亚洲成年人黄色一级片,日本香港三级亚洲三级,黄色成人小视频,国产青草视频,国产一区二区久久精品,91在线免费公开视频,成年轻人网站色直接看

半導(dǎo)體裝置和顯示裝置的制造方法_2

文檔序號(hào):8385990閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
納和保持相互組裝在一起的液晶面板11和背光源裝置14的正面背面一對(duì)的外裝部件15、16,其中正面?zhèn)鹊耐庋b部件15形成有用于從外部視認(rèn)在液晶面板11的顯示部AA上顯示的圖像的開(kāi)口部15a。本實(shí)施方式的液晶顯示裝置10可用于便攜式信息終端(包括電子書(shū)(electronic book)和PDA等)、便攜式電話(包括智能手機(jī)等)、筆記本型個(gè)人計(jì)算機(jī)(包括平板型筆記本型個(gè)人計(jì)算機(jī)等)、數(shù)碼相框、便攜式游戲機(jī)、電紙書(shū)(electronic-1nkpaper)等各種電子設(shè)備(未圖示)。因此,構(gòu)成液晶顯示裝置10的液晶面板11的畫(huà)面尺寸為幾英寸?十幾英寸左右,是一般被分類(lèi)為小型或中小型的大小。
[0055]首先,簡(jiǎn)單地對(duì)背光源裝置14進(jìn)行說(shuō)明。背光源裝置14,如圖2所示,包括:向正面?zhèn)?液晶面板11側(cè))開(kāi)口的呈大致箱形的底座14a ;配置在底座14a內(nèi)的未圖示的光源(例如冷陰極管、LED、有機(jī)EL等);和以覆蓋底座14a的開(kāi)口部的方式配置的未圖示的光學(xué)部件。光學(xué)部件具有將從光源發(fā)出的光轉(zhuǎn)換為面狀等功能。
[0056]接著,對(duì)液晶面板11進(jìn)行說(shuō)明。液晶面板11,如圖1所示,整體呈縱長(zhǎng)的方形狀(矩形狀),在靠近其長(zhǎng)邊方向的一個(gè)端部側(cè)(圖1所示的上側(cè))的位置配置有顯示部(有效區(qū)域(active area))AA,并且在靠近其長(zhǎng)邊方向的另一個(gè)端部側(cè)(圖1所示的下側(cè))的位置分別安裝有驅(qū)動(dòng)器21和柔性基板13。該液晶面板11中顯示部AA外的區(qū)域?yàn)椴伙@示圖像的非顯示部(無(wú)效區(qū)域(non-active area)) NAA,該非顯示部NAA包括:包圍顯示部AA的大致框狀的區(qū)域(后述的CF基板Ila的邊框部分);和在長(zhǎng)邊方向的另一個(gè)端部側(cè)確保的區(qū)域(后述的陣列基板Ilb中與CF基板Ila不重疊而露出的部分),其中的在長(zhǎng)邊方向的另一個(gè)端部側(cè)確保的區(qū)域包括驅(qū)動(dòng)器21和柔性基板13的安裝區(qū)域。液晶面板11的短邊方向與各附圖的X軸方向一致,液晶面板11的長(zhǎng)邊方向與各附圖的Y軸方向一致。此外,在圖1中,比CF基板Ila小一圈的框狀的點(diǎn)劃線表示顯示部AA的外形,比該實(shí)線更靠外側(cè)的區(qū)域?yàn)榉秋@示部NAA。
[0057]接著,對(duì)與液晶面板11連接的部件進(jìn)行說(shuō)明??刂齐娐坊?2,如圖1和圖2所示,利用螺釘?shù)劝惭b在背光源裝置14的底座14a的背面(與液晶面板11側(cè)相反的一側(cè)的外表面)。該控制電路基板12在紙酚醛或玻璃環(huán)氧樹(shù)脂制的基板上安裝有用于對(duì)驅(qū)動(dòng)器21供給各種輸入信號(hào)的電子部件,并且配置形成有未圖示的規(guī)定的圖案的配線(導(dǎo)電線路)。柔性基板13的一個(gè)端部(一端側(cè))經(jīng)由未圖示的ACF(Anisotropic Conductive Film:各向異性導(dǎo)電膜)與該控制電路基板12電連接并且機(jī)械地連接。
[0058]柔性基板(FPC基板)13,如圖2所示,包括由具有絕緣性和撓性的合成樹(shù)脂材料(例如聚酰亞胺類(lèi)樹(shù)脂等)形成的基材,在該基材上具有多個(gè)配線圖案(未圖示),長(zhǎng)度方向上的一個(gè)端部如上所述與在底座14a的背面?zhèn)扰渲玫目刂齐娐坊?2連接,而長(zhǎng)度方向上的另一個(gè)端部(另一端側(cè))與液晶面板11的陣列基板Ilb連接,因此,在液晶顯示裝置10內(nèi)以截面形狀為大致U形的方式呈折返狀彎折。在柔性基板13的長(zhǎng)度方向上的兩端部,配線圖案露出到外部而構(gòu)成端子部(未圖示),這些端子部分別與控制電路基板12和液晶面板11電連接。由此,能夠?qū)目刂齐娐坊?2側(cè)供給的輸入信號(hào)傳輸?shù)揭壕姘?1側(cè)。
[0059]驅(qū)動(dòng)器21,如圖1所示,由在內(nèi)部具有驅(qū)動(dòng)電路的LSI芯片構(gòu)成,根據(jù)從作為信號(hào)供給源的控制電路基板12供給的信號(hào)來(lái)工作,由此,對(duì)從作為信號(hào)供給源的控制電路基板12供給的輸入信號(hào)進(jìn)行處理而生成輸出信號(hào),將該輸出信號(hào)向液晶面板11的顯示部AA輸出。該驅(qū)動(dòng)器21在俯視時(shí)呈橫長(zhǎng)的方形狀(呈沿液晶面板11的短邊較長(zhǎng)的形狀),并且直接安裝在液晶面板11 (后述的陣列基板Ilb)的非顯示部NAA,即COG (Chip On Glass:玻璃基芯片)安裝。此外,驅(qū)動(dòng)器21的長(zhǎng)邊方向與X軸方向(液晶面板11的短邊方向)一致,驅(qū)動(dòng)器21的短邊方向與Y軸方向(液晶面板11的長(zhǎng)邊方向)一致。
[0060]再次對(duì)液晶面板11進(jìn)行說(shuō)明。液晶面板11,如圖3所示,包括:一對(duì)基板I la、I Ib ;和液晶層11c,該液晶層Ilc位于兩基板IlaUlb之間,且包含作為光學(xué)特性隨著電場(chǎng)施加而變化的物質(zhì)的液晶分子,兩基板IlaUlb由未圖示的密封劑以維持液晶層Ilc的厚度大小的間隙的狀態(tài)粘合。本實(shí)施方式的液晶面板11,工作模式為對(duì)IPS (In-Plane Switching:面內(nèi)開(kāi)關(guān))模式進(jìn)一步改良而得到的FFS(Fringe Field Switching:邊緣場(chǎng)開(kāi)關(guān))模式,在一對(duì)基板lla、llb中的陣列基板Ilb側(cè)形成后述的像素電極18和共用電極22,并且將該像素電極18和共用電極22配置在不同的層。一對(duì)基板lla、llb中的正面?zhèn)葹镃F基板(對(duì)置基板)11a,背面?zhèn)葹殛嚵谢?半導(dǎo)體裝置)lib。該CF基板Ila和陣列基板Ilb包括大致透明的(具有高透光性的)玻璃基板GS,在該玻璃基板GS上層疊形成各種膜。其中,CF基板11a,如圖1和圖2所示,短邊尺寸與陣列基板Ilb大致相等,但是長(zhǎng)邊尺寸比陣列基板Ilb小,并且以將長(zhǎng)邊方向的一個(gè)(圖1所示的上側(cè))端部對(duì)齊的狀態(tài)貼合在陣列基板Ilb上。因此,陣列基板Ilb中長(zhǎng)邊方向的另一個(gè)(圖1所示的下側(cè))端部,在規(guī)定范圍不與CF基板Ila重合,成為正面背面兩板面露出到外部的狀態(tài),在此確保了驅(qū)動(dòng)器21和柔性基板13的安裝區(qū)域。此外,在兩基板IlaUlb的內(nèi)表面?zhèn)?,分別形成有用于使液晶層Ilc中包含的液晶分子取向的取向膜lid、lie。另外,在兩基板lla、llb的外表面?zhèn)确謩e粘貼有偏光板I If、Hg。
[0061]首先,對(duì)在陣列基板Ilb的內(nèi)表面?zhèn)?液晶層Ilc側(cè),與CF基板Ila的相對(duì)面?zhèn)?通過(guò)已知的光刻法層疊形成的各種膜進(jìn)行說(shuō)明。陣列基板11b,如圖4所示,從下層(玻璃基板GS)側(cè)起依次層疊形成有第I金屬膜(柵極金屬膜)34、柵極絕緣膜(絕緣膜)35、半導(dǎo)體膜36、保護(hù)膜37、第2金屬膜(源極金屬膜)38、第I層間絕緣膜膜39、有機(jī)絕緣膜40、第I透明電極膜23、第2層間絕緣膜41、第2透明電極膜24。
[0062]第I金屬膜34由鈦(Ti)和銅(Cu)的層疊膜形成。該第I金屬膜34,在顯示部AA中構(gòu)成后述的柵極配線19和TFT 17的柵極電極17a等,而在非顯示部NAA中構(gòu)成后述的共用配線25、柵極配線19的端部(柵極配線側(cè)連接部48)、靜電保護(hù)電路部26具有的二極管29、30的一部分(柵極電極部29e、30e)等。柵極絕緣膜35由下層側(cè)柵極絕緣膜35a和上層側(cè)柵極絕緣膜35b的層疊膜形成,其中,下層側(cè)柵極絕緣膜35a由氮化硅(SiNx)形成,上層側(cè)柵極絕緣膜35b由氧化硅(S12)形成。半導(dǎo)體膜36由作為氧化物半導(dǎo)體的一種的包含銦(In)、鎵(Ga)和鋅(Zn)的氧化物薄膜形成。形成半導(dǎo)體膜36的包含銦(In)、鎵(Ga)和鋅(Zn)的氧化物薄膜,為非晶或結(jié)晶。該半導(dǎo)體膜36在顯示部AA中構(gòu)成后述的TFT 17的溝道部17d等,而在非顯示部NAA中構(gòu)成后述的靜電保護(hù)電路部26具有的二極管29、30的一部分(半導(dǎo)體部29d、30d)等。保護(hù)膜37由氧化硅(S12)形成。
[0063]第2金屬膜38由鈦(Ti)和銅(Cu)的層疊膜形成。該第2金屬膜38,在顯示部AA中構(gòu)成后述的源極配線20以及TFT 17的源極電極17b和漏極電極17c,而在非顯示部NAA中構(gòu)成后述的第I短路配線部31、第2短路配線部33、靜電保護(hù)電路部26具有的二極管29、30的一部分(電極部29a、30a、29b、30b)等。第I層間絕緣膜39由氧化硅(S12)形成。有機(jī)絕緣膜40由作為有機(jī)材料的丙烯酸樹(shù)脂(例如聚甲基丙烯酸甲酯樹(shù)脂(PMMA))或聚酰亞胺樹(shù)脂形成。第I透明電極膜23和第2透明電極膜24由ITO (Indium Tin Oxide:氧化銦錫)或ZnO(Zinc Oxide:氧化鋅)等透明電極材料形成。第2層間絕緣膜41由氮化硅(SiNx)形成。上述各膜中的第I透明電極膜23和第2透明電極膜24,僅形成在陣列基板Ilb的顯示部AA,在非顯示部NAA不形成,而柵極絕緣膜35、保護(hù)膜37、第I層間絕緣膜39、有機(jī)絕緣膜40和第2層間絕緣膜41等由絕緣材料形成的膜,形成為遍及陣列基板Ilb的大致整個(gè)面的整面狀的圖案。另外,第I金屬膜34、半導(dǎo)體膜36和第2金屬膜38,在陣列基板Ilb的顯示部AA和非顯示部NAA兩者以規(guī)定的圖案形成。
[0064]接著,對(duì)陣列基板Ilb的顯示部AA內(nèi)存在的結(jié)構(gòu)依次進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。在陣列基板Ilb的顯示部AA,如圖3所示,作為開(kāi)關(guān)元件的TFT(Thin Film Transistor:薄膜晶體管)17和像素電極18各多個(gè)呈矩陣狀排列設(shè)置,并且在這些TFT 17和像素電極18的周?chē)园鼑鼈兊姆绞皆O(shè)置有呈格子狀的柵極配線(信號(hào)配線部、行控制線、掃描線)19和源極配線(列控制線、數(shù)據(jù)線)20。換言之,在呈格子狀的柵極配線19與源極配線20的交叉部,呈行列狀并列配置有TFT 17和像素電極18。柵極配線19由第I金屬膜34形成,而源極配線20由第2金屬膜38形成,在柵極配線19與源極配線20相互的交叉部位間,配置有柵極絕緣膜35和保護(hù)膜37。柵極配線19和源極配線20,如圖4所示,分別與TFT 17的柵極電極17a和源極電極17b連接,像素電極18與TFT 17的漏極電極17c連接。該TFT 17具有將源極電極17b和漏極電極17c跨接使電子能夠在兩電極17b、17c間迀移的由半導(dǎo)體膜36形成的溝道部17d。在此,形成溝道部17d的半導(dǎo)體膜36為包含銦(In)、鎵(Ga)和鋅(Zn)的氧化物薄膜,該包含銦(In)、鎵(Ga)和鋅(Zn)的氧化物薄膜,電子迀移率與非晶硅薄膜等相比,高至例如20倍?50倍左右,因此,能夠容易地使TFT 17小型化從而使像素電極18的透射光量極大化,并且適合于實(shí)現(xiàn)高精細(xì)化和低消耗電力化等。具有這樣的包含銦(In)、鎵(Ga)和鋅(Zn)的氧化物薄膜的TFT 17,為柵極電極17a配置在最下層、在其上層側(cè)隔著柵極絕緣膜35層疊有溝道部17d的底柵型,為與一般的具有非晶硅薄膜的TFT同樣的層疊構(gòu)造。另一方面,包含銦(In)、鎵(Ga)和鋅(Zn)的氧化物薄膜具有如下性質(zhì):因?yàn)槭茄趸?,所以容易被氧化或還原,進(jìn)而容易通過(guò)形成源極電極17b和漏極電極17c時(shí)進(jìn)行的蝕刻處理被蝕刻。因此,本實(shí)施方式的TFT 17包括:由半導(dǎo)體膜36 (包含銦(In)、鎵(Ga)和鋅(Zn)的氧化物薄膜)形成的溝道部17d ;和在源極電極17b與漏極電極17c之間由氧化硅(S12)形成的保護(hù)膜37,由此能夠抑制溝道部17d被氧化或還原而導(dǎo)致電特性發(fā)生變化,并且能夠使得在形成源極電極17b和漏極電極17c時(shí)難以被蝕刻。此外,在保護(hù)膜37中的在俯視時(shí)與源極電極17b和漏極電極17c重疊的位置,形成有開(kāi)口部,源極電極17b和漏極電極17c通過(guò)該開(kāi)口部與溝道部17d連接。
[0065]像素電極18由第2透明電極膜24形成,在被柵極配線19和源極配線20包圍的區(qū)域中整體上在俯視時(shí)呈縱長(zhǎng)的方形狀(矩形狀),并且通過(guò)設(shè)置多個(gè)未圖示的狹縫而形成為大致梳齒狀。該像素電極18,如圖4所示,形成在第2層間絕緣膜41上,第2層間絕緣膜41介于像素電極18與后述的共用電極22之間。像素電極18通過(guò)在第I層間絕緣膜39、有機(jī)絕緣膜40和第2層間絕緣膜41中形成的接觸孔CH與TFT 17的漏極電極17c連接,因此,通過(guò)驅(qū)動(dòng)TFT 17能夠?qū)ο袼仉姌O18施加規(guī)定的電位。共用電極22由第I透明電極膜23形成,為遍及陣列基板Ilb的顯示部AA的大致整個(gè)面的所謂整面狀的圖案。共用電極22形成在有機(jī)絕緣膜40上。從后述的共用配線(靜電釋放配線部)25對(duì)共用電極22施加共用電位(基準(zhǔn)電位),因此,通過(guò)如上所述利用TFT 17來(lái)控制對(duì)像素電極18施加的電位,能夠使兩電極18、22間產(chǎn)生規(guī)定的電位差。當(dāng)在兩電極18、22間產(chǎn)生電位差時(shí),液晶層Ilc被施加邊緣電場(chǎng)(傾斜電場(chǎng)),該邊緣電場(chǎng)除了包括由于像素電極18的狹縫而沿陣列基板Ilb的板面的成分以外,還包括相對(duì)于陣列基板Ilb的板面的法線方向的成分,因此,除了能夠適當(dāng)?shù)厍袚Q液晶層Ilc中包含的液晶分子中存在于狹縫的液晶分子的取向狀態(tài)以外,還能夠適當(dāng)?shù)厍袚Q存在于像素電極18上的液晶分子的取向狀態(tài)。而且,液晶面板11的開(kāi)口率變高從而能夠得到充分的透射光量,并且能夠得到高視野角性能。此外,在陣列基板Ilb也能夠設(shè)置與柵極配線19并行并且橫穿像素電極18、且隔著柵極絕緣膜35、保護(hù)膜37、第I層間絕緣膜39、有機(jī)絕緣膜40以及第2層間絕緣膜41重疊的電容配線(未圖示)O
[0066]接著,對(duì)CF基板Ila的顯示部AA內(nèi)存在的結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。如圖3所示,CF基板Ila設(shè)置有彩色濾光片llh,該彩色濾光片Ilh中,R(紅色)、G(綠色)、B(藍(lán)色)等的各著色部以在俯視時(shí)與陣列基板Ilb側(cè)的各像素電極18重疊的方式呈矩陣狀并列配置有多個(gè)。在構(gòu)成彩色濾光片Ilh的各著色部之間,形成有用于防止混色的大致格子狀的遮光層(黑矩陣)lli。遮光層Ili以在俯視時(shí)與上述柵極配線19和源極配線20重疊的方式配置。在彩色濾光片Ilh和遮光層Ili的表面設(shè)置有取向膜lid。此外,在該液晶面板11中,由R(紅色)、G (綠色)、B (藍(lán)色)的3色的著色部和與它們相對(duì)的3個(gè)像素電極18的組構(gòu)成作為顯示單位的I個(gè)顯示像素。顯示像素包括具有R的著色部的紅色像素、具有G的著色部的綠色像素和具有B的著色部的藍(lán)色像素。這些各色的像素,在液晶面板11的板面上沿行方向(X軸方向)重復(fù)排列配置,由此構(gòu)成像素組,該像素組沿列方向(Y軸方向)排列配置有多個(gè)。
[0067]接著,對(duì)陣列基板Ilb的非顯示部NAA內(nèi)存在的結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。在陣列基板Ilb的非顯示部NAA,如圖5所示,以包圍顯示部AA的方式設(shè)置有呈環(huán)狀(框狀、圈狀)的共用配線25。該共用配線25通過(guò)未圖示的接觸部位與共用電極22連接,由此,能夠?qū)灿秒姌O22施加從驅(qū)動(dòng)器21供給的共用電位。在陣列基板Ilb的非顯示部NAA中,在與顯示部AA的短邊部相鄰的位置設(shè)置有列控制電路部27,而在與顯示部AA的長(zhǎng)邊部相鄰的位置設(shè)置有靜電保護(hù)電路部26和行控制電路部28。列控制電路部27和行控制電路部28能夠進(jìn)行用于將來(lái)自驅(qū)動(dòng)器21的輸出信號(hào)供給到TFT 17的控制。靜電保護(hù)電路部26能夠保護(hù)顯示部AA的TFT 17免受靜電破壞。靜電保護(hù)電路部26、列控制電路部27和行控制電路部28,以與TFT 17相同的包含銦(In)、鎵(Ga)和鋅(Zn)的氧化物薄膜(半導(dǎo)體膜36)為基底在陣列基板Ilb上形成為單片(monolithic),由此,具有用于控制向用TFT 17的輸出信號(hào)的供給的控制電路和靜電保護(hù)電路(后述的二極管29、30)。這些共用配線25、靜電保護(hù)電路部26、列控制電路部27和行控制電路部28,在陣列基板Ilb的制造工序中對(duì)TFT17等進(jìn)行圖案化時(shí)利用已知的光刻法同時(shí)在陣列基板Ilb上圖案化。
[0068]其中,列控制電路部27,如圖5所示,配置在與顯示部AA的圖5所示的下側(cè)的短邊部相鄰的位置,換言之在Y軸方向上配置在顯示部AA與驅(qū)動(dòng)器21之間的位置,形成為沿X軸方向延伸的橫長(zhǎng)的方形狀的范圍。該列控制電路部27具有與在顯示部AA配置的源極配線20連接,并且將來(lái)自驅(qū)動(dòng)器21的輸出信號(hào)中包含的圖像信號(hào)分配到各源極配線20的開(kāi)關(guān)電路(RGB開(kāi)關(guān)電路)。具體而言,源極配線20在陣列基板Ilb的顯示部AA中沿X軸方向并列配置有多根,并且分別與形成R(紅色)、G(綠色)、B (藍(lán)色)的各色的像素的各TFT 17連接,而列控制電路部27通過(guò)開(kāi)關(guān)電路將來(lái)自驅(qū)動(dòng)器21的圖像信號(hào)分配并供給到R、G、B的各源極配線20。另外,列控制電路部27也能夠包括電平移位電路(level-shiftercircuit)等附屬電路。
[0069]與此相對(duì),行控制電路部28,如圖5所示,配置于在與顯示部AA的圖5所示的左側(cè)的長(zhǎng)邊部之間夾著靜電保護(hù)電路部26的位置,形成為沿Y軸方向延伸的縱長(zhǎng)的范圍。行控制電路部28具有與在顯示部AA配置的柵極配線19連接,并且將來(lái)自驅(qū)動(dòng)器21的輸出信號(hào)中包含的控制信號(hào)在規(guī)定的時(shí)刻供給到各柵極配線19從而依次掃描各柵極配線19的掃描電路。具體而言,柵極配線19在陣列基板Ilb的顯示部AA中沿Y軸方向并列配置有多根,而行控制電路部28通過(guò)掃描電路將來(lái)自驅(qū)動(dòng)器21的控制信號(hào)(掃描信號(hào))從顯示部AA的圖5所示的上端位置的柵極配線19依次供給至下端位置的柵極配線19,由此進(jìn)行柵極配線19的掃描。另外,行控制電路部28也能夠包括電平移位電路、
當(dāng)前第2頁(yè)1 2 3 4 5 6 
網(wǎng)友詢問(wèn)留言 已有0條留言
  • 還沒(méi)有人留言評(píng)論。精彩留言會(huì)獲得點(diǎn)贊!
1