本發(fā)明涉及噴墨頭及噴墨記錄裝置。

背景技術：

按需型噴墨記錄方式是根據圖像信號從噴嘴吐出墨滴，并由墨滴在記錄紙上形成圖像的方式。按需型噴墨記錄方式包括發(fā)熱元件型和壓電元件型。

在發(fā)熱元件型中，油墨的流路中的發(fā)熱體使油墨中產生氣泡。被氣泡按壓的墨滴從噴嘴吐出。另一方面，在壓電元件型中，通過作為致動器的壓電元件(piezoelectricelement)變形，使收容在油墨室內的油墨產生壓力變化。由此，被加壓的墨滴從噴嘴吐出。

作為壓電元件型的一例的噴墨頭具備多個噴嘴、和對應于噴嘴的各自的多個致動器。致動器具有壓電元件、和對壓電元件施加電壓的公共電極及單獨電極。公共電極和單獨電極經由各個導體圖案而與驅動電路電連接。若從驅動電路經由公共電極和單獨電極而對壓電元件施加驅動電壓，則壓電元件變形。由此，供給到油墨壓力室的油墨被加壓。被加壓的油墨的一部分成為墨滴而從噴嘴吐出。

技術實現要素：

發(fā)明要解決的技術問題

在具有多個驅動元件的噴墨頭中，在是具有公共電極的構造情況下，該公共電極與用于施加電壓的外部元件的連接端子僅配置在噴墨頭主體的端部。根據這種構成，隨著噴墨頭主體的尺寸變大，使公共電極的連接端子與驅動元件之間的最長距離變長。因此，可能因布線電阻而產生電壓變動，導致對各驅動元件的驅動造成影響。

另外，由于公共電極的連接端子與驅動元件之間的最長距離與最短距離之差較大，可能使各驅動元件之間的電壓變動之差增大、各驅動元件的驅動的穩(wěn)定性降低。此外，在公共電極的連接端子僅配置在噴墨頭主體的端部的情況下，由于發(fā)生電流集中，而擔憂引起短路、布線破損等不良情況。

本實施方式提供一種能夠縮短公共電極的連接端子與驅動元件之間的最長距離，并能夠通過穩(wěn)定地驅動各驅動元件來提高穩(wěn)定性的噴墨頭及噴墨記錄裝置。

用于解決技術問題的技術方案

一實施方式涉及的噴墨頭，包括：噴嘴板，形成有多個噴嘴；以及多個致動器，與所述噴嘴各自對應，所述噴嘴板具有與多個所述致動器連接并向所述致動器施加電壓的公共電極、和用于向各個所述致動器施加電壓的單獨電極，多個所述致動器被分成多個組，對各個所述組分別配設所述單獨電極和所述公共電極，在所述噴嘴板的端部設置有并排設置部，與所述單獨電極連接的多個所述單獨電極的連接端子并排設置于所述并排設置部，所述公共電極的連接端子分別配置在所述單獨電極的連接端子之間、和所述單獨電極的連接端子的并排設置部的外側部分。

一實施方式涉及的一種噴墨記錄裝置，具有所述的噴墨頭。

附圖說明

圖1是示出第一實施方式涉及的噴墨打印機的整體的概要結構的縱截面圖。

圖2是示出第一實施方式涉及的噴墨頭的主要部分構成的俯視圖。

圖3是示出第一實施方式涉及的噴墨頭的單獨電極與單獨電極的連接端子的連接狀態(tài)的主要部分的縱截面圖。

圖4是示出第一實施方式涉及的噴墨頭的公共電極與公共電極的連接端子的連接狀態(tài)的主要部分的縱截面圖。

具體實施方式

(構成)

以下，參照圖1至圖4，對第一實施方式進行說明。另外，在能夠進行多種描述的各個成分上有時會附加一種以上的其它描述實例。但是，這并非否定對未附加其它描述的成分采用不同的描述，也并非限制未例示的其它描述。此外，各附圖概要地示出了實施方式，附圖示出的各成分的尺寸有時與實施方式的說明不同。

圖1是示出第一實施方式涉及的噴墨打印機1的整體的概要結構的縱截面圖。噴墨打印機1是噴墨記錄裝置的一個例子。另外，噴墨記錄裝置并非限于此，也可以是復印機這樣的其它裝置。

如圖1所示，噴墨打印機1例如邊輸送作為記錄介質的記錄紙p邊進行圖像形成等各種處理。噴墨打印機1具備殼體10、供紙盒11、排紙托盤12、保持輥(鼓)13、輸送裝置14、保持裝置15、圖像形成裝置16、除電剝離裝置17、翻轉裝置18、和清潔裝置19。

供紙盒11配置在殼體10內，收容多張記錄紙p。排紙托盤12位于殼體10的上部。通過噴墨打印機1而被形成了圖像的記錄紙p排出到排紙托盤12。

輸送裝置14具有沿著輸送記錄紙p的路徑而配置的多個引導器和多個輸送輥。該輸送輥被電機驅動而旋轉，將記錄紙p從供紙盒11輸送到排紙托盤12。

保持輥13具有由導體形成的圓筒狀的框架、和形成于該框架的表面的薄的絕緣層。上述框架接地(接地線)。保持輥13通過以在其表面上保持記錄紙p的狀態(tài)而旋轉，輸送記錄紙p。

保持裝置15使通過輸送裝置14從供紙盒11輸送出的記錄紙p吸附于保持輥13的表面(外周面)而保持。保持裝置15向保持輥13按壓記錄紙p之后，通過帶電的靜電力使記錄紙p吸附在保持輥13上。

圖像形成裝置16在被保持裝置15保持在保持輥13的外表面的記錄紙p上形成圖像。圖像形成裝置16具有面向保持輥13的表面的多個噴墨頭21。多個噴墨頭21通過例如分別向記錄紙p吐出青色、品紅色、黃色、黑色這四色油墨來形成圖像。

除電剝離裝置17通過對形成有圖像的記錄紙p除電，使其從保持輥13剝離。除電剝離裝置17供給電荷而對記錄紙p除電，并在記錄紙p與保持輥13之間插入爪。由此，記錄紙p從保持輥13剝離。從保持輥13剝離的記錄紙p通過輸送裝置14被輸送到排紙托盤12或翻轉裝置18。

清潔裝置19清潔保持輥13。清潔裝置19位于在保持輥13的旋轉方向上比除電剝離裝置17更靠下游。清潔裝置19使清潔部件19a抵接于旋轉的保持輥13的表面，從而將旋轉的保持輥13的表面洗凈。

翻轉裝置18使從保持輥13剝離的記錄紙p的正反面翻轉，并將該記錄紙p再次供給保持輥13的表面上。翻轉裝置18通過例如使記錄紙p沿著前后逆向轉回的規(guī)定的翻轉路徑來輸送記錄紙p，從而使記錄紙p翻轉。

圖2是示出噴墨頭21的主要部分構成的俯視圖。圖3是示出噴墨頭21的單獨電極(下部電極部106c)與單獨電極的連接端子的連接狀態(tài)的主要部分的縱截面圖。圖4是示出噴墨頭21的公共電極(上部電極部107c)與公共電極的連接端子的連接狀態(tài)的主要部分的縱截面圖。另外，圖2、圖3和圖4為了方便說明，以實線示出原本隱藏的各種成分。

噴墨打印機1具備與多個噴墨頭21連接的未圖示的多個油墨罐及多個控制部。噴墨頭21與收容對應于顏色的油墨的油墨罐連接。

噴墨頭21通過向被保持輥13保持的記錄紙p吐出墨滴來形成文字和圖像。如圖3、圖4所示，噴墨頭21具備噴嘴板100、壓力室構造體200、油墨流路構造體400。壓力室構造體200是基體的一個例子。

噴嘴板100形成矩形的板狀。噴嘴板100在壓力室構造體200上以一體構造的方式而形成。噴嘴板100具有多個噴嘴(噴孔、油墨吐出孔)101、多個驅動元件(壓電元件、致動器)102。

多個噴嘴101是圓形的孔。噴嘴101的直徑是例如20μm。如圖2所示，多個噴嘴101分別沿噴嘴板100的長度方向(圖2中是上下方向)及寬度方向(圖2中是左右方向)排成多列。一列的噴嘴101與另一列的噴嘴101在噴嘴板100的長度方向上以具有一定的間隔的方式而配置。由此，能夠更高密度地配置多個驅動元件102。

在噴嘴板100的長度方向上，相鄰的噴嘴101的中心距離是例如340μm。在噴嘴板100的寬度方向(圖2中是左右方向)上，噴嘴101的兩列之間的距離是例如240μm。

多個驅動元件102對應于多個噴嘴101而配置。換言之，驅動元件102與對應的噴嘴101位于同一個軸上。驅動元件102形成呈圓環(huán)狀，包圍對應的噴嘴101。驅動元件102并不限于此，例如，也可以是一部分開放的圓環(huán)狀(c字狀)。

壓力室構造體200利用硅晶片而形成矩形的板狀。另外，壓力室構造體200并不限于此，例如，也可以是碳化硅(sic)、鍺基板這樣的其它的半導體。此外，基體并不限于此，也可以利用陶瓷、玻璃、石英、樹脂、或金屬這樣的其它材料形成。利用的陶瓷是例如氧化鋁陶瓷、氧化鋯、碳化硅、氮化硅、或鈦酸鋇這樣的氮化物、碳化物、或氧化物。利用的樹脂是例如abs(丙烯腈-丁二烯-苯乙烯)、聚縮醛、聚酰胺、聚碳酸酯、或聚醚砜這樣的塑料材料。利用的金屬是例如鋁或鈦。壓力室構造體200的厚度是例如725μm。壓力室構造體200的厚度在例如100μm～775μm的范圍內。

如圖3和圖4所示，壓力室構造體200具有第一面200a、第二面200b和多個壓力室(油墨室)201。第一面200a和第二面200b被平坦化。第二面200b位于第一面200a的相反側。噴嘴板100粘著在第一面200a上。

多個壓力室201具有圓形的孔。壓力室201的直徑是例如190μm。另外，壓力室201的形狀未限于此。壓力室201在壓力室構造體200的厚度方向上貫通壓力室構造體200，并分別向第一面200a和第二面200b開口。向第一面200a開口的多個壓力室201被噴嘴板100封閉。

多個壓力室201對應于多個噴嘴101而配置。換言之，壓力室201與對應的噴嘴101位于同一個軸上。因此，壓力室201與對應的噴嘴101連通。壓力室201經由噴嘴101而與噴墨頭21的外部接通。

油墨流路構造體400例如利用不銹鋼使而形成呈矩形的板狀。油墨流路構造體400的厚度是例如4mm。另外，油墨流路構造體400的材料不 限于不銹鋼。例如，也可以利用陶瓷或樹脂這樣的其它材料形成。使用的陶瓷是例如氧化鋁陶瓷、氧化鋯、碳化硅、氮化硅這樣的氮化物、碳化物、或氧化物。使用的樹脂是例如abs、聚縮醛、聚酰胺、聚碳酸酯、或聚醚砜這樣的塑料材料。油墨流路構造體400的材料是考慮到與噴嘴板100之間的膨脹系數的差而選擇的，使得對用于吐出油墨的壓力的產生不會發(fā)生影響。

油墨流路構造體400通過例如環(huán)氧系粘著劑而與壓力室構造體200粘著。油墨流路構造體400具有油墨流路401、未圖示的油墨供給口、和油墨排出口。

油墨流路401是在油墨流路構造體400的表面形成的槽。油墨流路401的深度是例如2mm。油墨供給口向油墨流路的一個端部開口。油墨供給口例如經由管與油墨罐連接。油墨罐經由油墨流路401與多個壓力室201連接。

油墨罐的油墨通過油墨供給口流入油墨流路401。供給到油墨流路401的油墨被供給多個壓力室201。填充在壓力室201的油墨也流入向壓力室201開口的噴嘴101內。噴墨打印機1通過將油墨的壓力保持在適當的負壓而使油墨留在噴嘴101內。油墨在使噴嘴101內產生彎月面的同時，被保持著以免從噴嘴101漏出。

油墨排出口向油墨流路401的另一個端部開口。油墨排出口例如通過管與油墨罐連接。未流入壓力室201的油墨流路401的油墨通過油墨排出口被排出至油墨罐。如此，油墨在油墨罐與油墨流路401之間循環(huán)。通過油墨的循環(huán)，噴墨頭21和油墨的溫度保持恒定，可以抑制例如由于熱而導致的油墨的變質。

接下來，對噴嘴板100進行詳細說明。如圖3和圖4所示，噴嘴板100具有上述噴嘴101及驅動元件102、振動板104、絕緣膜105、下部電極 106、上部電極107、保護膜108、排斥油墨膜109。絕緣膜105及保護膜108是絕緣部的一個例子。

振動板104通過例如在壓力室構造體200的第一面200a上成膜的sio2(二氧化硅)而形成的呈矩形的板狀。換言之，振動板104是作為硅晶片的壓力室構造體200的氧化膜。振動板104也可以由單結晶si(硅)、al2o3(氧化鋁)、hfo2(氧化鉿)、zro2(氧化鋯)、或dlc(diamondlikecarbon)這樣的其它材料形成。振動板104的厚度是例如4μm。振動板104的厚度大約在1μm～50μm的范圍內。

振動板104具有第一面104a、和第二面104b。第一面104a粘著在壓力室構造體200上，封閉多個壓力室201。第二面104b位于第一面104a的相反側。

下部電極106形成在振動板104的第二面104b上。如圖2和圖3所示，下部電極106分別具有布線部106a、單獨連接端子部106b、與壓電膜111連接的下部電極部(單獨電極)106c。下部電極106的端子部106b位于振動板104的寬度方向的一個端部，具有沿振動板104的長度方向排列的并排設置部106f。

如圖2和圖4所示，上部電極107具有布線部107a、共同連接端子部107b、與壓電膜111連接的上部電極(公共電極)107c。端子部107b位于振動板104的寬度方向的一個端部，并位于沿振動板104的長度方向配置的端子部106b的并排設置部106f之間以及兩個端部。

下部電極106是例如pt(鉑)及al(鋁)的薄膜。上部電極107的布線部107a及端子部107b是例如ti(鈦)及al(鋁)的薄膜。另外，下部電極106和上部電極107也可以由ni(鎳)、cu(銅)、al(鋁)、ag(銀)、ti(鈦)、w(鎢)、mo(鉬)、au(銅)這樣的其它材料形成。

下部電極106和上部電極107的厚度例如是0.5μm。下部電極106和上部電極107的膜厚在大約0.01μm～1μm的范圍內。下部電極106的布線部106a及上部電極107的布線部107a的寬度例如是10μm。

如圖3和圖4所示，驅動元件102由與壓電膜111連接的下部電極部106c、壓電膜111、與壓電膜111連接的上部電極107c構成，位于振動板104的第二面104b。驅動元件102使用于從對應的噴嘴101吐出油墨滴的壓力發(fā)生在對應的壓力室201的油墨上。

與下部電極106的壓電膜111連接的電極部106c位于振動板104的第二面104b。電極部106c形成包圍噴嘴101的圓環(huán)狀。電極部106c與噴嘴101位于同一軸上。電極部106c的外徑例如是133μm。電極部106c的內徑例如是30μm。因此，電極部106c中，從噴嘴101分開的電極部106c中的一部分具有與壓電膜111不連接的部分106d，通過與布線部106a的連接確保導通。

下部電極106的布線部106a與對應的驅動元件102的電極部106c和端子部106b連接。布線部106a通過在噴嘴板100的寬度方向、噴嘴板100的長度方向上相鄰的驅動元件102之間并延伸。

如圖3和圖4所示，壓電膜111在包圍噴嘴101的同時，并形成與下部電極106的電極部106c大小大致相同的圓環(huán)狀。壓電膜111形成為比下部電極106的電極部106c略小，但也可以比電極部106c大。壓電膜111與噴嘴101位于同一個軸上。壓電膜111覆蓋下部電極106的電極部106c。

壓電膜111是作為壓電性材料的鈦酸鋯石酸鉛(pzt)的膜。另外，壓電膜111并不限于此，例如，也可以利用pto(pbtio3：鈦酸鉛)、pmnt(pb(mg1/3nb2/3)o3-pbtio3)、pznt(pb(zn1/3nb2/3)o3-pbtio3)、zno、以及aln這樣的各種的壓電性材料而形成。

壓電膜111的厚度例如是2μm。壓電膜的厚度例如由壓電特性及絕緣破壞電壓決定。壓電膜的厚度在大約0.1μm至5μm的范圍內。

壓電膜111在其厚度方向上產生極化。當與該極化的方向相同方向的電場施加到壓電膜111時，壓電膜111在與該電場的方向垂直的方向上伸縮。換言之，壓電膜111在相對于膜厚垂直的方向(面內方向)上收縮或伸長。

另外，作為壓電膜111，在使用pzt這種強電介質的情況下，通過施加與極化方向相反的電場而產生極化翻轉。因此，實質上能夠僅在與極化方向相同的方向上施加電場，通過施加電場，從而壓電膜111在膜厚方向上伸長，并在垂直于膜厚方向(面內方向)上收縮。

上部電極107的電極部107c在包圍噴嘴101的同時，并形成與下部電極106的電極部106c及壓電膜111大小大致相同的圓環(huán)狀。上部電極107的電極部107c形成為比壓電膜111略小，但也可以比壓電膜111大。電極部107c與噴嘴101位于同一個軸上。電極部107c覆蓋壓電膜111。換言之，電極部107c設置在壓電膜111的吐出一側(朝向噴墨頭21的外部的一側)。

壓電膜111介于下部電極106的電極部106c、上部電極107的電極部107c之間。換言之，下部電極106的電極部106c及上部電極107的電極部107c重疊在壓電膜111上。壓電膜111在兩個電極部106c、107c之間絕緣。上部電極107的電極部107c經由壓電膜111與下部電極106的電極部106c相對。

上部電極107的電極部107c形成驅動電極102的外表面102a。外表面102a是朝向振動板104的相反一側的驅動元件102的一個面。換言之，外表面102a朝向驅動元件102的吐出一側。外表面102a是與振動板104的第二面104b大致平行的一個面。

絕緣膜105覆蓋振動板104的第二面104b、驅動元件102的表面和下部電極106的布線部106a。絕緣膜105具有使下部電極106的端子部106b露出的多個孔105b。

絕緣膜105例如由sio2形成。絕緣膜105也可以由例如sin(氮化硅)這樣的其它材料形成。絕緣膜105在振動板104的第二面104b、驅動元件102的表面、下部電極106的下部電極部106c的上面，具有大致均勻的厚度。絕緣膜105的厚度是1μm。絕緣膜105的厚度優(yōu)選大致在0.1μm至5μm的范圍內。另外，絕緣膜105的厚度可以部分的不同。

絕緣膜105具有多個觸點部113。觸點部113是設置在位于對應的驅動元件102的外表面102a上的絕緣膜105的一部分上的孔105c。觸點部113形成例如直徑20μm的圓形。觸點部113的孔105b使不與壓電膜111接觸的部分107d的一部分露出。另外，觸點部113的孔105c使上部電極107的電極部107c的一部分露出。觸點部113的孔105c配置為比圓環(huán)狀的電極部107c的內周和外周之間的中心更靠近電極部107c的外周。

如圖4所示，上部電極107的共同連接端子部107b和布線部107a在絕緣膜105的表面105a。換言之，上部電極107的端子部107b和布線部107a在絕緣膜105上。絕緣膜105的表面105a朝向振動板104的相反方向。

如圖3和圖4所示，上部電極107的布線部107a將對應的驅動元件102的電極部107c與共同連接端子部107b相連。布線部107a在噴嘴板100的寬度方向上延伸。

如圖2所示，布線部107a在噴嘴板100的寬度方向的中心附近合為一體，沿噴嘴板100的長度方向形成延伸部分。因此，共同連接端子部107b與8個電極部107c通過布線部107a而連接。另一方面，將與在寬度方向端部的驅動元件102連接，并周期性地被從噴嘴板100的端部側拉出的布 線部107a配置為與共同連接端子部107b相連，以使各驅動元件102與共同連接端子部107b的距離變短。

如圖4所示，上部電極107的布線部107a通過覆蓋驅動元件102的絕緣膜105的表面105a。布線部107a的一個端部通過觸點部113與上部電極107的電極部107c連接。換言之，由于布線部107a與電極部107c連接，因此，觸點部113是絕緣膜105被部分去除的部分。

絕緣膜105將上部電極107的布線部107a和下部電極106的電極部106c之間隔開。絕緣膜105防止下部電極106與上部電極107電連接。

保護膜108在振動板104的第二面104b上。保護膜108例如由東麗株式會社的photoneece(注冊商標)這樣的感光性聚酰亞胺形成。即，保護膜108與絕緣膜105不同，且由具有絕緣性的材料形成。保護膜108并不限于此，也可以由樹脂或陶瓷這樣的其它絕緣性材料形成。利用的樹脂例如是其它種類的聚酰亞胺、abs、聚縮醛、聚酰胺、聚碳酸酯、聚醚砜這樣的塑料材料。利用的陶瓷例如是氧化鋯、碳化硅、氮化硅、鈦酸鋇等氮化物、或氧化物。而且，如果保護膜108具有與驅動元件102和上部電極107的絕緣性也可以由金屬材料形成。該金屬材料例如是鋁、sus、或鈦。

保護膜108的材料需考慮耐熱性、絕緣性、熱膨脹系數、平滑性、對油墨的潤濕性來選擇。在噴墨打印機1使用導電率高的油墨的情況下，該材料的絕緣性能夠影響驅動元件102驅動時的油墨的變質程度。

保護膜108覆蓋振動板104的第二面104b、絕緣膜105的表面105a、和上部電極107的布線部107a。換言之，保護膜108從絕緣膜105的上方覆蓋驅動元件102及下部電極106的布線部106a。保護膜108保護驅動元件102、下部電極106及上部電極107免于接觸油墨及空氣中的水分。保 護膜108具有使下部電極106及上部電極107的多個端子部106b、107b分別露出的多個孔。

保護膜108的材料與振動板104的材料楊氏模量不同。形成振動板104的sio2的楊氏模量是80.6gpa。另一方面，形成保護膜108的聚酰亞胺的楊氏模量是4gpa。即，保護膜108的楊氏模量比振動板104的楊氏模量小。

保護膜108形成大致平滑的表面108a，但具有微小的凹凸。例如，在設置有驅動元件102的部分，保護膜108的表面108a比其它部分隆起。保護膜108的表面108a位于粘著于振動板104的面的相反側。

除了具有驅動元件102、下部電極106及上部電極107的部分以外的保護膜108，其厚度大約是4μm。保護膜108的膜厚在大約1μm至50μm的范圍內。該保護膜108的厚度是從振動板104的第二面104b至保護膜108的表面108a為止的距離。驅動元件102上形成的保護膜108的厚度大約是2.5μm。該保護膜108的厚度是從在驅動元件102上的絕緣膜105的表面105a至保護膜108的表面108a為止的距離。

排斥油墨膜109覆蓋保護膜108、和絕緣膜105的一部分。排斥油墨膜109由例如旭硝子株式會社的cytop(注冊商標)這樣的具有排液性的硅類排液材料或含氟類有機材料形成。另外，排斥油墨膜109也可以由其他材料形成。

在下部電極106的端子部106b和上部電極107的端子部107b的周邊，排斥油墨膜109不覆蓋保護膜108而使其露出。排斥油墨膜109的表面109a形成噴嘴板100的表面。排斥油墨膜109的表面109a位于與保護膜108粘著的面的相反側。

具有驅動元件102、上部電極107及下部電極106的部分以外的排斥油墨膜109的厚度例如是1μm。排斥油墨膜109的厚度優(yōu)選為例如在0.01μm至10μm的范圍內。設置有驅動元件102的部分的排斥油墨膜109的厚度比其它部分薄。另外，排斥油墨膜109的厚度也可以是一定的。

當噴嘴101吐出的油墨滴附著在噴嘴101附近時，就有可能降低油墨吐出的穩(wěn)定性。排斥油墨膜109抑制油墨滴附著在噴嘴板100的表面。

噴嘴101貫穿振動板104、保護膜108和排斥油墨膜109。換言之，噴嘴101由振動板104、保護膜108、和排斥油墨膜109形成。振動板104和保護膜108具有親油墨性(親液性)，因此，收容在壓力室201中的油墨的彎月面被保持在噴嘴101內。保護膜108的一部分介于噴嘴101和驅動元件102的內周面之間。

未圖示的控制部通過例如柔性電纜與下部電極106的端子部106c連接?？刂撇渴抢缈刂茋娔^21的ic、控制噴墨打印機1的微型計算機。另一方面，上部電極107的端子部107b例如與gnd(接地＝0v)連接。

控制部對下部電極106傳送用于驅動對應的驅動元件102的信號。下部電極106作為使多個驅動元件102獨立地動作的單獨電極使用。

上述噴墨頭21例如進行如下所示的打印(圖像形成)。通過用戶的操作，打印指示信號被輸入控制部?？刂撇炕谠摯蛴≈甘荆瑢Χ鄠€驅動元件102施加信號。換言之，控制部對下部電極106的電極部106c施加驅動電壓。

信號被施加到下部電極106的電極部106c后，在下部電極106的電極部106c、上部電極107的電極部107c之間產生電位差。由此，壓電膜111被施加與極化方向同方向的電場，驅動元件102在與電場方向垂直的方向上伸縮。

在這種噴嘴板100上，當驅動元件102在與電場方向垂直的方向延伸的情況下,振動板104以使壓力室201的容積縮小的方式彎曲。相反，當驅動元件102在與電場方向垂直的方向收縮的情況下，振動板104以使壓力室201的容積擴大的方式彎曲。這時，絕緣膜105及保護膜108阻礙該彎曲。

詳細而言，如圖3和圖4所示，驅動元件102被夾在振動板104與絕緣膜105及保護膜108之間。因此，當驅動元件102在與電場方向垂直的方向伸長的情況下，振動板104受到對壓力室201一側使其變形而成凹形狀的力。換言之，振動板104會在使壓力室201的容積增大的方向上彎曲。相反，絕緣膜105及保護膜108受到一種對壓力室201一側使其變形而成凸形狀的力。換言之，絕緣膜105及保護膜108會在使壓力室201的容積減少的方向上彎曲。

另一方面，當驅動元件102在與電場方向垂直的方向收縮時，振動板104受到一種對壓力室201一側使其變形而成凸形狀的力。換言之，振動板104會在使壓力室201的容積減小的方向上彎曲。而且，絕緣膜105及保護膜108受到一種對壓力室201一側使其變形而成凹形狀的力。換言之，絕緣膜105及保護膜108會在使壓力室201的容積增大的方向上彎曲。

如上所述，振動板104與絕緣膜105及保護膜108會在彼此相反的方向上彎曲。即，由絕緣膜105及保護膜108形成的絕緣部會使驅動元件102產生阻礙振動板104的變形的力(膜應力)。

部件的變形量會影響楊氏模量及該部件的厚度。形成保護膜108的聚酰亞胺的楊氏模量比形成振動板104的sio2的小。因此，相比振動板104，保護膜108相對于相同的力的變形量更大。而且，絕緣膜105比振動板104更薄。因此，相比振動板104，絕緣膜105相對于相同的力的變形量更大。

如上所述，驅動元件102通過彎曲模式(彎曲振動)而動作。驅動元件102被施加電壓時，通過使振動板104變形，而使壓力室201的容積變化。

首先，驅動元件102通過使振動板104變形而使壓力室201的容積增大。由此，對收容在壓力室201中的油墨產生負壓，油墨從油墨流路401流入壓力室201中。

接下來，驅動元件102通過使振動板104變形而使壓力室201的容積減小。由此，壓力室201的油墨被加壓。施加在該油墨上的正的壓力不會釋放到油墨流路401，而被封閉在壓力室201中。由此，從噴嘴101中吐出被加壓的油墨。

振動板104與保護膜108的楊氏模量的差越大，使油墨吐出成為可能的電壓就越低，從而噴墨頭21能夠更有效地吐出油墨。而且，由絕緣膜105及保護膜108所形成的絕緣部與振動板104的厚度的差越大，可使油墨吐出的電壓就越低，從而噴墨頭21能夠更有效地吐出油墨。

接下來，對噴墨頭21的制造方法的一個例子進行說明。首先，對壓力室201形成前的壓力室構造體200(硅晶片)的第一面200a的整個區(qū)域形成sio2膜作為振動板104。該sio2膜通過例如熱氧化膜法而成膜。另外，sio2膜也可以通過cvd法這樣的其它方法而成膜。

形成壓力室構造體200的硅晶片是一塊大的圓板。之后，可以從該硅晶片切取多個壓力室構造體200。另外，并不限于此，也可以由一塊矩形的硅晶片形成一個壓力室構造體200。

在噴墨頭21的制造過程中，上述硅晶片被進行反復加熱及薄膜的成膜。因此，上述硅晶片具有耐熱性，符合semi(semiconductorequipmentandmaterialsinternational)標準，且通過鏡面研磨而被平滑化。

接下來，在振動板104的第二面104b，對形成下部電極106的金屬膜進行成膜。首先，使用濺射法，按順序對ti的膜和pt的膜進行成膜。pt的膜厚例如是0.45μm，ti的膜厚例如是0.05μm。另外，該金屬膜也可以通過蒸鍍及鍍金這樣的其它方法形成。

接下來，在形成下部電極106的金屬膜上形成壓電膜111。壓電膜111通過例如rf磁控管濺射法來成膜。這時，上述硅晶片的溫度被加熱至例如350℃。壓電膜111成膜后，為了賦予其壓電性，在650℃下對壓電膜111進行3小時的熱處理。由此，壓電膜111可得到良好的結晶性，同時，還能得到良好的壓電性能。壓電膜111也可以通過例如cvd(化學氣相沉積法)、溶膠凝膠法、ad法(氣溶膠沉積法)、水熱合成法這樣的其它制法來形成。

接下來，在壓電膜111上，對形成上部電極107的電極部107c的pt的金屬膜進行成膜。該金屬膜通過例如濺射法成膜。該金屬膜也可以通過真空蒸鍍及鍍金這樣的其它制法來形成。

接下來，通過蝕刻上述金屬膜及壓電膜111，對上部電極107的電極部107c和壓電膜111進行圖案化。圖案化是通過在上述金屬膜上制作蝕刻掩膜，并通過蝕刻除去該蝕刻掩膜以外的上述金屬膜及壓電膜111進行。上述金屬膜及壓電膜111暫時被圖案化。另外，上述金屬膜及壓電膜111也可以被單獨圖案化。蝕刻掩膜通過感光性抗蝕劑的涂敷、預烘、使用形成了所需圖案的掩膜的曝光、顯影、以及后烘烤而形成。

接下來，通過圖案化形成下部電極106。圖案化是通過在壓電膜111及上部電極107的電極部107c、和壓電膜111下的上述金屬膜(pt/ti)上制作蝕刻掩膜，并通過蝕刻除去該蝕刻掩膜以外的上述金屬膜進行。蝕刻掩膜通過感光性抗蝕劑的涂敷、預烘、使用形成了所需圖案的掩膜的曝光、顯影、以及后烘烤而形成。

在下部電極106及上部電極107的電極部106c、107c和壓電膜111的中心形成有噴嘴101。因此，會形成不具有與電極部106c、107c及壓電膜111的中心同心圓的金屬膜及壓電膜111的部分。如上所述，在振動板104的第二面的面104b上形成有驅動元件102。通過圖案化，振動板104從下部電極106的布線部106a、下部電極部106c、及驅動元件102以外露出。

接下來，在振動板104的第二面的面104b、和驅動元件102上形成絕緣膜105。絕緣膜105通過能以低溫成膜的方式實現良好的絕緣性的cvd法形成。絕緣膜105并不限于此，也可以利用濺射法、或蒸鍍這樣的其它方法形成。

絕緣膜105在成膜后被圖案化。為了形成噴嘴101，而形成不具有與驅動元件102的中心為同心圓的絕緣膜105的部分。同時，形成觸點部113。不具有該絕緣膜105的部分，其直徑例如是10μm。圖案化是通過利用蝕刻除去蝕刻掩膜以外的絕緣膜105而進行。蝕刻掩膜通過感光性抗蝕劑的涂敷、預烘、使用形成了所希望圖案的掩膜的曝光、顯影、定影以及后烘烤而形成。

接下來，在絕緣膜105上，對形成下部電極的布線部106a及端子部106b、上部電極107的布線部107a及端子部107b的金屬膜進行成膜。該金屬膜是例如通過濺射法成膜的ti(鈦)/al(鋁)薄膜。ti的膜厚例如是0.1μm，al的膜厚例如是0.4μm。該金屬膜也可以通過真空蒸鍍及鍍金這樣的其它制法來形成。該金屬膜通過觸點部113與下部電極106的電極部106c、上部電極107的電極部107c中的任一個連接。

通過對上述金屬膜進行圖案化，形成下部電極的布線部106a及端子部106b、上部電極107的布線部107a及端子部107b。圖案化是通過在上述金屬膜上制作蝕刻掩膜，并通過蝕刻除去該蝕刻掩膜以外的上述金屬膜 而進行。蝕刻掩膜通過感光性抗蝕劑的涂敷、預烘、使用形成了所需圖案的掩膜的曝光、顯影、以及后烘烤而形成。

接下來，對形成振動板104的sio2膜進行圖案化，從而形成噴嘴101的一部分。圖案化是通過在sio2膜上制作蝕刻掩膜，并通過蝕刻除去蝕刻掩膜以外的sio2膜進行。蝕刻掩膜通過對振動板104上進行感光性抗蝕劑的涂敷、預烘、使用形成了所需圖案的掩膜的曝光、顯影、以及后烘烤而形成。

接下來，通過旋轉涂層法(旋轉涂敷)在振動板104、絕緣膜105、下部電極的布線部106a及端子部106b、上部電極107的布線部107a及端子部107b上形成保護膜108。即，形成覆蓋絕緣膜105的保護膜108。首先，使用含有聚酰亞胺前驅體的溶液覆蓋振動板104的第二面104b及絕緣膜105。接下來，上述硅晶片被旋轉，從而溶液表面變得平滑。通過烘烤進行熱聚合和溶劑去除，形成保護膜108。

保護膜108的形成方法不僅限于旋轉涂層法。保護膜108也可以通過cvd、真空蒸鍍、或鍍金這種其它方法來形成。

通過對保護膜108進行圖案化，形成噴嘴101，并使下部電極106的端子部106b、上部電極107的端子部107b露出。圖案化根據保護膜108的材料按順序進行。

對通過例如東麗株式會社的semicofine(注冊商標)這種非感光性聚酰亞胺而形成保護膜108的情況進行說明。首先，通過旋轉涂層法將含有聚酰亞胺的溶液成膜，并通過烘烤進行熱聚合及溶劑去除，并燒成成形。然后，在非感光性聚酰亞胺膜上制作蝕刻掩膜，通過蝕刻除去蝕刻掩膜以外的聚酰亞胺膜，進行圖案化。蝕刻掩膜通過對非感光性聚酰亞胺膜上的進行感光性抗蝕劑的涂敷、預烘、使用形成了所需圖案的掩膜的曝光、顯影、以及后烘烤而形成。

對通過例如東麗株式會社的photoneece(注冊商標)這種感光性聚酰亞胺形成保護膜108的情況進行說明。首先，通過旋轉涂層法將溶液成膜后，進行預烘。然后，經過使用掩膜的曝光、顯影工序后，進行圖案化。在正型感光性聚酰亞胺的情況下，上述掩膜中的對應于噴嘴101、開口部115、下部電極106的端子部106b及上部電極107的端子部107b的部分開口(光透過)。在負型感光性聚酰亞胺的情況下，上述掩膜中的對應于噴嘴101、開口部(未圖示)、下部電極106的端子部106b及上部電極107的端子部107b的部分被遮光。然后，進行后烘烤，保護膜108即燒成成形。

接下來，在保護膜108上粘貼覆蓋帶。覆蓋帶是例如硅晶片的化學機械研磨(chemicalmecanicalpolishing：cmp)用的背面保護膠帶。使粘貼有覆蓋帶的壓力室構造體200上下翻轉，在壓力室構造體200形成多個壓力室201。壓力室201通過圖案化形成。

圖3和圖4是示出了形成第一實施方式的絕緣性的保護膜的噴墨頭的截面圖。進行硅基板專用的被稱為deep-rie的垂直深掘干蝕刻(例如，參照國際公開第2003/030239號)，對壓力室構造體200進行蝕刻，形成壓力室201。這時，在硅晶片的壓力室構造體200上制作形成有所需圖案的抗蝕劑掩膜，通過這種方式，上述壓力室201被形成所需的圖案?？刮g劑掩膜是通過感光性抗蝕劑的涂敷、預烘、使用形成了所需圖案的掩膜的曝光、顯影、以及后烘烤而形成。

用于上述蝕刻的sf6氣體對振動板104的sio2及保護膜108的聚酰亞胺不具有蝕刻作用。因此，形成壓力室201的上述硅晶片的干蝕刻，在振動板104停止進行。換言之，振動板104作為上述蝕刻的停止層而起作用。

另外，上述蝕刻也可以采用使用藥液的濕蝕刻法、使用等離子的干蝕刻法這樣的各種方法。而且，根據材料不同，也可以改變蝕刻方法和蝕刻條件。

如上所述，從在振動板104上形成驅動元件102及噴嘴101的工序，到在壓力室構造體200形成壓力室201的工序，均通過成膜技術、光刻和蝕刻技術、以及旋轉涂層法進行。因此，可以在一個硅晶片上形成精密且簡便的噴嘴101、驅動元件102、及壓力室201。

接下來，對壓力室構造體200的第二面200b粘著油墨流路構造體400。即，使用環(huán)氧類粘著劑將油墨流路構造體400與壓力室構造體200粘著。

接下來，將覆蓋帶粘貼在保護膜108的一部分上，使得覆蓋下部電極106的端子部106b、和上部電極107的端子部107b。該覆蓋帶由樹脂形成，可容易地從保護膜108脫離。上述覆蓋帶防止污物及排斥油墨膜109附著在下部電極106的端子部106b及上部電極107的端子部107b上。

接下來，在保護膜108上形成排斥油墨膜109。排斥油墨膜109通過旋轉涂層法在保護膜108上使液狀的排斥油墨膜材料而成膜。此時，通過油墨供給口注入正壓式空氣。由此，從與油墨流路401連通的噴嘴101排出正壓式空氣。在此狀態(tài)下，涂敷液體的排斥油墨膜材料后，可以抑制排斥油墨膜材料附著在噴嘴101的內周面上。形成排斥油墨膜109后，將保護膜108從上述覆蓋帶剝離。

接下來，分割上述硅晶片，形成多個噴墨頭21。噴墨頭21裝載在噴墨打印機1的內部?？刂撇拷浻衫缛嵝噪娎|與下部電極106的端子部106b連接。此外，油墨流路構造體400的油墨供給口及油墨排出口例如通過管子與油墨罐連接。

如上所述，本實施方式，是在壓力室構造體200上制作噴嘴板100。然而，也可以不在壓力室構造體200上制作噴嘴板100，而是將壓力室構造體200的一部分作為振動板104。例如，在壓力室構造體200的一個面形成驅動元件102，從其它面一側形成相當于壓力室201的孔。該孔不貫穿壓力室構造體200。在壓力室構造體200的一個面的一側殘留下薄層，該部分作為振動板104而動作。

(作用/效果)

接下來，參照圖2，對上述構成的第一實施方式的作用效果進行說明。根據第一實施方式的噴墨打印機1的噴墨頭21，具備形成有多個噴嘴101的噴嘴板100、和對應于每個噴嘴101的多個驅動元件102。噴嘴板100具有：與多個驅動元件102連接，并對驅動元件102施加電壓的公共電極即上部電極部107c、和用于對每個驅動元件102施加電壓的單獨電極即下部電極106c。而且，在噴嘴板100的端部設置有并排設置部106f，其并排設置有與單獨電極的下部電極部106c連接的多個單獨電極的連接端子即端子部106b。作為上部電極部107c這一公共電極的連接端子，端子部107b位于沿振動板104的長度方向配置的端子部106b的并排設置部106f之間以及兩個端部上。通過這種方式，能夠高頻度地將上部電極107的連接端子部107b向噴嘴板100的端部拉出。因此，相比僅在噴墨頭主體的端部配置上部電極部107c和作為用于施加電壓的外部元件的連接端子的端子部107b的情況，能夠縮短各驅動元件102的上部電極部107c與連接端子部107b的距離。因此，能夠縮短各驅動元件102與上部電極部107c的連接端子部107b的距離，從而能減小布線電阻導致的電壓變動。而且，能夠減小各驅動元件102的上部電極部107c與連接端子部107b之間的最長距離和最短距離的差。由此，各驅動元件102之間的電壓變動差變小，保持驅動的穩(wěn)定性成為可能。此外，由于連接端子部107b被設置為高頻度，因而能避免電流集中，從而可以抑制因短路及布線破損等的發(fā)生而導致的成品率降低。

而且，在本實施方式中，將多個驅動元件102分成多個組，對每個組分別配設了作為單獨電極的下部電極部106c及作為公共電極的上部電極部107c。在這里，如圖2所示，將8個驅動元件102作為一個組，在各驅動元件102的大致中心位置之間配置了上部電極107的布線部107a。在與布線部107a的配置方向垂直的方向上延伸出下部電極106的布線部106a。此處，下部電極106的布線部106a針對下部電極106的端子部106b的并排設置部106f的并排設置方向而配置在各下部電極106的兩側。而且，下部電極106的布線部106a通過與噴嘴板100的長度方向相鄰的另一列驅動元件102之間，被引向端子部106b。通過這種方式，能夠以相同形狀規(guī)則地形成各組驅動元件102，從而能夠簡化噴墨頭21的制造。

另外，在上述實施方式中，示出了將8個驅動元件102作為一個組，使所有組包含的驅動元件102的數目相同的例子，但各組包含的驅動元件102的個數不必一定是相同數，可以改變各組中包含的驅動元件102的數目。這種情況也能夠減小各驅動元件102的上部電極部107c與連接端子部107b之間的最長距離與最短距離的差。因此，通過高頻度地形成上部電極部107c的連接端子部107b，能夠在縮短上部電極部107c的連接端子部107b與驅動元件102之間的最長距離的同時，減小最長距離與最短距離的差，從而能夠減輕對驅動造成的影響。

根據這些實施方式，可以提供一種能縮短公共電極的連接端子與驅動元件之間的最長距離，通過穩(wěn)定地驅動各驅動元件而提高穩(wěn)定性的噴墨頭及噴墨記錄裝置。雖然說明了幾個實施方式，但這些實施方式僅是作為示例而提出的，并非旨在限定發(fā)明的范圍。這些實施方式能夠以其他各種方式進行實施，能夠在不脫離發(fā)明的宗旨的范圍內進行各種省略、替換、變更。這些實施方式及其變形被包括在發(fā)明的范圍和宗旨中，同樣地被包括在權利要求書所記載的發(fā)明及其均等的范圍內。

符號說明

1…噴墨打印機、21…噴墨頭、100…噴嘴板、101…噴嘴、102…驅動元件(致動器)、104…振動板、105…絕緣膜、106…下部電極(單獨電極)、106a…布線部、106b…單獨連接端子部、106c…下部電極部、106f…并排設置部、107…上部電極(公共電極)、107a…布線部、107b…共同連接端子部、107c…上部電極部、108…保護膜、109…排斥油墨膜、111…壓電膜、200…壓力室構造體、201…壓力室。