電極膜，其后，用光刻 法只留下必要部分進(jìn)行蝕刻從而形成電極613。另外，也可以采用如下方 法首先用光致抗蝕劑覆蓋元件襯底601，使形成電極613的區(qū)域開口而 進(jìn)行曝光，顯影，然后在開口部形成ITO等透明電極膜，去除殘留的光致 抗蝕劑。然后，轉(zhuǎn)到堤形成工序。隔壁部形成工序中，如圖14 (b)所示，覆蓋元件襯底601的多個電 極613的一部分而形成下層堤618a。作為下層堤618a的材料，采用作為 無機(jī)材料的絕緣性的Si02 (氧化硅)。作為下層堤618a的形成方法，例如， 可舉出以下方法，對應(yīng)于后面形成的發(fā)光層617b，采用抗蝕劑等掩蔽各電 極613的表面。其后，將掩蔽好的元件襯底601投入真空裝置中，以Si02 作為靶或原料進(jìn)行濺射或真空蒸鍍，從而形成下層堤618b。之后剝離抗蝕 劑等的掩蔽。還有，下層堤618a由Si02形成，從而，只要其膜厚在200nm 以下就具有足夠的透明性，即使以后層疊空穴注入/輸送層617a及發(fā)光層 617b也不會阻礙發(fā)光。接下來，在下層堤618a上形成上層堤618b以實(shí)質(zhì)劃分發(fā)光層形成區(qū) 域A。作為上層堤618b的材料，優(yōu)選相對于含有后述的發(fā)光層形成材料 的三種液狀體100R、 100G、 100B溶劑具有耐久性，再有，能夠在以氟系 氣體作為處理氣體的等離子體處理的作用下被疏液化，優(yōu)選是例如丙烯酸 樹脂、環(huán)氧樹脂、感光性聚酰亞胺等之類的有機(jī)材料。作為上層堤618b 的形成方法，例如可以列舉如下方法在形成有下層堤618a的元件襯底 601表面用輥涂法或旋涂法等涂布感光性的所述有機(jī)材料，使其干燥，形 成厚度約2um的感光性樹脂層。然后，使以對應(yīng)于發(fā)光層形成區(qū)域A的 大小設(shè)置有開口部的掩膜與對置襯底601在規(guī)定位置對置，進(jìn)行曝光 顯 影，由此形成上層堤618b。從而，形成具有下層堤618b和上層堤618a 的隔壁部618。然后，轉(zhuǎn)到表面處理工序。對發(fā)光層形成區(qū)域A進(jìn)行表面處理的工序中，首先以02氣體作為處 理氣體對形成有隔壁部618的元件襯底601的表面進(jìn)行等離子體處理。從 而，使電極613的表面、下層堤618a的伸出部及上層堤618b的表面(包 括壁面)活性化而進(jìn)行親液處理。接著，以CF4等氟系氣體作為處理氣體 進(jìn)行等離子體處理。從而，只在由作為有機(jī)材料的感光性樹脂構(gòu)成的上層 堤618b的表面，氟系氣體反應(yīng)而進(jìn)行疏液處理。然后，轉(zhuǎn)到空穴注入/輸 送層形成工序?？昭ㄗ⑷?輸送層形成工序中，如圖14 (c)所示，向空穴注入/輸送層 形成區(qū)域A賦予含有空穴注入/輸送層形成材料的液狀體90。作為賦予液 狀體90的方法，采用具備圖11的噴頭組件9的液滴噴出裝置1。從液滴 噴頭50噴出的液狀體90以液滴形式在元件襯底601的電極613上噴落并 濡濕擴(kuò)散。液狀體90對應(yīng)于空穴注入/輸送層形成區(qū)域A的面積以液滴形式噴出必要量，通過表面張力形成隆起的狀態(tài)。然后，轉(zhuǎn)到干燥，成膜工序。干燥，成膜工序中，用例如燈退火等方法加熱元件襯底601，從而使 液狀體90的溶劑成分干燥并將其去除，在由電極613的下層堤618a劃分 的區(qū)域形成空穴注入/輸送層617a。本實(shí)施方式中，作為空穴注入/輸送層 形成材料，采用了PEDOT (Polyethylene DioxyThiophene:聚乙撐二氧噻 吩)。還有，此時，在各發(fā)光層形成區(qū)域A上形成由相同材料構(gòu)成的空穴 注入/輸送層617a，不過，也可以對應(yīng)于后面形成的發(fā)光層617b，在每個 發(fā)光層形成區(qū)域A上改變空穴注入/輸送層617a的形成材料。然后，轉(zhuǎn)到 下一個表面處理工序。在下一個表面處理工序中，由于采用所述空穴注入/輸送層形成材料 形成空穴注入/輸送層617a時，其表面相對于三種液狀體100R、 100G、 100B具有疏液性，因此，進(jìn)行表面處理以至少使發(fā)光層形成區(qū)域A的區(qū) 域內(nèi)再次具有親液性。作為表面處理方法，可舉出將三種液狀體100R、 IOOG、 100B中使用的溶劑進(jìn)行涂布、干燥。作為溶劑的涂布方法，可舉 出噴霧法、旋涂法等方法。然后，轉(zhuǎn)到發(fā)光層的描繪工序。發(fā)光層的描繪工序中，如圖14 (d)所示，采用液滴噴出裝置1從多 個液滴噴頭50向多個發(fā)光層形成區(qū)域A賦予含有發(fā)光層形成材料的三種 液狀體100R、 100G、 100B。液狀體100R含有形成發(fā)光層617R (紅色) 的材料，液狀體IOOG含有形成發(fā)光層617G (綠色)的材料，液狀體100B 含有形成發(fā)光層617B(藍(lán)色)的材料。噴落的各液狀體IOOR、 IOOG、 IOOB， 在發(fā)光層形成區(qū)域A上濡濕擴(kuò)散，截面形狀呈圓弧狀隆起。作為賦予這些 液狀體IOOR、 IOOG、 100B的方法，與實(shí)施方式2的濾色器制造方法相同， 包括取得液滴噴落位置信息的檢查工序；生成通過根據(jù)噴落位置信息修 正了基于發(fā)光層形成區(qū)域A的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)(CAD數(shù)據(jù))的位映像數(shù)據(jù)而得 到的修正位映像數(shù)據(jù)的配置圖形生成工序；根據(jù)修正位映像數(shù)據(jù)使產(chǎn)生飛 行彎曲的噴嘴52改變噴出定時或噴出速度噴出液滴的噴出工序。噴出工 序中，由于采用修正位映像數(shù)據(jù)，從而，可進(jìn)行噴出控制，使得從產(chǎn)生飛
行彎曲的噴嘴52噴出的液滴的至少一部分不濺到隔壁部618上，或液滴 不噴落在隔壁部618附近。然后，轉(zhuǎn)到干燥'成膜工序。干燥*成膜工序中，如圖14 (e)所示，使噴出描繪的各液狀體100R、 100G、 100B的溶劑成分干燥并將其去除，進(jìn)行成膜化以使在各發(fā)光層形 成區(qū)域A的空穴注入/輸送層617a上層疊各發(fā)光層617R、 617G、 617B。 作為噴出描繪有各液狀體100R、 100G、 100B的元件襯底601的干燥方法， 優(yōu)選能夠使溶劑的蒸發(fā)速度大致一定的減壓干燥。然后，轉(zhuǎn)到陰極形成工 序。陰極形成工序中，如圖14 (f)所示，覆蓋元件襯底601的各發(fā)光層 617R、 617G、 617B和上層堤618b的表面而形成鵬棍604。—作為陰極604 的材料，優(yōu)選組合使用Ca、 Ba、 Al等金屬或LiF等氟化物。特別是，優(yōu) 選在靠近發(fā)光層617R、 617G、 617B的側(cè)，形成功函數(shù)小的Ca、 Ba、 LiF 的膜，在遠(yuǎn)離的側(cè)，形成功函數(shù)大的Al等的膜。另外，在陰極604上可 以層疊SiCb、 SiN等保護(hù)層。這樣一來，能夠防止陰極604的氧化。作為 陰極604的形成方法，可舉出蒸鍍法、濺射法、CVD法等。特別是在能 夠防止發(fā)光層617R、 617G、 617B的熱所導(dǎo)致的損傷方面，優(yōu)選蒸鍍法。這樣作成的元件襯底601具有噴出描繪時由于飛行彎曲引起的噴出不 均少、干燥'成膜化后的膜厚大致一定的各發(fā)光層617R、 617G、 617B。所述實(shí)施方式3的效果，如下所述。(1) 所述實(shí)施方式3的發(fā)光元件部603的制造方法，在發(fā)光層617b 的描繪工序中，根據(jù)修正位映像數(shù)據(jù)，向元件襯底601的發(fā)光層形成區(qū)域 A以液滴形式噴出描繪各液狀體IOOR、 IOOG、 IOOB。使產(chǎn)生飛行彎曲的 噴嘴52改變噴出定時或噴出速度進(jìn)行噴出，因此，在發(fā)光層形成區(qū)域A 的適當(dāng)位置配置液滴。所以，獲得噴出描繪時由于飛行彎曲引起的噴出不 均少、干燥 成膜化后的膜厚大致一定的各發(fā)光層617R、 617G、 617B。(2) 如果采用以所述實(shí)施方式3的發(fā)光元件部603的制造方法制造 的元件襯底601，制造有機(jī)EL顯示裝置600，則各發(fā)光層617R、 617G、 617B的膜厚大致一定，因而，每個發(fā)光層617R、 617G、 617B的電阻大 致一定。從而，若利用電路元件部602向發(fā)光元件部603施加驅(qū)動電壓使
其發(fā)光，則降低了由于每個發(fā)光層617R、 617G、 617B的電阻不均而造成 的發(fā)光不均和亮度不均等。即，能夠提供由于飛行彎曲引起的噴出不均所 產(chǎn)生的發(fā)光不均和亮度不均等少、具有外觀良好的顯示品質(zhì)的有機(jī)EL顯 示裝置600。以上，關(guān)于本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說明，不過，對于所述各實(shí)施方 式，能夠在不脫離本發(fā)明宗旨的范圍內(nèi)加以各種變形。例如，所述各實(shí)施 方式以外的變形例如下所述。
(變形例1)所述實(shí)施方式1的液狀體的噴出方法中，根據(jù)多個噴嘴 52的噴落位置信息對產(chǎn)生飛行彎曲的噴嘴52進(jìn)行的噴出控制，并不限定 于修正原位映像數(shù)據(jù)的方法。例如，也可以在控制電路襯底40中，裝入 使閂鎖信號的產(chǎn)生定時提前或延遲的電路，對其進(jìn)行選擇而進(jìn)行控制。(變形例2)所述實(shí)施方式1的液狀體的噴出方法中，取得噴落位置 信息的檢査工序(步驟Sl)的實(shí)施方法，并不限定于此。例如，也可以 根據(jù)取得的噴落位置信息特定產(chǎn)生飛行彎曲的噴嘴52，向與該噴嘴52對 應(yīng)的壓電元件(振動元件)59施加改變了噴出定時或噴出速度的驅(qū)動信號， 再次取得噴落位置信息，如此進(jìn)行重復(fù)。這樣一來，能夠確認(rèn)基于變更的 驅(qū)動信號進(jìn)行的噴出控制是否適當(dāng)，并確認(rèn)其效果。(變形例3)所述實(shí)施方式1的液狀體的噴出方法中，液滴噴頭50 向噴頭組件9的配置，并不限定于此。例如，也可以配置為使液滴噴頭50 相對于X軸方向傾斜并列。這樣一來，能夠使液滴更高精細(xì)地在主掃描方 向上噴落。(變形例4)所述實(shí)施方式1的配線襯底的制造方法中，配線301、 303的配置，并不限定于此。例如，對于在絕緣膜307上層疊配線的多層 配線襯底也能夠適用本發(fā)明的液狀體的噴出方法。
(變形例5)所述實(shí)施方式2的濾色器的制造方法中，著色層505R、 505G、 505B的配置，并不限定于此。例如，關(guān)于條型配置以外的鑲嵌配 置、三角形配置也能夠適用本發(fā)明的液狀體的噴出方法。(變形例6)所述實(shí)施方式2的濾色器的制造方法中，著色層505并 不限定于三色。例如，在除了 RGB三色以外組合了互補(bǔ)色等其他色的多 色濾色器中也能夠適用本發(fā)明的液狀體的噴出方法。
(變形例7)所述實(shí)施方式3的作為有機(jī)EL元件的發(fā)光元件部603 的制造方法中，發(fā)光元件部603并不限定于多色發(fā)光。例如，也可以形成 為使發(fā)光元件部630進(jìn)行白色發(fā)光，在密封襯底620側(cè)配置濾色器的構(gòu)成、 或在元件襯底601側(cè)配置濾色器的構(gòu)成。(變形例8)所述實(shí)施方式1的液狀體的噴出方法，不僅僅是金屬配線、 濾色器、有機(jī)EL元件的制造方法，也能夠適用于熒光元件、電子釋放元件 等各種功能元件的形成方法。
權(quán)利要求
1. 一種液狀體的噴出方法，其使具有多個噴嘴的噴頭和襯底對置配 置，與使所述噴頭和所述襯底相對移動的主掃描同步，在所述襯底上作為 液滴噴出含有功能性材料的液狀體，所述液狀體的噴出方法的特征在于，具備噴出工序，所述噴出工序根據(jù)從所述多個噴嘴噴出的所述液滴的 噴落位置信息，使所述多個噴嘴中規(guī)定的噴嘴改變噴出定時而進(jìn)行噴出。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的液狀體的噴出方法，其特征在于， 還具備驅(qū)動所述噴頭，取得從所述多個噴嘴噴出的所述液滴的噴落位置信息的工序。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的液狀體的噴出方法，其特征在于， 還具備配置圖形生成工序，所述配置圖形生成工序相對于通過所述主掃描在所述襯底上配置所述液滴的第一配置圖形，生成根據(jù)所述噴落位置 信息在所述主掃描的方向上對所述飛行彎曲進(jìn)行了修正的第二配置圖形， 所述噴出工序中，根據(jù)所述第二配置圖形，使產(chǎn)生了飛行彎曲的噴嘴 改變所述噴出定時而噴出所述液滴。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的液狀體的噴出方法，其特征在于， 所述配置圖形生成工序中，所述第二配置圖形在所述主掃描中的往動和復(fù)動中分開生成，所述飛行彎曲在所述主掃描方向上的修正在所述往動 和復(fù)動中以不同方式進(jìn)行。
5. 根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的液狀體的噴出方法，其特征在于， 所述飛行彎曲在所述主掃描方向上的所述噴出定時的修正，按照向所述襯底噴出所述液滴的噴出分辨率的單位進(jìn)行。
6. 根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的液狀體的噴出方法，其特征在于， 所述飛行彎曲在所述主掃描方向上的所述噴出定時的修正，按照使所述襯底沿所述主掃描的方向移動的移動機(jī)構(gòu)的移動分辨率的單位進(jìn)行。
7. —種液狀體的噴出方法，其使具有多個噴嘴的噴頭和襯底對置配 置，與使所述噴頭和所述襯底相對移動的主掃描同步，在所述襯底上作為 液滴噴出含有功能性材料的液狀體，所述液狀體的噴出方法的特征在于，具備噴出工序，所述噴出工序根據(jù)從所述多個噴嘴噴出的所述液滴的 噴落位置信息，使所述多個噴嘴中規(guī)定的噴嘴改變噴出速度而進(jìn)行噴出。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的液狀體的噴出方法，其特征在于， 還具備驅(qū)動所述噴頭，取得從所述多個噴嘴噴出的所述液滴的噴落位置信息的工序。
9. 根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的液狀體的噴出方法，其特征在于， 還具備配置圖形生成工序，所述配置圖形生成工序相對于通過所述主掃描在所述襯底上配置所述液滴的第一配置圖形，生成根據(jù)所述噴落位置 信息在所述主掃描的方向上對所述飛行彎曲進(jìn)行了修正的第二配置圖形， 所述噴出工序中，根據(jù)所述第二配置圖形，使產(chǎn)生了飛行彎曲的噴嘴 改變所述噴出速度而噴出所述液滴。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的液狀體的噴出方法，其特征在于， 所述配置圖形生成工序中，所述第二配置圖形在所述主掃描中的往動和復(fù)動中分開生成，所述飛行彎曲在所述主掃描方向上的修正在所述往動 和復(fù)動中以不同方式進(jìn)行。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1~6中任意一項(xiàng)所述的液狀體的噴出方法，其特征 在于，在所述襯底上具有由隔壁部劃分的多個噴出區(qū)域，在所述噴出工序中，根據(jù)所述噴落位置信息而使產(chǎn)生了飛行彎曲的噴 嘴改變噴出定時進(jìn)行噴出，使從該噴嘴噴出的所述液滴的至少一部分不噴 落在所述隔壁部上，或使所述液滴不噴落在所述隔壁部附近。
12. 根據(jù)權(quán)利要求7~10中任意一項(xiàng)所述的液狀體的噴出方法，其特 征在于，在所述襯底上具有由隔壁部劃分的多個噴出區(qū)域， 在所述噴出工序中，根據(jù)所述噴落位置信息而使產(chǎn)生了飛行彎曲的噴 嘴改變噴出速度進(jìn)行噴出，使從該噴嘴噴出的所述液滴的至少一部分不噴 落在所述隔壁部上，或使所述液滴不噴落在所述隔壁部附近。
13. —種配線襯底的制造方法，其是在襯底上具有由導(dǎo)電性材料構(gòu)成 的配線的配線襯底的制造方法，其特征在于，包括描繪工序，其采用權(quán)利要求1~10中任意一項(xiàng)所述的液狀體的噴出方 法，向所述襯底上作為液滴噴出描繪含有導(dǎo)電性材料的液狀體；干燥燒成工序，其將噴出描繪的所述液狀體干燥、燒成，形成所述配線。
14. 一種濾色器的制造方法，其是在襯底上利用隔壁部劃分形成的多個著色區(qū)域上具有至少三色的著色層的濾色器的制造方法，其特征在于，包括描繪工序，其采用權(quán)利要求11或12所述的液狀體的噴出方法，向所 述多個著色區(qū)域作為液滴噴出描繪含有著色層形成材料的至少三色的液 狀體；干燥工序，其將噴出描繪的所述液狀體干燥，形成至少三色的所述著 色層。
15. —種有機(jī)EL元件的制造方法，其是在襯底上利用隔壁部劃分形 成的多個發(fā)光層形成區(qū)域上具有有機(jī)EL發(fā)光層的有機(jī)EL元件的制造方 法，其特征在于，包括描繪工序，其采用權(quán)利要求11或12所述的液狀體的噴出方法，向所 述多個發(fā)光層形成區(qū)域作為液滴噴出描繪至少含有發(fā)光層形成材料的液 狀體；干燥工序，其將噴出描繪的所述液狀體干燥，形成所述有機(jī)EL發(fā)光層。
全文摘要
提供能夠驅(qū)動控制噴頭、使液滴高精度噴落的液狀體的噴出方法、適用了該液狀體的噴出方法的配線襯底的制造方法、濾色器的制造方法、有機(jī)EL發(fā)光元件的制造方法。本發(fā)明的液狀體的噴出方法包括檢查工序(步驟S1)，其驅(qū)動噴頭，取得從多個噴嘴的每個噴嘴噴出的液滴的噴落位置信息；配置圖形生成工序(步驟S2)，其相對于通過主掃描在襯底上配置液滴的第一配置圖形，生成根據(jù)噴落位置信息在主掃描的方向上對飛行彎曲進(jìn)行了修正的第二配置圖形；噴出工序(步驟S3)，其根據(jù)第二配置圖形，使產(chǎn)生了飛行彎曲的噴嘴改變噴出定時或噴出速度而進(jìn)行噴出。
文檔編號H05B33/22GK101123835SQ20071014084
公開日2008年2月13日 申請日期2007年8月10日 優(yōu)先權(quán)日2006年8月11日
發(fā)明者北原強(qiáng), 宮阪洋一, 牛山佳彥 申請人:精工愛普生株式會社