專(zhuān)利名稱(chēng)：檢查裝置、檢查方法、檢查系統(tǒng)、濾色鏡的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種從拍攝具有起伏的被檢查物的起伏端部的圖像中，
才企測(cè)以特定周期在該被)險(xiǎn)查物中產(chǎn)生的條斑(linear irregularities )的枱r
查裝置等。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，液晶顯示裝置在推進(jìn)大型化的同時(shí)，傾向于其需要增加。 但是，為了使液晶顯示裝置進(jìn)一步普及，必須降低成本。尤其是，在液 晶顯示裝置中，對(duì)成本比重較高的濾色鏡(color filter)的成本降低的要 求正在提高。
最近，基于噴墨法的濾色鏡的形成方法正在受到關(guān)注。在該形成方 法中，通過(guò)從噴墨頭的噴嘴中向各像素噴出R(紅)、G(綠)、B (藍(lán)) 墨水，形成濾色鏡。噴墨法的特征在于行程數(shù)少和墨水浪費(fèi)少。由此， 可實(shí)現(xiàn)工藝的縮短和低成本。
但是，在噴墨法形成濾色鏡的情況下，產(chǎn)生濾色鏡的制造工藝引起 的具有特定周期的條斑(條狀的不規(guī)則)。條斑由于濾色鏡的膜厚差異 而產(chǎn)生，并且目視(透過(guò)濾色鏡的透射光)識(shí)別為條斑，所以大大影響 液晶顯示裝置的品質(zhì)。
這里，說(shuō)明由噴墨法形成的濾色鏡中產(chǎn)生具有特定周期的條斑的理 由。在由噴墨法形成濾色鏡的情況下，對(duì)形成黑矩陣的透明基板，邊沿 掃描方向(描繪方向)移動(dòng)具有噴出墨水的多個(gè)噴嘴的頭單元，邊從各 噴嘴向由透明基板上的黑矩陣包圍的規(guī)定區(qū)域噴出液狀材料。之后，若 掃描方向的噴出完成，則在使頭單元沿與掃描方向正交的方向移動(dòng)規(guī)定 距離之后，再使頭單元沿掃描方向，依次噴出液狀材料，重復(fù)上述動(dòng)作， 由此可制作在透明基板上形成了由黑矩陣區(qū)分的像素(絵素)的濾色鏡。
此時(shí)，在由于某些原因而致使液狀材料的噴出量在頭單元的每個(gè)噴 嘴處變得散亂的情況等下，以噴嘴間隔在濾色鏡中產(chǎn)生條斑。另外，在 因某些原因使一個(gè)噴嘴堵塞的情況等下，以頭單元間隔在濾色鏡中產(chǎn)生 條斑。這樣，在利用噴墨法制作出濾色鏡的情況下，產(chǎn)生具有對(duì)應(yīng)于其
產(chǎn)生原因的各種周期的條斑。
如上所述，由于產(chǎn)生條斑的濾色鏡的品質(zhì)存在問(wèn)題，所以，產(chǎn)生條 斑的濾色鏡必須在制造階段檢測(cè)并除去。但是，濾色鏡中產(chǎn)生的條斑以
10~ 100nm級(jí)的膜厚差出現(xiàn)，所以光的干涉或透射光的膜厚測(cè)量方法難 以;險(xiǎn)測(cè)條斑。
因此，以前使用如下方法，即通過(guò)測(cè)量濾色鏡的像素端面的角度， 間接地測(cè)量膜厚，并檢測(cè)條斑。根據(jù)圖8 (a) ~ (c)來(lái)說(shuō)明該方法。 圖8(a) ~ (c)是表示通過(guò)測(cè)量像素端面的角度來(lái)測(cè)量膜厚的方法的 圖。
圖8 (a)表示膜厚正常的像素中的像素端面的角度。即，這里，假 設(shè)在膜厚為正常值h的情況下，像素端面的角度在兩側(cè)均為a。
另一方面，圖8 (b)表示膜厚薄的像素中的像素端面的角度。如圖 所示，像素端面的角度在兩側(cè)均為P 。比較圖8 (a)與圖8 (b)可知， P的角度比oc小。因此，可知圖8 (b)中的膜厚h，比圖8(a)中的正 常膜厚h薄。
這樣，測(cè)定像素端面的角度，在該角度低于正常值oc的情況下，可 判斷為該像素的膜厚比正常的膜厚h薄。由此，可^^測(cè)以10 100nm級(jí) 出現(xiàn)的條斑。
但是，條斑不僅如圖8 (b)所示在像素的整個(gè)面中產(chǎn)生均等的膜厚 差。即，如圖8(c)所示，有時(shí)涂敷在濾色鏡上的像素向單側(cè)傾斜。在 下面的說(shuō)明中，將涂敷的像素向單側(cè)傾斜所產(chǎn)生的條斑稱(chēng)為單側(cè)傾斜不 規(guī)則。
該單側(cè)傾斜不規(guī)則在上述現(xiàn)有的拍攝像素端面的檢查中，由于像素 端面的傾斜角度不同，所以會(huì)誤判定為產(chǎn)生了膜厚差。這是因?yàn)槿鐖D8 (c)所示，在像素發(fā)生了傾斜的情況下，像素端面的角度在同一像素 的兩側(cè)分別為不同的值。
例如，圖8(c)中，像素左側(cè)端面的角度為比正常角度a小的P , 所以現(xiàn)有檢查方法中，會(huì)將圖8(c)所示的像素被檢測(cè)為產(chǎn)生了膜厚差 的缺陷像素。但是，圖8 (c)所示的像素右側(cè)端面的角度為比正常角度 a大的Y,結(jié)果，圖8 (c)所示的像素的膜厚為正常值h。
這樣，單側(cè)傾斜不規(guī)則實(shí)際上不產(chǎn)生膜厚差。因此，產(chǎn)生了單側(cè)傾 斜不規(guī)則的濾色鏡的透射光中未識(shí)別條斑。因此，產(chǎn)生單側(cè)傾斜不規(guī)則
的濾色鏡由于作為制品沒(méi)問(wèn)題，故應(yīng)作為合格品處理。但是，若該單側(cè) 傾斜不規(guī)則以寬頻帶(空間頻率)出現(xiàn)在隨機(jī)的位置上，則在上述現(xiàn)有 的測(cè)量了像素端面后間接地測(cè)量膜厚差的檢查中，對(duì)于應(yīng)作為合格品處 理的產(chǎn)生了單側(cè)傾斜不規(guī)則的濾色鏡進(jìn)行缺陷判定。
如上所述，在檢測(cè)條斑缺陷的檢查中，重要的是對(duì)與正常的濾色鏡 相比產(chǎn)生了膜厚差并應(yīng)作為缺陷處理的工藝引起的特定周期的條斑、和 應(yīng)作為合格品處理的條斑(單側(cè)傾斜不規(guī)則)進(jìn)行區(qū)別檢測(cè)。
這里，作為檢查條斑的現(xiàn)有技術(shù)，列舉下面的專(zhuān)利文獻(xiàn)1 ~3。在專(zhuān) 利文獻(xiàn)l中，對(duì)于拍攝被檢查物的拍攝圖像，沿縱向橫向方向單獨(dú)累計(jì) 亮度數(shù)據(jù)，生成累計(jì)數(shù)據(jù)。之后，計(jì)算該累計(jì)數(shù)據(jù)的移動(dòng)平均，算出累 計(jì)移動(dòng)平均數(shù)據(jù)，根據(jù)這些累計(jì)數(shù)據(jù)與累計(jì)移動(dòng)平均數(shù)據(jù)的差分，檢查 條斑。由此，可降低噪聲分量的影響，僅高精度地檢測(cè)條斑。
另外，在專(zhuān)利文獻(xiàn)2中，利用光的干涉測(cè)定物體表面形狀的方法中 利用了傅立葉變換。另外，在專(zhuān)利文獻(xiàn)2中，根據(jù)在頻率坐標(biāo)系下頻譜 振幅最大的最大值位置、以及在該最大值位置與原點(diǎn)之間頻譜的振幅最 小的最小值位置，設(shè)定物體表面的形狀測(cè)定中所使用的區(qū)域。由此，不 必通過(guò)操作者的辨別來(lái)設(shè)定物體表面的形狀測(cè)定中所使用的區(qū)域。
另外，在專(zhuān)利文獻(xiàn)3中，在對(duì)拍攝濾色鏡的拍攝圖像執(zhí)行二進(jìn)制處 理之后，對(duì)上述濾色鏡的像素兩端執(zhí)行邏輯與運(yùn)算，檢測(cè)缺陷。由此， 可檢測(cè)附著在濾色鏡的像素上的微小異物。
但是，在專(zhuān)利文獻(xiàn)l的技術(shù)中，由于切開(kāi)二維數(shù)據(jù)的一部分后生成 累計(jì)數(shù)據(jù)，所以不適于檢測(cè)預(yù)定的特定周期的條斑的出現(xiàn)。另外，在專(zhuān) 利文獻(xiàn)l中，由于根本未考慮單側(cè)傾斜不規(guī)則，故存在將單側(cè)傾斜不規(guī) 則(合格品處理缺陷)誤檢測(cè)為缺陷的問(wèn)題。
另外，在專(zhuān)利文獻(xiàn)2的技術(shù)中，由于利用頻譜具有最大值的周期位 置來(lái)分析物體表面的形狀，所以不適于執(zhí)行涉及預(yù)定的特定周期的評(píng) 價(jià)。另外，在專(zhuān)利文獻(xiàn)2中，由于與上述專(zhuān)利文獻(xiàn)1的技術(shù)一樣，根本 未考慮單側(cè)傾斜不規(guī)則，所以存在會(huì)受到單側(cè)傾斜不規(guī)則的影響的問(wèn) 題。
另外，由于產(chǎn)生了條斑的部位與不產(chǎn)生條斑的部位的亮度差較小， 所以難以二進(jìn)制后才企測(cè)條斑。即，專(zhuān)利文獻(xiàn)3的技術(shù)不適于條斑4企查。 另外，由于專(zhuān)利文獻(xiàn)3也根本未考慮單側(cè)傾斜不規(guī)則，所以該方法會(huì)誤
檢測(cè)單側(cè)傾斜不規(guī)則。
在濾色鏡的檢查工序中，為了判定該制造工藝中的異常原因，區(qū)別 合格品處理的缺陷并檢測(cè)以特定周期產(chǎn)生的條斑是非常重要的。
專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本公開(kāi)專(zhuān)利公報(bào)'特開(kāi)2005-77181 ( 2005年3月24 日公開(kāi))'
專(zhuān)利文獻(xiàn)2:日本公開(kāi)專(zhuān)利^M艮'特開(kāi)2002-286407 ( 2002年10月 3日公開(kāi))'
專(zhuān)利文獻(xiàn)3:日本公開(kāi)專(zhuān)利公報(bào)'特開(kāi)平7-20065 ( 1995年1月24 日公開(kāi))，
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述課題而作出的，其目的在于不對(duì)合格品處理的缺陷 (單側(cè)傾斜不規(guī)則)進(jìn)行缺陷判定，僅檢測(cè)制造工藝引起的、相對(duì)于正 常的膜厚產(chǎn)生膜厚差，并應(yīng)作為缺陷處理的特定周期的條斑。
為了解決上述課題，本發(fā)明的檢查裝置涉及檢測(cè)多個(gè)起伏排列在被 檢查面上的被檢查物中所產(chǎn)生的條斑，其中具備條斑檢測(cè)部件，在從 第1方向?qū)ι鲜霰粰z查面照射光后拍攝上述起伏的第1圖像、與從不同 于上述第1方向的第2方向?qū)ι鲜霰粰z查面照射光后拍攝上述起伏的第 2圖像中，分別檢測(cè)條斑；特定周期不規(guī)則抽取部件，在上述第1和第 2圖像中，分別沿在上述一皮檢查面上與條斑垂直的方向，以預(yù)定間隔抽 取被檢測(cè)到的多個(gè)條斑；和檢測(cè)對(duì)象不規(guī)則抽取部件，抽取上述第1和 第2圖像雙方中被檢測(cè)到的條斑，并作為檢測(cè)對(duì)象條斑。
根據(jù)上述構(gòu)成，取得反射光，該反射光是針對(duì)來(lái)自第1方向與第2 方向彼此不同的兩個(gè)方向的投影的反射光，并作為第1和和2圖像。另 外，對(duì)該笫1和第2圖像執(zhí)行條斑的檢測(cè)。在該檢測(cè)中，有可能檢測(cè)不 具有周期性的條斑、或單側(cè)傾斜不規(guī)則等各種條斑。另外，這里，將被 檢查物的起伏厚度方向的寬度超過(guò)預(yù)定范圍并變薄的、或變厚的直線(xiàn)狀 區(qū)域稱(chēng)為條斑(條狀不規(guī)則)。
因此，在上述構(gòu)成中，在祐j企查面上沿著與條斑垂直的方向，以預(yù) 定間隔抽取出被檢測(cè)到的條斑，即特定周期的條斑。由此，可以從檢測(cè) 到的條斑中除去不具有周期性的條斑，僅抽取制造工藝所引起的特定周 期的條斑。
這里，就被檢查物的起伏部分而言，在產(chǎn)生了厚度比正常厚度薄而 引起的條斑的情況下，無(wú)論從哪個(gè)方向投影，均檢測(cè)條斑。相反，在產(chǎn) 生了單側(cè)傾斜不規(guī)則的情況下，不會(huì)因投影方向的不同而檢測(cè)到條斑。
根據(jù)上述構(gòu)成，從抽取出的特定周期的條斑中，抽取在第1和第2 圖像雙方中被檢測(cè)到的條斑，即在雙方圖像的相同位置檢測(cè)到的條斑。 也就是說(shuō)，在上述構(gòu)成中，僅抽取由于起伏部分的厚度比正常厚度薄或 厚而產(chǎn)生的條斑。
由此，可以從不具有周期性的條斑、或單側(cè)傾斜不規(guī)則等各種條斑 中，僅選擇性地檢測(cè)被檢查物的起伏部分的厚度比正常厚度薄、并因被 檢查物的制造工藝而具有特定周期的條斑。
本發(fā)明的其它目的、特征和優(yōu)點(diǎn)通過(guò)下面示出的記載而變得顯而易 見(jiàn)。另外，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在參照附圖的以下說(shuō)明中變得更明顯。
圖1表示本發(fā)明的實(shí)施方式，是表示本發(fā)明的檢查系統(tǒng)概要的框圖。 圖2是表示上述檢查系統(tǒng)中、由拍攝裝置和照明裝置拍攝檢查對(duì)象
基板的方法的圖。
圖3是表示上述檢查系統(tǒng)執(zhí)行的處理的一例的流程圖。
圖4是表示上述流程圖中的處理的具體例的圖。
圖5是表示與上述不同的檢查系統(tǒng)中的數(shù)據(jù)流的一例的圖。
圖6是表示上述檢查系統(tǒng)中的數(shù)據(jù)流的另 一例的圖。
圖7 (a)是表示以多個(gè)分割區(qū)域檢測(cè)出條斑的狀態(tài)的一例的圖。
圖7 ( b )是表示檢查對(duì)象基板的基板坐標(biāo)與強(qiáng)度平均的關(guān)系的一例的圖。
圖7 ( c )是表示檢查對(duì)象基板的基板坐標(biāo)與表示檢測(cè)出條斑的區(qū)域 數(shù)的檢測(cè)數(shù)之間的關(guān)系的一例的圖。
圖8是表示通過(guò)測(cè)量像素端面的角度來(lái)測(cè)量膜厚的方法的圖，(a) 表示膜厚正常的像素中的像素端面的角度(b)表示膜厚較薄的像素中 的像素端面的角度(c)表示涂敷在濾色鏡上的像素向單側(cè)傾斜時(shí)的像 素端面的角度。
具體實(shí)施例方式
[檢查系統(tǒng)的構(gòu)成]
下面，根據(jù)圖1 ~圖7來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式。首先，根據(jù) 圖1來(lái)說(shuō)明本實(shí)施方式的檢查系統(tǒng)1的概要。圖1是表示檢查系統(tǒng)1的 概要的框圖。如圖所示，檢查系統(tǒng)1以檢查對(duì)象基板P作為檢查對(duì)象， 具備拍攝裝置2a、拍攝裝置2b、照明裝置3a、照明裝置3b和檢查裝置 4。
這里，假設(shè)構(gòu)成檢查系統(tǒng)1的檢查對(duì)象的檢查對(duì)象基板P是濾色鏡 基板。下面的說(shuō)明中，所謂濾色鏡是指通過(guò)特定波長(zhǎng)的光來(lái)使顯示裝置 進(jìn)行彩色顯示的濾光器。另外，通過(guò)利用噴墨法向形成了黑矩陣的玻璃 基板上噴出液狀材料來(lái)形成濾色鏡。并且，這里將形成了黑矩陣和濾色 鏡的狀態(tài)的玻璃基板稱(chēng)為濾色鏡基板。
檢查對(duì)象基板P被固定在未圖示的框架上，從而使利用噴墨法著色 的面朝向拍攝裝置2a和2b存在的方向。構(gòu)成檢查對(duì)象的物體只要具有 規(guī)則正確地排列的起伏，并且因起伏間的膜厚差而產(chǎn)生條斑即可，而并 不限于濾色鏡基板。
拍攝裝置2a和2b是拍攝檢查對(duì)象基板P的圖像的裝置，照明裝置 3a和3b是向檢查對(duì)象基板P照射光的裝置。具體地，拍攝裝置2a拍攝 照明裝置3a向檢查對(duì)象基板P所照射的光的反射光，拍攝裝置2b拍攝 照明裝置3b向檢查對(duì)象基板P所照射的光的反射光。
即，檢查系統(tǒng)1通過(guò)向檢查對(duì)象基板P的像素端部照射光并拍攝其 反射光，求出像素端面的傾斜角度，并檢測(cè)各像素的膜厚差。對(duì)此，根 據(jù)圖2對(duì)其進(jìn)行說(shuō)明。
圖2是表示由拍攝裝置2和2b、以及照明裝置3a和3b拍攝檢查對(duì) 象基板P的方法的圖。如圖所示，在透明基板101上形成了黑矩陣102。 之后，在黑矩陣102所包圍的區(qū)域中涂敷像素103,形成檢查對(duì)象基板 P。另外，像素103與黑矩陣102接觸的部位分別變?yōu)橄袼囟嗣?03a和 103b。
拍攝裝置2a和2b拍攝該像素端面103a和103b。具體而言，從像 素103的外側(cè)方向、由照明裝置3a向圖2右側(cè)的像素端面103a照射與 檢查對(duì)象基板P成預(yù)定角度的光。之后，由相對(duì)檢查對(duì)象基板P以預(yù)定 角度固定的拍攝裝置2a拍攝該光的反射光。同樣，對(duì)于圖2左側(cè)的像
素端面103b,從與照明裝置3a相反的方向，從照明裝置3b向檢查對(duì)象 基板P照射與檢查對(duì)象基板P成預(yù)定角度的光，拍攝裝置2b拍攝該光 的反射光。
圖2中，為了說(shuō)明起見(jiàn)，示出了拍攝一個(gè)像素103的端面103a和 103b的反射光的狀態(tài)，但實(shí)際上，在透明基板101條上，將多個(gè)像素排 列成矩陣狀。而且，在各像素的端面中，分別產(chǎn)生與端面103a和103b 中的反射同樣的反射，這些反射光由拍攝裝置2a和2b拍攝。
在下面的說(shuō)明中，將拍攝裝置2a拍攝來(lái)自像素端面103a的反射光 所得到的圖像數(shù)據(jù)稱(chēng)為圖像R，將拍攝裝置2b拍攝來(lái)自像素端面103b 的反射光所得到的圖像數(shù)據(jù)稱(chēng)為圖像L。另外，拍攝裝置2a和2b與檢 查裝置4通過(guò)有線(xiàn)或無(wú)線(xiàn)進(jìn)行連接，圖像L和圖像R被發(fā)送到檢查裝置 4。
檢查裝置4是進(jìn)行如下檢查的裝置，即根據(jù)拍攝裝置2a和2b拍 攝來(lái)自像素端面103a和103b的反射光所得到的圖像L和圖像R,確認(rèn) 檢查對(duì)象基板P中是否產(chǎn)生了條斑。檢查裝置4如圖所示，具備拍攝控 制部5、存4諸部6、缺陷4企查部7和l俞出部8。
拍攝控制部5控制拍攝裝置2a和2b與照明裝置3a和3b的動(dòng)作， 并拍攝檢查對(duì)象基板P的圖像，將通過(guò)拍攝得到的圖像L和圖像R取入 到檢查裝置4內(nèi)部。而且，拍攝控制部5使取入的圖像L和圖像R與指 定檢查對(duì)象基板P的數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)，并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部6中。由此，可拍攝多 個(gè)檢查對(duì)象基板P，并執(zhí)行各檢查對(duì)象基板P的條斑檢查。
存儲(chǔ)部6如上所述，存儲(chǔ)由拍攝控制部5所取入的圖像L和圖像R, 并存儲(chǔ)缺陷檢查部7用于缺陷檢查的數(shù)據(jù)或表示缺陷檢查結(jié)果的數(shù)據(jù) 等。
缺陷檢查部7分析圖像L和圖像R,檢測(cè)檢查對(duì)象基板P中產(chǎn)生的 條斑。具體而言，缺陷檢查部7具備圖像處理部(頻率區(qū)域數(shù)據(jù)生成部 件)11、條斑檢測(cè)部(條斑檢測(cè)部件)12、特定周期不規(guī)則抽取部(特 定周期不規(guī)則抽取部件)13、和檢查對(duì)象不規(guī)則抽取部，這些結(jié)構(gòu)分別 執(zhí)行規(guī)定的動(dòng)作，從而執(zhí)行條斑的檢測(cè)。
圖像處理部11對(duì)圖像L和圖像R實(shí)施投影處理和噪聲濾除等圖像 處理。通過(guò)實(shí)施圖像處理，可以從圖像L和圖像R中較容易地或正確地 檢測(cè)條斑。缺陷檢查部7即便在不具備圖像處理部11的情況下也可檢
測(cè)條斑，但為了提高條斑的檢測(cè)精度，最好具備圖像處理部ll。
條斑檢測(cè)部12分析圖像處理部11實(shí)施了圖像處理后的圖像L和圖 像R，對(duì)圖像L和圖像R分別檢測(cè)產(chǎn)生了條斑的位置，并對(duì)檢測(cè)出的各 條斑檢測(cè)其缺陷強(qiáng)度。所謂缺陷強(qiáng)度是指表示膜厚低于或高于正常值的 程度的指標(biāo)，缺陷強(qiáng)度越大，表示與其它區(qū)域相比，膜厚越薄或越厚。
這里，說(shuō)明條斑檢測(cè)部12檢測(cè)條斑的方法。即，照明裝置3a和3b 照射到檢查對(duì)象基板P的光被檢查對(duì)象基板P反射后的反射光，在檢查 對(duì)象基板P的像素厚度與其它區(qū)域相比相對(duì)較大的部分，反射光量多， 在像素厚度與其它區(qū)域相比相對(duì)較小的部分，反射光量少。因此，在拍 攝檢查對(duì)象基板P得到的圖像L和圖像R中，該反射光量的差被設(shè)別為 不規(guī)則。
另外，如上述背景技術(shù)中所述的那樣，通常，多數(shù)情況下基于噴墨 法的膜厚差沿頭單元的掃描方向(描繪方向)排成一列地產(chǎn)生。結(jié)果， 由制造工藝引起的不規(guī)則被檢測(cè)為沿描繪方向排成一列的條紋狀不規(guī) 則，即條斑。
反射光量的差在圖像L和圖像R中表現(xiàn)為亮度值的差，所以條斑檢 測(cè)部12可根據(jù)圖像L和圖像R中的亮度分布，決定條斑的位置、方向、 強(qiáng)度等。例如，條斑檢測(cè)部12可將圖像L和圖像R中亮度值低于預(yù)定 闊值的區(qū)域、或高于預(yù)定闊值的區(qū)域檢測(cè)為條斑。另外，可將未產(chǎn)生條 斑的位置的亮度值與產(chǎn)生了條斑的位置的亮度值之差計(jì)算為缺陷強(qiáng)度。
特定周期不規(guī)則抽取部13從條斑檢測(cè)部12檢測(cè)到的條斑中，抽取 以特定周期T產(chǎn)生的條斑。具體而言，特定周期不規(guī)則抽取部13對(duì)條 斑檢測(cè)部12檢測(cè)出的各條斑，確認(rèn)在距該條斑距離T中是否存在其它 條斑，由此，抽取以周期T產(chǎn)生的條斑。如上所述，特定周期的條斑通 常一皮檢測(cè)為沿描繪方向平行的一列不規(guī)則，所以特定周期不規(guī)則抽取部 13求出圖像L和圖像R中與描繪方向垂直的方向上的條斑的間隔。
另外，抽取特定周期的條斑的方法不限于上述實(shí)例。例如，特定周 期不規(guī)則檢測(cè)部也可以利用傅立葉變換等將圖像L和圖像R分別變換為 頻率區(qū)域的數(shù)據(jù)，并使用頻率區(qū)域的數(shù)據(jù)來(lái)抽取特定周期的條斑。
檢測(cè)對(duì)象不規(guī)則抽取部(檢測(cè)對(duì)象不規(guī)則抽取部件)14從特定周期 不規(guī)則抽取部13抽取的、以特定周期T產(chǎn)生的條斑中，抽取出滿(mǎn)足規(guī) 定條件的條斑。具體而言，檢測(cè)對(duì)象不規(guī)則抽取部14從以特定周期T
產(chǎn)生的條斑中，抽取出在圖像L和圖像R雙方的相同位置被檢測(cè)到的條 斑。細(xì)節(jié)如后所述，但在圖像L和圖像R雙方的相同位置被檢測(cè)到的條 斑是膜厚超出正常值并對(duì)品質(zhì)產(chǎn)生影響的條斑。另外，檢測(cè)對(duì)象不規(guī)則 抽取部14還具有作為計(jì)算出所抽取的條斑的缺陷強(qiáng)度的指標(biāo)決定部件 的功能。
輸出部8可識(shí)別地將缺陷檢查部7的檢查結(jié)果等輸出給檢查系統(tǒng)1 的用戶(hù)。具體而言，輸出部8具備顯示圖像的未圖示的顯示器，并執(zhí)行 如下處理將存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部6中的圖像L和圖像R等圖像數(shù)據(jù)顯示于顯 示器中或?qū)z測(cè)對(duì)象不規(guī)則抽取部14抽取的條斑顯示為圖像數(shù)據(jù)。
根據(jù)圖3和圖4說(shuō)明具備以上構(gòu)成的檢查系統(tǒng)1的處理流程。圖3 是表示檢查系統(tǒng)1執(zhí)行的一例處理的流程圖，圖4是表示圖3的流程圖 中的S3-S5的一例處理的圖。
首先，檢查裝置4的拍攝控制部5向拍攝裝置2a和2b發(fā)送指示， 使之執(zhí)行檢查對(duì)象基板P的拍攝(Sl )。在圖2的實(shí)例中，拍攝裝置2a 拍攝來(lái)自像素端面103a的反射光，拍攝裝置2b拍攝來(lái)自像素端面103b 的反射光。
拍攝裝置2a和2b拍攝檢查對(duì)象基板P得到的圖像數(shù)據(jù)，即圖像L 和圖像R被發(fā)送到檢查裝置4,并由拍攝控制部5存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部6中 (S2)。在本實(shí)施方式中，示出了由拍攝裝置2a和2b分別取得圖像R 和圖像L的方式，但也可以通過(guò)使l臺(tái)拍攝裝置移動(dòng)，來(lái)取得圖像R和 圖像L。
若將圖像L和圖像R存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部6中，則圖像處理部11對(duì)圖像 L和圖4象R實(shí)施噪聲濾除處理。由此，能夠僅正確地沖全測(cè)出^r查對(duì)象的 條斑。
具體而言，圖像處理部11通過(guò)傅立葉變換或微波(wavelet)變換 等，將圖像L和圖像R變換為頻率區(qū)域的數(shù)據(jù)，從該頻率區(qū)域的數(shù)據(jù)中 濾除將特定周期T除去的頻率分量。之后，利用傅立葉逆變換或微波逆 變換等，將圖像L和圖像R還原為空間區(qū)域的數(shù)據(jù)，從而可以除去無(wú)周 期性的不規(guī)則或檢索對(duì)象外的周期的不規(guī)則。另外，利用上述調(diào)制處理 除去的周期期望為T(mén)/2以下。這是因?yàn)楫?dāng)將要調(diào)制到周期T時(shí)，條斑的 特征量喪失，檢測(cè)精度降低。T是產(chǎn)生特定周期條斑的周期。
接著，條斑檢測(cè)部12對(duì)圖像L和圖像R分別進(jìn)行條斑的檢測(cè)(S3 )。 具體而言，圖像處理部11對(duì)圖像L和圖像R分別檢測(cè)亮度值低于預(yù)定 值的區(qū)域，作為條斑，并取得被檢測(cè)到的條斑的位置和缺陷強(qiáng)度。之后， 條斑檢測(cè)部13將表示檢測(cè)到的條斑的位置和缺陷強(qiáng)度的數(shù)據(jù)發(fā)送到特 定周期不規(guī)則抽取部13。
圖4 (a)示出了由S3檢測(cè)的條斑的一例。如圖所示，在圖像L中 才企測(cè)到條斑a ~ d等4個(gè)條斑，在圖像R中沖全測(cè)到條斑e ~ h等4個(gè)條斑。 另夕卜，如圖所示，圖4象L中，條斑a與c的間隔為T(mén),條斑c與d的間 隔也為T(mén)。另外，圖^f象R中，條斑e與g的間隔為T(mén),條斑f與h的間 隔也為T(mén)。在S3中，與條斑的周期、或所檢測(cè)到的條斑是否是單側(cè)傾 斜不規(guī)則等無(wú)關(guān)，檢測(cè)所有的條斑。
接著，接收到表示條斑的位置和缺陷強(qiáng)度的數(shù)據(jù)之特定周期不規(guī)則 抽取部13對(duì)圖像L和圖像R分別執(zhí)行求出條斑與條斑的間隔的間隔判 定。之后，特定周期不規(guī)則抽取部13殘留具有特定周期T的條斑，作 為對(duì)品質(zhì)造成問(wèn)題的條斑的候補(bǔ)(S4)。特定周期不規(guī)則抽取部13將 表示這里所殘留的條斑的位置和缺陷強(qiáng)度的數(shù)據(jù)發(fā)送到檢測(cè)對(duì)象不規(guī) 則抽取部14。
這里，還包含一個(gè)條斑以周期T與其它多個(gè)條斑相鄰的情況， -沒(méi)殘 留了以周期T相鄰的全部條斑(允許重復(fù)判定)。另外，在S3和S4中， 對(duì)圖像L和圖像R分別獨(dú)立地平行進(jìn)行處理。
圖4 (b)示出了 S4中殘留的條斑的一例。如圖所示，在圖像L中 殘留了條斑a、 c、 d等3個(gè)條斑，在圖^象R中，殘留了條斑e h等4 個(gè)條斑。另外，如圖所示，對(duì)圖像L中除去了與任意一個(gè)條斑均未以周 期T的間隔相鄰的條斑b,并殘留了以周期T相鄰的條斑a與c、和條 斑c與d。另一方面，對(duì)圖^f象R,由于條斑e與g的間隔為T(mén),條斑f與 h的間隔也為T(mén),所以這些條斑e h全部一皮殘留。
這里，圖像L和圖像R均為拍攝檢查對(duì)象基板P所得到的圖像數(shù)據(jù)。 因此，在檢查對(duì)象基板P中產(chǎn)生了周期T的條斑的情況下，在圖像L和 圖像R雙方彼此相同的位置上，檢測(cè)周期T的條斑。因此，在圖像L 和圖像R彼此相同的位置處成組地殘留了條斑的情況下，可判斷為該條 斑是必須通過(guò)缺陷檢查檢測(cè)的條斑。另一方面，在僅圖像L和圖像R任 一方中檢測(cè)出周期T的條斑的情況下，該條斑由于不對(duì)檢查對(duì)象基板P 的制品品質(zhì)造成問(wèn)題，所以可判斷為是不必由缺陷檢查檢測(cè)的單側(cè)傾斜 不規(guī)則。
例如在圖4 (b)的實(shí)例中，由于條斑a與e、和條斑c與g在圖4象 L和圖像R的彼此相同位置處^皮檢測(cè)，所以可判斷為這些條斑是必須由 缺陷;險(xiǎn)查進(jìn)行才企測(cè)的條斑。另一方面，條斑f和g由于在圖^象L的對(duì)應(yīng) 位置未檢測(cè)到條斑，所以可判定為這些條斑是單側(cè)傾斜不規(guī)則。
接著，從特定周期不規(guī)則抽取部13接收到表示條斑的位置和缺陷 強(qiáng)度的數(shù)據(jù)的檢測(cè)對(duì)象不規(guī)則抽取部14,執(zhí)行圖像L和圖像R的對(duì)位 (S5)。具體而言，檢測(cè)對(duì)象不規(guī)則抽取部14對(duì)圖像L的條斑與圖像R 的條斑執(zhí)行基于位置的邏輯與運(yùn)算。
即，檢測(cè)對(duì)象不規(guī)則抽取部14執(zhí)行如下處理，即僅殘留在圖像L 和圖像R中的彼此相同位置上出現(xiàn)的條斑。例如，在圖像L的位置p處 檢測(cè)出條斑，并且在圖像R中也在位置p處檢測(cè)到條斑的情況下，檢測(cè) 對(duì)象不規(guī)則抽取部14殘留該條斑。另一方面，檢測(cè)對(duì)象不規(guī)則抽取部 14除去僅在圖像L和圖像R—方中出現(xiàn)的條斑。
另外，卩險(xiǎn)測(cè)對(duì)象不MJ'J抽取部14也可以通過(guò)對(duì)例如圖^象處理部11 將圖像L和圖像R變換為頻率區(qū)域的數(shù)據(jù)后的結(jié)果進(jìn)行邏輯與運(yùn)算來(lái)進(jìn) 行對(duì)位。
圖4(c)中示出了 S5中殘留的條斑的一例。如圖所示，圖像L和 圖像R合并后成為一個(gè)圖像U。之后，圖像U中殘留了對(duì)應(yīng)于圖像L 的條斑a和圖<象R的條斑e的條斑i、以及對(duì)應(yīng)于圖4象L的條斑c和圖 像R的條斑g的條斑j。另一方面，除去了圖像L的條斑d與圖像R的 條斑f和h。
這樣，S5中，在圖像L與圖像R中殘留了對(duì)應(yīng)的條斑，即檢查對(duì) 象基板P的相同位置的條斑。另夕卜，有時(shí)因拍攝元件與象素的尺寸或位 置關(guān)系不同而產(chǎn)生誤差，所以圖像L與圖像R中對(duì)應(yīng)的條斑不必是圖像 L和圖像R的完全相同位置的條斑。檢測(cè)對(duì)象不規(guī)則抽取部14還檢測(cè) 加入各種誤差范圍而對(duì)應(yīng)的條斑。
之后，；險(xiǎn)測(cè)對(duì)象不^見(jiàn)則抽取部14判定S5的處理中殘留的條斑i和 J是具有特定周期T、且像素的厚度(膜厚)超出正常值所產(chǎn)生的條斑， 即檢測(cè)對(duì)象條斑(S6),并結(jié)束處理。
如上所述，本實(shí)施方式的檢查系統(tǒng)1從檢測(cè)的條斑中僅抽取具有特
定周期T的條斑，再?gòu)钠渲谐蝹?cè)傾斜不規(guī)則后，能夠僅檢測(cè)必須通 過(guò)缺陷斥企查4企測(cè)的條斑。
即便是因像素的厚度超出正常值所產(chǎn)生的條斑，在像素的厚度超出 正常值的程度、即缺陷強(qiáng)度較低的情況下，對(duì)作為檢查對(duì)象基板P的制 品的品質(zhì)也不會(huì)造成問(wèn)題。因此，檢測(cè)對(duì)象不規(guī)則抽取部14也可以將 S6的處理中殘留的各條斑的缺陷強(qiáng)度與預(yù)定的檢查閾值相比較，進(jìn)行是 否良好的判定。由此，可除去缺陷強(qiáng)度較低、對(duì)作為制品的品質(zhì)不會(huì)造 成問(wèn)題的條斑，并僅檢測(cè)缺陷強(qiáng)度較高、并且對(duì)作為檢查對(duì)象基板P的 制品的品質(zhì)造成問(wèn)題的條斑。
但是，雖然單側(cè)傾斜不規(guī)則在檢查對(duì)象基板P的制品品質(zhì)上沒(méi)有問(wèn) 題，但在產(chǎn)生了單側(cè)傾斜不規(guī)則的情況下，在檢查對(duì)象基板P的制造工 藝上產(chǎn)生某些問(wèn)題的可能性較高。因此，通過(guò)檢測(cè)單側(cè)傾斜不規(guī)則，也 可除去制造工藝上的問(wèn)題點(diǎn)。
在檢測(cè)單側(cè)傾斜不規(guī)則的情況下，在圖3的S5中，檢測(cè)對(duì)象不規(guī) 則抽取部14執(zhí)行圖像的對(duì)位時(shí)，只要執(zhí)行除去圖像L和圖像R雙方的 相同位置處檢測(cè)到的條斑，并殘留僅在圖像L和圖像R任一方檢測(cè)到的 條斑的處理即可。由此，可僅片企測(cè)單側(cè)傾斜不MJ'j。另外，通過(guò)求出才企 測(cè)到的單側(cè)傾斜不規(guī)則的缺陷強(qiáng)度，比較該求出的缺陷強(qiáng)度與預(yù)定的檢 查閾值，從而也可以?xún)H檢調(diào)'J缺陷強(qiáng)度較高的單側(cè)傾斜不規(guī)則。
如上所述，這里，假設(shè)檢查對(duì)象基板P是利用噴墨法著色的濾色鏡 基板。在濾色鏡的制造工序中，利用對(duì)透明基板實(shí)施黑矩陣形成、著色 等工序，制造濾色鏡基板，由檢查系統(tǒng)1檢查該濾色鏡基板是否良好， 即有無(wú)特定周期的條斑。之后，對(duì)條斑的檢查結(jié)束并判定為品質(zhì)沒(méi)有問(wèn) 題的濾色鏡基板提供規(guī)定的處理，從而完成濾色鏡。這里，在濾色鏡的 制造工序中，將條斑纟全查之前的工序稱(chēng)為前工序，將條斑;險(xiǎn)查之后的工 序稱(chēng)為次工序。
對(duì)檢查系統(tǒng)1判定為品質(zhì)沒(méi)有問(wèn)題的濾色鏡基板利用次工序?qū)嵤┮?guī) 定處理。另一方面，由檢查系統(tǒng)1判定為有問(wèn)題的濾色鏡基板從濾色鏡 的制造線(xiàn)上被除去，對(duì)這些濾色鏡基板不執(zhí)行次工序。這樣，檢查系統(tǒng) 1的檢查結(jié)果在濾色鏡制造工序中用于是否將條斑檢查后的濾色鏡基板
提供給次工序的判定。
即便在判定為有問(wèn)題的濾色鏡基板中，也認(rèn)為有時(shí)由于條斑的程度 不同，包含能夠修復(fù)的濾色鏡基板。因此，也可以在次工序中，根據(jù)檢 查系統(tǒng)l檢測(cè)到的條斑的缺陷強(qiáng)度，篩選放置于執(zhí)行修復(fù)的制造線(xiàn)的濾 色鏡基板和放置于轉(zhuǎn)送到廢棄的制造線(xiàn)的濾色鏡基板。
例如，在事先設(shè)定閾值，并產(chǎn)生了該閾值以上的缺陷強(qiáng)度的條斑的 情況下，只要廢棄該濾色鏡基板即可。另外，盡管檢測(cè)出條斑，但在對(duì) 缺陷強(qiáng)度不足上述闊值的濾色鏡基板實(shí)施了修復(fù)處理之后，只要再次由 檢查系統(tǒng)1進(jìn)行檢查即可。
由此，自動(dòng)排除產(chǎn)生了修復(fù)困難的重度缺陷的濾色鏡基板，并且不 會(huì)造成廢棄了可修復(fù)的濾色鏡基板等浪費(fèi)。
如上所述，特定周期的條斑多起因于制造工藝。因此，通過(guò)將檢查 系統(tǒng)1的檢查結(jié)果反饋到前工序，可進(jìn)行制造條件的調(diào)整，以不產(chǎn)生特 定周期的條斑。
例如，在根據(jù)檢測(cè)到的條斑的周期推定為條斑起因于墨水噴出的情 況下，只要進(jìn)行墨水噴出量的調(diào)整或頭單元的移動(dòng)速度變更等即可。另 外，在推定為條斑起因于黑矩陣的寬度不適當(dāng)?shù)那闆r下，只要調(diào)整形成 黑矩陣用的光掩膜的形成位置等、進(jìn)行黑矩陣的制造條件的變更即可。
由此，由于對(duì)應(yīng)于一皮4全測(cè)的條斑的周期來(lái)變更制造工藝，所以可自 動(dòng)修正濾色鏡基板的制造工藝，并能夠高效地制造出不產(chǎn)生條斑的濾色 鏡基板。
在上述實(shí)施方式中，示出了從1個(gè)圖像L和1個(gè)圖像R分別檢測(cè)條 斑的實(shí)例，但在本實(shí)施方式中，說(shuō)明將圖像L和圖像R分別以彼此相同 的位置分割成多個(gè)區(qū)域，并以分割區(qū)域單位檢測(cè)條斑的實(shí)例。通過(guò)將圖 像L和圖像R分割成多個(gè)區(qū)域，從而能夠提高條斑的檢測(cè)精度。另夕卜， 對(duì)與上述實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)附加相同的參照序號(hào)，省略其說(shuō)明。
本實(shí)施方式的檢查系統(tǒng)1除了檢查裝置4具備區(qū)域分割部(區(qū)域分 割部件)外，具備與上述實(shí)施方式相同的構(gòu)成，檢測(cè)條斑的的處理流程 也與圖3所示的處理流程一樣。因此，下面首先說(shuō)明檢查裝置4具備的 區(qū)域分割部，接著說(shuō)明本實(shí)施方式的檢查系統(tǒng)1中的具體的數(shù)據(jù)流程。
區(qū)域分割部將通過(guò)檢查對(duì)象基板P的拍攝而取得并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部6
中的圖像L和圖像R分別分割成多個(gè)圖像，將分割后的圖像分別輸出到 缺陷檢查部7。具體而言，區(qū)域分割部以彼此相同的位置分別分割圖像 L和圖像R。換言之，區(qū)域分割部進(jìn)行分割，從而使分割圖像L后得到 的每個(gè)圖像分別成為對(duì)應(yīng)于分割圖像R所得到的每個(gè)圖像的、即表示檢 查對(duì)象基板P的相同位置的圖像。由于拍攝元件與象素的尺寸或位置關(guān) 系不同而產(chǎn)生誤差，所以分割位置不必完全是同一位置。圖像L和圖像 R的分割位置還包含各種誤差范圍內(nèi)的位置。
這里，假設(shè)區(qū)域分割部將圖像L分割成沿描繪方向相鄰的圖像LA ~ 圖像LD等4個(gè)區(qū)域，同樣將圖像R分割成沿描繪方向相鄰的圖像RA 圖像RD等4個(gè)區(qū)域。當(dāng)然，分割區(qū)域并不限于上述實(shí)例，可以對(duì)應(yīng)于 檢查對(duì)象基板P的形狀或尺寸、拍攝裝置2的分辨率等進(jìn)行適當(dāng)設(shè)定。 另外，相鄰的分割區(qū)域也可以彼此重復(fù)(交迭)。
即，在上述實(shí)施方式中，缺陷檢查部7根據(jù)存儲(chǔ)部6中存儲(chǔ)的圖像 L和圖像R,對(duì)檢查對(duì)象基板P整個(gè)面有無(wú)條斑進(jìn)行才企查。相反，在本 實(shí)施方式中，根據(jù)區(qū)域分割部分割圖像L和圖像R后的圖像LA 圖像 LD和圖像RA 圖像RD來(lái)檢查有無(wú)條斑。因此，在本實(shí)施方式中，將 檢查對(duì)象基板P分成多個(gè)區(qū)域，對(duì)各區(qū)域檢查有無(wú)條斑。
下面，根據(jù)圖5來(lái)說(shuō)明本實(shí)施方式的檢查系統(tǒng)1中的數(shù)據(jù)流。圖5 是表示檢查系統(tǒng)1中的數(shù)據(jù)流的一例的圖。
若將拍攝檢查對(duì)象基板P所得到的圖像L和圖像R存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部6 中，則區(qū)域分割部在將圖像L分割成圖像LA ~圖像LD等4個(gè)區(qū)域的同 時(shí)，將圖像R分割成圖像RA 圖像RD等4個(gè)區(qū)域，將分割后得到的 圖像依次發(fā)送到圖像處理部11。圖5中，在中心示出了對(duì)于將圖像L進(jìn) 行了區(qū)域分割后所得到的圖像數(shù)據(jù)LA執(zhí)行的處理，對(duì)其它圖像數(shù)據(jù)(圖 像數(shù)據(jù)LB-LD、 RA RD)也執(zhí)行同樣的處理。
具體而言，區(qū)域分割部將圖像LA與圖像RA發(fā)送到圖像處理部11, 接著，將圖像LB與圖像RB發(fā)送到圖像處理部11,同樣，發(fā)送圖像LC 與圖像RC,發(fā)送圖像LD與圖像RD。即，區(qū)域分割部將分割得到的圖 像中對(duì)應(yīng)的圖像(表示檢查對(duì)象基板P的相同區(qū)域、從不同拍攝位置拍 攝來(lái)自不同投影方向的光經(jīng)上述區(qū)域反射后的反射光所得到的圖像)組 成組后，發(fā)送到圖像處理部ll。
圖像處理部11將任意方向作為投影方向，對(duì)從區(qū)域分割部接收到
的圖像中所包含的亮度分布信息進(jìn)行一維投影處理。即，圖像處理部ll
對(duì)二維圖像數(shù)據(jù)(圖像LA LD和圖像RA RD)分別沿平行于條斑的 方向(描繪方向)將亮度值相加，并平均化，從而生成一維亮度值數(shù)據(jù) LA~LD和亮度值數(shù)據(jù)RA~RD。另外， 一維投影處理只要能夠一維化 二維數(shù)據(jù)即可，例如可以是沿平行于條斑的方向取亮度值的積分的方 法，也可以是對(duì)亮度值加4又后相加的方法。
接著，圖像處理部11對(duì)上述生成的亮度值數(shù)據(jù)LA LD和亮度值 數(shù)據(jù)RA ~ RD執(zhí)行例如作為公知技術(shù)的傅立葉變換或微波變換，變換為 頻率區(qū)域的數(shù)據(jù)，并濾除了噪聲分量之后，執(zhí)行傅立葉逆變換或微波逆 變換，還原為空間區(qū)域的數(shù)據(jù)。期望利用逆變換執(zhí)行噪聲濾除的頻帶為 作為檢測(cè)對(duì)象的特定的周期條斑不被調(diào)制的頻帶。圖像處理部11將噪 聲濾除后的亮度值數(shù)據(jù)LA ~ LD和亮度值數(shù)據(jù)RA ~ RD依次發(fā)送到條斑 才企測(cè)部12。
之后，條斑檢測(cè)部12對(duì)接收到的亮度值數(shù)據(jù)LA-LD和亮度值數(shù) 據(jù)RA ~ RD分別執(zhí)行條斑的檢測(cè)，求出被檢測(cè)到的各條斑的強(qiáng)度與檢測(cè) 位置。下面的說(shuō)明中，將圖像LA LD和圖像RA RA中分別被檢測(cè)到 的、表示條斑的強(qiáng)度與檢測(cè)位置的數(shù)據(jù)稱(chēng)為條斑數(shù)據(jù)LA ~ LD和條斑數(shù) 據(jù)RA ~ RA。
條斑檢測(cè)部12將如上所述那樣求出的條斑數(shù)據(jù)LA-LD和條斑數(shù) 據(jù)RA RA依次發(fā)送到特定周期不規(guī)則抽取部13。特定周期不規(guī)則抽 取部13對(duì)接收到的條斑數(shù)據(jù)LA ~ LD和條斑數(shù)據(jù)RA ~ RA分別進(jìn)行間 隔判定，殘留具有特定周期的條斑，生成作為去除了其它條斑的數(shù)據(jù)的 特定周期條斑數(shù)據(jù)LA ~ LD和特定周期條斑數(shù)據(jù)RA ~ RA。
特定周期不規(guī)則抽取部13將上述生成的特定周期條斑數(shù)據(jù)LA LD和特定周期條斑數(shù)據(jù)RA RA發(fā)送到檢測(cè)對(duì)象不規(guī)則抽取部14。之 后，檢測(cè)對(duì)象不規(guī)則抽取部14對(duì)彼此對(duì)應(yīng)的特定周期條斑數(shù)據(jù)的組合 進(jìn)行對(duì)位。
即，檢測(cè)對(duì)象不規(guī)則抽取部14通過(guò)對(duì)每個(gè)分割的區(qū)域執(zhí)行邏輯與 運(yùn)算，從而對(duì)根據(jù)圖像L生成的特定周期條斑數(shù)據(jù)LA ~ LD與根據(jù)圖像 R生成的特定周期條斑數(shù)據(jù)RA RD進(jìn)行合并。下面的說(shuō)明中，將合并 后得到的數(shù)據(jù)稱(chēng)為特定周期條斑數(shù)據(jù)A ~ D 。
這里，數(shù)據(jù)的合并處理時(shí)，不僅缺陷的周期，對(duì)缺陷強(qiáng)度也進(jìn)行合
并。即，特定周期條斑數(shù)據(jù)A-D反映了特定周期條斑數(shù)據(jù)LA-LD和 特定周期條斑數(shù)據(jù)RA~RA中各條斑的缺陷強(qiáng)度。
作為反映特定周期條斑數(shù)據(jù)的缺陷強(qiáng)度的方法，例如可列舉如下方 法，即將構(gòu)成合并對(duì)象的兩個(gè)圖像中在對(duì)應(yīng)位置檢測(cè)到的條斑的強(qiáng)度 算術(shù)平均設(shè)為合并后的條斑的缺陷強(qiáng)度。另外，也可以將構(gòu)成合并對(duì)象 的兩個(gè)圖像中在對(duì)應(yīng)位置檢測(cè)的條斑中的、缺陷強(qiáng)度更低的條斑的缺陷 強(qiáng)度作為合并后的缺陷強(qiáng)度。
但是，條斑的缺陷強(qiáng)度可能會(huì)受到圖像數(shù)據(jù)中的噪聲分量的影響。 因此，當(dāng)圖像處理部11將圖像L和圖像R變換為頻率區(qū)域數(shù)據(jù)時(shí)，只 要計(jì)算出各頻率區(qū)域數(shù)據(jù)中的噪聲分量的強(qiáng)度即可。另外，當(dāng)特定周期 不規(guī)則抽取部13進(jìn)行合并時(shí)，也可以將噪聲分量的區(qū)域中強(qiáng)度較低的 一方的圖像中的缺陷強(qiáng)度值作為合并后的圖像中的缺陷強(qiáng)度值。
這樣，在本實(shí)施方式中，通過(guò)區(qū)域分割部將圖像L和R分別分割成 圖像LA ~ LD和圖像RA ~ RD,生成對(duì)應(yīng)于各分割區(qū)域的特定周期條斑 數(shù)據(jù)A D。
另外，特定周期不規(guī)則抽取部13對(duì)特定周期條斑數(shù)據(jù)A~D分別 使用預(yù)定的檢查閾值來(lái)進(jìn)行是否良好判定。即，特定周期不規(guī)則抽取部 13將從特定周期條斑數(shù)據(jù)A ~ D中除去了缺陷強(qiáng)度不足檢查閾值的條斑 后的數(shù)據(jù)作為判定結(jié)果，發(fā)送到輸出部8。由此，從輸出部8輸出分別 對(duì)應(yīng)于分割區(qū)域A D的判定結(jié)果。
在上述實(shí)例中，示出了對(duì)分割后的各區(qū)域輸出判定結(jié)果的實(shí)例，但 下面根據(jù)圖6說(shuō)明以基板為單位、或基板群為單位合并判定結(jié)果后輸出 的實(shí)例。圖6是表示檢查系統(tǒng)1中的數(shù)據(jù)流的一例的圖。由于圖6中生 成特定周期條斑數(shù)據(jù)A D之前的處理與圖5相同，所以這里說(shuō)明生成 了特定周期條斑數(shù)據(jù)A ~ D之后的處理。
即，檢測(cè)對(duì)象不規(guī)則抽取部14若生成特定周期條斑數(shù)據(jù)A~D,則 合并該生成的特定周期條斑數(shù)據(jù)A~D,生成對(duì)應(yīng)于一個(gè)檢查對(duì)象基板 P的特定周期條斑基板單位數(shù)據(jù)(合并條斑)。之后，檢查對(duì)象不規(guī)則 抽取部14比較特定周期條斑基板單位數(shù)據(jù)中包含的各條斑的缺陷強(qiáng)度 與預(yù)定的檢查閾值，將具有檢查閾值以上的缺陷強(qiáng)度的條斑的位置和缺 陷強(qiáng)度作為基板判定結(jié)果，發(fā)送到輸出部8。由此，從輸出部8輸出對(duì)
應(yīng)于檢查對(duì)象基板P的整個(gè)面的判定結(jié)果。
這里，根據(jù)圖7(a) ~ (c)說(shuō)明合并對(duì)應(yīng)于各分割區(qū)域的特定周 期條斑數(shù)據(jù)的方法。圖7 (a)是表示在多個(gè)分割區(qū)域中檢測(cè)到條斑的狀 態(tài)的一例的圖。如圖所示，這里假設(shè)將檢查對(duì)象基板P分割成沿描繪方 向相鄰的4個(gè)分割區(qū)域Pa-Pd。另外，如圖所示，分割區(qū)域Pc與Pd的 區(qū)域交迭。該分割區(qū)域pa pd分別對(duì)應(yīng)于圖像LA和RA、 LB和RB、 LC和RC、 LD和RD。
如圖所示，在檢查對(duì)象基板P中，條斑C與條斑D的間隔為T(mén)。如 上所述，檢查對(duì)象基板P由于假設(shè)利用噴墨法著色，所以起因于制造工 藝的特定周期的條斑多沿著與描繪方向平行的方向產(chǎn)生。因此，條斑C 在分割區(qū)域Pa Pc等3個(gè)區(qū)域中產(chǎn)生，各分割區(qū)域中的條斑在平行于 描繪方向的一直線(xiàn)上排列。
這里，假設(shè)分割區(qū)域PA中的條斑C的缺陷強(qiáng)度為Cl,分割區(qū)域PB 中的條斑C的缺陷強(qiáng)度為C2,分割區(qū)域Pc中的條斑C的缺陷強(qiáng)度為 C3。同樣，條斑D在分割區(qū)域PA和PB兩個(gè)區(qū)域中產(chǎn)生，各分割區(qū)域中 的條斑在平行于描繪方向的一直線(xiàn)上排列。另外，這里假設(shè)分割區(qū)域PA 中的條斑D的缺陷強(qiáng)度為Dl，分割區(qū)域PB中的條斑D的缺陷強(qiáng)度為 D2。
檢測(cè)對(duì)象不規(guī)則抽取部14在對(duì)分割區(qū)域PA ~ Po分別檢測(cè)出特定周 期條斑之后，合并檢查對(duì)象基板P上處于同一直線(xiàn)狀的特定周期條斑， 抽取合并后的條斑，作為合并條斑(條斑C和D)。之后，檢測(cè)對(duì)象不 規(guī)則抽取部14對(duì)每個(gè)合并條斑計(jì)算出缺陷強(qiáng)度。
具體而言，檢測(cè)對(duì)象不規(guī)則抽取部14將條斑的產(chǎn)生周期作為合計(jì) 單位，對(duì)描繪方向執(zhí)行缺陷強(qiáng)度的合計(jì)。例如，使用強(qiáng)度的算術(shù)平均， 合計(jì)單位使用周期T的一半。另外，考慮檢測(cè)區(qū)域數(shù)，使用下述算式(1 ), 求出基板單位的缺陷強(qiáng)度，即各合并條斑的缺陷強(qiáng)度。
(基板單位的強(qiáng)度)=(強(qiáng)度平均)x (檢測(cè)區(qū)域數(shù))/ (全部區(qū)域數(shù))
…算式(1)
其中，(強(qiáng)度平均)=(條斑強(qiáng)度的總和)/ (檢測(cè)區(qū)域數(shù))…算式(2) 使用上述算式(2),對(duì)圖7 (a)所示的檢查對(duì)象基板P的條斑C和D求出強(qiáng)度平均時(shí)，如圖7(b)所示。圖7 (b)是表示檢查對(duì)象基 板P的基板坐標(biāo)與強(qiáng)度平均之間的關(guān)系的一例的圖。
圖中，縱軸表示檢查對(duì)象基板P上的、垂直于描繪方向的方向上的 位置(基板坐標(biāo))。這里，如圖所示，合計(jì)單位為T(mén)/2。即，圖中，Pl 與P2的間隔、P2與P3的間隔和P3與P4的間隔分別為172。另外，圖 中，橫軸表示作為缺陷強(qiáng)度的平均值的強(qiáng)度平均。即，如圖所示，在位 置P1檢測(cè)到的條斑C的強(qiáng)度平均表示為(Cl+C2+C3)/3,同樣，在位 置P3檢測(cè)到的條斑D的強(qiáng)度平均表示為(Dl+D2) /2。
圖7 ( c )是表示檢查對(duì)象基板P的基板坐標(biāo)與表示檢測(cè)到條斑的區(qū) 域數(shù)的檢測(cè)數(shù)之間的關(guān)系的一例的圖。如圖所示，位置Pl處的檢測(cè)數(shù) 為3，位置P3處的檢測(cè)數(shù)為2。這表示如圖7(a)所示，位置P1處的 條斑C在Pa Pd中的3個(gè)區(qū)域中^皮^r測(cè)，位置P3處的條斑D在PA Pd中2個(gè)區(qū)域中祐j險(xiǎn)測(cè)。
因此，通過(guò)使用圖7 (b)和(c)中記載的數(shù)值來(lái)計(jì)算算式(1 )的 值，由此將條斑C的基板單位的強(qiáng)度計(jì)算為(Cl+C2+C3) /3x3/4= (Cl+C2+C3) /4。同樣，將條斑D的基板單位的強(qiáng)度計(jì)算為(Dl+D2) /2x2/4= (Dl+D2) /4。
上述計(jì)算出的基板單位的缺陷強(qiáng)度(合并條斑的缺陷強(qiáng)度)可用作 考慮了各個(gè)區(qū)域的條斑的強(qiáng)度與條斑的產(chǎn)生分布狀況后的基板單位的 缺陷強(qiáng)度。因此，檢測(cè)對(duì)象不規(guī)則抽取部14通過(guò)將由算式(1)計(jì)算出 的基板單位的缺陷強(qiáng)度(合并條斑的缺陷強(qiáng)度)與預(yù)定的檢查閾值相比 較，能夠以基板單位、即合并條斑單位執(zhí)行是否良好的判定。
另夕卜，在執(zhí)行以同一條件制造的多個(gè)檢查對(duì)象基板P的條斑檢查的 情況下，也可合并多個(gè)檢查對(duì)象基板P后執(zhí)行是否良好判定。即，在該 情況下，使用下述算式(3)來(lái)代替上述算式(1)。算式(3)將算式 (l)擴(kuò)展至基板群?jiǎn)挝?，基本方法相同。在算?3)中，(全部區(qū)域 數(shù))是基板群全部的區(qū)域數(shù)的合計(jì)。由此，可使用預(yù)定的檢查閾值來(lái)統(tǒng) 一執(zhí)行基板群?jiǎn)挝坏氖欠窈细衽卸ā?br>
(基板群?jiǎn)挝坏膹?qiáng)度)=(強(qiáng)度平均)x (檢測(cè)區(qū)域數(shù))/ (全部區(qū)域數(shù))
…算式(3)
本發(fā)明不限于上述各實(shí)施方式，可以在權(quán)利要求所示的范圍內(nèi)進(jìn)行 實(shí)施方式也包含于本發(fā)明的技術(shù)范圍內(nèi)。
最后，檢查裝置4的各塊、尤其是拍攝控制部5、缺陷檢查部7和 區(qū)域分割部也可以由硬件邏輯構(gòu)成，或如下所述那樣使用CPU并通過(guò) 軟件實(shí)現(xiàn)。
即，檢查裝置4具備執(zhí)行實(shí)現(xiàn)各功能的控制程序命令的CPU( central processing unit:中央處理單元)、存儲(chǔ)了上述程序的ROM (read only memory:只讀存儲(chǔ)器)、展開(kāi)上述程序的RAM ( random acess memory: 隨機(jī)存取存儲(chǔ)器)、存儲(chǔ)上述程序和各種數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)器等存儲(chǔ)裝置(記 錄媒體)等。另外，本發(fā)明的目的也可以通過(guò)如下方式實(shí)現(xiàn)將計(jì)算機(jī) 可讀取地記錄了作為實(shí)現(xiàn)上述功能的軟件的檢查裝置4的控制程序的程 序代碼(執(zhí)行形式程序、中間代碼程序、源程序)的記錄媒體提供給上 述檢查裝置4,該計(jì)算機(jī)(或CPU或MPU)讀出并4丸行已記錄在記錄 媒體中的程序代碼。
作為上述記錄媒體，例如可使用磁帶或盒式帶等帶類(lèi)、包含軟(注 冊(cè)商標(biāo))盤(pán)/硬盤(pán)等磁盤(pán)或CD-ROM/MO/MD/DVD/CD-R等光盤(pán)的盤(pán)類(lèi)、 IC卡(包含存儲(chǔ)卡)/光卡等卡類(lèi)、或掩膜ROM/EPROM/EEPROM/快閃 ROM等半導(dǎo)體存儲(chǔ)器類(lèi)等。
也可以與通信網(wǎng)絡(luò)可連接地構(gòu)成檢查裝置4，并經(jīng)通信網(wǎng)絡(luò)提供上 述程序代碼。作為該通信網(wǎng)絡(luò)，并未特別限定，例如，可利用因特網(wǎng)、 內(nèi)部互耳關(guān)網(wǎng)、外部互聯(lián)網(wǎng)、LAN、 ISDN、 VAN、 CATV通信網(wǎng)、虛擬專(zhuān) 用網(wǎng)(virtual private network)、電話(huà)線(xiàn)^各網(wǎng)、移動(dòng)體通信網(wǎng)、衛(wèi)星通信 網(wǎng)等。另外，作為構(gòu)成通信網(wǎng)絡(luò)的傳輸媒體并未特別限定，例如無(wú)論由 IEEE1394、 USB、電力線(xiàn)傳輸、有線(xiàn)TV線(xiàn)路、電話(huà)線(xiàn)、ADSL線(xiàn)路等 有線(xiàn)，還是IrDA或遙控器等紅外線(xiàn)、藍(lán)牙(Bluetooth)(注冊(cè)商標(biāo))、 802.11無(wú)線(xiàn)、HDR、便攜電話(huà)網(wǎng)、衛(wèi)星線(xiàn)路、地面波數(shù)字網(wǎng)等無(wú)線(xiàn)均可
入到載波中的計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)信號(hào)的形式來(lái)實(shí)現(xiàn)。
如上所述，本發(fā)明的檢查裝置構(gòu)成為具備條斑檢測(cè)部件，在從第 1方向向被檢查面照射光后拍攝上述起伏的第1圖像、和從不同于上述 第1方向不同的第2方向?qū)ι鲜霰粰z查面照射光后拍攝上述起伏的第2
圖像中，分別檢測(cè)條斑；特定周期不規(guī)則抽取部件，在上述第1和第2 圖像中分別在上述被檢查面上沿著與條斑垂直的方向，以預(yù)定間隔抽取 被檢測(cè)到的多個(gè)條斑；和檢測(cè)對(duì)象不規(guī)則抽取部件，抽取上述第l和笫 2圖像雙方中祐j企測(cè)到的條斑，并作為沖企測(cè)對(duì)象條斑。
另外，本發(fā)明的檢查系統(tǒng)具備照明裝置，從第1方向和第2方向 對(duì)被檢查物照射光；拍攝裝置，在由上述照明裝置從第1方向照射光的 狀態(tài)下拍攝上述被檢查物、取得上述第1圖像的同時(shí)，在從第2方向照 射光的狀態(tài)下拍攝上述被檢查物，取得上述第2圖像；和上述檢查裝置， 根據(jù)由上述拍攝裝置取得的第1和第2圖像，執(zhí)行上述^皮檢查物的檢查。
另外，本發(fā)明的檢查裝置具備照明裝置，從第1方向和第2方向 對(duì)被檢查物照射光；和拍攝裝置，在由上述照明裝置從第1方向照射光 的狀態(tài)下拍攝上述被檢查物、并取得上述第1圖像的同時(shí)，在從第2方 向照射光的狀態(tài)下拍攝上述被檢查物，取得上述第2圖像，根據(jù)由上述 拍攝裝置取得的第1和第2圖像，進(jìn)行上述被檢查物的檢查。
另外，本發(fā)明的檢查方法構(gòu)成為包含條斑檢測(cè)步驟，在從第1方 向向被檢查面照射光后拍攝上述起伏的第1圖像、和從不同于上述第1 方向的第2方向?qū)ι鲜霰粰z查面照射光后拍攝上述起伏的第2圖像中， 分別檢測(cè)條斑；特定周期不規(guī)則抽取步驟，對(duì)上述第1和第2圖像，分 別在上述祐:檢查面上沿著與條斑垂直的方向，以預(yù)定間隔抽取,皮檢測(cè)到 的多個(gè)條斑；和檢測(cè)對(duì)象不規(guī)則抽取步驟，抽取上述第1和第2圖像雙
方中祐:檢測(cè)到的條斑，并作為檢測(cè)對(duì)象條斑。
因此，可實(shí)現(xiàn)如下效果對(duì)檢測(cè)單側(cè)傾斜不規(guī)則(合;f各品處理缺陷)、 與起因于制造工藝并與正常起伏相比厚度上產(chǎn)生差而發(fā)生的特定周期 條斑(不合格品處理缺陷)進(jìn)行區(qū)別檢測(cè)。
另外，本發(fā)明的其它檢查裝置涉及檢測(cè)多個(gè)起伏排列在被檢查面上 的被檢查物中產(chǎn)生的條斑的檢查裝置，其中具備條斑檢測(cè)部件，在從 笫1方向向上述被檢查面照射光后拍攝上述起伏的第1圖像、和從不同 于上述第1方向的第2方向?qū)ι鲜霰粰z查面照射光后拍攝上述起伏的第 2圖像中，分別檢測(cè)條斑；特定周期不規(guī)則抽取部件，在上述第1和第 2圖像中，分別在上述祐:沖企查面上沿著與條斑垂直的方向，以預(yù)定間隔 抽取被檢測(cè)到的多個(gè)條斑；和檢測(cè)對(duì)象不規(guī)則抽取部件，抽取上述第1 和第2圖像雙方中^皮;險(xiǎn)測(cè)到的條斑以外的條斑，并作為檢測(cè)對(duì)象條斑。
根據(jù)上述構(gòu)成，由于除去了第1和第2圖像雙方中為相同位置的條 斑，所以檢測(cè)對(duì)象條斑指單側(cè)傾斜不規(guī)則(合格品處理的缺陷)。即， 根據(jù)上述構(gòu)成，可檢測(cè)對(duì)被檢查物的品質(zhì)無(wú)直接影響、但制造工藝上有 問(wèn)題的單側(cè)傾斜不規(guī)則。
在具備照明裝置和拍攝裝置的上述檢查裝置中，照明裝置和拍攝裝 置既可與檢查裝置一體構(gòu)成，也可單獨(dú)構(gòu)成。
另外，上述檢查裝置最好具備區(qū)域分割部件，將上述第1和第2圖 像在同一位置分別分割成多個(gè)分割區(qū)域，上述條斑檢測(cè)部件、特定周期 不規(guī)則抽取部件和檢測(cè)對(duì)象不規(guī)則抽取部件從區(qū)域分割后的第1和第2 圖像中，對(duì)每個(gè)分割區(qū)域抽取檢測(cè)對(duì)象條斑。
根據(jù)上述構(gòu)成，由于第1和第2圖像分別被分割成多個(gè)區(qū)域，所以 對(duì)較窄的區(qū)域執(zhí)行條斑的檢測(cè)。因此，根據(jù)上述構(gòu)成，可提高條斑的檢 測(cè)精度。
另外，最好上述區(qū)域分割部件使相鄰的分割區(qū)域的一部分交迭。
在將第1和第2圖像分割成多個(gè)區(qū)域的情況下， 一個(gè)條斑會(huì)在多個(gè) 分割區(qū)域中被檢測(cè)。在這種情況下，將產(chǎn)生如下問(wèn)題，即在分割區(qū)域 的邊界部分，上述條斑的檢測(cè)精度下降。
因此，根據(jù)上述構(gòu)成，使分割區(qū)域的一部分交迭。由此，可防止在 分割區(qū)域的邊界部分，條斑的檢測(cè)精度下降。
另外，上述檢查裝置最好具備指標(biāo)決定部件，根據(jù)上述第1和第2 圖像中檢領(lǐng)'J對(duì)象條斑的位置亮度值與未檢效'J到條斑的位置的亮度值之 差，取得在第1和第2圖像中分別表示檢測(cè)對(duì)象條斑位置的條斑強(qiáng)度的 第1和第2指標(biāo)，并根據(jù)該取得的第1和第2指標(biāo)，決定表示上述檢測(cè) 對(duì)象條斑的強(qiáng)度的第3指標(biāo)。
根據(jù)上述構(gòu)成，決定表示檢測(cè)對(duì)象條斑的強(qiáng)度的第3指標(biāo)。這里， 第1~第3指標(biāo)由于是根據(jù)條斑的位置的亮度值與未檢測(cè)條斑的位置的 亮度值的差所得到的值，所以第1 第3指標(biāo)越大，則表示起伏的厚度 與正常值的偏離越大，表示是更嚴(yán)重的缺陷。
即，根據(jù)上述構(gòu)成，可判斷所抽取的檢測(cè)對(duì)象條斑是何種程度的重 大缺陷。由此，可執(zhí)行對(duì)應(yīng)于缺陷程度的處理。例如，可對(duì)上述第3指 標(biāo)為預(yù)定閾值以下的檢測(cè)對(duì)象條斑執(zhí)行不進(jìn)行缺陷處理等處理。
另外，作為根據(jù)第1和第2指標(biāo)決定表示上述檢測(cè)對(duì)象條斑的強(qiáng)度
的第3指標(biāo)的方法，例如將第l指標(biāo)與第2指標(biāo)的算術(shù)平均設(shè)為第3指 標(biāo)的方法。
這里，當(dāng)求出第1和第2指標(biāo)時(shí)，由于第1和第2圖像中包含的噪 聲分量的影響，有時(shí)求出與原來(lái)的第1和第2指標(biāo)的值不同的值。即， 在將第1或第2指標(biāo)的本來(lái)值設(shè)為Io,將噪聲分量設(shè)為51的情況下， 實(shí)際得到的第1或第2指標(biāo)的值I用1=1。+51表示。
尤其是在產(chǎn)生了單側(cè)傾斜不規(guī)則的情況下，由于多為51>0,所以 實(shí)際得到的第l和第2指標(biāo)的值多為比本來(lái)的第l和第2指標(biāo)值大的值。 因此，在產(chǎn)生了單側(cè)傾斜不規(guī)則的情況下，通過(guò)將表示條斑強(qiáng)度的第1 和第2指標(biāo)強(qiáng)調(diào)為必要以上，有可能會(huì)錯(cuò)誤地檢測(cè)出強(qiáng)度較低的條斑。
因此，在這種情況下，只要將第1指標(biāo)與第2指標(biāo)中較小一方的值 設(shè)為第3指標(biāo)即可。由此，可防止錯(cuò)誤檢測(cè)強(qiáng)度較低的條斑。
另外，上述檢查裝置最好具備頻率區(qū)域數(shù)據(jù)生成部件，將上述第1 和第2圖像變換為頻率區(qū)域的數(shù)據(jù)；和指標(biāo)決定部件，根據(jù)上述第1和 第2圖像中檢測(cè)對(duì)象條斑的位置亮度值與未檢測(cè)到條斑的位置的亮度值 之差，取得表示第1和第2圖像每一個(gè)中的檢測(cè)對(duì)象條斑的位置的條斑 強(qiáng)度的第l和第2指標(biāo)，并將如下指標(biāo)作為表示上述;^企測(cè)對(duì)象條斑的強(qiáng) 度的第3指標(biāo)，該指標(biāo)為該取得的第1和第2指標(biāo)中，在上述頻率區(qū) 域的數(shù)據(jù)中，由對(duì)應(yīng)于上述檢測(cè)對(duì)象條斑的頻率分量以外的頻率分量的 強(qiáng)度更低的圖像取得的指標(biāo)，。
根據(jù)上述構(gòu)成，將頻率區(qū)域數(shù)據(jù)中，將對(duì)應(yīng)于檢測(cè)對(duì)象條斑的頻率 分量以外的頻率分量的強(qiáng)度更低的圖像中取得的指標(biāo)決定為表示檢測(cè) 對(duì)象條斑的強(qiáng)度的第3指標(biāo)。
這里，對(duì)應(yīng)于檢測(cè)對(duì)象條斑的頻率分量由于在上述檢查裝置中抽取 了具有特定周期的條斑，所以可根據(jù)所抽取的條斑的周期來(lái)指定。另外， 沖企測(cè)對(duì)象條斑的抽取中未使用的、對(duì)應(yīng)于片企測(cè)對(duì)象條斑的頻率分量以外 的頻率分量可稱(chēng)為噪聲分量。此外，圖像中的噪聲分量的強(qiáng)度(對(duì)應(yīng)于 檢測(cè)對(duì)象條斑的頻率分量以外的頻率分量的強(qiáng)度)可根據(jù)該圖像中檢測(cè) 到的各噪聲分量數(shù)和各噪聲分量的強(qiáng)度等計(jì)算出。
在圖像中噪聲分量較少的情況或噪聲分量的強(qiáng)度低的情況下，可較 正確地求出條斑的強(qiáng)度。因此，根據(jù)上述構(gòu)成，將第l和第2指標(biāo)中的、 更正確地反映了纟皮檢查物的條斑強(qiáng)度的指標(biāo)決定為第3指標(biāo)。
也可以是頻率區(qū)域數(shù)據(jù)生成部件從第1和第2圖像的頻率區(qū)域數(shù)據(jù) 中濾除上述噪聲分量，并將濾除了噪聲分量的第1和第2圖像的頻率區(qū) 域數(shù)據(jù)再次還原為空間區(qū)域的數(shù)據(jù)。此時(shí)，根據(jù)濾除了噪聲分量后的第 1和第2圖像，條斑檢測(cè)部件、特定周期不規(guī)則抽取部件和檢測(cè)對(duì)象不 規(guī)則抽取部件執(zhí)行上述規(guī)定處理。由此，可減輕噪聲分量的影響，并能 夠高精度地抽取檢測(cè)對(duì)象條斑。另外，頻率區(qū)域數(shù)據(jù)的生成中使用傅立 葉變換或微波變換即可，空間區(qū)域數(shù)據(jù)的生成中使用傅立葉逆變換或微 波逆變4奐即可。
另外，在對(duì)應(yīng)于上述檢測(cè)對(duì)象條斑的頻率分量以外的頻率分量的強(qiáng) 度更低的圖像中，當(dāng)對(duì)應(yīng)于檢測(cè)對(duì)象條斑的頻率分量以外的頻率分量的 強(qiáng)度比預(yù)定值低的情況下，最好上述指標(biāo)決定部件將由該圖像取得的指 標(biāo)，決定為表示上述檢測(cè)對(duì)象條斑的強(qiáng)度的第3指標(biāo)。
在根據(jù)第1和第2圖像生成的頻率區(qū)域數(shù)據(jù)雙方中，在對(duì)應(yīng)于檢測(cè) 對(duì)象條斑的頻率分量以外的頻率分量的強(qiáng)度、即噪聲分量的強(qiáng)度較高的 情況下，難以求出正確地表示被檢查物中產(chǎn)生的條斑的程度的第1和第 2指標(biāo)。
因此，根據(jù)上述構(gòu)成，僅在噪聲分量的強(qiáng)度比預(yù)定值低的情況下， 才決定第3指標(biāo)。即，根據(jù)上述構(gòu)成，由于噪聲分量的影響，在第l和 第2指標(biāo)均不正確的可能性較高的情況下，不決定第3指標(biāo)。由此，可 提高第3指標(biāo)的可靠性。
另外，上述檢查裝置最好具備頻率區(qū)域數(shù)據(jù)生成部件，將上述笫1 和第2圖像變換為頻率區(qū)域的數(shù)據(jù)，上述檢測(cè)對(duì)象不規(guī)則抽取部件通過(guò) 執(zhí)行將上述第1圖像變換為頻率區(qū)域的數(shù)據(jù)后的數(shù)據(jù)、和將上述第2圖 像變換為頻率區(qū)域的數(shù)據(jù)后的數(shù)據(jù)進(jìn)行邏輯與運(yùn)算，由此抽取上述第1 和第2圖像雙方中被檢測(cè)到的條斑。
根據(jù)上述構(gòu)成，可以通過(guò)簡(jiǎn)單的運(yùn)算抽取在第1和第2圖像雙方的 相同位置被檢測(cè)到的條斑。
另外，最好上述檢測(cè)對(duì)象不規(guī)則抽取部件連結(jié)多個(gè)分割區(qū)域中被檢 測(cè)到的^r測(cè)對(duì)象條斑中的、在上述祐j企查面中位于同 一直線(xiàn)上的4企測(cè)對(duì) 象條斑，并作為一個(gè)合并條斑進(jìn)行抽取。
在將第1和第2圖像分割成多個(gè)分割區(qū)域的情況下，對(duì)每個(gè)分割區(qū) 域才企測(cè)出4企測(cè)對(duì)象條斑。因此，在多個(gè)分割區(qū)域中有時(shí)會(huì)片企測(cè)第1和第
2圖像中作為一個(gè)條斑被拍攝的條斑。
這里，根據(jù)上述構(gòu)成，合并每個(gè)分割區(qū)域中被檢測(cè)的檢測(cè)對(duì)象條斑 中位于同一直線(xiàn)上的檢測(cè)對(duì)象條斑。因此，第1和第2圖像中作為一個(gè) 條斑進(jìn)行了拍攝，但可以將利用圖像的分割而作為多個(gè)檢測(cè)對(duì)象條斑被 抽取出的檢測(cè)對(duì)象條斑處理為一個(gè)合并條斑。另外，能夠抑制被分割的 各圖像間的亮度值的差異，并改善S/N比。
另外，上述檢查裝置最好具備指標(biāo)決定部件，根據(jù)上述第1和第2 圖像的各分割區(qū)域中檢觀'J對(duì)象條斑的位置亮度值與未檢測(cè)到條斑的位 置的亮度值之差，取得各分割區(qū)域每一個(gè)中表示檢測(cè)對(duì)象條斑的位置的 條斑強(qiáng)度的第1和第2指標(biāo)，并根據(jù)該取得的第1和第2指標(biāo)，決定表 示每個(gè)分割區(qū)域的檢測(cè)對(duì)象條斑的強(qiáng)度的第3指標(biāo)；和指標(biāo)決定部件， 決定上述被檢查面中位于同一直線(xiàn)上的檢測(cè)對(duì)象條斑的笫3指標(biāo)的算術(shù) 平均，并作為表示上述合并條斑的強(qiáng)度的第4指標(biāo)。
根據(jù)上述構(gòu)成，由于決定表示合并條斑的強(qiáng)度的第4指標(biāo)，所以可 根據(jù)該第4指標(biāo)來(lái)進(jìn)行合并條斑的評(píng)價(jià)。例如，可比較第4指標(biāo)與預(yù)定 的閾值，決定是否將合并條斑作為缺陷處理。
另外，作為上述被檢查物，最好是濾色鏡。在采用濾色鏡作為被檢 查物的情況下，上述起伏相當(dāng)于濾色鏡著色后的像素，被檢查面相當(dāng)于 濾色鏡被著色側(cè)的面。
濾色鏡通過(guò)在透明基板的表面上呈格子狀地形成黑矩陣，并著色由 黑矩陣區(qū)分的像素進(jìn)行制造。濾色鏡中將產(chǎn)生條斑，這種條斑多起因于 像素的涂敷或黑矩陣的形成等制造工藝上的問(wèn)題。因此，條斑傾向于出 現(xiàn)在與濾色鏡的描繪方向平行的直線(xiàn)上，或多在濾色鏡上以 一定的周期 出現(xiàn)。
根據(jù)上述檢查裝置，無(wú)需對(duì)應(yīng)作為合格品處理的單側(cè)傾斜不規(guī)則進(jìn) 行缺陷處理，僅檢測(cè)起因于濾色鏡中產(chǎn)生的膜厚差、并對(duì)濾色鏡的制品 品質(zhì)造成較大影響的特定周期的條斑。
另外，本發(fā)明的濾色鏡的制造方法是一種利用濾色鏡制造裝置制造 濾色鏡的濾色鏡制造方法，其中包含執(zhí)行上述檢查方法的檢查工序，僅 將上述檢查工序中未檢測(cè)到檢測(cè)對(duì)象條斑的濾色鏡提供給上述濾色鏡 制造裝置中的上述檢查工序之后的制造工序。
根據(jù)上述構(gòu)成，濾色鏡制造裝置制造的未完成的濾色鏡在檢查工序
中由本發(fā)明的檢查方法進(jìn)行檢查。另外，僅將由該檢查工序未檢測(cè)出檢 測(cè)對(duì)象條斑的濾色鏡提供給檢查工序之后的制造工序，從而完成濾色鏡。
這里，根據(jù)本發(fā)明的檢查方法，可檢測(cè)具有特定周期、起因于存在 對(duì)正常的像素產(chǎn)生膜厚差的像素、并對(duì)濾色鏡的制品品質(zhì)構(gòu)成問(wèn)題的條 斑。因此，根據(jù)上述濾色鏡的制造方法，可從制造工序中僅排除產(chǎn)生了
上述條斑的濾色4竟。
另外，本發(fā)明的濾色鏡的制造方法是一種利用濾色鏡制造裝置制造 濾色鏡的濾色鏡制造方法，其中，包含執(zhí)行上述檢查方法的檢查工序， 在由上述檢查工序抽取到檢測(cè)對(duì)象條斑的情況下，將包含抽取到的檢測(cè) 對(duì)象條斑的位置、缺陷強(qiáng)度和條斑的方向至少之一的條斑信息傳遞給上 述濾色鏡的制造裝置。
根據(jù)上述構(gòu)成，由于將檢查工序的檢查結(jié)果傳遞給濾色鏡的制造裝 置，所以可改善成為條斑出現(xiàn)的原因的制造工序，并調(diào)整裝置，以不產(chǎn) 生條斑。
另外，上述檢查裝置也可由計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)，此時(shí)，通過(guò)使計(jì)算機(jī)用作 上述檢查裝置的各部件，使計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)上述檢查裝置的控制程序、以及 記錄了該控制程序的計(jì)算機(jī)可讀取的記錄媒體也納入本發(fā)明的范疇內(nèi)。
以上發(fā)明的詳細(xì)說(shuō)明項(xiàng)中闡述的具體各實(shí)施方式和各實(shí)施例始終 是用于使本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容更清楚，不應(yīng)限定于這種具體例來(lái)狹義地解 釋?zhuān)诒景l(fā)明的精神和本申請(qǐng)的權(quán)利要求的范圍內(nèi)，可進(jìn)行各種變更進(jìn) 行實(shí)施。
另外，本發(fā)明只要是如下被檢查體，則可適用于任何被檢查體的檢 查，該被檢查體為將在能夠進(jìn)行光透射或光反射的面中所產(chǎn)生的不規(guī) 則的周期性視為問(wèn)題的被檢查體。
權(quán)利要求
1.一種檢查裝置，檢測(cè)多個(gè)起伏排列在被檢查面上的被檢查物中產(chǎn)生的條斑，其中具備條斑檢測(cè)部，在從第1方向?qū)ι鲜霰粰z查面照射光后拍攝上述起伏的第1圖像、與從不同于上述第1方向的第2方向?qū)ι鲜霰粰z查面照射光后拍攝上述起伏的第2圖像中，分別檢測(cè)條斑；特定周期不規(guī)則抽取部，在上述第1和第2圖像中，分別在上述被檢查面上沿著與條斑垂直的方向，以預(yù)定間隔抽取被檢測(cè)到的多個(gè)條斑；和檢測(cè)對(duì)象不規(guī)則抽取部，抽取上述第1和第2圖像雙方中被檢測(cè)到的條斑，作為檢測(cè)對(duì)象條斑。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其特征在于 具備區(qū)域分割部，將上述第1和第2圖像在同一位置分別分割成多個(gè)分割區(qū)域，上述條斑檢測(cè)部、特定周期不規(guī)則抽取部和;險(xiǎn)測(cè)對(duì)象不規(guī)則抽取部 從區(qū)域分割后的第1和第2圖像中，按每個(gè)分割區(qū)域抽取出檢測(cè)對(duì)象條斑。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的特定周期條斑的檢查裝置，其特征在于 上述區(qū)域分割部使相鄰的分割區(qū)域的一部分交迭。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其特征在于 具備指標(biāo)決定部，根據(jù)上述笫1和第2圖像中檢測(cè)對(duì)象條斑的位置亮度值與未檢測(cè)到條斑的位置亮度值之差，取得在第1和第2圖像中分 別表示檢測(cè)對(duì)象條斑的位置的條斑強(qiáng)度的第l和第2指標(biāo)，并根據(jù)該取 得的第1和第2指標(biāo)，決定表示上述檢測(cè)對(duì)象條斑的強(qiáng)度的第3指標(biāo)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其特征在于 具備頻率區(qū)域數(shù)據(jù)生成部，將上述第1和第2圖像變換為頻率區(qū)域的數(shù)據(jù)；和指標(biāo)決定部，根據(jù)上述第1和第2圖像中檢測(cè)對(duì)象條斑的位置亮度 值與未檢測(cè)到條斑的位置亮度值之差，取得表示第1和第2圖像每一個(gè) 中的檢測(cè)對(duì)象條斑的位置的條斑強(qiáng)度的第l和第2指標(biāo)，并將如下指標(biāo) 決定為表示上述檢測(cè)對(duì)象條斑的強(qiáng)度的第3指標(biāo)，該指標(biāo)為該取得的 第1和第2指標(biāo)中，在上述頻率區(qū)域的數(shù)據(jù)中，由對(duì)應(yīng)于上述檢測(cè)對(duì)象條斑的頻率分量以外的頻率分量的強(qiáng)度更低的圖像所取得的指標(biāo)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢查裝置，其特征在于 在對(duì)應(yīng)于上述檢測(cè)對(duì)象條斑的頻率分量以外的頻率分量的強(qiáng)度更低的圖像中，當(dāng)對(duì)應(yīng)于檢測(cè)對(duì)象條斑的頻率分量以外的頻率分量的強(qiáng)度 比預(yù)定值低的情況下，上述指標(biāo)決定部將由該圖像取得的指標(biāo)決定為表 示上述檢測(cè)對(duì)象條斑的強(qiáng)度的第3指標(biāo)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其特征在于 具備頻率區(qū)域數(shù)據(jù)生成部，將上述第1和第2圖像變換為頻率區(qū)域的數(shù)據(jù)，上述檢測(cè)對(duì)象不規(guī)則抽取部通過(guò)執(zhí)行將上述第1圖像變換為頻率區(qū) 域的數(shù)據(jù)后的數(shù)據(jù)、和將上述第2圖像變換為頻率區(qū)域的數(shù)據(jù)后的數(shù)據(jù) 的邏輯與運(yùn)算，由此抽取上述第1和第2圖像雙方中被檢測(cè)到的條斑。
8. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢查裝置，其特征在于 上述檢測(cè)對(duì)象不規(guī)則抽取部連結(jié)多個(gè)分割區(qū)域中被檢測(cè)到的檢測(cè)對(duì)象條斑中的、在上述被檢查面中位于同一直線(xiàn)上的檢測(cè)對(duì)象條斑，并 作為 一 個(gè)合并條斑抽取。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的檢查裝置，其特征在于 具備指標(biāo)決定部，根據(jù)上述第1和第2圖像的各分割區(qū)域中檢測(cè)對(duì)象條斑的位置亮度值與未檢測(cè)到條斑的位置亮度值之差，取得各分割區(qū) 域每一個(gè)中表示檢測(cè)對(duì)象條斑的位置的條斑強(qiáng)度的第l和第2指標(biāo)，并 根據(jù)該取得的第l和第2指標(biāo)，決定表示每個(gè)分割區(qū)域的檢測(cè)對(duì)象條斑 的強(qiáng)度的第3指標(biāo)；和指標(biāo)決定部，將上述被檢查面中位于同一直線(xiàn)上的檢測(cè)對(duì)象條斑的 第3指標(biāo)的算術(shù)平均，決定為表示上述合并條斑的強(qiáng)度的第4指標(biāo)。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其特征在于 上述被檢查物是濾色鏡。
11. 一種檢查裝置，檢測(cè)多個(gè)起伏排列在4皮檢查面上的被檢查物中 產(chǎn)生的條斑，其中具備條斑檢測(cè)部，在從第1方向?qū)ι鲜霰粰z查面照射光后拍攝上述起伏 的第1圖像、與從不同于上述第1方向的第2方向?qū)ι鲜霰粰z查面照射 光后拍攝上述起伏的第2圖像中，分別檢測(cè)條斑；特定周期不規(guī)則抽取部，在上述第1和第2圖像中，分別在上述被 檢查面上沿著與條斑垂直的方向，以預(yù)定間隔抽取被檢測(cè)到的多個(gè)條斑；和檢測(cè)對(duì)象不規(guī)則抽取部，抽取上述第1和第2圖像雙方中被檢測(cè)到 的條斑以外的條斑，并作為4企測(cè)對(duì)象條斑。
12. —種檢查系統(tǒng)，具備照明裝置，從笫1方向和第2方向?qū)ι鲜霰粰z查物照射光； 拍攝裝置，在由上述照明裝置從第1方向照射光的狀態(tài)下拍攝上述被檢查物，取得上述第1圖像，并在從第2方向照射光的狀態(tài)下拍攝上述被檢查物，取得上述第2圖像；和權(quán)利要求1~11中任意一項(xiàng)所述的檢查裝置，根據(jù)由上述拍攝裝置取得的第1和第2圖像，執(zhí)行上述被檢查物的檢查。
13. —種使用了檢查裝置的檢查方法，該檢查裝置檢測(cè)多個(gè)起伏排 列在被檢查面上的被檢查物中產(chǎn)生的條斑，其中包含條斑檢測(cè)步驟，在從第1方向?qū)ι鲜霰粰z查面照射光后拍攝上述起 伏的第1圖像、與從不同于上述第1方向的第2方向?qū)ι鲜霰粰z查面照 射光后拍攝上述起伏的第2圖像中，分別檢測(cè)條斑；特定周期不規(guī)則抽取步驟，在上述第1和第2圖像中，分別在上述 被檢查面上沿著與條斑垂直的方向，以預(yù)定間隔抽取被檢測(cè)到的多個(gè)條 斑^(guò)和檢測(cè)對(duì)象不規(guī)則抽取步驟，抽取上述第1和第2圖像雙方中被檢測(cè) 到的條斑，作為^f全測(cè)對(duì)象條斑。
14. 一種利用濾色鏡制造裝置來(lái)制造濾色鏡的濾色鏡制造方法， 包含執(zhí)行權(quán)利要求13所述的檢查方法的檢查工序， 僅將上述檢查工序中未檢測(cè)到檢測(cè)對(duì)象條斑的濾色鏡提供給上述濾色鏡制造裝置中的上述檢查工序之后的制造工序。
15. —種利用濾色鏡制造裝置來(lái)制造濾色鏡的濾色鏡制造方法， 包含執(zhí)行權(quán)利要求13所述的檢查方法的檢查工序，在由上述檢查工序抽取到檢測(cè)對(duì)象條斑的情況下，將包含被抽取到 的檢測(cè)對(duì)象條斑的位置、缺陷強(qiáng)度和條斑方向中的至少之一的條斑信息 傳遞給上述濾色鏡的制造裝置。 '
全文摘要
本發(fā)明涉及一種檢查裝置、檢查方法、檢查系統(tǒng)、濾色鏡的制造方法。本發(fā)明的檢查裝置由于具備條斑檢測(cè)部，在從第1方向照射光后拍攝排列在檢查對(duì)象基板上的像素的圖像L、與從不同于上述第1方向的第2方向照射光后拍攝上述像素的圖像R中，分別檢測(cè)條斑；特定周期不規(guī)則抽取部，在圖像L和圖像R中，分別在檢查對(duì)象基板上沿著與條斑垂直的方向，以預(yù)定間隔T抽取被檢測(cè)到的多個(gè)條斑；和檢測(cè)對(duì)象不規(guī)則抽取部，抽取圖像L和圖像R雙方中被檢測(cè)到的條斑，作為檢測(cè)對(duì)象條斑，所以可僅檢測(cè)由于對(duì)正常膜厚的像素產(chǎn)生了膜厚差的像素存在而產(chǎn)生的特定周期的條斑。
文檔編號(hào)G02B5/20GK101358934SQ20081013119
公開(kāi)日2009年2月4日 申請(qǐng)日期2008年7月30日 優(yōu)先權(quán)日2007年7月31日
發(fā)明者井殿多聞 申請(qǐng)人:夏普株式會(huì)社