專(zhuān)利名稱：感光性樹(shù)脂用堿顯影液及使用其的圖像形成方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種感光性樹(shù)脂用堿顯影液及使用該顯影液的圖像形成方法、濾色片的制造方法及利用該制造方法制造的濾色片以及具有該濾色片的顯示裝置。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，液晶顯示裝置等中使用的濾色片以在基板上涂敷顏料分散抗蝕劑的方法為中心發(fā)展起來(lái)。但是，該方法由于使用旋涂法等，所以存在顏料分散抗蝕劑的損失較多，用于均一地涂敷的條件很難控制的問(wèn)題。作為其解決方案，提出了使用具有熱塑性樹(shù)脂層的感光性轉(zhuǎn)印材料的方法。使用該感光性轉(zhuǎn)印材料的方法，由于在基板上轉(zhuǎn)印(層壓)預(yù)先在假支撐體上均一地涂敷的感光性樹(shù)脂層(包括顏料或感光性樹(shù)脂)，所以不會(huì)像旋涂機(jī)那樣浪費(fèi)很多感光性樹(shù)脂，膜厚也可以均一地形成。使用該感光性轉(zhuǎn)印材料的方法，通過(guò)使用熱塑性樹(shù)脂層，在轉(zhuǎn)印時(shí)使感光性樹(shù)脂層跟隨基板的凹凸，可以保持感光性樹(shù)脂層的在基板上的厚度為一定，但在感光性樹(shù)脂層的顯影前，需要除去熱塑性樹(shù)脂層。因此，采取了用1％三乙醇胺水溶液處理等方法(該工序在以后稱為PD工序)。另外，在感光性樹(shù)脂層的顯影后，感光性樹(shù)脂層中含有的成分有時(shí)作為顯影殘?jiān)鼩埓妫瑸榱藴p少該顯影殘?jiān)?，提出了各種處理液。例如，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1中公開(kāi)了含有碳酸鹽和陰離子表面活性劑的堿顯影液。
另外，為了除去顯影殘?jiān)?，提出了在顯影工序之后，在清洗劑(以表面活性劑為主要成分含有的顯影殘膜除去用液)中，利用旋轉(zhuǎn)刷擦拭的方法(以下，該工序稱為SD工序)。這樣，制造的濾色片的顯影殘?jiān)@著減少，濾色片質(zhì)量提高。
另外，在最近，從降低成本的觀點(diǎn)出發(fā)，導(dǎo)入了使用狹縫狀噴嘴涂敷顏料分散抗蝕劑，進(jìn)行顏料分散抗蝕劑的節(jié)省液體的濾色片的制造方法(以下，稱為狹縫涂敷法)，但存在黒用材料等的一部分材料在狹縫涂敷法中容易出現(xiàn)條紋等問(wèn)題，如果用轉(zhuǎn)印法形成這樣的黑用材料等，其以外用狹縫涂敷法形成，則可以生產(chǎn)率良好地制造濾色片。
專(zhuān)利文獻(xiàn)1特開(kāi)平05-204164號(hào)公報(bào) 通過(guò)導(dǎo)入SD工序，顯影殘?jiān)@著減少，但隨著基板的大型化，旋轉(zhuǎn)刷的軸長(zhǎng)也有變長(zhǎng)的趨勢(shì)。刷的觸碰處弱的部分，存在殘?jiān)ゲ怀浞值目赡苄?，所以一直需要更高精度的刷管理?br>
另外，在用轉(zhuǎn)印法形成黑用材料等，用旋涂法形成其以外的情況下，如果用轉(zhuǎn)印法形成像素的基板上的非像素部分等殘存顯影殘?jiān)谥筮M(jìn)行涂敷時(shí)有發(fā)生涂敷缺陷的趨勢(shì)，成為問(wèn)題。特別在用狹縫狀噴嘴涂敷的情況下，其影響是顯著的。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明正是著眼于該點(diǎn)而得到的。即，本發(fā)明的課題在于在濾色片像素的形成中使用感光性轉(zhuǎn)印材料時(shí)，即使不提高顯影結(jié)束時(shí)的精加工(非像素部分等的殘?jiān)?、嚴(yán)格進(jìn)行旋轉(zhuǎn)刷的精度管理，也可以提供可以形成高質(zhì)量的圖像的感光性樹(shù)脂用堿顯影液以及使用該顯影液的圖像形成方法及濾色片的制造方法。進(jìn)而，還在于提供一種利用該制造方法制造的質(zhì)量良好的濾色片及顯示裝置。
本發(fā)明人等進(jìn)行了潛心研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)作為堿顯影液，如果使用以下的物質(zhì)，可以減輕作為顯影的后工序的SD工序的刷管理，以至完成本發(fā)明。即 <1>一種感光性樹(shù)脂用堿顯影液，其中，含有碳酸鹽和陰離子表面活性劑，該碳酸鹽含有鈉鹽及/或鉀鹽，而且該碳酸鹽的濃度為0.1～1.0摩爾/kg，該陰離子表面活性劑含有萘磺酸衍生物鹽(A)和聚氧乙烯萘基醚硫酸鹽(B)，而且(B)的質(zhì)量相對(duì)于(A)和(B)的總質(zhì)量的比例為20質(zhì)量％～60質(zhì)量％。
<2>一種圖像形成方法，其中，包括使用如下所述的感光性樹(shù)脂用堿顯影液，對(duì)轉(zhuǎn)印到基板的感光性樹(shù)脂層在曝光后進(jìn)行顯影的工序，其中的感光性樹(shù)脂用堿顯影液為含有碳酸鹽和陰離子表面活性劑，該碳酸鹽含有鈉鹽及/或鉀鹽，而且該碳酸鹽的濃度為0.04～0.5摩爾/kg，該陰離子表面活性劑含有萘磺酸衍生物鹽(A)和聚氧乙烯萘基醚硫酸鹽(B)，(B)的質(zhì)量相對(duì)(A)和(B)的總質(zhì)量的比例為20質(zhì)量％～60質(zhì)量％。
<3>一種濾色片的制造方法，其中，包括利用上述<2>所述的圖像形成方法形成圖像的工序。
<4>一種濾色片的制造方法，其中，包括在基板上使用感光性轉(zhuǎn)印材料形成圖像的工序、和在形成所述圖像的基板上利用涂敷形成感光性樹(shù)脂層的工序，所述使用感光性轉(zhuǎn)印材料形成圖像的工序是利用上述<2>所述的圖像形成方法進(jìn)行的。
<5>一種濾色片，其中，利用上述<3>或<4>所述的濾色片的制造方法制造的。
<6>一種顯示裝置，其中，具備上述<5>所述的濾色片。
利用本發(fā)明，在濾色片像素的形成中使用感光性轉(zhuǎn)印材料時(shí)，即使不提高顯影結(jié)束時(shí)的精加工(非像素部分等的殘?jiān)?、嚴(yán)格進(jìn)行旋轉(zhuǎn)刷的精密度管理，也可以提供可以形成高質(zhì)量的圖像的感光性樹(shù)脂用堿顯影液以及使用該顯影液的圖像形成方法及濾色片的制造方法。進(jìn)而，還可以提供一種利用該制造方法制造的質(zhì)量良好的濾色片及顯示裝置。
具體實(shí)施例方式 <感光性樹(shù)脂用堿顯影液> 本發(fā)明的感光性樹(shù)脂用堿顯影液(以下，簡(jiǎn)稱為顯影液)含有碳酸鹽的至少1種和陰離子表面活性劑的至少1種。
(碳酸鹽) 本發(fā)明中的碳酸鹽含有鈉鹽及/或鉀鹽。通過(guò)使碳酸鹽為鈉鹽及/或鉀鹽，可以得到必要pH范圍的緩沖液。另外，在感光性樹(shù)脂層的顯影時(shí)，可以得到低殘?jiān)Ч?br>
本發(fā)明中的碳酸鹽在不犧牲本發(fā)明的效果的范圍內(nèi)，也可以含有鈉離子及鉀離子以外的其他陽(yáng)離子。作為其他陽(yáng)離子，可以舉出鋰離子、堿土金屬離子、銨離子。
這樣在碳酸鹽中含有鈉離子和鉀離子以外的陽(yáng)離子的情況下，鈉離子與鉀離子的含有量的和，相對(duì)碳酸鹽中的全部陽(yáng)離子，優(yōu)選為60質(zhì)量％～100質(zhì)量％，更優(yōu)選為90質(zhì)量％～100質(zhì)量％。
例如，在碳酸鹽僅為鋰鹽的情況下，不能在必要的pH范圍得到良好的緩沖力，另外，在僅為銨鹽的情況下，不能得到良好的低殘?jiān)Ч?br>
本發(fā)明中的碳酸鹽必須在顯影液中以適當(dāng)?shù)臐舛群小Ｓ帽景l(fā)明的顯影液顯影感光性樹(shù)脂層的情況下(以下稱其為使用時(shí)或使用時(shí)濃度)的該碳酸鹽的濃度為0.04～0.5摩爾/kg，更優(yōu)選0.06～0.5摩爾/kg，最優(yōu)選0.08～0.4摩爾/kg。
通過(guò)使碳酸鹽濃度在0.04摩爾/kg以上，可以充分地得到低殘?jiān)Ч?。另外，通過(guò)在0.5摩爾/kg以下，可以抑制像素的邊緣(edge)附近殘存殘膜。
另外，本發(fā)明的顯影液制造比使用狀態(tài)更濃的液體，將其輸送·庫(kù)存(stock)，在使用時(shí)適當(dāng)稀釋?zhuān)诔杀旧蟽?yōu)選。因而，本發(fā)明的顯影液在被生產(chǎn)的狀態(tài)(以下稱其為保存時(shí)或保存時(shí)濃度)下，該碳酸鹽的濃度為0.1～1.0摩爾/kg。
通過(guò)在0.1摩爾/kg以上，可以得到非像素部的低殘?jiān)Ч跋袼馗浇臍埬ひ种菩Ч?，同時(shí)在成本上是有利的，通過(guò)在1.0摩爾/kg以下，可以抑制在輸送·保存時(shí)發(fā)生析出物。因而，本發(fā)明的顯影液，保存時(shí)濃度相對(duì)使用時(shí)濃度，優(yōu)選為2～6倍，更優(yōu)選3～6倍，最優(yōu)選4～5倍。
本發(fā)明的顯影液在使用時(shí)濃度的pH，優(yōu)選pH9.3～10.9，更優(yōu)選pH9.5～10.7，最優(yōu)選pH9.7～10.6。通過(guò)pH在9.3以上，可以加快顯影速度，生產(chǎn)量(throughput)變得良好。此外，還可以得到良好的緩沖力。另外，通過(guò)pH在10.9以下，可以得到良好的殘?jiān)バ?，此外還可以得到良好的緩沖力。
(陰離子表面活性劑) 本發(fā)明的顯影液，作為陰離子表面活性劑，含有萘磺酸衍生物鹽(A)的至少1種和聚氧乙烯萘基醚硫酸鹽(B)的至少1種。
本發(fā)明中的萘磺酸衍生物鹽優(yōu)選選自具有至少1個(gè)烷基的烷基萘磺酸的鹽的至少1種。作為烷基萘磺酸的烷基，優(yōu)選可以具有取代基的碳原子數(shù)1～6的烷基，更優(yōu)選異丙基、丁基、異丁基，進(jìn)而優(yōu)選丁基。作為烷基萘磺酸的烷基的取代基數(shù)，優(yōu)選1～6，更優(yōu)選1～3。
作為萘磺酸衍生物的具體例，可以舉出丁基萘磺酸、二丁基萘磺酸、三丁基萘磺酸。
上述萘磺酸衍生物可以分別單獨(dú)或并用2種以上，優(yōu)選并用2種以上。另外，作為萘磺酸衍生物鹽，優(yōu)選為鈉鹽及/或鉀鹽。
另外，本發(fā)明的顯影液含有萘磺酸衍生物鹽的同時(shí)，還可以進(jìn)一步含有萘磺酸鹽。萘磺酸鹽具有輔助萘磺酸衍生物鹽的作用(防止析出、溶解性改善等)，這樣使顯影液的保存變得良好。
另外，本發(fā)明中的聚氧乙烯萘基醚硫酸鹽優(yōu)選含有下述通式(1)所示的化合物的至少1種。
[化1]
式(I)中，n表示＝1～20的整數(shù)，M表示鈉原子或鉀原子。作為n，從防止本顯影液的保存時(shí)的析出的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選2～15，更優(yōu)選3～8。
另外，上述通式(I)的取代基位置，在萘環(huán)的1位或2位中，優(yōu)選為2位。
在本發(fā)明中的顯影液中，相對(duì)表面活性劑(A)和表面活性劑(B)的總質(zhì)量的(B)的質(zhì)量的比例為20質(zhì)量％～60質(zhì)量％。特別優(yōu)選23質(zhì)量％～50質(zhì)量％，更優(yōu)選25質(zhì)量％～40質(zhì)量％。通過(guò)在20質(zhì)量％以上，像素附近的殘膜減少。另外，通過(guò)在60質(zhì)量％以下，非圖像部的顯影殘?jiān)鼫p少。
作為陰離子表面活性劑的使用時(shí)濃度，從顯影液的完成程度的觀點(diǎn)出發(fā)，(A)和(B)的質(zhì)量的總合優(yōu)選為0.5質(zhì)量％～3.1質(zhì)量％，更優(yōu)選0.6質(zhì)量％～2.4質(zhì)量％，最優(yōu)選0.8～2.2質(zhì)量％。另外，作為保存時(shí)濃度，優(yōu)選0.5質(zhì)量％～15質(zhì)量％，更優(yōu)選0.6質(zhì)量％～12質(zhì)量％，最優(yōu)選0.8質(zhì)量％～11質(zhì)量％。
(其他成分) 在本發(fā)明的顯影液中，在不犧牲本發(fā)明的效果的范圍內(nèi)，可以含有其他成分。作為其他成分，可以舉出具有與水的混合性的有機(jī)溶劑。
作為水和具有混合性的有機(jī)溶劑，可以舉出甲醇、乙醇、2-丙醇、1-丙醇、丁醇、雙丙酮醇、乙二醇一甲醚、乙二醇一乙醚、乙二醇一正丁醚、芐醇、丙酮、甲基乙基甲酮、環(huán)己醇、ε-己內(nèi)酯、γ-丁內(nèi)酯、二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、六甲基磷酰胺、乳酸乙酯、乳酸甲酯、ε-己內(nèi)酰胺、N-甲基吡咯烷酮。具有與水的混合性的有機(jī)溶劑的濃度通常為0.1～40質(zhì)量％。
<圖像形成方法> 在本發(fā)明中，作為形成轉(zhuǎn)印在基板上的感光性樹(shù)脂層的方法，優(yōu)選通過(guò)在基板上層壓在假支撐體上具有感光性樹(shù)脂層的感光性轉(zhuǎn)印材料，然后除去假支撐體進(jìn)行的方法。
(感光性轉(zhuǎn)印材料) 本發(fā)明中的感光性轉(zhuǎn)印材料優(yōu)選在假支撐體上具有熱塑性樹(shù)脂層、中間層和感光性樹(shù)脂層的材料。上述感光性轉(zhuǎn)印材料例如可以通過(guò)特開(kāi)2005-3861號(hào)公報(bào)的段落
～
中記載的工序制造。
(假支撐體) 作為感光性轉(zhuǎn)印材料中的假支撐體，優(yōu)選具有撓曲性，即使在加壓或加壓以及加熱下也不會(huì)發(fā)生顯著的變形、收縮或伸長(zhǎng)。作為這樣的假支撐體的例子，可以舉出聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯薄膜、三乙酸纖維素薄膜、聚苯乙烯薄膜、聚碳酸酯薄膜等，其中，特別優(yōu)選雙向拉伸聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯薄膜。
(熱塑性樹(shù)脂層) 作為感光性轉(zhuǎn)印材料中的熱塑性樹(shù)脂層中使用的成分，優(yōu)選特開(kāi)平5-72724號(hào)公報(bào)中記載的有機(jī)高分子物質(zhì)，特別優(yōu)選從利用維卡Vicat法(具體而言，利用美國(guó)材料試驗(yàn)法エ一エステ一エムデ一ASTMD1235D的聚合物軟化點(diǎn)測(cè)定法)的軟化點(diǎn)約80℃以下的有機(jī)高分子物質(zhì)中選擇。具體而言，可以舉出聚乙烯、聚丙烯等聚烯烴，乙烯與醋酸乙烯酯的共聚物或其皂化物等乙烯共聚物，乙烯與丙烯酸酯的共聚物或其皂化物、聚氯乙烯、氯乙烯與醋酸乙烯酯的共聚物及其皂化物等氯乙烯共聚物，聚偏二氯乙烯、偏二氯乙烯共聚物、聚苯乙烯、苯乙烯與(甲基)丙烯酸酯的共聚物或其皂化物等苯乙烯共聚物、聚乙烯基甲苯、乙烯基甲苯與(甲基)丙烯酸酯的共聚物或其皂化物等乙烯基甲苯共聚物、聚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸丁酯與醋酸乙烯酯的共聚物等(甲基)丙烯酸酯共聚物，醋酸乙烯酯共聚物尼龍、共聚合尼龍、N-烷氧基甲基化尼龍、N-二甲基氨基化尼龍等聚酰胺樹(shù)脂等有機(jī)高分子。
(中間層) 在本發(fā)明中的感光性轉(zhuǎn)印材料中，為了防止涂敷多個(gè)涂敷層時(shí)及涂敷后的保存時(shí)的成分的混合，優(yōu)選設(shè)置中間層。作為該中間層，優(yōu)選使用在特開(kāi)平5-72724號(hào)公報(bào)中作為“分離層”記載的具有阻隔氧功能的阻氧膜，這種情況下，曝光時(shí)靈敏度提高，曝光機(jī)的時(shí)間負(fù)荷減小，生產(chǎn)率提高。
作為該阻氧膜，優(yōu)選顯示出低氧透過(guò)性、分散或溶解于水或堿水溶液的膜，可以從公知的膜中適當(dāng)選擇。其中，特別優(yōu)選聚乙烯醇與聚乙烯吡咯烷酮的組合。
(感光性樹(shù)脂層) 本發(fā)明中的感光性樹(shù)脂層在形成黑矩陣等遮光部的情況下，與特開(kāi)2005-3861號(hào)公報(bào)的感光性黑色樹(shù)脂層或特開(kāi)2004-240039號(hào)公報(bào)的著色組合物構(gòu)成的層同樣，可以形成本發(fā)明中的感光性樹(shù)脂層，在形成RGB等著色像素的情況下，與特開(kāi)2006-23696號(hào)公報(bào)中的著色感光性樹(shù)脂組合物構(gòu)成的層同樣，可以形成本發(fā)明中的感光性樹(shù)脂層。
(保護(hù)薄膜) 為了保護(hù)貯藏時(shí)不受污染或損傷，優(yōu)選在感光性轉(zhuǎn)印材料的感光性樹(shù)脂層上設(shè)置薄的保護(hù)薄膜。保護(hù)薄膜可以由與假支撐體相同或類(lèi)似的材料構(gòu)成，但必須容易與感光性樹(shù)脂層分離。作為保護(hù)薄膜材料，例如硅酮紙、聚烯烴或聚四氟乙烯薄片為適當(dāng)?shù)牟牧稀?br>
(轉(zhuǎn)印工序) 上述感光性轉(zhuǎn)印材料向基板表面貼合(轉(zhuǎn)印)，通常在除去感光性轉(zhuǎn)印材料的感光性黑色樹(shù)脂層上的保護(hù)薄膜之后，在基板表面重疊、加壓、加熱轉(zhuǎn)印材料下進(jìn)行。貼合可以使用層壓機(jī)、真空層壓機(jī)以及可以進(jìn)一步提高生產(chǎn)率的自動(dòng)層壓機(jī)(autolaminator)等公知的層壓機(jī)。
(曝光工序) 轉(zhuǎn)印工序之后，剝?nèi)ゼ僦误w，然后借助規(guī)定的掩模、熱塑性樹(shù)脂以及中間層，對(duì)感光性樹(shù)脂層進(jìn)行圖案曝光。上述圖案曝光中使用的光源，可以對(duì)應(yīng)感光性樹(shù)脂層的感光性選擇。例如，可以使用超高壓汞燈、氙燈、炭棒弧光燈、氬激光器等公知的光源。如特開(kāi)平6-59119號(hào)公報(bào)中所記載，也可以并用400nm以上的波長(zhǎng)的光透過(guò)率為2％以下的光學(xué)過(guò)濾器等。上述圖案曝光的曝光量為200mJ/cm2以下，優(yōu)選范圍為150mJ/cm2以下，進(jìn)而優(yōu)選范圍為100～70mJ/cm2。特別是在曝光量為150mJ/cm2以下的情況下，從生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間(tact time)的縮短的角度出發(fā)優(yōu)選。
(顯影工序) 作為本發(fā)明中的對(duì)感光性樹(shù)脂層進(jìn)行顯影的工序，作為處理液使用本發(fā)明的顯影液，可以舉出向處理液槽中浸漬(dip)的方法或噴淋型處理槽的方法。特別優(yōu)選使用在輸送基板的輸送機(jī)構(gòu)上具有很多噴淋?chē)娮斓膰娏苄吞幚聿鄣姆椒?。通過(guò)使用噴淋型處理槽，在短時(shí)間內(nèi)、均一地對(duì)感光性樹(shù)脂層進(jìn)行顯影成為可能。
作為噴淋型處理槽中的噴嘴，可以舉出平(flat)噴嘴、圓錐(cone)型噴嘴、間接噴射等。特別是通過(guò)使用圓錐型噴嘴，利用噴淋的沖擊力，未曝光的感光性樹(shù)脂可以脫膜地高效地除去，優(yōu)選。
顯影液的溫度通常優(yōu)選從室溫左右～40℃的范圍。也可以在顯影處理之后加入水洗工序。另外，在顯影工序中，也可以進(jìn)行一次熱塑性樹(shù)脂層、中間層及感光性樹(shù)脂層的顯影，但為了減少顯影不均或顯影時(shí)的顯影液引起的感光性樹(shù)脂的劣化，優(yōu)選在先溶解除去熱塑性樹(shù)脂層及中間層之后進(jìn)行感光性樹(shù)脂層的顯影。然后進(jìn)行感光性樹(shù)脂層的顯影的情況下，除去熱塑性樹(shù)脂層及中間層中使用的顯影液優(yōu)先選擇不使感光性樹(shù)脂層劣化的顯影液。該方法可以通過(guò)考慮熱塑性樹(shù)脂層及中間層與感光性樹(shù)脂層的溶解速度的差選擇顯影液，或者通過(guò)適當(dāng)組合液溫、噴濺(spray)壓、擦拭時(shí)的壓力等顯影處理?xiàng)l件來(lái)進(jìn)行。利用該方法，可以抑制顯影不均的發(fā)生。
作為本發(fā)明的圖像形成方法，也可以在顯影工序之后，根據(jù)需要進(jìn)行后曝光或烘焙(加熱工序)。對(duì)于從轉(zhuǎn)印到烘焙工序，特開(kāi)2005-3861號(hào)公報(bào)的段落
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中記載的工序也可以在本發(fā)明中優(yōu)選使用。
作為利用本發(fā)明的圖像形成方法形成的圖像，可以舉出黑矩陣等遮光部(以下也稱為K圖像)，紅(R)、綠(G)及藍(lán)(B)等著色圖像以及光學(xué)間隔件(photospacer)，但不被這些所限定。
<濾色片> (基板) 在本發(fā)明中，作為形成濾色片的基板，例如可以舉出使用透明基板、在表面具有氧化硅被膜的鈉玻璃板、低膨脹玻璃、無(wú)堿玻璃、石英玻璃等公知的玻璃板或者塑料薄膜等。
另外，上述基板通過(guò)預(yù)先進(jìn)行偶聯(lián)處理，可以使感光性樹(shù)脂組合物或感光性樹(shù)脂轉(zhuǎn)印材料良好地粘附。作為該偶聯(lián)處理，可以優(yōu)選使用特開(kāi)2000-39033號(hào)公報(bào)記載的方法。另外，沒(méi)有特別限制，但作為基板的膜厚，通常優(yōu)選700～1200μm，特別優(yōu)選500～1100μm。
(著色像素形成) 在本發(fā)明的濾色片的制造方法中，RGB等著色像素也可以利用使用上述感光性轉(zhuǎn)印材料的轉(zhuǎn)印法形成，但從防止涂敷時(shí)的涂敷缺陷發(fā)生的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選在使用感光性轉(zhuǎn)印材料形成K圖像之后，經(jīng)過(guò)利用涂敷形成感光性樹(shù)脂層的工序形成。
-感光性著色樹(shù)脂層用涂液的配制- 關(guān)于紅(R)、綠(G)及藍(lán)(B)等各感光性著色樹(shù)脂層的配制，除了使用的著色劑不同的點(diǎn)以外，與形成上述感光性轉(zhuǎn)印材料中含有的感光性黑色樹(shù)脂層的情況實(shí)際上是相同的，優(yōu)選根據(jù)涂敷方式的不同，通過(guò)溶劑的含有量、表面活性劑的添加等調(diào)整各感光性著色樹(shù)脂層用涂液的粘度、比重、表面張力等。
以下對(duì)紅(R)、綠(G)及藍(lán)(B)等各感光性著色樹(shù)脂層用涂液的配制中使用的著色劑進(jìn)行說(shuō)明。
著色劑可以對(duì)應(yīng)形成紅(R)、綠(G)及藍(lán)(B)等著色像素的情況，選擇任意顏料、染料等。
作為上述著色劑，可以使用紅色、綠色、藍(lán)色、黃色、紫色、洋紅色、青綠色的公知的顏料及染料。作為它們的優(yōu)選例，可以舉出維多利亞純藍(lán)BO(C.I.42595)、槐黃(Auramine)(C.I.41000)、莫諾賴特黃GT(C.I.顏料黃12)、永久黃GR(C.I.顏料黃17)、永久黃HR(C.I.顏料黃83)、永久洋紅FBB(C.I.顏料紅146)、主酵母(ホスタ一バ一ム)紅ESB(C.I.顏料紫19)、永久鮮紅FBH(C.I.顏料紅11)、法斯特爾粉B蘇普拉(C.I.顏料紅81)及莫鈉斯特拉爾堅(jiān)牢藍(lán)(C.I.顏料藍(lán)15)。
進(jìn)而作為濾色片的制作中特別優(yōu)選的顏料，可以舉出C.I.顏料紅97、C.I.顏料紅122、C.I.顏料紅149、C.I.顏料紅168、C.I.顏料紅177、C.I.顏料紅180、C.I.顏料紅192、C.I.顏料紅215、C.I.顏料綠7、C.I.顏料綠36、C.I.顏料藍(lán)15:1、C.I.顏料藍(lán)15:4、C.I.顏料藍(lán)15:6、C.I.顏料藍(lán)22、C.I.顏料藍(lán)60、C.I.顏料藍(lán)64、C.I.顏料黃139、C.I.顏料黃83、C.I.顏料紫23等。上述顏料及染料通常具有5μm以下的平均粒徑，優(yōu)選1μm以下。在制作濾色片的情況下，優(yōu)選使用0.5μm以下的平均粒徑的顏料及染料。
-使用感光性著色樹(shù)脂層用涂液的著色像素的形成- 在基板上的形成了K圖像的面上，從K圖像上涂敷上述感光性著色樹(shù)脂層用涂液，通過(guò)顯影、曝光，形成著色圖像。
(涂敷工序及曝光顯影工序) 例如形成紅(R)、綠(G)、藍(lán)(B)的像素時(shí)，首先形成紅色像素的情況下，涂敷、干燥感光性紅色樹(shù)脂層的涂液。在此，該涂液的涂敷可以利用公知的涂敷法進(jìn)行，例如可以舉出使用旋轉(zhuǎn)器(spinner)法、輥涂法、噴墨法、狹縫涂敷機(jī)法、狹縫·旋轉(zhuǎn)法等的涂敷法。這些涂敷法中，從液體浪費(fèi)減少的觀點(diǎn)出發(fā)，更優(yōu)選使用狹縫涂敷機(jī)的涂敷法。作為該方法，可以參照特開(kāi)2006-23696號(hào)公報(bào)的
中記載的使用狹縫狀噴嘴的方法。
利用涂敷法形成的感光性紅色樹(shù)脂層的層厚，可以對(duì)應(yīng)得到的K圖像的膜厚設(shè)定。
接著，通過(guò)進(jìn)行圖案曝光、顯影及加熱處理，形成紅色著色像素。即，關(guān)于該圖案曝光、顯影及加熱處理的說(shuō)明，由于與上述K圖像形成時(shí)的曝光顯影工序的說(shuō)明重復(fù)，所以在此從略。
同樣，對(duì)于各著色像素，也進(jìn)行涂敷·圖案曝光·顯影及加熱處理，形成各像素。最后，通過(guò)再一次加熱處理形成K圖像及全部像素的基板，可以得到濾色片基板。
<顯示裝置> 作為本發(fā)明的顯示裝置，只要是具備已述的本發(fā)明的濾色片的裝置即可，沒(méi)有特別限定，是指液晶顯示裝置、等離子顯示器顯示裝置、EL顯示裝置、CRT顯示裝置等顯示裝置等。顯示裝置的定義或各顯示裝置的說(shuō)明例如“電子顯示器設(shè)備(佐佐木昭夫著，(株)工業(yè)調(diào)查會(huì)1990年發(fā)行)”、“顯示器設(shè)備(伊吹順章著，產(chǎn)業(yè)圖書(shū)(株)平成元年發(fā)行)”等所記載。
本發(fā)明的顯示裝置中，特別優(yōu)選液晶顯示裝置。對(duì)于液晶顯示裝置，例如“下一代液晶顯示器技術(shù)(內(nèi)田龍男編集，(株)工業(yè)調(diào)查會(huì)1994年發(fā)行)”中所記載。對(duì)本發(fā)明可以適用的液晶顯示裝置沒(méi)有特別限制，例如可以適用于上述“下一代液晶顯示器技術(shù)”中所記載的各種方式的液晶顯示裝置。在這些中，本發(fā)明對(duì)于彩色TFT方式的液晶顯示裝置是特別有效的。對(duì)于彩色TFT方式的液晶顯示裝置，例如“彩色TFT液晶顯示器(共立出版(株)1996年發(fā)行)”中所記載。進(jìn)而，本發(fā)明當(dāng)然也可以適用于IPS等橫電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)方式、MVA等像素分割方式等視角被擴(kuò)大的液晶顯示裝置。對(duì)于這些方式，例如被記載于“EL、PDP、LCD顯示器技術(shù)與市場(chǎng)的最新動(dòng)向(東聯(lián)研究中心(レサ一チセンタ一)調(diào)查研究部門(mén)2001年發(fā)行)”的43頁(yè)。
液晶顯示裝置除了濾色片以外，由電極基板、偏振光薄膜、相位差薄膜、背光燈、間隔件(spacer)、視角補(bǔ)償薄膜等各種構(gòu)件構(gòu)成。對(duì)于這些構(gòu)件，例如記載于“’94液晶顯示器外圍材料·化學(xué)藥品(chemicals)的市場(chǎng)(島健太郎(株)CMC 1994年發(fā)行)”、“2003液晶相關(guān)市場(chǎng)的現(xiàn)狀與未來(lái)展望(下卷)(表良吉(株)富士キメラ總研2003年發(fā)行)”。
本發(fā)明的顯示裝置可以采用ECB(電動(dòng)雙折射)(ElectricallyControlled Birefringence)、TN(扭曲向列)(Twisted Nematic)、IPS(板內(nèi)轉(zhuǎn)換)(In-Plane Switching)、FLC(Ferroelectric Liquid Crystal)、OCB(光學(xué)補(bǔ)償彎曲)(Optically Compensatory Bend)、STN(超扭曲向列)(SupperTwisted Nematic)、VA(垂直排列)(Vertically Aligned)、HAN(混合準(zhǔn)直向列)(Hybrid Aligned Nematic)、GH(賓主)(Guest Host)之類(lèi)的各種顯示模式。本發(fā)明的顯示裝置的特征在于使用如上所述的濾色片，這樣，搭載于顯示器時(shí)沒(méi)有顯示不均，可以具有寬的色再現(xiàn)區(qū)域和高對(duì)比度比，可以優(yōu)選用于筆記本個(gè)人用顯示器或電視監(jiān)視器等大畫(huà)面顯示裝置等。
[實(shí)施例] 以下舉出實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。本發(fā)明不被這些實(shí)施例所限定。此外，只要不是特別事先說(shuō)明，“％”及“份”表示“質(zhì)量％”及“質(zhì)量份”，“分子量”是指“重均分子量”。
(實(shí)施例1～20、比較例1～9) <感光性樹(shù)脂用堿顯影液的制作> 本發(fā)明的顯影液1利用以下處方制作，作為保存液。
·碳酸鈉63.6份 ·碳酸氫鈉 33.6份 ·離子交換水529.8份 ·萘磺酸衍生物鹽(固體成分35％溶液) 343份 (ペレツクスNBL，花王株式會(huì)社制) ·聚氧乙烯萘基醚硫酸鹽 30份 (ニユ一コ一ルB4SN，日本乳化劑株式會(huì)社制) 接著，如下所述稀釋至5倍使用。
·上述保存液20份 ·離子交換水80份 與其同樣，作成本發(fā)明的顯影液2～20和比較例的顯影液1～9。這些顯影液的5倍稀釋后的組成見(jiàn)表1～表4。
[表1] 注1)每份固體成分35％的水溶液，實(shí)際添加的烷基萘磺酸Na為其0.35倍 注2)本發(fā)明的顯影液1～7的pH為10.1～10.3。
[表2] 注1)每份固體成分35％的水溶液，實(shí)際添加的烷基萘磺酸Na為其0.35倍 注2)本發(fā)明的顯影液8～14的pH為9.9～10.3。
但是，比較例7、8的顯影液不能制作5倍稀釋用的濃縮液，所以配制2倍稀釋用的濃縮液，稀釋?zhuān)瑢?shí)施。
[表3] 注1)每份固體成分35％的水溶液，實(shí)際添加的烷基萘磺酸Na為其0.35倍 [表4] 注1)每份固體成分35％的水溶液，實(shí)際添加的烷基萘磺酸Na為其0.35倍 另外，碳酸Li鹽不能得到一氫鹽，不能組成處方。
<濾色片的制作> 在厚75μm的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯薄膜假支撐體上，使用狹縫狀噴嘴，涂敷、干燥下述處方H1構(gòu)成的熱塑性樹(shù)脂層用涂敷液。接著，涂敷、干燥下述處方P1構(gòu)成的中間層用涂敷液。進(jìn)而，涂敷、干燥下述表5記載的處方構(gòu)成的著色感光性樹(shù)脂組合物K1，在該假支撐體上設(shè)置干燥膜厚14.6μm的熱塑性樹(shù)脂層、干燥膜厚1.6μm的中間層和干燥膜厚2.2μm的感光性樹(shù)脂層，壓粘保護(hù)薄膜(厚12μm聚丙烯薄膜)。
這樣制作假支撐體、熱塑性樹(shù)脂層、中間層(阻氧膜)和黒(K)的感光性樹(shù)脂層成為一體的感光性轉(zhuǎn)印材料，樣品名為感光性轉(zhuǎn)印材料K1。
熱塑性樹(shù)脂層用涂敷液處方H1 ·甲醇 11.1份 ·丙二醇一甲醚乙酸酯 6.36份 ·甲基乙基甲酮 52.4份 ·甲基丙烯酸甲酯/丙烯酸2-乙基己基酯/甲基丙烯酸芐基酯/甲基丙烯酸共聚物(共聚合組成比(摩爾比)＝55/11.7/4.5/28.8，分子量＝9萬(wàn)，Tg70℃)5.83份 ·苯乙烯/丙烯酸共聚物(共聚合組成比(摩爾比)＝63/37，分子量＝1萬(wàn)，Tg100℃)13.6份 ·向聯(lián)苯酚A脫水縮合2當(dāng)量的五乙二醇一甲基丙烯酸酯的化合物(新中村化學(xué)工業(yè)(株)制，商品名2，2-雙[4-(甲基丙烯酰氧基聚乙氧基)苯基]丙烷)9.1份 ·表面活性劑10.54份 中間層用涂敷液處方P1 ·PVA205(聚乙烯醇，(株)クラレ制，皂化度＝88％，聚合度550)32.2份 ·聚乙烯吡咯烷酮(アイエスピ一·ジヤパン(株)制，K-30)14.9份 ·蒸餾水 524份 ·甲醇 429份 -黒(K)圖像的形成- 向無(wú)堿玻璃基板上，利用噴淋吹調(diào)整為25℃的清洗液(用純水將含有磷酸鹽·硅酸鹽·非離子表面活性劑·消泡劑·穩(wěn)定劑，商品名T-SD1富士膠片(株)制稀釋至10倍的物質(zhì))20秒，同時(shí)用具有尼龍毛的旋轉(zhuǎn)刷清洗，純水噴淋清洗之后，利用噴淋吹硅烷偶合液(N-β(氨基乙基)γ-氨基丙基三甲氧基硅烷0.3質(zhì)量％水溶液，商品名KBM603，信越化學(xué)工業(yè)(株)制)20秒，純水噴淋清洗。用基板預(yù)備加熱裝置，在100℃下加熱該基板2分鐘，送至下一個(gè)層壓機(jī)。
(此外，在此，作為清洗液使用T-SD1，但也可以同樣使用T-SD2、T-SD3)。
剝離上述感光性樹(shù)脂轉(zhuǎn)印材料K1的保護(hù)薄膜之后，使用層壓機(jī)((株)日立インダストリイズ制(LamicII))，向上述加熱至100℃的基板，以膠輥溫度130℃、線壓100N/cm、輸送速度2.2m/分鐘層壓。
在與熱塑性樹(shù)脂層的界面剝離假支撐體之后，用具有超高壓汞燈的近接式曝光機(jī)(日立ハイテク電子エンジニアリング(株)制)，以基板與掩模(具有圖像圖案的石英曝光掩模)垂直立起的狀態(tài)，設(shè)定曝光掩模面與該感光性樹(shù)脂層之間的距離為200μm，以曝光量70mJ/cm2進(jìn)行圖案曝光。
接著，以30℃50秒、平噴嘴壓力0.04MPa，對(duì)三乙醇胺系顯影液(用純水稀釋含有三乙醇胺30質(zhì)量％和添加劑，商品名T-PD2，富士膠片(株)制至12倍(以該原液1質(zhì)量份與純水11質(zhì)量份的比例混合)的液體)進(jìn)行噴淋顯影，除去熱塑性樹(shù)脂層和中間層。接著，向該基板上面吹氣，甩去液體之后，利用噴淋?chē)姵黾兯?0秒，進(jìn)行純水清洗，吹氣，減少基板上的液體積存。
接著，使用本發(fā)明的顯影液1，以29℃30秒、圓錐型噴嘴壓力0.15MPa，進(jìn)行噴淋顯影，使感光性樹(shù)脂層顯影，得到構(gòu)像。
接著，用純水將清洗劑(含有磷酸鹽·硅酸鹽·非離子表面活性劑·消泡劑·穩(wěn)定劑，商品名T-SD1富士膠片(株)制)稀釋至10倍而使用，以33℃20秒、圓錐型噴嘴壓力0.02MPa，用噴淋?chē)姵觯M(jìn)而利用具有尼龍毛的旋轉(zhuǎn)刷，擦拭形成的圖像，進(jìn)行殘?jiān)?，得到黒(K)的圖像(此外，在此作為清洗液使用T-SD1，但也可以同樣使用T-SD2、T-SD3)。
然后，對(duì)該基板，從兩面，用超高壓汞燈，以500mJ/cm2的曝光量，進(jìn)行后曝光，然后以220℃熱處理30分鐘。
-紅(R)圖像的形成- 再次如上所述用刷清洗形成了該K圖像的基板，進(jìn)行純水噴淋清洗。
冷卻該基板，溫度調(diào)節(jié)至23℃，然后用具有狹縫狀噴嘴的玻璃基板用涂敷機(jī)(平田機(jī)工株式會(huì)社制)，涂敷下述表5記載的處方構(gòu)成的涂敷液R1。接著，用VCD(真空干燥裝置；東京應(yīng)化工業(yè)(株)制)30秒干燥溶劑的一部分，直至涂敷層失去流動(dòng)性之后，進(jìn)行120℃3分鐘烘焙，得到膜厚2.4μm的感光性樹(shù)脂層R101。
用具有超高壓汞燈的近接式曝光機(jī)(日立ハイテク電子エンジニアリング(株)制)，以基板與掩模(具有構(gòu)案的石英曝光掩模)垂直立起的狀態(tài)，設(shè)定曝光掩模面與該感光性樹(shù)脂層之間的距離為200μm，以曝光量300mJ/cm2進(jìn)行圖案曝光。
接著，用噴淋?chē)娮靽姵黾兯?，使該感光性?shù)脂層R1的表面均一地濕潤(rùn)之后，以23℃、80秒、平噴嘴壓力0.04MPa對(duì)KOH系顯影液(含有KOH、非離子表面活性劑，商品名CDK-1，富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ)進(jìn)行噴淋顯影，得到構(gòu)像。接著，用超高壓清洗噴嘴，以9.8MPa的壓力噴射超純水，進(jìn)行殘?jiān)?，進(jìn)而用噴淋?chē)娮欤瑥膬擅鎳姵龀兯?，除去附著的顯影液或上述感光性樹(shù)脂層溶解物，用氣刀(air knife)甩去水，得到紅(R)的像素。接著，220℃下熱處理30分鐘。
-綠(G)像素的形成- 使用下述表5中記載的處方構(gòu)成的涂敷液G1，用與上述紅(R)圖像的形成同樣的工序，在形成了上述K的圖像和R的像素的基板上，形成熱處理后的G像素。
-藍(lán)(B)像素的形成- 使用下述表5中記載的處方構(gòu)成的涂敷液B1，用與上述紅(R)像素的形成同樣的工序，在形成了上述K的圖像和R及G的像素的基板上，形成熱處理后的B像素，得到目的濾色片。
[表5] 質(zhì)量份 另外，表5所記載的組合物中， *K顏料分散物1的組成如下所述。
·炭黑(商品名Nipex35，デグサ·ジヤパン(株)制) 13.1份 ·分散劑1(下述化合物1)0.65份 ·聚合物(甲基丙烯酸芐基酯/甲基丙烯酸＝72/28摩爾比的無(wú)規(guī)共聚物，分子量3.7萬(wàn)) 6.72份 ·丙二醇一甲醚乙酸酯 79.53份 [化2]
*粘合劑1的組成如下所述。
·聚合物(甲基丙烯酸芐基酯/甲基丙烯酸＝78/22摩爾比的無(wú)規(guī)共聚物，分子量3.8萬(wàn)) 27份 ·丙二醇一甲醚乙酸酯 73份 *DPHA液的組成如下所述。
·二季戊四醇六丙烯酸 (含有抗聚合劑MEHQ 500ppm，日本化藥(株)制，商品名KAYARAD DPHA) 76份 ·丙二醇一甲醚乙酸酯 24份 *表面活性劑1的組成如下所述。
·下述結(jié)構(gòu)物1 30份 ·甲基乙基甲酮 70份 [化3] 結(jié)構(gòu)物1
(n＝6，x＝55，y＝5，Mw＝33940，Mw/Mn＝2.55 PO環(huán)氧丙烷，EO環(huán)氧乙烷) *R顏料分散物1的組成如下所述。
·C.I.顏料紅254(商品名Irgaphor Red B-CF，チバ·スペシヤルテイ·ケミカルズ(株)制)……8.0份 ·上述化合物1(分散劑1)……0.8份 ·聚合物(甲基丙烯酸芐基酯/甲基丙烯酸(＝72/28[摩爾比])的無(wú)規(guī)共聚物，分子量3萬(wàn))……8份 ·丙二醇一甲醚乙酸酯……83份 *R顏料分散物2的組成如下所述。
·C.I.顏料紅177(商品名Cromophtal Red A2B，チバ·スペシヤルテイ·ケミカルズ(株)制)……18份 ·聚合物[甲基丙烯酸芐基酯/甲基丙烯酸(＝72/28[摩爾比])的無(wú)規(guī)共聚物(重均分子量37,000)]……12份 ·丙二醇一甲醚乙酸酯……70份 *粘合劑2的組成如下所述。
·聚合物(甲基丙烯酸芐基酯/甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯 (＝38/25/37[摩爾比]的無(wú)規(guī)共聚物，分子量4萬(wàn))27份 ·丙二醇一甲醚乙酸酯 73份 *G顏料分散物1如下所述。
商品名GT-2(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)制) *Y顏料分散物1如下所述。
商品名CF黃EX3393(御國(guó)色素(株)制) *B顏料分散物1如下所述。
商品名CF藍(lán)EX3357(御國(guó)色素(株)制) *B顏料分散物2如下所述。
商品名CF藍(lán)EX3383(御國(guó)色素(株)制) *粘合劑3的組成如下所述。
·聚合物(甲基丙烯酸芐基酯/甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯 (＝36/22/42[摩爾比])的無(wú)規(guī)共聚物 (重均分子量38,000) 27份 ·丙二醇一甲醚乙酸酯 73份 (實(shí)施例2～20及比較例1～9) 使用本發(fā)明的顯影液2～20及比較例的顯影液1～9，與實(shí)施例1同樣地制作濾色片。
<評(píng)價(jià)> 由于難以穩(wěn)定地重現(xiàn)SD工序的不良情況，所以對(duì)不經(jīng)過(guò)SD工序的顯影之后不久的像素，評(píng)價(jià)顯影殘?jiān)?br>
顯影殘?jiān)美肵射線光電子分光法的F/Si比評(píng)價(jià)。X射線光電子分光法是從樣品的最表面定量測(cè)定3～70埃左右的深度的構(gòu)成元素的方法。利用X射線的照射，可以通過(guò)光電子效果將處于原子中的各軌道的電子釋放到真空中，從該電子的運(yùn)動(dòng)能量特定元素和軌道。(參照入門(mén)表面分析內(nèi)田老鶴圃，吉原一纮著，81～105頁(yè)的“X射線光電子分光法”)。因而，如果使用該方法，通過(guò)取得顯影殘?jiān)泻械谋砻婊钚詣﹣?lái)源的含氟物質(zhì)中的氟與玻璃基板中含有的硅的比值，正確地半定量評(píng)價(jià)玻璃基板上的極少的殘?jiān)?含氟物質(zhì))是可能的。
X射線光電子分光裝置使用アルバツク·フアイ(株)制ESCA-5300。評(píng)價(jià)樣品剪斷成適當(dāng)?shù)某叽?，?dǎo)入預(yù)備排氣后裝置內(nèi)。X射線源使用加速電壓15kV、400W下產(chǎn)生的MgKα射線，以真空度1～12×10-6Pa(1～9×10-8torr)、從樣品產(chǎn)生的光電子的取入角度45°、穿透能量(pass energy)35.75eV，測(cè)定F1s峰與Si2p峰。在標(biāo)準(zhǔn)條件下的測(cè)定面積為長(zhǎng)2mm、寬10mm的長(zhǎng)方形。相對(duì)得到的峰面積(計(jì)數(shù)(count)·eV/sec)，作為各元素的相對(duì)靈敏度系數(shù)，考慮F1s為1.000、Si2p為0.368，求得元素的存在摩爾比。同時(shí)，利用顯微鏡觀察顯影殘?jiān)拖袼馗浇鼩埬?，進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果見(jiàn)表6～表8。
另外，應(yīng)該被顯影槽除去的未曝光的感光性樹(shù)脂層，從可以除去多大程度的觀點(diǎn)進(jìn)行觀察。在該階段低殘?jiān)Ч叩?，不必說(shuō)，在實(shí)際濾色片的制造工序中，即使在由于各種原因而SD刷的觸碰等發(fā)生變動(dòng)時(shí)，也可以質(zhì)量很好地制造濾色片。
另外，由于被迫發(fā)生狹縫涂敷時(shí)的涂敷缺陷，準(zhǔn)備向涂敷液R1中添加表面活性劑的量為1/8的涂敷液，利用狹縫狀噴嘴向不進(jìn)行SD工序的帶黒(K)圖像的基板涂敷，評(píng)價(jià)涂敷缺陷。涂敷缺陷用顯微鏡觀察計(jì)數(shù)孔狀故障的發(fā)生個(gè)數(shù)，用10張基板的平均值求得。
在此，孔狀故障是指在涂敷于基板上的液體的膜中，涂敷膜不是圓形樣或橢圓形樣，產(chǎn)生微小部分的故障。結(jié)果見(jiàn)表9。
[表6] 表6中的符號(hào)表示以下評(píng)價(jià)。
◎完全不可見(jiàn)。
○每長(zhǎng)7000μm像素，有1個(gè)左右。
△每長(zhǎng)3000μm像素，有1個(gè)左右。
△△每長(zhǎng)1000μm像素，有1個(gè)左右。
×像素的所有處均可見(jiàn)。
[表7] 表7中的符號(hào)表示以下評(píng)價(jià)。
◎完全不可見(jiàn)。
○略微可見(jiàn)。
△可見(jiàn)一點(diǎn)點(diǎn)。
△△少處可見(jiàn)。
×像素的所有處均可見(jiàn)。
[表8] 表8中，最短顯影時(shí)間是指除去未曝光部分所必需的最低顯影時(shí)間。每1秒使顯影時(shí)間變化，進(jìn)行試驗(yàn)(test)(PD條件固定)，用目視判斷認(rèn)為可以除去感光層的最短時(shí)間。該時(shí)間長(zhǎng)，則為顯影慢的材料，短的，則為顯影快的材料。從顯影線的限制出發(fā)，該最短顯影時(shí)間為8秒～30秒是適當(dāng)?shù)?。通過(guò)在30秒以下，可以維持高的線的生產(chǎn)量。
[表9] 從表6可知，通過(guò)使用如下所述的本發(fā)明的顯影液，顯影殘?jiān)兩伲擄@影液為含有萘磺酸衍生物鹽(A)和聚氧乙烯萘基醚硫酸鹽(B)，(B)的質(zhì)量相對(duì)(A)和(B)的總質(zhì)量的比例為20質(zhì)量％～60質(zhì)量％。
從表7可知，通過(guò)使用具有碳酸鹽濃度為0.05摩爾/kg液～0.50摩爾/kg液的本發(fā)明的顯影液的圖像形成方法制作像素，像素附近殘膜會(huì)減少。
另外，還可知通過(guò)具有碳酸鹽為鈉鹽及/或鉀鹽的本發(fā)明的顯影液，像素附近殘膜也會(huì)減少。
從表8可知，通過(guò)使顯影液的pH在9.4以上，顯影時(shí)間會(huì)變短至可以維持線的生產(chǎn)量的程度。
從表9可知，通過(guò)使用如下所述的本發(fā)明的顯影液，孔狀故障變少，該顯影液為含有萘磺酸衍生物鹽(A)和聚氧乙烯萘基醚硫酸鹽(B)，(B)的質(zhì)量相對(duì)(A)和(B)的總質(zhì)量的比例為20質(zhì)量％～60質(zhì)量％。
<液晶顯示裝置> [液晶顯示裝置的制作及評(píng)價(jià)] 確認(rèn)了使用實(shí)施例1～20的濾色片及比較例1～9的濾色片形成液晶顯示裝置，與使用比較例的濾色片的液晶顯示裝置相比，使用實(shí)施例的濾色片的液晶顯示裝置顯示出良好的顯示特性。
權(quán)利要求
1.一種感光性樹(shù)脂用堿顯影液，其中，
含有碳酸鹽和陰離子表面活性劑，該碳酸鹽含有鈉鹽及/或鉀鹽，而且該碳酸鹽的濃度為0.1～1.0摩爾/kg，該陰離子表面活性劑含有萘磺酸衍生物鹽(A)和聚氧乙烯萘基醚硫酸鹽(B)，而且(B)的質(zhì)量相對(duì)于(A)和(B)的總質(zhì)量的比例為20質(zhì)量％～60質(zhì)量％。
2.一種圖像形成方法，其中，
包括使用如下所述的感光性樹(shù)脂用堿顯影液，對(duì)轉(zhuǎn)印到基板的感光性樹(shù)脂層在曝光后進(jìn)行顯影的工序，
其中的感光性樹(shù)脂用堿顯影液為含有碳酸鹽和陰離子表面活性劑，該碳酸鹽含有鈉鹽及/或鉀鹽，而且該碳酸鹽的濃度為0.04～0.5摩爾/kg，該陰離子表面活性劑含有萘磺酸衍生物鹽(A)和聚氧乙烯萘基醚硫酸鹽(B)，(B)的質(zhì)量相對(duì)于(A)和(B)的總質(zhì)量的比例為20質(zhì)量％～60質(zhì)量％。
3.一種濾色片的制造方法，其中，
包括利用權(quán)利要求2所述的圖像形成方法形成圖像的工序。
4.一種濾色片的制造方法，其中，
包括在基板上使用感光性轉(zhuǎn)印材料形成圖像的工序、和在形成有所述圖像的基板上利用涂敷形成感光性樹(shù)脂層的工序，使用所述感光性轉(zhuǎn)印材料形成圖像的工序是利用權(quán)利要求2所述的圖像形成方法進(jìn)行的。
5.一種濾色片，其中，
利用權(quán)利要求3或4所述的濾色片的制造方法制造的。
6.一種顯示裝置，其中，
具備權(quán)利要求5所述的濾色片。
全文摘要
本發(fā)明提供一種感光性樹(shù)脂用堿顯影液，其中，含有碳酸鹽和陰離子表面活性劑，該碳酸鹽含有鈉鹽及/或鉀鹽，而且該碳酸鹽的濃度為0.1～1.0摩爾/kg，該陰離子表面活性劑含有萘磺酸衍生物鹽(A)和聚氧乙烯萘基醚硫酸鹽(B)，而且(B)的質(zhì)量相對(duì)于(A)和(B)的總質(zhì)量的比例為20質(zhì)量％～60質(zhì)量％。
文檔編號(hào)G02B5/23GK101118391SQ20071010421
公開(kāi)日2008年2月6日 申請(qǐng)日期2007年5月23日 優(yōu)先權(quán)日2006年5月25日
發(fā)明者田中光利, 竹政千代美 申請(qǐng)人:富士膠片株式會(huì)社