專利名稱：液晶顯示面板的基板粘接裝置的制作方法
技術(shù)領域：
本發(fā)明涉及一種液晶顯示(LCD)面板的基板粘接裝置，具體涉及到一種LCD面板的基板粘接裝置，其通過細分排氣孔來提高排氣的均勻性。
背景技術(shù)：
隨著信息時代的進步，對各種顯示器件的需求不斷增加。為滿足這一需求，對平板顯示器件的研究持續(xù)不斷，包括液晶顯示器件(LCD)、等離子顯示面板(PDP)、電致發(fā)光顯示器(ELD)、真空熒光顯示器(VFD)等等。一些平板顯示器件被應用于各種場合的顯示。
特別是，LCD結(jié)合運動圖象顯示器件而被用做陰極射線管的替代品，這是因為LCD具有圖象質(zhì)量優(yōu)越、輕而薄以及功耗低等優(yōu)點。因此，LCD目前的應用最為廣泛。除運動圖象顯示器件以外還開發(fā)了LCD的各種用途，例如筆記本電腦的監(jiān)視器，還有接收和顯示廣播信號的TV監(jiān)視器和臺式計算機監(jiān)視器。
盡管開發(fā)出的LCD可以在各種場合用做圖象顯示器件，但是在這種LCD中通過嘗試改善上述特征和優(yōu)點來提高圖象質(zhì)量還是有困難。
因此，用這種LCD實現(xiàn)圖象顯示器件的成功應用取決于LCD能否實現(xiàn)理想的高級圖象質(zhì)量，包括高分辨率、高亮度和大顯示面積等等，同時要維持輕而薄和低功耗的理想特性。
制作上述LCD的典型方法可劃分為液晶注入法和液晶分配法。按照液晶注入法，在上、下基板之一上畫出一個密封圖形，密封圖形有一個注入口。然后在真空條件下將基板彼此粘接。然后通過注入口向基板之間限定的空間內(nèi)注入液晶材料。按照液晶分配法，制備一個在上面分配有液晶材料的基板。制備另一個其上形成有密封圖形的基板，密封圖形完全沿著基板的外邊沿延伸而不形成注入口。然后在真空條件下將后一基板布置在前一基板上使其彼此對齊。然后將對齊的基板彼此粘接。在日本專利申請平11-089612和平11-172903中公開了這種液晶分配法。
液晶分配法具有的優(yōu)點是其由于消除了液晶注入法所需的一些步驟而減少了步驟的數(shù)量。例如，這些步驟可以包括形成液晶注入口、注入液晶材料并且將注入口密封，而分配法不使用執(zhí)行這些步驟的設備。
為此，正在進行活躍的研究，為液晶分配法的應用提供各種設備。
例如，本申請人就在韓國專利申請2002-71366號(申請日為2002年11月16日)提出了一種基板粘接裝置。
圖1A示出了按照均勻排氣處理獲得的基板粘結(jié)的示意圖。如果需要沿著下基板120的外邊沿將上基板110(或下基板)粘接到涂敷有密封劑111并且上面散布有液晶材料113的下基板(或上基板)上，則可采用本申請人提出的基板粘接裝置。首先將上基板110附著在一個上靜電卡盤(ESC)上，然后下降，使得上基板110接近下基板120。然后關閉上ESC從而松開上基板110使其落在下基板120上。按照這種方式，基板粘接裝置執(zhí)行排氣步驟將上、下基板110和120彼此粘接。
圖1A表示排氣步驟的例子。如圖1A所示，在排氣步驟中，在上基板110和下基板120之間限定的空間內(nèi)形成真空，然后用形成在下基板120上的密封劑111密封，在內(nèi)部空間與大氣之間產(chǎn)生壓力差。借助于該壓力差將上基板110與下基板120彼此粘接。
然而，如圖1B所示，上述慣用的基板粘接裝置在執(zhí)行排氣步驟時存在排氣不均勻的問題，由此會造成基板的粘接質(zhì)量變差。即，如果排氣步驟中執(zhí)行的排氣不均勻，就會在上基板110和下基板111之間形成間隙117。在這種情況下，在液晶空間內(nèi)有可能產(chǎn)生氣泡，造成基板的粘接質(zhì)量變差。
發(fā)明內(nèi)容
為此，本發(fā)明提出了一種LCD面板的基板粘接裝置，能夠基本上消除因現(xiàn)有技術(shù)的局限和缺點造成的這些問題。
本發(fā)明的優(yōu)點是為LCD面板提供了一種基板粘接裝置，通過細分排氣孔來提高排氣的均勻性。
以下要說明本發(fā)明的附加特征和優(yōu)點，一部分可以從說明書中看出，或者是通過對本發(fā)明的實踐來學習。采用說明書及其權(quán)利要求書和附圖中具體描述的結(jié)構(gòu)就能實現(xiàn)并達到本發(fā)明的目的和其他優(yōu)點。
為了按照本發(fā)明的意圖實現(xiàn)上述目的和其他優(yōu)點，以下要具體和廣泛地說明，一種采用排氣步驟粘接液晶顯示面板的第一基板和第二基板的基板粘接裝置，包括夾持第二基板的下夾持板；以及包括多個塊的上夾持板，各塊分別包括主排氣孔，其中上夾持板按照該塊的夾持操作而夾持第一基板，隨后松開所夾持的第一基板，使得第一基板朝向第二基板下落。
應該意識到以上的概述和下文的詳細說明都是解釋性的描述，都是為了進一步解釋所要求保護的發(fā)明。
所包括的用來便于理解本發(fā)明并且作為本申請一個組成部分的附圖表示了本發(fā)明的實施例，連同說明書一起可用來解釋本發(fā)明的原理。
在附圖中圖1A是按照均勻排氣步驟實現(xiàn)基板粘接的一個示意圖；圖1B是按照不均勻排氣步驟實現(xiàn)基板粘接的一個示意圖；圖2的示意圖表示按照本發(fā)明的LCD面板基板粘接裝置的初始狀態(tài)；圖3的示意圖表示按照本發(fā)明的基板粘接裝置中真空泵的連接狀態(tài)；圖4A的示意圖表示圖2和3中構(gòu)成上夾持板的上靜電卡盤；圖4B的透視圖表示圖4A中所示的主排氣孔區(qū)；圖5是沿圖4A中的I-I’線提取的截面圖；圖6的透視圖表示連接到圖4A中所示上靜電卡盤的線；圖7的示意圖表示由本發(fā)明的基板粘接裝置中的裝載器執(zhí)行的基板裝載步驟；圖8和圖9的示意圖表示在本發(fā)明的基板粘接裝置中將第一基板固定在上工作臺的步驟；圖10到12的示意圖表示在本發(fā)明的基板粘接裝置中裝載第二基板并將第二基板固定在下工作臺的步驟；圖13的示意圖表示用來粘接基板各工作臺的操作；
圖14的示意圖表示由本發(fā)明的基板粘接裝置所包括的對準單元執(zhí)行的基板對準；圖15A和15B分別為對應于圖13中部分A的放大圖；圖16A的示意圖表示基板粘接裝置準備執(zhí)行排氣步驟時的狀態(tài)；以及圖16B是對應于圖16A中部分B的放大圖。
具體實施例方式
以下要具體描述本發(fā)明的最佳實施例，在附圖2到16B中表示了這些例子。在所有附圖中盡可能用相同的標號代表相同或類似的部分。
圖2的示意圖表示按照本發(fā)明一實施例的LCD面板基板粘接裝置的初始狀態(tài)。
如圖2所示，基板粘接裝置包括基礎框架100，上腔室單元210，下腔室單元220，腔室移動單元310、320、330、340和350，上工作臺230，下工作臺240，密封單元，對準識別照相機520，對準單元，鏈接單元510，支撐單元710，以及真空泵單元610、621和622。
本發(fā)明的基板粘接裝置所包括的基礎框架100被固定在地上?；A框架100限定了基板粘接裝置的外觀并且用于支撐基板粘接裝置各個部件。
上、下腔室單元210和220分別被安裝在基礎框架100的上、下端，使得上、下腔室單元210和220能夠相互連接。
上腔室單元210包括暴露于外部環(huán)境的上基座211以及固定在上基座211的下表面上并與上基座211的下表面緊密接觸的上腔室板212。上腔室板212具有矩形框架結(jié)構(gòu)，在上腔室板212內(nèi)限定一有限的空間。
上工作臺230被布置在上腔室板212所限定的空間內(nèi)。上工作臺230被安裝到上腔室單元210，使得上工作臺230鏈接到上腔室單元210。
密封件213介于上基座211和構(gòu)成上腔室單元210的上腔室板212之間，將上腔室板212的內(nèi)部空間與上腔室板212的外部隔離。以下將該密封件213稱為“第一密封件”。
下腔室單元220包括固定在基礎框架100上的下基座221以及安裝到下基座221上表面上的下腔室板222，使得下腔室板222能夠前、后、左、右運動。下腔室板222具有矩形框架結(jié)構(gòu)，在下腔室板222內(nèi)限定一空間。
下工作臺240被布置在下腔室板222所限定的空間內(nèi)。下工作臺240被安裝在下基座221的上表面上。
按照所示的本發(fā)明實施例，下腔室單元220還可以包括布置在基礎框架100與下基座211之間的支撐板223，用來穩(wěn)定固定基礎框架100和下基座221。
密封件224介于下基座221和構(gòu)成下腔室單元220的下腔室板222之間，將下腔室板222的內(nèi)部空間與下腔室板222的外部隔離。下工作臺240被布置在下腔室板222的內(nèi)部空間內(nèi)。以下將該密封件224稱為“第二密封件”。
在下基座221與下腔室板222之間布置有至少一個用來支撐下腔室板222的支撐件225，使得下腔室板222與下基座221相距預定的距離。
支撐件225的一端被固定在下腔室板222的下表面上。支撐件225的另外一端被連接到下基座221的下部，使其能夠水平自由運動。
因此，支撐件225使得下腔室板222能夠相對于下基座221自由運動。從而，下腔室板222可以朝前、后、左、右方向運動。
腔室移動單元包括固定在基礎框架100上的驅(qū)動電機310、軸向偶合到驅(qū)動電機310的驅(qū)動軸320以及在驅(qū)動軸320的垂直方向上延伸并且從驅(qū)動軸320接收驅(qū)動力的連接軸330。腔室移動單元還包括連接器340，其分別將相應的一個連接軸330連接到相應的一個驅(qū)動軸320，以及分別安裝在相應的一個連接軸330一端的殼體(jack)350。
驅(qū)動電機310包括雙軸電機，其布置在基礎框架100內(nèi)側(cè)的基礎框架100底部，并且設有平行于地面朝相反方向延伸的軸。
驅(qū)動軸320被連接到驅(qū)動電機310的各個軸，在平行于驅(qū)動電機310的軸的方向上傳遞驅(qū)動電機310的驅(qū)動力。另一方面，連接軸330被連接到驅(qū)動軸320，分別在垂直于驅(qū)動軸320的方向上傳遞來自驅(qū)動軸320的驅(qū)動力。
安裝在各個連接軸330上的殼體350的作用是按照接觸到上腔室單元210的連接軸330的旋轉(zhuǎn)方向而上下移動上腔室單元210。殼體350具有螺帽容納結(jié)構(gòu)。
各個連接器340包括彼此嚙合的斜面齒輪，將驅(qū)動軸320水平傳送的旋轉(zhuǎn)力垂直傳送給相應的連接軸330。
上工作臺230包括固定在上腔室單元210上的上固定板231，夾持第一基板的上夾持板232，以及布置在上固定板231和上夾持板232之間的多個固定塊233。同樣，下工作臺240包括固定在下腔室單元220上的下固定板241，夾持第二基板的下夾持板242，以及布置在下固定板241和下夾持板242之間的多個固定塊243。
上、下夾持板232和242各自由靜電夾持基板的靜電卡盤(ESC)構(gòu)成。
密封單元包括O形環(huán)250，其安裝在下腔室單元220所包括的下腔室板222的上表面上，該O形環(huán)250向上突出到一定水平。以下將O形環(huán)250稱為“第三密封件”。第三密封件250由橡膠材料制成。
第三密封件250的厚度能防止分別夾持到布置在腔室單元210和220內(nèi)的上、下工作臺230和240的第一和第二基板110和120在腔室單元210和220彼此結(jié)合時發(fā)生彼此接觸。當然，在第三密封件250受壓時，其厚度會降低，允許第一和第二基板110和120彼此接觸。
對準單元被布置在下腔室單元220中，用來確定基板110和120的位置并且將基板110和120對準。
鏈接單元510用來鏈接腔室單元210和220，使得腔室單元210和220共同朝相同方向運動。
鏈接單元510包括在下腔室單元220的下腔室板222上形成的多個接收槽222a和多個線性驅(qū)動器511，其一端分別固定在移動一個運動軸512的上腔室單元210上，運動軸512被接收在一個相應的接收槽222a內(nèi)。
對準和鏈接單元不會使下工作臺240錯位，但是會移動下腔室單元220，從而使上工作臺230錯位。由此執(zhí)行第一和第二基板110和120的對準。
在裝載第二基板120或從下工作臺240上卸載彼此粘接的第一和第二基板110和120的過程中，支撐單元710穿過下工作臺240朝上突出以容納下工作臺240上的第二基板120。各支撐單元710具有提升銷結(jié)構(gòu)。
在沒有裝載第二基板120時，支撐單元710的上端被布置低于下工作臺240的上表面。
真空泵單元610、621和622被布置在至少一個腔室單元210和220內(nèi)，以在腔室單元210和220的內(nèi)部空間形成真空。
如圖3所示，各真空泵單元610、621和622包括高真空泵610，其可以是透平分子泵(TMP)，以及第一到第三低真空泵621、622和624，其可以是干式泵。
壓力傳感器670被布置在將腔室單元210和220的內(nèi)部空間連接到高壓泵610的高真空腔室導管630內(nèi)。高真空腔室導管630延伸通過上腔室單元210的中央部分。壓力傳感器670測量布置有基板的腔室單元210和220內(nèi)部空間的內(nèi)部壓力。
第一低真空泵621被連接到高真空腔室導管630，在其內(nèi)部空間內(nèi)形成達到預定負壓的真空。
第二低真空泵622被連接到分別延伸通過上、下腔室單元210和220側(cè)壁的低真空腔室導管641和642。第二低真空泵622還通過線路628連接到基板夾持導管650，該基板夾持導管650連接到分別限定在工作臺230和240中的通道以對基板進行真空夾持。
第三低真空泵624被連接到低真空腔室導管641和642以及導管650。第三低真空泵624還通過線路626連接到上夾持板232，該上夾持板232被連接到上工作臺230中分別限定的多個通道。
各導管630、641、642和650以及線路626和628中布置有至少一個開/關閥。在圖3中，用附圖標記661、662、663、664和665表示這些開/關閥。
連接第三低真空泵624的導管641、642和650還被用作排氣導管。在排氣程序中，通過導管641、642和650從第三真空泵624向維持在真空狀態(tài)的各腔室單元210或220的內(nèi)部空間注入氣體，例如是N2氣體，使內(nèi)部空間變?yōu)榇髿鉅顟B(tài)。第三低真空泵624通過排氣線路626連接到貫穿上腔室單元232形成的主排氣孔(未表示)。
對準識別照相機520觀察形成在基板110和120上的對準標記(未表示)，識別基板110與120是否對準。各對準識別照相機520被安裝在上腔室單元210(或下腔室單元220)上，使對準識別照相機520穿過上腔室單元210(或下腔室單元220)延伸。
圖4A示意性表示圖3中所示的上夾持板232所包括的上ESC 932。圖4B的透視圖表示圖4A中所示的主排氣孔區(qū)933。圖5是沿圖4A中的I-I’線提取的截面圖。
結(jié)合圖3參見圖4A、4B和5，按照本發(fā)明所示實施例的基板粘接裝置中使用的上ESC 932包括多個第一靜電塊933A，從上ESC控制器(未表示)為其提供第一電壓，以及多個第二靜電塊933B，從上ESC控制器為其提供不同于第一電壓的第二電壓。
為了便于說明，假定上ESC 932包括6個第一靜電塊933A和6個第二靜電塊933B。第一靜電塊933A和第二靜電塊933B在縱向和橫向上交替布置。
第一和第二靜電塊933A和933B各自具有貫穿靜電塊933A或933B中央部位的主排氣孔946，以及分別在靜電塊933A或933B的縱向上布置在主排氣孔946相對兩側(cè)的次排氣孔947a和947b。
在第一和第二靜電塊933A和933B的背面還具有從第一和第二靜電塊933A或933B的主排氣孔946徑向延伸的多個第一排氣槽948a，以及從第一和第二靜電塊933A或933B的各個次排氣孔947a或947b徑向延伸的多個第二排氣槽948b。
在第一和第二靜電塊933A和933B各自的背面，在第一或第二靜電塊933A或933B的第一排氣孔948a的各個外端還形成多個第一圓形槽949a，并且在第一和第二靜電塊933A或933B的第二排氣槽948b的各個外端形成多個第二圓形槽949b。
如圖6所示，在排氣過程中，連接到第三低真空泵624的主排氣線路626被連接到各靜電塊933A或933B的主排氣孔946。
在排氣過程中，從相關的一個主排氣線路分別分出并具有彎折結(jié)構(gòu)的次排氣線路627被分別連接到各靜電塊933A或933B的次排氣孔947a和947b。
這樣，在排氣過程中，在按照本發(fā)明圖示實施例的基板粘接裝置的上ESC932中，靜電塊933A和933B的主排氣孔946分別被連接到主排氣線路626。同時，在排氣過程中，靜電塊933A和933B的次排氣孔947a和947b分別被連接到從主排氣線路626分出的次排氣線路627。
因此，按照本發(fā)明圖示實施例的基板粘接裝置在排氣過程中能夠提高排氣的均勻性，防止因排氣不均勻造成的基板粘接不良。
同時，按照本發(fā)明圖示實施例的基板粘接裝置，在需要粘接第一和第二基板110和120時，必須從上ESC 932上釋放夾持在該上ESC 932上的基板。為此要關閉上ESC 932，同時通過靜電塊933A和933B的主排氣孔946和次排氣孔947a和947b向ESC 932注入氣體。結(jié)果，夾持在上ESC 932上的基板從該上ESC 932釋放，并且由于重力而向下移動。因而，可以實現(xiàn)制造時間的減少。
以下要詳細說明采用具有本發(fā)明圖示實施例的上述配置的基板粘接裝置粘接基板的方法。
在基板粘接過程中，裝載器910將涂敷有密封劑的第一基板110從圖2的初始位置傳送到腔室單元210和220之間限定的空間，如圖7所示裝載第一基板110。
按照所述方式裝載的第一基板110隨著上腔室向下運動、第二低真空泵622的真空夾持操作和上夾持板232所包括的上ESC 932的靜電夾持操作而被附著到上工作臺230，如圖8所示。
在第一基板110被完全附著在上工作臺230之后，裝載器910如圖9所示從腔室單元210和220之間的空間收回。上腔室單元210則上移回到其初始位置。
然后如圖10所示，裝載器910再次伸到腔室單元210和220之間的空間，將分配有液晶材料的第二基板120裝載到腔室單元210和220之間的空間內(nèi)。
在這種狀態(tài)下，如圖11所示，提升銷形支撐單元710在上移通過下工作臺240的過程中將位于裝載器910上的第二基板120上移到預定水平。裝載器910在第二基板120脫離裝載器910之后隨著支撐單元710上移而收回。在裝載器910收回之后，支撐單元710如圖12所示下移以將第二基板120放在下工作臺240上。
此時，下工作臺240用真空力和靜電力固定放下的第二基板120。
在完成基板110和120的裝載之后，通過腔室驅(qū)動器使上腔室單元210下移。隨著上腔室單元210的下移，線性驅(qū)動器511向下突出的運動軸512向下運動以到達預定的水平位置。
在這種情況下，線性驅(qū)動器511的運動軸512如圖13所示被接收在下腔室單元220的下腔室板222上表面上形成的接收槽222a中。而且，由腔室驅(qū)動器的殼體350支撐的上腔室單元210的上腔室板212與沿著下腔室板222的內(nèi)周邊安裝的第三密封件250的上表面形成接觸。
當殼體350從上述狀態(tài)進一步下移時，其如圖14所示與上腔室單元210分離。在這種狀態(tài)下，由腔室單元210和220之間限定的設有基板110和120的內(nèi)部空間被上腔室單元210的重力和大氣壓力與該空間的外部密封。
在這種狀態(tài)下，分別附著在上、下工作臺230和240上的基板110和120被維持在二者之間有一個微小間隙，而不會彼此形成接觸?；?10和120必須維持在這一狀態(tài)的原因是要能夠執(zhí)行基板110與120的對準，以便在真空狀態(tài)下粘接基板110和120，進而利用排氣過程中的壓力差實現(xiàn)基板110與120的完全粘接。通過間隙測量傳感器920測量上、下腔室單元210和220之間的間隙(或是基板之間的間隙)。
然后，操作第一低真空泵621以在設有基板110和120的空間中形成真空。此時，用閥門將主排氣線路626維持在關閉狀態(tài)。
一旦按照壓力測量傳感器660測量的壓力而確定根據(jù)第一低真空泵621的操作而將設有基板110和120的空間排放到預定真空等級，則操作高真空泵610以在此空間內(nèi)形成完全真空。
在操作高真空泵610時停止第一低真空泵621的操作。這是因為高真空泵610和第一低真空泵621使用同一導管，也就是高真腔室導管630。
一旦在設有基板110和120的空間內(nèi)形成完全真空，就用對準識別照相機520和對準單元執(zhí)行基板的對準。對準識別照相機520觀察在基板110和120上形成的對準標記(未表示)，以識別出基板110和120之間的任何位置偏移。
用識別出的位置偏移作為基準來確定上工作臺230應該移動的距離。
在完成位置偏移的識別之后，根據(jù)識別出的位置偏移而計算上工作臺230應該移動的距離。
計算上工作臺230應該移動的距離的原因在于分別固定在各工作臺230和240上的基板110和120的位置對準要通過移動上工作臺230來執(zhí)行，因為下工作臺240固定在下基座221上，從而下工作臺240與下腔室單元220的下腔室板222分離地移動，而上工作臺230被固定在上腔室單元210上，從而上工作臺230與上腔室板210和上基座211整體地移動。
當下腔室板222按上述步驟朝指定方向移動預定距離時，上腔室單元210隨著鏈接單元510的操作而與下腔室板222整體朝同一方向移動預定距離。
這樣，就能使基板110和120彼此完全對準。
單次對準操作可能難以完成對準基板110和120的工作。形成在各基板上的對準標記被分成粗略標記和細微標記，在采用粗略標記的對準操作之后執(zhí)行采用細微標記的對準操作。
采用粗略標記的對準操作是在這樣的條件下執(zhí)行的，如圖15A所示，其對應于圖13中部分A的放大圖，基板110和120之間的距離大約是500到800μm，最好是大約650μm。另一方面，如圖15B所示，采用細微標記的對準操作是在基板110和120之間的距離大約為100到250μm，最好是大約150μm時執(zhí)行的。
在完成基板110和120的對準操作之后，為產(chǎn)生靜電力而供給上工作臺230的電壓被切斷。同時，執(zhí)行排空設有基板110和120的空間的排氣步驟，如圖16A和16B所示。圖16B是對應于圖16A中部分B的放大圖。
通過連接到第三真空泵624和主排氣線路626的低真空腔室導管641和642向該空間注入N2氣體。結(jié)果使該空間達到大氣壓力。
在排氣步驟中，貫穿構(gòu)成上夾持板232的上ESC 932的靜電塊933A和933B形成的主排氣孔947a和947b被連接到主排氣線路626和次排氣線路627，如圖6所示。結(jié)果，靜電夾持在上夾持板232上的第一基板110下落到第二基板120上。同時，第一基板110因從上ESC 932排出的N2氣體的壓力而與第二基板120形成緊密接觸。隨著排氣步驟進一步進行，基板110和120因基板110和120之間的壓力與基板110和120外側(cè)的大氣壓之間的壓力差而被彼此完全粘接。
由于在基板110和120之間所限定的空間處在真空狀態(tài)，借助基板110和120之間的壓力與基板110和120外側(cè)的大氣壓之間的壓力差就能使基板110和120彼此形成緊密接觸。最終使基板110和120彼此完全粘接。
然后卸載粘接的基板110和120。從而完成了粘接工作。
在卸載粘接的基板110和120的同時執(zhí)行下一次基板粘接步驟。
如上所述，按照本發(fā)明所示實施例的基板粘接裝置具有各種效果。
首先，按照本發(fā)明的基板粘接裝置，夾持基板并隨后釋放所夾持的基板的ESC被劃分成多個靜電塊，各靜電塊具有主排氣孔和多個次排氣孔，在排氣過程中可以通過多個主排氣線路提供氣體。按照這樣的結(jié)構(gòu)能大大提高排氣的均勻性，防止基板粘接不良。
其次，可以用靜電塊上的排氣孔精密控制在ESC釋放夾持在ESC上的基板時執(zhí)行的排氣，使夾持的基板均勻下落到下基板上。這樣，就能防止空氣進入基板之間所限定的空間。
第三，除了防止基板粘接不良之外，本發(fā)明的基板粘接裝置還能縮短夾持基板的釋放時間，從而大大提高生產(chǎn)率。
本領域的技術(shù)人員能夠看出，無需脫離本發(fā)明的原理和范圍還能對本發(fā)明作出各種各樣的修改和變更。因此，本發(fā)明應該覆蓋屬于本發(fā)明權(quán)利要求書及其等效物范圍內(nèi)的修改和變更。
權(quán)利要求
1.一種采用排氣步驟粘接液晶顯示面板的第一基板和第二基板的基板粘接裝置，包括夾持第二基板的下夾持板；以及包括多個塊的上夾持板，各塊分別具有主排氣孔，上夾持板按照所述塊的夾持操作而夾持第一基板，隨后松開所夾持的第一基板，使第一基板朝向第二基板下落。
2.按照權(quán)利要求1所述的基板粘接裝置，其特征在于，各塊還包括至少兩個次排氣孔。
3.按照權(quán)利要求2所述的基板粘接裝置，其特征在于，所述至少兩個次排氣孔被布置在該塊的主排氣孔的相對側(cè)。
4.按照權(quán)利要求2所述的基板粘接裝置，其特征在于，還包括連接到該塊的主排氣孔的多條主排氣線路。
5.按照權(quán)利要求4所述的基板粘接裝置，其特征在于，還包括從各主排氣線路分出并且連接到與該主排氣線路相關的至少兩個次排氣孔的次排氣線路。
6.按照權(quán)利要求2所述的基板粘接裝置，其特征在于，所述各塊還包括從該塊的主排氣孔上徑向分支的多個第一排氣槽；以及從各第一排氣槽上徑向分支的多個第二排氣槽。
7.按照權(quán)利要求6所述的基板粘接裝置，其特征在于，所述各塊還包括在該塊的第一排氣槽外端形成的多個第一圓形槽；以及在該塊的第二排氣槽外端形成的多個第二圓形槽。
8.按照權(quán)利要求2所述的基板粘接裝置，其特征在于，在切斷提供給該塊的電壓時通過主排氣孔和次排氣孔注入的氣體而使夾持在上夾持板上的第一基板朝向第二基板下落。
9.按照權(quán)利要求1所述的基板粘接裝置，其特征在于，所述各塊為靜電卡盤，其利用對該塊提供電壓時產(chǎn)生的靜電力而夾持第一基板。
全文摘要
本申請公開了一種液晶顯示(LCD)面板的基板粘接裝置，通過細分排氣孔來提高排氣的均勻性。一種采用排氣步驟粘接液晶顯示面板的第一基板和第二基板的基板粘接裝置，其包括夾持第二基板的下夾持板，以及包括多個塊的上夾持板，各塊分別包括主排氣孔，上夾持板按照該塊的夾持操作而夾持第一基板，隨后松開所夾持的第一基板，使第一基板朝向第二基板下落。
文檔編號G02F1/1333GK1991528SQ20061009260
公開日2007年7月4日 申請日期2006年6月26日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月29日
發(fā)明者金鐘元 申請人:Lg.菲利浦Lcd株式會社