基板印刷裝置及基板印刷方法
基板印刷裝置及基板印刷方法
【專利摘要】本發(fā)明提供基板印刷裝置及基板印刷方法，該基板印刷裝置具備基板作業(yè)臺(tái)、第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)和控制印刷動(dòng)作的控制部?？刂撇繕?gòu)成為，對(duì)保持于基板作業(yè)臺(tái)的基板由第一印刷臺(tái)的小型元件用掩模進(jìn)行了第一印刷后，由第二印刷臺(tái)的大型元件用掩模進(jìn)行第二印刷。
【專利說明】基板印刷裝置及基板印刷方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及基板印刷裝置及基板印刷方法，特別是涉及對(duì)基板進(jìn)行掩模印刷的基板印刷裝置及基板印刷方法。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，已知有對(duì)基板進(jìn)行掩模印刷的基板印刷裝置。這樣的基板印刷裝置例如在日本特開2006 — 66811號(hào)公報(bào)中公開。
[0003]隨著安裝于印刷基板上的電子元件的小型化，0603尺寸(0.6mmX0.3mm),0402尺寸(0.4mmX 0.2mm)等小型元件(極小元件)和屏蔽元件等大型元件混合地安裝于基板上。在為了安裝這些元件而在基板上印刷焊料等粘性材料時(shí)，粘性材料的適當(dāng)轉(zhuǎn)印量大致根據(jù)元件的尺寸來決定，所以需要以與元件的尺寸對(duì)應(yīng)的轉(zhuǎn)印量來印刷粘性材料。
[0004]在日本特開2006 — 66811號(hào)公報(bào)中，公開了如下技術(shù):使用在一張掩模中增大與大型元件對(duì)應(yīng)的印刷區(qū)域的厚度并減小與小型元件(極小元件)對(duì)應(yīng)的印刷區(qū)域的厚度的掩模(所謂半蝕刻掩模)來進(jìn)行焊料印刷。粘性材料相對(duì)于基板的轉(zhuǎn)印量與掩模的厚度對(duì)應(yīng)，所以通過使用半蝕刻掩模，能夠以與元件尺寸對(duì)應(yīng)的轉(zhuǎn)印量進(jìn)行粘性材料的印刷。但是，在使用日本特開2006 - 66811號(hào)公報(bào)中公開的掩模的情況下，由于在印刷區(qū)域中形成臺(tái)階部分(大型元件用的厚度與小型元件用的厚度的邊界部分)，在該臺(tái)階部分的附近區(qū)域，無法確保用于將粘性材料填充于開口的穩(wěn)定的印刷壓力，所以需要以避開臺(tái)階部分的附近區(qū)域的方式形成電路圖案(掩模的開口圖案)。因此，在日本特開2006 — 66811號(hào)公報(bào)所公開的印刷技術(shù)中，無法提高電路的集成度。
[0005]因此，人們考慮準(zhǔn)備厚度較小的小型元件用的第一掩模和厚度較大的大型元件用的第二掩模這兩種掩模來進(jìn)行順次印刷。通過在第二掩模的基板接觸面?zhèn)仍O(shè)置退避部以使由第一掩模形成的轉(zhuǎn)印材料的圖案退避，能夠在由第一掩模形成了小型元件用(極小元件用)的印刷圖案后，由第二掩模形成大型元件用的印刷圖案。
[0006]但是，在使用兩種掩模的情況下，需要構(gòu)筑設(shè)置兩臺(tái)基板印刷裝置而進(jìn)行順次印刷的生產(chǎn)線，存在生產(chǎn)線結(jié)構(gòu)復(fù)雜化的問題。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0007]本發(fā)明用于解決上述問題而作出，其目的之一在于提供基板印刷裝置和基板印刷方法，即使在使用小型元件用掩模和大型元件用掩模這兩種掩模進(jìn)行印刷的情況下，也能夠不使生產(chǎn)線結(jié)構(gòu)復(fù)雜化地進(jìn)行基板生產(chǎn)。
[0008]為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明的第一方面的基板印刷裝置具備:基板作業(yè)臺(tái)，保持印刷對(duì)象的基板；第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)，在基板作業(yè)臺(tái)的上方并排地排列于水平方向的規(guī)定方向；以及控制部，控制第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的印刷動(dòng)作，第一印刷臺(tái)保持第一膜厚的小型元件用掩模，該小型元件用掩模用于進(jìn)行將粘性材料印刷于基板的第一印刷，第二印刷臺(tái)保持大型元件用掩模，該該大型元件用掩模具有比第一膜厚厚的第二膜厚，且在基板接觸面?zhèn)刃纬缮疃缺鹊谝荒ず竦暮穸却蟮耐吮懿恳允褂尚⌒驮醚谀Ｓ∷⒑蟮恼承圆牧贤吮?，并用于進(jìn)行以下的第二印刷:將粘性材料印刷于由第一印刷臺(tái)進(jìn)行第一印刷后的基板，基板作業(yè)臺(tái)和第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的至少一方構(gòu)成為能夠在水平方向的規(guī)定方向上移動(dòng)，基板作業(yè)臺(tái)和第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的至少一方構(gòu)成為能夠在上下方向上移動(dòng)，控制部構(gòu)成為，對(duì)保持于基板作業(yè)臺(tái)的基板由第一印刷臺(tái)的小型元件用掩模進(jìn)行了第一印刷之后，由第二印刷臺(tái)的大型元件用掩模進(jìn)行第二印刷。
[0009]在本發(fā)明的第一方面的基板印刷裝置中，如上所述，在第一印刷臺(tái)上保持用于進(jìn)行將粘性材料印刷于基板的第一印刷的小型元件用掩模，在第二印刷臺(tái)上保持大型元件用掩模，該大型元件用掩模在基板接觸面?zhèn)刃纬缮疃缺鹊谝荒ず竦暮穸却蟮耐吮懿恳允褂尚⌒驮醚谀Ｓ∷⒑蟮恼承圆牧贤吮?，并用于進(jìn)行將粘性材料印刷于由第一印刷臺(tái)進(jìn)行第一印刷后的基板上的第二印刷，控制部構(gòu)成為，對(duì)保持于基板作業(yè)臺(tái)的基板由第一印刷臺(tái)的小型元件用掩模進(jìn)行了第一印刷之后，由第二印刷臺(tái)的大型元件用掩模進(jìn)行第二印刷。由此，能夠通過一臺(tái)基板印刷裝置執(zhí)行使用了小型元件用掩模(極小元件用掩模)的第一印刷和使用了大型元件用掩模的第二印刷。由此，由于無需在生產(chǎn)線上設(shè)置兩臺(tái)基板印刷裝置，所以即使在使用小型元件用掩模和大型元件用掩模這兩種掩模進(jìn)行印刷的情況下，也能夠不使生產(chǎn)線結(jié)構(gòu)復(fù)雜化地進(jìn)行基板的生產(chǎn)。
[0010]在上述第一方面的基板印刷裝置中，優(yōu)選為，控制部構(gòu)成為，在第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的一方的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中實(shí)施第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的另一方的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠利用第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的一方的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中的待機(jī)期間，由另一方先行進(jìn)行用于下一印刷的準(zhǔn)備動(dòng)作。由此，即使在由一臺(tái)基板印刷裝置執(zhí)行第一印刷和第二印刷的情況下，也能夠縮短基板印刷所需的時(shí)間(基板印刷動(dòng)作和基板準(zhǔn)備動(dòng)作所需的時(shí)間)。
[0011]在這種情況下，優(yōu)選為，第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)構(gòu)成為能夠分別在水平方向的規(guī)定方向上移動(dòng)，控制部構(gòu)成為，在第一印刷臺(tái)的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中，以第一印刷臺(tái)與第二印刷臺(tái)的水平方向的規(guī)定方向的距離變小的方式使第二印刷臺(tái)向水平方向的規(guī)定方向移動(dòng)，從而使第二印刷臺(tái)接近印刷位置。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠在第一印刷臺(tái)的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中實(shí)施第二印刷臺(tái)向印刷位置的移動(dòng)動(dòng)作的一部分，所以能夠縮短由第二印刷臺(tái)進(jìn)行第二印刷時(shí)的基板印刷所需的時(shí)間。
[0012]在上述第一印刷臺(tái)的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中使第二印刷臺(tái)接近印刷位置的結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選為，控制部構(gòu)成為，使第二印刷臺(tái)接近印刷位置直到與基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中的第一印刷臺(tái)之間的間隔變?yōu)榈谝挥∷⑴_(tái)與第二印刷臺(tái)能夠不發(fā)生干擾地接近的最小間隔的位置。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠在第一印刷臺(tái)的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中使第二印刷臺(tái)極度接近，所以能夠有效地縮短由第二印刷臺(tái)進(jìn)行第二印刷時(shí)的基板印刷所需的時(shí)間。
[0013]在這種情況下，優(yōu)選為，控制部構(gòu)成為，在使第二印刷臺(tái)接近印刷位置后，在由第二印刷臺(tái)進(jìn)行第二印刷時(shí)，保持最小間隔以上的距離并使第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)移動(dòng)而將第二印刷臺(tái)定位于印刷位置。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，例如在為了將第二印刷臺(tái)定位于印刷位置而需要使第一印刷臺(tái)退避的情況下等，與使第一印刷臺(tái)和第二印刷臺(tái)順序地(單獨(dú)地)移動(dòng)的情況相比，能夠縮短第二印刷臺(tái)向印刷位置移動(dòng)所需的時(shí)間。
[0014]在上述第一印刷臺(tái)和第二印刷臺(tái)的一方的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中實(shí)施第一印刷臺(tái)和第二印刷臺(tái)的另一方的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作的結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選為，第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)構(gòu)成為能夠分別在上下方向上移動(dòng)，控制部構(gòu)成為，在第一印刷臺(tái)的使用了小型元件用掩模的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中，使第二印刷臺(tái)從大型元件用掩模版分離高度位置下降到待機(jī)高度位置，其中，該大型元件用掩模版分離高度位置是使大型元件用掩模相對(duì)于粘性材料的第二印刷后的基板離開的高度位置，該待機(jī)高度位置是比大型元件用掩模版分離高度位置低且基板上的粘性材料與大型元件用掩模非接觸的高度位置。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，在第一印刷臺(tái)的基板印刷動(dòng)作(第一印刷)執(zhí)行過程中，能夠在第二印刷臺(tái)側(cè)實(shí)施進(jìn)行大型元件用掩模與基板的版對(duì)合時(shí)的下降動(dòng)作的一部分。由此，能夠縮短由第二印刷臺(tái)進(jìn)行第二印刷時(shí)的基板印刷所需的時(shí)間。
[0015]在這種情況下，優(yōu)選為，待機(jī)高度位置是至少基于小型元件用掩模的第一膜厚和大型元件用掩模的撓曲量而決定的高度位置。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，在進(jìn)行第二印刷時(shí)的第一印刷后的基板之上形成有與第一膜厚量相當(dāng)?shù)恼承圆牧?，所以能夠通過考慮到該第一膜厚和大型元件用掩模的撓曲量而在極度接近第一印刷后的基板的待機(jī)高度位置上配置大型元件用掩模。由此，能夠縮短由第二印刷臺(tái)進(jìn)行第二印刷時(shí)的基板印刷所需的時(shí)間。
[0016]在上述第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的一方的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中實(shí)施第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的另一方的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作的結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選為，基板作業(yè)臺(tái)包含構(gòu)成為能夠分別在水平方向的規(guī)定方向上移動(dòng)的第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)，第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)分別具有能夠識(shí)別小型元件用掩模及大型元件用掩模的掩模識(shí)別相機(jī)，控制部構(gòu)成為，在由第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)執(zhí)行使用了小型元件用掩模的基板印刷動(dòng)作的過程中，使用第二基板作業(yè)臺(tái)來實(shí)施第二印刷臺(tái)的大型元件用掩模的掩模識(shí)別。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠在第一印刷臺(tái)的使用了小型元件用掩模的基板印刷動(dòng)作(第一印刷)執(zhí)行過程中先行實(shí)施用于在第二印刷臺(tái)側(cè)使大型元件用掩模與基板對(duì)位的掩模識(shí)別作業(yè)。由此，在第一印刷后，能夠立即通過已完成掩模識(shí)別作業(yè)的大型元件用掩模進(jìn)行第二印刷，所以能夠縮短進(jìn)行第二印刷時(shí)的基板印刷所需的時(shí)間。
[0017]在這種情況下，優(yōu)選為，控制部構(gòu)成為，至少在由第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)的基板印刷動(dòng)作的初次執(zhí)行時(shí)，實(shí)施使用了第二基板作業(yè)臺(tái)的大型元件用掩模的掩模識(shí)另IJ。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，在基板印刷動(dòng)作的初次執(zhí)行時(shí)需要由掩模識(shí)別作業(yè)進(jìn)行掩模與基板的對(duì)位，所以至少先行實(shí)施初次的掩模識(shí)別作業(yè)，從而能夠立即開始第二印刷。另外，只要至少在初次的印刷執(zhí)行時(shí)進(jìn)行掩模識(shí)別，則第二次以后的印刷執(zhí)行時(shí)，也能夠利用掩模識(shí)別結(jié)果，從而跳過掩模識(shí)別。
[0018]在上述第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的一方的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中實(shí)施第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的另一方的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作的結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選為，基板作業(yè)臺(tái)包含構(gòu)成為能夠分別在水平方向的規(guī)定方向上移動(dòng)的第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)，第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)分別具有用于進(jìn)行小型元件用掩模及大型元件用掩模的清掃的清潔單元，控制部構(gòu)成為，在第二基板作業(yè)臺(tái)和第二印刷臺(tái)對(duì)第一印刷后的基板執(zhí)行使用了大型元件用掩模的基板印刷動(dòng)作的期間，使用第一基板作業(yè)臺(tái)來進(jìn)行第一印刷臺(tái)的小型元件用掩模的掩模清掃動(dòng)作。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，在第一印刷臺(tái)的基板印刷(第一印刷)后，在第二印刷臺(tái)的基板印刷動(dòng)作(第二印刷)執(zhí)行過程中，能夠在第一印刷臺(tái)側(cè)實(shí)施小型元件用掩模的掩模清掃作業(yè)。由此，能夠縮短由第一印刷臺(tái)對(duì)下一基板進(jìn)行第一印刷時(shí)的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作所需的時(shí)間。
[0019]在這種情況下，優(yōu)選為，第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)構(gòu)成為能夠分別在水平方向的規(guī)定方向上移動(dòng)，控制部構(gòu)成為，在第二基板作業(yè)臺(tái)和第二印刷臺(tái)執(zhí)行基板印刷動(dòng)作的期間，使第一印刷臺(tái)向從第二印刷臺(tái)離開的方向移動(dòng)，并且在從第二印刷臺(tái)離開的位置進(jìn)行小型元件用掩模的掩模清掃動(dòng)作。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，在掩模清掃動(dòng)作時(shí)能夠使第一印刷臺(tái)從第二印刷臺(tái)離開，所以在由第二印刷臺(tái)進(jìn)行第二印刷的動(dòng)作中也能夠確保用于掩模清掃動(dòng)作的作業(yè)空間。
[0020]在上述第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的一方的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中實(shí)施第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的另一方的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作的結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選為，基板作業(yè)臺(tái)包含構(gòu)成為能夠分別在規(guī)定方向上移動(dòng)的第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)，控制部構(gòu)成為，在由第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的一方和第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)的一方執(zhí)行基板印刷動(dòng)作的過程中，由第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)的另一方實(shí)施基板搬入和基板搬出的至少一方的動(dòng)作。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，在使用第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)的一方執(zhí)行基板印刷動(dòng)作的期間，能夠由另一方實(shí)施用于下一基板印刷的基板搬入和基板搬出的至少一方的動(dòng)作，所以即使在由一臺(tái)基板印刷裝置執(zhí)行第一印刷和第二印刷的情況下，也能夠縮短對(duì)下一基板進(jìn)行印刷時(shí)的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作(基板搬入、搬出動(dòng)作)所需的時(shí)間。
[0021]在上述第一方面的基板印刷裝置中，優(yōu)選為，基板作業(yè)臺(tái)包含構(gòu)成為能夠分別在規(guī)定方向上移動(dòng)的第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)，控制部構(gòu)成為，在由第二印刷臺(tái)和第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)的一方對(duì)第一印刷后的第一基板執(zhí)行第二印刷的基板印刷動(dòng)作的過程中，由第一印刷臺(tái)和第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)的另一方對(duì)第一印刷前的第二基板執(zhí)行第一印刷的基板印刷動(dòng)作。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，在對(duì)第一基板執(zhí)行第二印刷的過程中，能夠先行實(shí)施對(duì)下一印刷對(duì)象基板(第二基板)的第一印刷。由此，即使在由一臺(tái)基板印刷裝置執(zhí)行第一印刷和第二印刷的情況下，也能夠縮短對(duì)下一基板進(jìn)行印刷時(shí)的基板印刷動(dòng)作所需的時(shí)間。
[0022]本發(fā)明的第二方面的基板印刷方法是具備將粘性材料印刷于基板的第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的基板印刷裝置的基板印刷方法，該基板印刷方法具備如下工序:對(duì)保持于基板作業(yè)臺(tái)的基板由第一印刷臺(tái)的小型元件用掩模進(jìn)行第一印刷；以及對(duì)保持于基板作業(yè)臺(tái)并進(jìn)行了第一印刷后的基板由第二印刷臺(tái)的大型元件用掩模進(jìn)行第二印刷。
[0023]在本發(fā)明的第二方面的基板印刷方法中，如上所述，通過設(shè)置對(duì)保持于基板作業(yè)臺(tái)的基板由第一印刷臺(tái)的小型元件用掩模進(jìn)行第一印刷的工序以及對(duì)保持于基板作業(yè)臺(tái)并進(jìn)行了第一印刷后的基板由第二印刷臺(tái)的大型元件用掩模進(jìn)行第二印刷的工序，從而能夠由一臺(tái)基板印刷裝置執(zhí)行使用了小型元件用掩模(極小元件用掩模)的第一印刷和使用了大型元件用掩模的第二印刷。由此，無需在生產(chǎn)線上設(shè)置兩臺(tái)基板印刷裝置，所以即使在使用小型元件用掩模和大型元件用掩模這兩種掩模進(jìn)行印刷的情況下，也能夠不使生產(chǎn)線結(jié)構(gòu)復(fù)雜化地進(jìn)行基板的生產(chǎn)。
[0024]在上述第二方面的基板印刷方法中，優(yōu)選為還具備如下工序:在由第一印刷臺(tái)進(jìn)行第一印刷的工序及由第二印刷臺(tái)進(jìn)行第二印刷的工序的一方的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中，實(shí)施第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的另一方的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作。根據(jù)這樣的構(gòu)成，能夠利用第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的一方的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中的待機(jī)期間，由另一方先行進(jìn)行用于下一印刷的準(zhǔn)備動(dòng)作。由此，即使在由一臺(tái)基板印刷裝置執(zhí)行第一印刷和第二印刷的情況下，也能夠縮短基板印刷所需的時(shí)間(基板印刷動(dòng)作和基板準(zhǔn)備動(dòng)作所需的時(shí)間)。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0025]圖1是示意性地表示本發(fā)明第一實(shí)施方式的印刷裝置的俯視圖。
[0026]圖2是從Y方向觀察本發(fā)明第一實(shí)施方式的印刷裝置的情況下的示意性的側(cè)視圖。
[0027]圖3是從X方向觀察構(gòu)成本發(fā)明第一實(shí)施方式的印刷裝置的基板作業(yè)臺(tái)的情況下的示意性的剖視圖。
[0028]圖4是表示本發(fā)明第一實(shí)施方式的印刷裝置的小型元件用掩模的示意圖。
[0029]圖5是表示本發(fā)明第一實(shí)施方式的印刷裝置的大型元件用掩模的示意圖。
[0030]圖6是表示本發(fā)明第一至第六實(shí)施方式的印刷裝置的控制性的結(jié)構(gòu)的框圖。
[0031]圖7是表示本發(fā)明第一實(shí)施方式的印刷裝置的基板印刷作業(yè)時(shí)的動(dòng)作概要的控制流程圖。
[0032]圖8是表示本發(fā)明第一實(shí)施方式的印刷裝置的基板印刷作業(yè)時(shí)(基板搬入)的位置關(guān)系的不意圖。
[0033]圖9是表示本發(fā)明第一實(shí)施方式的印刷裝置的基板印刷作業(yè)時(shí)(第一印刷)的位置關(guān)系的不意圖。
[0034]圖10是表示本發(fā)明第一實(shí)施方式的印刷裝置的基板印刷作業(yè)時(shí)(第二印刷)的位置關(guān)系的示意圖。
[0035]圖11是表示本發(fā)明第一實(shí)施方式的印刷裝置的基板印刷作業(yè)時(shí)(基板搬出)的位置關(guān)系的示意圖。
[0036]圖12是用于說明本發(fā)明第二實(shí)施方式的印刷裝置的先行接近動(dòng)作的示意圖。
[0037]圖13是表示本發(fā)明第二實(shí)施方式的印刷裝置的基板印刷作業(yè)時(shí)(第一印刷)的位置關(guān)系的示意圖。
[0038]圖14是表示本發(fā)明第二實(shí)施方式的印刷裝置的基板印刷作業(yè)時(shí)(第二印刷)的位置關(guān)系的示意圖。
[0039]圖15是用于說明本發(fā)明第三實(shí)施方式的印刷裝置的先行下降動(dòng)作的示意圖。
[0040]圖16是表示用于說明本發(fā)明第四實(shí)施方式的印刷裝置的先行掩模識(shí)別的基板印刷作業(yè)時(shí)(第一印刷)的位置關(guān)系的示意圖。
[0041]圖17是表示用于說明本發(fā)明第五實(shí)施方式的印刷裝置的先行清掃動(dòng)作的基板印刷作業(yè)時(shí)的動(dòng)作概要的控制流程圖。
[0042]圖18是表示用于說明本發(fā)明第五實(shí)施方式的印刷裝置的先行清掃動(dòng)作的基板印刷作業(yè)時(shí)(第二印刷)的位置關(guān)系的示意圖。
[0043]圖19是表示本發(fā)明第六實(shí)施方式的印刷裝置的基板印刷作業(yè)時(shí)的動(dòng)作概要的控制流程圖(前半部分)。
[0044]圖20是表示本發(fā)明第六實(shí)施方式的印刷裝置的基板印刷作業(yè)時(shí)的動(dòng)作概要的控制流程圖(后半部分)。
[0045]圖21是表示本發(fā)明第六實(shí)施方式的印刷裝置的基板印刷作業(yè)時(shí)(基板搬入、基板搬出及第一印刷)的位置關(guān)系的示意圖。
[0046]圖22是表示本發(fā)明第六實(shí)施方式的印刷裝置的基板印刷作業(yè)時(shí)(第一印刷及第二印刷)的位置關(guān)系的示意圖。
[0047]圖23是表示本發(fā)明第六實(shí)施方式的印刷裝置的基板印刷作業(yè)時(shí)(基板搬入、基板搬出及第二印刷)的位置關(guān)系的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0048]以下，基于【專利附圖】
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【附圖說明】本發(fā)明的實(shí)施方式。
[0049](第一實(shí)施方式)
[0050]首先，參照?qǐng)D1?圖6，對(duì)本發(fā)明第一實(shí)施方式的印刷裝置100的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。另外，在第一實(shí)施方式中，說明將本發(fā)明的“基板印刷裝置”應(yīng)用于印刷裝置100的例子。
[0051]如圖1?圖3所示，本發(fā)明第一實(shí)施方式的印刷裝置100是在搬運(yùn)到裝置主體內(nèi)的印刷基板(以下稱作“基板”)5的上表面掩模印刷焊膏的基板印刷裝置。
[0052]如圖1所示，印刷裝置100構(gòu)成為，能夠從搬運(yùn)方向上游側(cè)(X方向右側(cè))的搬入位置Enl的裝載器LDl和搬入位置En2的裝載器LD2搬入基板5，并從搬運(yùn)方向下游側(cè)(X方向左側(cè))的搬出位置Exl或Ex2向下游側(cè)裝置M搬出完成印刷的基板5。搬出位置Exl和Ex2分別與搬入位置Enl及En2在X方向上并排地配置。另外，基板5的搬運(yùn)方向?yàn)閄方向，在水平面內(nèi)與X方向正交的方向?yàn)閅方向。另外，與X及Y方向正交的上下方向?yàn)閆方向。另外，Y方向?yàn)楸景l(fā)明的“水平方向的規(guī)定方向”的一例。通過這樣的結(jié)構(gòu)，印刷裝置100構(gòu)成具有兩條搬運(yùn)生產(chǎn)線的印刷電路基板的基板制造生產(chǎn)線的一部分。
[0053]印刷裝置100具備基臺(tái)1、進(jìn)行基板5的保持和搬運(yùn)的兩個(gè)基板作業(yè)臺(tái)2a及2b、兩個(gè)印刷臺(tái)3a及3b和兩個(gè)刮板單元4a及4b?；遄鳂I(yè)臺(tái)2a、印刷臺(tái)3a和刮板單元4a配置于印刷裝置100的Y2方向側(cè),基板作業(yè)臺(tái)2b、印刷臺(tái)3b和刮板單元4b配置于印刷裝置100的Yl方向側(cè)。另外，印刷裝置100內(nèi)置有用于進(jìn)行以下所說明的各部分的動(dòng)作控制的后述的控制裝置80 (參照?qǐng)D6)。另外，基板作業(yè)臺(tái)2a及2b分別是本發(fā)明的“第一基板作業(yè)臺(tái)”及“第二基板作業(yè)臺(tái)”的一例。另外，印刷臺(tái)3a及3b分別是本發(fā)明的“第一印刷臺(tái)”及“第二印刷臺(tái)”的一例。
[0054]兩個(gè)基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)在Y方向上并排地配置，并具有如下功能:在分別對(duì)應(yīng)的搬入位置Enl (En2)接收基板5，在印刷作業(yè)時(shí)與印刷臺(tái)3a及3b相向地支撐并固定基板5，并從對(duì)應(yīng)的搬出位置Exl (Ex2)搬出完成印刷的基板5。Y2方向側(cè)的搬入位置Enl和搬出位置Exl與基板作業(yè)臺(tái)2a對(duì)應(yīng)，Yl方向側(cè)的搬入位置En2和搬出位置Ex2與基板作業(yè)臺(tái)2b對(duì)應(yīng)。
[0055]如圖1?圖3所示，基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)分別包含:可動(dòng)臺(tái)21，構(gòu)成為能夠在Y方向上移動(dòng)；搬運(yùn)輸送機(jī)22，由配置于可動(dòng)臺(tái)21上的沿搬運(yùn)方向(X方向)延伸的一對(duì)輸送機(jī)軌道構(gòu)成；夾緊單元23，構(gòu)成為能夠?qū)徇\(yùn)輸送機(jī)22上的基板5保持(固定)為可以在從搬運(yùn)輸送機(jī)22向上方離開的狀態(tài)下進(jìn)行印刷作業(yè)并能夠沿X方向移動(dòng)；設(shè)于夾緊單元23上的掩模識(shí)別相機(jī)24和配置于可動(dòng)臺(tái)21上的清潔單元25(參照?qǐng)D3)。另外，基板作業(yè)臺(tái)2a的結(jié)構(gòu)(構(gòu)造)與基板作業(yè)臺(tái)2b的結(jié)構(gòu)(構(gòu)造)大致相同，所以省略單獨(dú)的說明。
[0056]如圖1所示，可動(dòng)臺(tái)21以能夠在沿Y方向延伸的導(dǎo)軌11上沿Y方向移動(dòng)的方式支撐于基臺(tái)I上。各基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)的可動(dòng)臺(tái)21以通過兩個(gè)臺(tái)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)而在導(dǎo)軌11上沿Y方向單獨(dú)移動(dòng)的方式構(gòu)成。具體而言，如圖3所示，基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)的可動(dòng)臺(tái)21分別由在Y方向上延伸的絲杠軸12a (12b)和驅(qū)動(dòng)絲杠軸12a (12b)旋轉(zhuǎn)的伺服馬達(dá)13a(13b)在Y方向上驅(qū)動(dòng)。由此，基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)分別以能夠單獨(dú)地沿Y軸(Y方向)至少移動(dòng)到Y(jié)方向的相反側(cè)的印刷臺(tái)3a (3b)的位置的方式構(gòu)成，基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)具有共用的移動(dòng)區(qū)域(移動(dòng)范圍重疊)。
[0057]如圖1和圖2所示，搬運(yùn)輸送機(jī)22以在印刷裝置100的X方向的大致整個(gè)長(zhǎng)度上延伸的方式設(shè)置，通過使搬運(yùn)輸送機(jī)22的位置與搬入位置Enl (En2)及搬出位置Exl (Ex2)的Y軸坐標(biāo)一致，而能夠進(jìn)行基板搬入和搬出。另外，各搬運(yùn)輸送機(jī)22能夠使一對(duì)輸送機(jī)軌道的一方在可動(dòng)臺(tái)21上沿Y方向移動(dòng)，能夠根據(jù)所搬運(yùn)的基板5的尺寸來變更輸送機(jī)寬度(輸送機(jī)軌道之間的間隔)。
[0058]如圖3所示，夾緊單元23是以從Y方向兩外側(cè)夾持由一對(duì)輸送機(jī)軌道構(gòu)成的搬運(yùn)輸送機(jī)22的方式設(shè)置的可動(dòng)單元。夾緊單元23構(gòu)成為通過分別設(shè)于可動(dòng)臺(tái)21上的沿X方向延伸的X軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)51 (參照?qǐng)D2)而能夠在導(dǎo)軌51a上沿X方向移動(dòng)。由此，夾緊單元23能夠沿搬運(yùn)輸送機(jī)22在X方向上移動(dòng)。另外，夾緊單元23的Y方向的寬度能夠根據(jù)搬運(yùn)輸送機(jī)22的輸送機(jī)寬度進(jìn)行變更。
[0059]另外，夾緊單元23包含用于把持固定基板5的夾緊機(jī)構(gòu)52和用于抬起支撐搬運(yùn)輸送機(jī)22上的基板5的支撐機(jī)構(gòu)53。夾緊機(jī)構(gòu)52構(gòu)成為通過驅(qū)動(dòng)未圖不的氣缸使夾緊部52b向接近夾緊部52a的方向位移而能夠從Y方向的兩側(cè)夾住并把持搬運(yùn)輸送機(jī)22上的基板5。另外，若使氣缸向反方向運(yùn)轉(zhuǎn)，則夾緊被解除。
[0060]支撐機(jī)構(gòu)53構(gòu)成為包含支撐銷53a和使支撐銷53a上下移動(dòng)的升降機(jī)構(gòu)53b，使支撐銷53a從下側(cè)接觸基板5的下表面，通過升降機(jī)構(gòu)53b而抬起支撐搬運(yùn)輸送機(jī)22上的基板5。由支撐機(jī)構(gòu)53抬起的基板5由夾緊機(jī)構(gòu)52把持，從而基板5以從搬運(yùn)輸送機(jī)22向上方離開的狀態(tài)被固定保持，能夠在基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)上對(duì)基板5進(jìn)行印刷作業(yè)。
[0061]掩模識(shí)別相機(jī)24由CCD面?zhèn)鞲衅鞯葮?gòu)成，使拍攝方向朝向上方而安裝于夾緊單元23的Y方向的外側(cè)。因此，掩模識(shí)別相機(jī)24隨著基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)的移動(dòng)而能夠在Y方向上移動(dòng)，隨著夾緊單元23的移動(dòng)而能夠在X方向上移動(dòng)。掩模識(shí)別相機(jī)24從下方拍攝由印刷臺(tái)3a及3b保持的絲網(wǎng)掩模(后述的小型元件用掩模6和大型元件用掩模7)的下表面?zhèn)人降难谀ＷR(shí)別標(biāo)記Q (參照?qǐng)D8)，為了識(shí)別掩模(小型元件用掩模6和大型元件用掩模7)的位置和姿勢(shì)而設(shè)置。
[0062]清潔單元25省略詳細(xì)的圖示，其具備清潔頭，該清潔頭包含與絲網(wǎng)掩模(小型元件用掩模6和大型元件用掩模7)的基板接觸面(下表面)接觸的襯墊和經(jīng)由襯墊進(jìn)行負(fù)壓吸引的吸嘴。在使清潔頭與掩模的基板接觸面接觸的狀態(tài)下使基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)與掩模在Y方向上相對(duì)移動(dòng)(滑動(dòng))，從而能夠除去附著于掩模的基板接觸面或開口內(nèi)的焊膏。清潔單元構(gòu)成為相對(duì)于基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)能夠上下升降，在掩模清掃時(shí)以外，退避到與掩模非接觸的下降位置。
[0063]另外，如圖2和圖3所示，在基臺(tái)I上，以跨過兩個(gè)基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)的上方沿Y方向延伸的方式設(shè)置的一對(duì)框架結(jié)構(gòu)體14沿X方向(基板搬運(yùn)方向)隔開規(guī)定的間隔而配置。另外，各個(gè)框架結(jié)構(gòu)體14具有門型結(jié)構(gòu)，包含從基臺(tái)I的Y方向的兩端部附近向上方延伸的一對(duì)腳部14a和在水平方向上將腳部14a的上端彼此連接的梁部14b。
[0064]在跨過基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)的上方的搬運(yùn)方向上游側(cè)(圖1的右側(cè))的框架結(jié)構(gòu)體14 (梁部14b)的下表面?zhèn)裙潭ǖ卦O(shè)置有兩個(gè)基板識(shí)別相機(jī)15 (參照?qǐng)D3)。兩個(gè)基板識(shí)別相機(jī)15分別與基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)對(duì)應(yīng)而設(shè)置，在Y方向上隔開規(guī)定的間隔而配置。這些基板識(shí)別相機(jī)15由CCD面?zhèn)鞲衅鞯葮?gòu)成，使拍攝方向朝向下方而設(shè)置?；遄R(shí)別相機(jī)15構(gòu)成為拍攝基板5的上表面所附的未圖示的基板識(shí)別標(biāo)記，識(shí)別由夾緊單元23把持的基板5的位置和姿勢(shì)。
[0065]如圖1和圖2所示，印刷臺(tái)3a及3b分別由設(shè)于一對(duì)框架結(jié)構(gòu)體14上的一對(duì)導(dǎo)軌33a支撐X方向的兩側(cè)，并配置于比基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)靠上方的位置。印刷臺(tái)3a (3b)分別構(gòu)成為能夠沿著在Y方向上延伸的導(dǎo)軌33a在Y方向上移動(dòng)，并且構(gòu)成為能夠在上下方向(Z方向)上移動(dòng)。具體而言，印刷臺(tái)3a (3b)具有能夠裝卸地組裝有絲網(wǎng)掩模的大致矩形的掩模固定部件31、使掩模固定部件31升降(Z軸方向移動(dòng))的掩模升降機(jī)構(gòu)32和用于使掩模固定部件31繞Z軸轉(zhuǎn)動(dòng)并在Y方向上移動(dòng)的一對(duì)掩模驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)33。
[0066]在第一實(shí)施方式中，在印刷臺(tái)3a的掩模固定部件31上組裝有小型元件用掩模(極小元件用掩模)6。如圖4所示，在小型元件用掩模6上形成有例如與0603尺寸、0402尺寸的小型元件的焊盤對(duì)應(yīng)的圖案的微小的開口 6a。小型元件用掩模6的厚度形成為適合小型元件的厚度即第一膜厚Thl (例如約50 μ m?約75 μ m)。使用小型元件用掩模6進(jìn)行焊料印刷，從而在基板5的表面(印刷面)上形成適合小型元件的焊料高度Hl的焊料Sdl。另夕卜，焊料高度Hl與第一膜厚Thl相同，或者由于作用于焊料Sdl的重力而成為比第一膜厚Thl略小的高度。焊料Sdl是本發(fā)明的“粘性材料”的一例。
[0067]另一方面，如圖1所示，在印刷臺(tái)3b的掩模固定部件31上組裝有大型元件用掩模7。如圖5所示，在大型元件用掩模7上形成有例如與屏蔽元件等大型元件的焊盤對(duì)應(yīng)的圖案的開口 7a。大型元件用掩模7的厚度形成為比小型元件用掩模6的厚度大的、適合大型元件的厚度即第二膜厚Th2 (例如約150 μ m)。另外，在大型元件用掩模7的基板接觸面(下表面)側(cè)以覆蓋與小型元件用掩模6的開口圖案對(duì)應(yīng)的規(guī)定區(qū)域的方式形成有凹狀的退避部7b。凹狀的退避部7b的深度D比小型元件用掩模6的厚度(膜厚)Thl大(即Th2>Thl)。由此，深度D比由小型元件用掩模6形成的焊料Sdl的焊料高度Hl大。因此，當(dāng)對(duì)使用了小型元件用掩模6的第一印刷后的基板5進(jìn)行大型元件用掩模7的版對(duì)合時(shí)，由小型元件用掩模6形成的焊料Sdl收容于凹狀的退避部7b的內(nèi)部，大型元件用掩模7與焊料Sdl保持為非接觸的狀態(tài)。在該狀態(tài)下進(jìn)行大型元件用掩模7的焊料印刷，從而在基板5上，除了焊料Sdl，還追加形成適合大型元件的焊料高度H2 (與第二膜厚Th2相同或由于所作用的重力而比第二膜厚Th2略小。且H2>H1)的焊料Sd2。另外，焊料Sd2是本發(fā)明的“粘性材料”的一例。
[0068]如圖2所示，掩模升降機(jī)構(gòu)32構(gòu)成為支撐掩模固定部件31，并且由未圖示的導(dǎo)向件、絲杠軸及驅(qū)動(dòng)絲杠軸的Z軸馬達(dá)使掩模固定部件31升降。掩模升降機(jī)構(gòu)32的X方向的兩端支撐于一對(duì)導(dǎo)軌33a上。
[0069]一對(duì)掩模驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)33由一對(duì)導(dǎo)軌33a、絲杠軸33b (參照?qǐng)D1)及驅(qū)動(dòng)絲杠軸33b的Y軸馬達(dá)33c構(gòu)成，分別設(shè)置于一對(duì)框架結(jié)構(gòu)體14上。一對(duì)掩模驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)33構(gòu)成為能夠從X方向的兩側(cè)沿Y方向驅(qū)動(dòng)掩模升降機(jī)構(gòu)32。若以等速度驅(qū)動(dòng)一對(duì)掩模驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)33這兩方，則能夠?qū)?yīng)各掩模升降機(jī)構(gòu)32使掩模固定部件31平行地沿Y方向移動(dòng)，若在一對(duì)掩模驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)33中對(duì)驅(qū)動(dòng)速度設(shè)置差量，則能夠?qū)?yīng)各掩模升降機(jī)構(gòu)32使掩模固定部件31在水平面內(nèi)(X-Y面內(nèi))轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0070]由此，印刷臺(tái)3a (3b)能夠在移動(dòng)范圍內(nèi)在Y方向的任意位置上對(duì)基板5進(jìn)行印刷，能夠進(jìn)行所保持的小型元件用掩模6 (大型元件用掩模7)的X-Y面內(nèi)的詳細(xì)對(duì)位(Y方向位置和水平面內(nèi)的斜度)。X方向位置的對(duì)位通過夾緊單元23的移動(dòng)調(diào)整來進(jìn)行。另外，在印刷時(shí)，印刷臺(tái)3a(3b)構(gòu)成為通過掩模升降機(jī)構(gòu)32沿Z2方向下降而進(jìn)行使小型元件用掩模6 (大型兀件用掩模7)與基板5的上表面抵接的版對(duì)合動(dòng)作,并在印刷后沿Zl方向上升而進(jìn)行使小型元件用掩模6 (大型元件用掩模7)從基板5的上表面離開的版分離動(dòng)作。
[0071]如此，在第一實(shí)施方式中，印刷裝置100將一張基板5的焊料印刷用的開口圖案分擔(dān)給厚度不同的小型元件用掩模6 (小型元件用的開口 6a的圖案)和大型元件用掩模7 (大型元件用的開口 7a的圖案)并單獨(dú)進(jìn)行焊料印刷。由此，能夠分別在基板5的表面(印刷面)上形成與元件尺寸對(duì)應(yīng)的縱橫比(焊料高度/焊料底面積、即掩模厚度/開口面積)的焊料Sdl及焊料Sd2。
[0072]如圖1和圖2所示，刮板單元4a (4b)分別由在X方向上延伸的可動(dòng)梁42的中央部支撐并配置于所對(duì)應(yīng)的印刷臺(tái)3a (3b)的上方。刮板單元4a (4b)包含對(duì)小型元件用掩模6 (大型元件用掩模7)的上表面(Zl側(cè))按壓膏狀的焊料并在Y方向上往復(fù)滑動(dòng)的刮板41(參照?qǐng)D2)、在印刷時(shí)使刮板41升降的未圖示的升降機(jī)構(gòu)及用于變更刮板41相對(duì)于小型元件用掩模6 (大型元件用掩模7)的傾斜方向和傾斜角度的未圖示的刮板角度可變機(jī)構(gòu)。另外，可動(dòng)梁42被支撐為能夠在一對(duì)導(dǎo)軌43上移動(dòng)，其中該一對(duì)導(dǎo)軌43以在一對(duì)框架結(jié)構(gòu)體14的上表面上沿Y方向延伸的方式設(shè)置。并且，可動(dòng)梁42構(gòu)成為通過設(shè)于框架結(jié)構(gòu)體14上的在Y方向上延伸的絲杠軸44及刮板軸馬達(dá)45而能夠在Y方向上移動(dòng)。刮板單元4a (4b)構(gòu)成為，隨著可動(dòng)梁42的移動(dòng)而使刮板單元4a (4b)對(duì)應(yīng)各刮板41在Y方向上移動(dòng)，從而進(jìn)行印刷動(dòng)作。刮板單元4a使用對(duì)應(yīng)的印刷臺(tái)3a (小型元件用掩模6)進(jìn)行基板印刷，刮板單元4b使用對(duì)應(yīng)的印刷臺(tái)3b (大型元件用掩模7)進(jìn)行基板印刷。
[0073]另外，如圖6所示，控制裝置80主要由運(yùn)算處理部81、存儲(chǔ)部82、外部輸入輸出部83、圖像處理部84及馬達(dá)控制部85構(gòu)成。另外，控制裝置80與顯示單元86及輸入裝置87連接。另外，運(yùn)算處理部81是本發(fā)明的“控制部”的一例。
[0074]運(yùn)算處理部81由CPU構(gòu)成，整體性地集中控制印刷裝置100的動(dòng)作。存儲(chǔ)部82包含儲(chǔ)存有運(yùn)算處理部81能夠執(zhí)行的控制程序等的動(dòng)作程序存儲(chǔ)部82a和儲(chǔ)存有進(jìn)行印刷動(dòng)作時(shí)所需的數(shù)據(jù)類的控制數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部82b。
[0075]另外，外部輸入輸出部83具有控制來自各種傳感器類和促動(dòng)器類的輸入輸出的功能。圖像處理部84進(jìn)行基板識(shí)別相機(jī)15和掩模識(shí)別相機(jī)24分別拍攝到的圖像數(shù)據(jù)的處理，并在內(nèi)部生成印刷裝置100的動(dòng)作所需的數(shù)據(jù)。
[0076]馬達(dá)控制部85構(gòu)成為基于從運(yùn)算處理部81輸出的控制信號(hào)來控制印刷裝置100的各伺服馬達(dá)(使基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)在Y方向上移動(dòng)的伺服馬達(dá)13a (13b)(參照?qǐng)D1)、使夾緊單元23在X方向上移動(dòng)的X軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)51的伺服馬達(dá)(未圖示)、各印刷臺(tái)3a(3b)的Y軸馬達(dá)33c和掩模升降機(jī)構(gòu)32用的Z軸馬達(dá)(未圖示)等)。另外，馬達(dá)控制部85構(gòu)成為基于來自各伺服馬達(dá)所具有的編碼器(未圖示)的信號(hào)而能夠識(shí)別基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)的Y軸方向的位置坐標(biāo)、夾緊單元23的X-Y面內(nèi)的位置、印刷臺(tái)3a及3b的Y軸方向的位置坐標(biāo)、高度位置(Z方向)及旋轉(zhuǎn)位置(X-Y面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角度)等。
[0077]在第一實(shí)施方式中，控制裝置80 (運(yùn)算處理部81)構(gòu)成為進(jìn)行以下控制:在由包含小型元件用的小型元件用掩模6的印刷臺(tái)3a進(jìn)行了第一印刷后，由包含大型元件用的大型元件用掩模7的印刷臺(tái)3b進(jìn)行第二印刷，從而對(duì)一張基板5實(shí)施焊料印刷作業(yè)。即，印刷裝置100對(duì)一張基板5依次執(zhí)行印刷臺(tái)3a的第一印刷和第一印刷后的印刷臺(tái)3b的第二印刷。
[0078]接著，參照?qǐng)D4、圖5、圖7?圖10，說明本發(fā)明的第一實(shí)施方式的印刷裝置100的基板印刷作業(yè)時(shí)的動(dòng)作控制。以下，作為印刷動(dòng)作的一例，說明對(duì)搬入到基板作業(yè)臺(tái)2a的基板5進(jìn)行印刷動(dòng)作的情況下的例子。以下的控制處理由控制裝置80 (運(yùn)算處理部81)進(jìn)行。
[0079]首先，如圖7和圖8所示，在步驟SI中，運(yùn)算處理部81使基板作業(yè)臺(tái)2a的Y坐標(biāo)與搬入位置Enl —致，使基板5搬入到搬運(yùn)輸送機(jī)22上。當(dāng)基板5被搬入搬運(yùn)輸送機(jī)22上時(shí)，在步驟S2中由夾緊單元23夾緊(固定)基板5。
[0080]在步驟S3中，基板作業(yè)臺(tái)2a的夾緊單元23向印刷臺(tái)3a在X方向上開始移動(dòng)，并且基板作業(yè)臺(tái)2a在Y方向上開始移動(dòng)，保持有基板5的夾緊單元23的X方向移動(dòng)和基板作業(yè)臺(tái)2a的Y方向移動(dòng)同步進(jìn)行。在該移動(dòng)中，基板5的基板識(shí)別標(biāo)記(未圖示)定位于基板識(shí)別相機(jī)15的下方，由基板識(shí)別相機(jī)15進(jìn)行基板5的基板識(shí)別標(biāo)記的拍攝(圖像識(shí)別)。
[0081]接著，在步驟S4中，基板作業(yè)臺(tái)2a的夾緊單元23的掩模識(shí)別相機(jī)24定位于印刷臺(tái)3a的小型元件用掩模6的掩模識(shí)別標(biāo)記Q的下方，由掩模識(shí)別相機(jī)24進(jìn)行掩模識(shí)別標(biāo)記Q的拍攝(圖像識(shí)別)。步驟S3和S4的圖像識(shí)別的結(jié)果，取得保持于夾緊單元23上的基板5的水平方向的位置及姿勢(shì)與安裝于印刷臺(tái)3a上的小型元件用掩模6的水平方向的位置及姿勢(shì)的相對(duì)位置關(guān)系。
[0082]接著，在步驟S5中，進(jìn)行保持于夾緊單元23上的基板5和保持于印刷臺(tái)3a上的小型元件用掩模6向印刷位置的移動(dòng)。即，如圖9所示，基于步驟S3和S4的識(shí)別結(jié)果，通過夾緊單元23的X方向移動(dòng)而使基板5與小型元件用掩模6的X方向位置坐標(biāo)一致，并且通過基板作業(yè)臺(tái)2a的Y方向移動(dòng)和印刷臺(tái)3a的Y方向移動(dòng)而使基板5與小型元件用掩模6的Y方向位置坐標(biāo)一致。另外，印刷臺(tái)3a的掩模固定部件31在水平面內(nèi)(X-Y面內(nèi))轉(zhuǎn)動(dòng)，從而基板5與小型元件用掩模6的水平面內(nèi)的斜度一致。
[0083]接著，在步驟S6中，印刷臺(tái)3a使小型元件用掩模6下降，進(jìn)行版對(duì)合(參照?qǐng)D4)。由此，小型元件用掩模6被規(guī)定的按壓力按壓緊貼于基板5上。當(dāng)版對(duì)合完成時(shí)，在步驟S7中，基于印刷臺(tái)3a的小型元件用掩模6實(shí)施第一印刷。即，在小型元件用掩模6上供給焊料，在刮板41下降而經(jīng)由小型元件用掩模6按壓基板5的狀態(tài)下，刮板單元4a(可動(dòng)梁42)沿Y方向被驅(qū)動(dòng)(刮擦動(dòng)作)，從而經(jīng)由小型元件用掩模6在基板5的上表面印刷焊料，刮板41上升。第一印刷的結(jié)果，在與小型元件用掩模6的開口圖案對(duì)應(yīng)的基板5上的位置形成焊料高度Hl的焊料Sdl。在第一印刷后，在步驟S8中，印刷臺(tái)3a向Zl方向上升，進(jìn)行使小型元件用掩模6從基板5離開的版分離。
[0084]在步驟S9以后，基于印刷臺(tái)3b的大型元件用掩模7進(jìn)行第二印刷。動(dòng)作的內(nèi)容與上述步驟S4?S8基本相同，所以進(jìn)行簡(jiǎn)略說明。在步驟S9中，通過夾緊單元23的掩模識(shí)別相機(jī)24，進(jìn)行印刷臺(tái)3b的大型元件用掩模7的掩模識(shí)別標(biāo)記Q的拍攝(圖像識(shí)別)。步驟S3和步驟SlO的圖像識(shí)別的結(jié)果，取得保持于夾緊單元23上的基板5和安裝于印刷臺(tái)3b上的大型元件用掩模7的水平方向的位置和姿勢(shì)的相對(duì)位置關(guān)系。
[0085]接著，在步驟SlO中，進(jìn)行保持于夾緊單元23上的基板5和保持于印刷臺(tái)3b上的大型元件用掩模7向印刷位置的移動(dòng)。S卩，如圖10所示，基于步驟S3和SlO的識(shí)別結(jié)果，進(jìn)行夾緊單元23的X方向移動(dòng)、基板作業(yè)臺(tái)2a及印刷臺(tái)3b的Y方向移動(dòng)及印刷臺(tái)3b的掩模固定部件31的轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使基板5與大型元件用掩模7的水平面內(nèi)的相對(duì)位置及姿勢(shì)—致。
[0086]接著，在步驟Sll中，印刷臺(tái)3b使大型元件用掩模7下降，進(jìn)行版對(duì)合(參照?qǐng)D5)。當(dāng)版對(duì)合完成時(shí)，在步驟S12中，由印刷臺(tái)3b的大型元件用掩模7和刮板單元4b實(shí)施第二印刷。由此，在由第一印刷形成了焊料Sdl后的基板5上追加地在與大型元件用掩模7的開口圖案對(duì)應(yīng)的基板5上的位置上形成焊料高度H2的焊料Sd2。在第二印刷后，在步驟S13中，進(jìn)行使大型元件用掩模7從基板5離開的版分離。
[0087]接著，在步驟S14中，解除夾緊單元23對(duì)基板5的夾緊(固定)。即，通過支撐機(jī)構(gòu)53及夾緊機(jī)構(gòu)52(參照?qǐng)D3)，將基板5配置于搬運(yùn)輸送機(jī)22上。另外，基板作業(yè)臺(tái)2a朝向搬出位置Exl向Y2方向移動(dòng)。并且，在步驟S15中，在搬出位置Exl，從基板作業(yè)臺(tái)2a (搬運(yùn)輸送機(jī)22)搬出完成印刷的基板5。
[0088]在第一實(shí)施方式中，如上所述，運(yùn)算處理部81構(gòu)成為，在印刷臺(tái)3a上保持用于進(jìn)行在基板5上印刷焊料的第一印刷的規(guī)定的厚度即第一膜厚Thl的小型元件用掩模6，在印刷臺(tái)3b上保持比第一膜厚Thl厚的規(guī)定的厚度的第二膜厚Th2的大型元件用掩模7，該大型元件用掩模7在基板接觸面?zhèn)刃纬缮疃菵比第一膜厚的厚度Thl大的退避部7b以使由小型元件用掩模6印刷后的焊料高度Hl的焊料Sdl退避，并用于進(jìn)行在由印刷臺(tái)3a進(jìn)行的第一印刷后的基板5上印刷焊料的第二印刷，對(duì)保持于基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)上的基板5由印刷臺(tái)3a的小型元件用掩模6進(jìn)行了第一印刷后，由印刷臺(tái)3b的大型元件用掩模7進(jìn)行第二印刷。由此，能夠由一臺(tái)印刷裝置100執(zhí)行使用了小型元件用掩模(極小元件用掩模)6的第一印刷和使用了大型元件用掩模7的第二印刷。由此，無需在生產(chǎn)線上設(shè)置兩臺(tái)基板印刷裝置，所以即使在使用小型元件用掩模6和大型元件用掩模7這兩種掩模進(jìn)行印刷的情況下，也能夠不使生產(chǎn)線結(jié)構(gòu)復(fù)雜化地進(jìn)行基板生產(chǎn)。
[0089](第二實(shí)施方式)
[0090]接著，參照?qǐng)D6、圖7及圖12?圖14，對(duì)本發(fā)明的第二實(shí)施方式的印刷裝置IOOa進(jìn)行說明。該第二實(shí)施方式中，說明在上述第一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，在印刷臺(tái)3a和3b的一方的印刷動(dòng)作期間執(zhí)行另一方的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作的例子。
[0091]第二實(shí)施方式的印刷裝置IOOa的運(yùn)算處理部81a(參照?qǐng)D6)構(gòu)成為，在印刷臺(tái)3a及印刷臺(tái)3b的一方的基板印刷動(dòng)作的執(zhí)行期間實(shí)施印刷臺(tái)3a及印刷臺(tái)3b的另一方的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作。另外，運(yùn)算處理部81a是本發(fā)明的“控制部”的一例。
[0092]S卩，如圖7所示，印刷裝置IOOa的基板印刷動(dòng)作依次進(jìn)行印刷臺(tái)3a的第一印刷和印刷臺(tái)3b的第二印刷，所以例如在一方的印刷臺(tái)3a的印刷動(dòng)作期間在另一方的印刷臺(tái)3b側(cè)產(chǎn)生待機(jī)期間Tl (待機(jī)處理)。在該待機(jī)期間Tl中先行實(shí)施印刷準(zhǔn)備動(dòng)作，從而運(yùn)算處理部81a使用于印刷臺(tái)3b的第二印刷的處理(步驟S9?S13)所需的時(shí)間縮短。另外，所謂基板印刷動(dòng)作在此至少包含從向印刷位置的移動(dòng)(步驟S5、S10)開始到版分離(步驟S8、S13)完畢的動(dòng)作。步驟S4和S9的掩模標(biāo)記識(shí)別在持續(xù)執(zhí)行印刷動(dòng)作的情況下未必每次都進(jìn)行。因此，在進(jìn)行掩模標(biāo)記識(shí)別的情況下，該掩模標(biāo)記識(shí)別動(dòng)作也包含于印刷動(dòng)作中。
[0093]具體而言，在第二實(shí)施方式中，運(yùn)算處理部81a構(gòu)成為在印刷臺(tái)3a的基板印刷動(dòng)作的執(zhí)行期間以印刷臺(tái)3a與印刷臺(tái)3b的Y方向的距離變小的方式使印刷臺(tái)3b向Y方向移動(dòng)，從而進(jìn)行使印刷臺(tái)3b接近印刷位置的控制(先行接近動(dòng)作)。這相當(dāng)于先行實(shí)施圖7的步驟SlO中的向印刷位置的移動(dòng)處理的一部分。
[0094]首先，對(duì)先行接近動(dòng)作的內(nèi)容進(jìn)行說明。如圖12所示，印刷臺(tái)3a的Y軸由(Ymi)表示，印刷臺(tái)3b的Y軸由(Ym2)表示。Y軸坐標(biāo)分別以位于Y方向移動(dòng)范圍的外側(cè)端的情況下的Y方向外側(cè)端部的位置為原點(diǎn)，以印刷臺(tái)3a及3b彼此接近的方向?yàn)檎Ａ硗?，為了便于說明，為了表示印刷臺(tái)3a (3b)的位置，使用各印刷臺(tái)3a (3b)的Y方向的內(nèi)側(cè)端部的位
置坐標(biāo)。
[0095]首先，根據(jù)實(shí)測(cè)或設(shè)計(jì)上的值算出印刷臺(tái)3a與印刷臺(tái)3b不發(fā)生干擾而最接近的狀態(tài)下的印刷臺(tái)間的距離，并作為能夠接近的最小間隔Lm。若將移動(dòng)印刷臺(tái)3a和印刷臺(tái)3b使得印刷臺(tái)間的距離為最小間隔Lm時(shí)的Y方向坐標(biāo)分別設(shè)為Ylm、Y2m，則能夠如下表示Y軸的原點(diǎn)間距離L”
[0096]Li = L111 十 Ylm + Y2m
[0097]接著，若將基板印刷動(dòng)作(第一印刷)的執(zhí)行過程中的印刷臺(tái)3a的當(dāng)前位置坐標(biāo)設(shè)Sya。，將所接近的印刷臺(tái)3b的目標(biāo)位置坐標(biāo)設(shè)為Ybn，則能夠如下表示目標(biāo)位置坐標(biāo)YBN。
[0098]Ybn = Li — Lm — Yac
[0099]由此，在印刷臺(tái)3a的基板印刷動(dòng)作的執(zhí)行過程中，能夠使印刷臺(tái)3b預(yù)先移動(dòng)至不發(fā)生干擾的最接近位置坐標(biāo)(目標(biāo)位置坐標(biāo)YBN)。在第二實(shí)施方式中，該最小間隔Lm及原點(diǎn)間距離Li被預(yù)先取得并存儲(chǔ)于控制數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部82b中。另外，印刷臺(tái)3a的當(dāng)前位置坐標(biāo)Yac根據(jù)印刷臺(tái)3a的掩模驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)33的Y軸馬達(dá)33。的編碼器輸出值而取得。
[0100]第二實(shí)施方式的印刷裝置IOOa中，在圖7的步驟S4?S8之間(待機(jī)期間Tl)的規(guī)定時(shí)刻中，運(yùn)算處理部81a實(shí)施印刷臺(tái)3b的先行接近動(dòng)作。由此，如圖13所示，在印刷臺(tái)33的基板印刷動(dòng)作(第一印刷)的執(zhí)行過程中，印刷臺(tái)3b沿Y2方向移動(dòng)(接近)至印刷臺(tái)3a與印刷臺(tái)3b之間的間隔為最小間隔Lm的位置(目標(biāo)位置坐標(biāo)YBN)。
[0101]并且，在轉(zhuǎn)移到圖7的步驟S9之后的處理時(shí)，如圖14所示，根據(jù)基板作業(yè)臺(tái)2a向Yl方向的移動(dòng)，印刷臺(tái)3a與印刷臺(tái)3b在保持最小間隔Lm以上的距離的情況下沿Y2方向移動(dòng)。其結(jié)果為，使步驟SlO中的向印刷位置移動(dòng)所需的時(shí)間(Y方向的移動(dòng)距離)最小化。
[0102]另外，由于第二實(shí)施方式的印刷裝置IOOa的其他結(jié)構(gòu)與上述第一實(shí)施方式的印刷裝置100相同，所以省略說明。
[0103]在第二實(shí)施方式中，如上所述，運(yùn)算處理部81a在印刷臺(tái)3a的基板印刷動(dòng)作的執(zhí)行過程中實(shí)施印刷臺(tái)3b的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作。由此，能夠利用印刷臺(tái)3a的基板印刷動(dòng)作(第一印刷)的執(zhí)行過程中的待機(jī)期間，由印刷臺(tái)3b先行進(jìn)行用于下一印刷的準(zhǔn)備動(dòng)作。其結(jié)果為，即使在由一臺(tái)印刷裝置IOOa執(zhí)行第一印刷和第二印刷的情況下，也能夠縮短基板印刷所需的時(shí)間(基板印刷動(dòng)作和印刷準(zhǔn)備動(dòng)作所需的時(shí)間)。
[0104]另外，在第二實(shí)施方式中，如上所述，運(yùn)算處理部81a在印刷臺(tái)3a的基板印刷動(dòng)作(第一印刷)的執(zhí)行過程中，以印刷臺(tái)3a與印刷臺(tái)3b的Y方向的距離變小的方式使印刷臺(tái)3b向Y2方向移動(dòng)，從而使印刷臺(tái)3b接近印刷位置。由此，在印刷臺(tái)3a的基板印刷動(dòng)作(第一印刷)的執(zhí)行過程中能夠?qū)嵤┯∷⑴_(tái)3b向印刷位置的移動(dòng)動(dòng)作的一部分，所以能夠縮短由印刷臺(tái)3b進(jìn)行第二印刷時(shí)的基板印刷所需的時(shí)間(向印刷位置的移動(dòng)時(shí)間)。
[0105]另外，第二實(shí)施方式中，如上所述，使印刷臺(tái)3b向印刷位置接近至與基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中的印刷臺(tái)3a之間的間隔變?yōu)橛∷⑴_(tái)3a與印刷臺(tái)3b不發(fā)生干擾而能夠接近的最小間隔Lm的位置。由此，由于能夠在印刷臺(tái)3a的基板印刷動(dòng)作的執(zhí)行過程中使印刷臺(tái)3b極度接近，所以能夠有效地縮短印刷臺(tái)3b進(jìn)行第二印刷時(shí)的基板印刷所需的時(shí)間。
[0106]另外，在第二實(shí)施方式中，如上所述，在使印刷臺(tái)3b接近印刷位置之后進(jìn)行印刷臺(tái)3b的第二印刷時(shí)，保持最小間隔Lm以上的距離并使印刷臺(tái)3a與印刷臺(tái)3b在Y2方向上移動(dòng)，將印刷臺(tái)3b定位于印刷位置。由此，與使印刷臺(tái)3a與印刷臺(tái)3b依次(單獨(dú))移動(dòng)的情況相比，能夠縮短印刷臺(tái)3b向印刷位置的移動(dòng)所需的時(shí)間。
[0107]另外，第二實(shí)施方式的其他效果與上述第一實(shí)施方式相同。
[0108](第三實(shí)施方式)
[0109]接著，參照?qǐng)D6、圖7及圖15，對(duì)本發(fā)明的第三實(shí)施方式的印刷裝置IOOb進(jìn)行說明。在該第三實(shí)施方式中，說明與上述第二實(shí)施方式不同的、在印刷臺(tái)3a和3b的一方的印刷動(dòng)作期間執(zhí)行另一方的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作的其他例子。
[0110]第三實(shí)施方式的印刷裝置IOOb的運(yùn)算處理部8Ia(參照?qǐng)D6)構(gòu)成為，在印刷臺(tái)3a的基板印刷動(dòng)作(第一印刷)的執(zhí)行過程中進(jìn)行以下控制(先行下降動(dòng)作):使印刷臺(tái)3b的掩模固定部件31 (大型元件用掩模7)從第二印刷后的版分離高度位置H3 (參照?qǐng)D15)下降到比版分離高度位置H3低且基板5上的焊料Sdl與大型元件用掩模7處于非接觸的待機(jī)高度位置H4 (參照?qǐng)D15)。這相當(dāng)于先行實(shí)施圖7的步驟Sll中的版對(duì)合動(dòng)作的一部分。另外，版分離高度位置H3是本發(fā)明的“大型元件用掩模版分離高度位置”的一例。另外，運(yùn)算處理部81b是本發(fā)明的“控制部”的一例。
[0111]首先，對(duì)版分離時(shí)的印刷臺(tái)(掩模)的高度位置進(jìn)行說明。版分離高度位置由通過印刷形成的焊料的焊料高度、掩模的撓曲量和用于確保掩模不與所形成的焊料發(fā)生接觸的安全余量決定。
[0112]在大型元件用掩模7 (印刷臺(tái)3b)的情況下，如圖15所示，若以印刷高度(版對(duì)合時(shí)的高度位置)HO為基準(zhǔn)，將焊料Sd2的焊料高度(基板5上的焊料的最大高度)設(shè)為H2、大型元件用掩模7的撓曲量設(shè)為Λ H、安全余量設(shè)為Hm，則第二印刷后的版分離高度位置H3由下式表示。
[0113]Η3 = Η2 +Δ H + Hm
[0114]另一方面，在由大型元件用掩模7 (印刷臺(tái)3b)進(jìn)行的第二印刷之前的狀態(tài)下，在基板5上未形成焊料Sd2，僅形成有焊料高度Hl (即小型元件用掩模6的膜厚Thl)的焊料Sdl。因此，在第二印刷前的狀態(tài)下，在基板5上的焊料Sdl和大型元件用掩模7非接觸的情況下，能夠使印刷臺(tái)3b (大型元件用掩模7)下降至下式所示的待機(jī)高度位置H4。
[0115]H4 = Hl +Δ H + Hm
[0116]S卩，在第二印刷前的狀態(tài)下，能夠預(yù)先使大型元件用掩模7下降與第二印刷前的焊料高度Hl和第二印刷后的最大焊料高度H2之差相當(dāng)?shù)木嚯x。[0117]由此，在印刷臺(tái)3a的基板印刷動(dòng)作(第一印刷)的執(zhí)行過程中，能夠預(yù)先使印刷臺(tái)3b下降至與基板5上的焊料Sdl不發(fā)生干擾的待機(jī)高度位置H4。
[0118]在此，焊料高度Hl相當(dāng)于小型元件用掩模6的厚度(膜厚)Thl，所以作為生產(chǎn)對(duì)象的基板5的基板數(shù)據(jù)的一部分預(yù)先存儲(chǔ)于控制數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部82b中。另外，安全余量Hm為預(yù)先設(shè)定于控制數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部82b中的規(guī)定值。另外，掩模的撓曲量Λ H主要依賴于掩模的尺寸(縱橫、厚度)。因此，在第三實(shí)施方式中，預(yù)先作成將掩模的尺寸和該尺寸下的撓曲量ΛΗ建立了對(duì)應(yīng)的表格，并存儲(chǔ)于控制數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部82b中。運(yùn)算處理部81b構(gòu)成為從控制數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部82b取得與基板數(shù)據(jù)中登錄的大型元件用掩模7的尺寸所對(duì)應(yīng)的撓曲量Λ H。
[0119]在第三實(shí)施方式的印刷裝置IOOb中，在圖7的步驟S4?S8之間(待機(jī)期間Tl)的規(guī)定時(shí)刻，運(yùn)算處理部81b實(shí)施印刷臺(tái)3b的先行下降動(dòng)作。由此，如圖15所示，在印刷臺(tái)3a的基板印刷動(dòng)作(第一印刷)的執(zhí)行過程中，印刷臺(tái)3b的大型元件用掩模7從版分離高度位置H3預(yù)先下降到待機(jī)高度位置H4。
[0120]并且，在圖7的步驟Sll的版對(duì)合時(shí)，印刷臺(tái)3b (大型元件用掩模7)從比版分離高度位置H3低的待機(jī)高度位置H4下降到印刷高度HO，進(jìn)行基板5與大型元件用掩模7的版對(duì)合。其結(jié)果為，使步驟Sll中的版對(duì)合所需的時(shí)間(Z方向的移動(dòng)距離)最小化。
[0121]另外，第三實(shí)施方式的印刷裝置IOOb的其他結(jié)構(gòu)與上述第一實(shí)施方式的印刷裝置100相同,所以省略說明。
[0122]在第三實(shí)施方式中，如上所述，運(yùn)算處理部81b在印刷臺(tái)3a的使用了小型元件用掩模6的基板印刷動(dòng)作(第一印刷)執(zhí)行過程中，使印刷臺(tái)3b從第二印刷后的相對(duì)于基板5的版分離高度位置H3下降到比版分離高度位置H3低且基板5上的具有焊料高度Hl的焊料Sdl與大型元件用掩模7處于非接觸的待機(jī)高度位置H4。由此，在印刷臺(tái)3a的基板印刷動(dòng)作(第一印刷)執(zhí)行過程中，能夠在印刷臺(tái)3b側(cè)先行實(shí)施進(jìn)行大型元件用掩模7與基板5的版對(duì)合時(shí)的下降動(dòng)作的一部分。其結(jié)果為，能夠縮短印刷臺(tái)3b進(jìn)行第二印刷時(shí)的基板印刷所需的時(shí)間。
[0123]另外，若考慮到基板5的連續(xù)生產(chǎn)，則在圖7的步驟S15的基板搬出之后，返回到步驟SI，搬入下一基板5。因此，在對(duì)第一張基板5的第一印刷結(jié)束后的待機(jī)期間T2(步驟S9?S13)，可以在印刷臺(tái)3a側(cè)實(shí)施對(duì)下一基板的先行下降動(dòng)作。在這種情況下，由于在所搬入的第一印刷前的基板5上未形成焊料(焊料高度為零)，所以能夠使印刷臺(tái)3a先行下降至與對(duì)應(yīng)于小型元件用掩模6的尺寸的撓曲量Λ H+安全余量Hm相當(dāng)?shù)拇龣C(jī)高度位置(未圖示)。
[0124]另外，在第三實(shí)施方式中，如上所述，至少基于小型元件用掩模6的膜厚Thl(即焊料高度Hl)和大型元件用掩模7的撓曲量Λ H來決定待機(jī)高度位置Η4。由此，能夠考慮到與進(jìn)行第二印刷時(shí)的形成于第一印刷后的基板5上的焊料Sdl的高度Hl相當(dāng)?shù)哪ず馮hl和大型元件用掩模7的撓曲量Λ H，將大型元件用掩模7配置在極度接近第一印刷后的基板5的待機(jī)高度位置Η4上。由此，能夠有效地縮短印刷臺(tái)3b進(jìn)行第二印刷時(shí)的基板印刷所需的時(shí)間。
[0125]另外，第三實(shí)施方式的其他效果與上述第二實(shí)施方式相同。
[0126](第四實(shí)施方式)
[0127]接著，參照?qǐng)D6、圖7、圖12和圖16，對(duì)本發(fā)明的第四實(shí)施方式的印刷裝置IOOc進(jìn)行說明。在該第四實(shí)施方式中，說明與上述第三實(shí)施方式不同的、在印刷臺(tái)3a及3b的一方的印刷動(dòng)作期間實(shí)施另一方的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作的其他例子。
[0128]第四實(shí)施方式的印刷裝置IOOc的運(yùn)算處理部81c (參照?qǐng)D6)構(gòu)成為，在基板作業(yè)臺(tái)2a與印刷臺(tái)3a的基板印刷動(dòng)作(第一印刷)執(zhí)行過程中進(jìn)行以下控制(先行掩模識(shí)別):使用基板作業(yè)臺(tái)2b來實(shí)施印刷臺(tái)3b的大型元件用掩模7的掩模識(shí)別。這相當(dāng)于先行實(shí)施圖7的步驟S9中的掩模標(biāo)記識(shí)別動(dòng)作。另外，運(yùn)算處理部81c是本發(fā)明的“控制部”的一例。
[0129]具體而言，如圖16所示，運(yùn)算處理部81c在基板作業(yè)臺(tái)2a與印刷臺(tái)3a的基板印刷動(dòng)作(第一印刷)執(zhí)行過程中使印刷臺(tái)3b向Yl方向移動(dòng)。并且，運(yùn)算處理部81c通過待機(jī)中的基板作業(yè)臺(tái)2b的Y方向移動(dòng)和基板作業(yè)臺(tái)2b的夾緊單元23的X方向移動(dòng)，使夾緊單元23的掩模識(shí)別相機(jī)24定位于印刷臺(tái)3b的大型元件用掩模7的掩模識(shí)別標(biāo)記Q的下方，執(zhí)行掩模識(shí)別相機(jī)24對(duì)掩模識(shí)別標(biāo)記Q的拍攝(圖像識(shí)別)。由此，識(shí)別大型元件用掩模7的水平方向的位置和姿勢(shì)。
[0130]在進(jìn)行先行掩模識(shí)別的情況下，由另一基板作業(yè)臺(tái)2b側(cè)的掩模識(shí)別相機(jī)24實(shí)施保持于基板作業(yè)臺(tái)2a上的基板5的進(jìn)行第二印刷時(shí)的大型元件用掩模7的掩模標(biāo)記識(shí)別(步驟S9)。因此，在第四實(shí)施方式中，運(yùn)算處理部81c進(jìn)行用于調(diào)整基板作業(yè)臺(tái)2a側(cè)的元件識(shí)別相機(jī)24的水平方向的坐標(biāo)系(X軸和Ymi軸(參照?qǐng)D12)和識(shí)別出大型元件用掩模7的基板作業(yè)臺(tái)2b側(cè)的元件識(shí)別相機(jī)24的水平方向的坐標(biāo)系(X軸和Ym2軸(參照?qǐng)D12))的相對(duì)位置的處理。
[0131]具體而言，預(yù)先計(jì)測(cè)基板作業(yè)臺(tái)2a側(cè)的元件識(shí)別相機(jī)24的坐標(biāo)系與識(shí)別出大型元件用掩模7的基板作業(yè)臺(tái)2b側(cè)的元件識(shí)別相機(jī)24的水平方向的坐標(biāo)系的相對(duì)位置關(guān)系(兩個(gè)坐標(biāo)間的X方向和Y方向的位置偏差)，生成用于轉(zhuǎn)換彼此的坐標(biāo)系的校正參數(shù)并預(yù)先存儲(chǔ)于控制數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部82b中。由此，運(yùn)算處理部81c能夠使用校正參數(shù)將使用基板作業(yè)臺(tái)2b側(cè)的元件識(shí)別相機(jī)24取得的大型元件用掩模7的位置坐標(biāo)轉(zhuǎn)換為基板作業(yè)臺(tái)2a側(cè)的識(shí)別相機(jī)24的坐標(biāo)系(X軸和Ymi軸)進(jìn)行處理。
[0132]在第四實(shí)施方式的印刷裝置IOOc中，在圖7的步驟S4?S8之間(待機(jī)期間Tl)的規(guī)定時(shí)刻，運(yùn)算處理部81c實(shí)施印刷臺(tái)3b的先行掩模識(shí)別。其結(jié)果為，圖7的步驟S9中所示的掩模標(biāo)記識(shí)別處理在步驟S4?S8的執(zhí)行過程中完成。由此，當(dāng)步驟S8完成時(shí)，跳過已經(jīng)完成的步驟S9的處理，處理前進(jìn)到步驟S10。在步驟SlO中，運(yùn)算處理部81c使用步驟S3的基板標(biāo)記的識(shí)別結(jié)果、先行掩模識(shí)別的識(shí)別結(jié)果和預(yù)先存儲(chǔ)于控制數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部82b中的校正參數(shù)，將基板5的水平位置與大型元件用掩模7的水平位置建立對(duì)應(yīng)，從而執(zhí)行基板作業(yè)臺(tái)2a和印刷臺(tái)3b向印刷位置的移動(dòng)處理。
[0133]另外，第四實(shí)施方式的印刷裝置IOOc的其他結(jié)構(gòu)與上述第一實(shí)施方式的印刷裝置100相同,所以省略說明。
[0134]在第四實(shí)施方式中，如上所述，運(yùn)算處理部81c在基板作業(yè)臺(tái)2a和印刷臺(tái)3a的使用了小型元件用掩模6的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中使用基板作業(yè)臺(tái)2b來實(shí)施印刷臺(tái)3b的大型元件用掩模7的掩模識(shí)別。由此，在印刷臺(tái)3a的使用了小型元件用掩模6的基板印刷動(dòng)作(第一印刷)執(zhí)行過程中能夠在印刷臺(tái)3b側(cè)先行實(shí)施用于使大型元件用掩模7與基板5對(duì)位的掩模識(shí)別作業(yè)。其結(jié)果為，在第一印刷后，跳過圖7的步驟S9的處理，能夠由掩模識(shí)別作業(yè)已完成的大型元件用掩模7立即進(jìn)行第二印刷，所以能夠縮短進(jìn)行第二印刷時(shí)的基板印刷所需的時(shí)間。
[0135]另外，為了進(jìn)行掩模與基板(基板作業(yè)臺(tái)2a和2b)的相對(duì)對(duì)位而需要進(jìn)行掩模識(shí)別處理，所以掩模識(shí)別處理至少需要在印刷裝置的初次印刷時(shí)執(zhí)行。另一方面，由于掩模固定于印刷臺(tái)3a (3b)的掩模固定部件31，所以未必需要每當(dāng)執(zhí)行印刷動(dòng)作時(shí)每次都實(shí)施掩模識(shí)別處理。但是，由于在裝置運(yùn)轉(zhuǎn)中也會(huì)發(fā)生驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的滾珠絲杠軸等各部的熱延伸等細(xì)微的位置偏差，所以例如可以每當(dāng)生產(chǎn)一定張數(shù)的基板時(shí)定期實(shí)施或者每當(dāng)經(jīng)過一定時(shí)間時(shí)定期實(shí)施。
[0136]另外，在第四實(shí)施方式中，如上所述，運(yùn)算處理部81c至少在基板作業(yè)臺(tái)2a和印刷臺(tái)3a的基板印刷動(dòng)作的初次執(zhí)行時(shí)實(shí)施使用了基板作業(yè)臺(tái)2b的大型元件用掩模7的掩模識(shí)別。由此，通過至少先行實(shí)施初次的掩模識(shí)別作業(yè)，能夠立即開始第二印刷。另外，若至少在初次的印刷執(zhí)行時(shí)預(yù)先進(jìn)行掩模識(shí)別，則在第二次以后的印刷執(zhí)行時(shí)，通過利用掩模識(shí)別結(jié)果，也能夠跳過掩模識(shí)別。
[0137]另外，第四實(shí)施方式的其他效果與上述第二實(shí)施方式相同。
[0138](第五實(shí)施方式)
[0139]接著，參照?qǐng)D6、圖7、圖9、圖10、圖17和圖18，說明本發(fā)明的第五實(shí)施方式的印刷裝置100。在該第五實(shí)施方式中，說明與上述第四實(shí)施方式不同的、在印刷臺(tái)3a及3b的一方的印刷動(dòng)作期間實(shí)施另一方的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作的其他例子。
[0140]第五實(shí)施方式的印刷裝置IOOd的運(yùn)算處理部81d (參照?qǐng)D6)構(gòu)成為實(shí)施以下控制(先行清掃動(dòng)作):在基板作業(yè)臺(tái)2b和印刷臺(tái)3b對(duì)第一印刷后的基板5執(zhí)行基板印刷動(dòng)作(第二印刷)的期間，使用基板作業(yè)臺(tái)2a來進(jìn)行印刷臺(tái)3a的小型元件用掩模6的掩模清掃(清潔)動(dòng)作。雖然在圖7中未圖示，但這相當(dāng)于先行實(shí)施基板印刷的間隔(圖7的步驟S15之后、下一基板15搬入前)中的掩模清掃動(dòng)作。另外，運(yùn)算處理部81d是本發(fā)明的“控制部”的一例。
[0141]在此，在印刷臺(tái)3a和3b的一方的印刷動(dòng)作期間，在執(zhí)行另一方的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作的先行處理動(dòng)作中，在使用基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)實(shí)施先行處理的情況下(上述第四實(shí)施方式、第五實(shí)施方式的情況下)，未實(shí)施基板印刷動(dòng)作的待機(jī)中的基板作業(yè)臺(tái)(2a和2b的任一個(gè))和待機(jī)中的印刷臺(tái)(3a和3b的任一個(gè))需要配置于印刷裝置的Y方向的相同側(cè)。
[0142]S卩，例如如圖9所示，在Yl方向側(cè)的基板作業(yè)臺(tái)2b和印刷臺(tái)3b都處于待機(jī)中的情況下，能夠先行實(shí)施使基板作業(yè)臺(tái)2b與印刷臺(tái)3b協(xié)作的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作。另一方面，如圖10所示，在Yl方向側(cè)的基板作業(yè)臺(tái)2b和Y2方向側(cè)的印刷臺(tái)3a都處于待機(jī)中的情況下，在基板作業(yè)臺(tái)2b和印刷臺(tái)3a之間執(zhí)行印刷動(dòng)作(基板作業(yè)臺(tái)2a和印刷臺(tái)3b的第二印刷)，所以無法使基板作業(yè)臺(tái)2b沿Y方向移動(dòng)至印刷臺(tái)3a側(cè)。
[0143]因此，在第五實(shí)施方式中，作為先行實(shí)施掩模清掃動(dòng)作的例子，對(duì)在基板作業(yè)臺(tái)2b和印刷臺(tái)3b執(zhí)行基板印刷動(dòng)作(第二印刷)的期間使用基板作業(yè)臺(tái)2a來進(jìn)行印刷臺(tái)3a的小型元件用掩模6的先行清掃動(dòng)作的例子進(jìn)行說明。
[0144]如圖17所示，在第五實(shí)施方式中，也在基板作業(yè)臺(tái)2b側(cè)實(shí)施圖7所示的步驟SI?S15的基板印刷的處理流程。另外，圖17的處理流程作為持續(xù)實(shí)施的印刷動(dòng)作的途中動(dòng)作而制成，省略了步驟S4和S9的掩模識(shí)別處理。[0145]在圖17的情況下，在步驟S5?S8 (第一印刷)中，基板作業(yè)臺(tái)2a和印刷臺(tái)3b處于待機(jī)中。當(dāng)步驟S8的版分離處理結(jié)束時(shí)，轉(zhuǎn)移到由基板作業(yè)臺(tái)2a和印刷臺(tái)3b進(jìn)行的第二印刷(步驟SlO?S13)，印刷裝置IOOd的Y2方向側(cè)的基板作業(yè)臺(tái)2a和印刷臺(tái)3a都處于待機(jī)中。由此，能夠?qū)嵤┦够遄鳂I(yè)臺(tái)2a與印刷臺(tái)3a協(xié)作的先行清掃動(dòng)作。
[0146]在第五實(shí)施方式中，如圖18所示，運(yùn)算處理部81d在第二印刷(步驟SlO?S13)的期間使印刷臺(tái)3a向從印刷臺(tái)3b離開的Y2方向移動(dòng)。并且，運(yùn)算處理部81d使基板作業(yè)臺(tái)2a的清潔單元25的未圖示的清潔頭上升而與小型元件用掩模6的基板接觸面抵接，并且使基板作業(yè)臺(tái)2a與小型元件用掩模6 (印刷臺(tái)3a)在Y方向上相對(duì)移動(dòng)，從而使清潔頭在Y方向上相對(duì)于小型元件用掩模6滑動(dòng)。這時(shí)，在清潔頭，由未圖示的吸嘴負(fù)壓吸引焊膏而將其除去。由此，小型元件用掩模6的基板接觸面被清掃。其結(jié)果為，通常在基板印刷的間隔所實(shí)施的掩模清掃動(dòng)作在步驟SlO?S13的執(zhí)行過程中完成。因此，在步驟S15的基板印刷完成后，在印刷臺(tái)3a (小型元件用掩模6)側(cè)，能夠跳過先行實(shí)施的掩模的清掃動(dòng)作，執(zhí)行下一基板5的印刷動(dòng)作。
[0147]另外，第五實(shí)施方式的印刷裝置IOOd的其他結(jié)構(gòu)與上述第一實(shí)施方式的印刷裝置100相同,所以省略說明。
[0148]在第五實(shí)施方式中，如上所述，運(yùn)算處理部81d在基板作業(yè)臺(tái)2b和印刷臺(tái)3b對(duì)第一印刷后的基板5執(zhí)行使用了大型元件用掩模7的基板印刷動(dòng)作(第二印刷)的期間，使用基板作業(yè)臺(tái)2a來進(jìn)行印刷臺(tái)3a的小型元件用掩模6的掩模清掃動(dòng)作。由此，在印刷臺(tái)3a的基板印刷(第一印刷)后，在印刷臺(tái)3b的基板印刷動(dòng)作(第二印刷)的執(zhí)行過程中，能夠在印刷臺(tái)3a側(cè)實(shí)施小型元件用掩模6的掩模清掃作業(yè)。其結(jié)果為，能夠縮短印刷臺(tái)3a對(duì)下一基板5進(jìn)行第一印刷時(shí)的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作所需的時(shí)間。
[0149]另外，第五實(shí)施方式的先行清掃動(dòng)作如上所述，由于只要將待機(jī)中的基板作業(yè)臺(tái)(2a和2b的任一個(gè))和待機(jī)中的印刷臺(tái)(3a和3b的任一個(gè))配置于Y方向的相同側(cè)即可，所以在基板作業(yè)臺(tái)2a和印刷臺(tái)3a執(zhí)行基板印刷動(dòng)作(第一印刷)的期間，可以使用基板作業(yè)臺(tái)2b來進(jìn)行印刷臺(tái)3b的大型元件用掩模7的掩模清掃動(dòng)作。
[0150]另外，在第五實(shí)施方式中，如上所述，運(yùn)算處理部81d在基板作業(yè)臺(tái)2b和印刷臺(tái)3b執(zhí)行基板印刷動(dòng)作(第二印刷)的期間，使印刷臺(tái)3a向從印刷臺(tái)3b離開的Y2方向移動(dòng)，并且在從印刷臺(tái)3b離開的位置進(jìn)行小型元件用掩模6的掩模清掃動(dòng)作。由此，在掩模清掃動(dòng)作時(shí)能夠使印刷臺(tái)3a從印刷臺(tái)3b離開，所以在由印刷臺(tái)3b進(jìn)行的第二印刷的動(dòng)作中也能夠確保用于掩模清掃動(dòng)作的作業(yè)空間。
[0151]另外，第五實(shí)施方式的其他效果與上述第二實(shí)施方式相同。
[0152](第六實(shí)施方式)
[0153]接著，參照?qǐng)D6?圖10和圖19?圖23，對(duì)本發(fā)明的第六實(shí)施方式的印刷裝置IOOe進(jìn)行說明。在該第六實(shí)施方式中，對(duì)以下例子進(jìn)行說明:與在印刷臺(tái)3a和3b的一方的印刷動(dòng)作期間執(zhí)行另一方的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作的上述第二至第五實(shí)施方式不同，在印刷臺(tái)3a和3b的一方的印刷動(dòng)作期間執(zhí)行另一方的印刷動(dòng)作。
[0154]第六實(shí)施方式的印刷裝置IOOe (參照?qǐng)D21)構(gòu)成為對(duì)基板作業(yè)臺(tái)2a和基板作業(yè)臺(tái)2b交替地搬入基板5，執(zhí)行印刷。
[0155]并且，第六實(shí)施方式的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作IOOe的運(yùn)算處理部Sle (參照?qǐng)D6)構(gòu)成為進(jìn)行以下控制:在印刷臺(tái)3b和基板作業(yè)臺(tái)2a及2b的一方對(duì)第一印刷后的第一基板5進(jìn)行基板印刷動(dòng)作(第二印刷)的執(zhí)行過程中，通過印刷臺(tái)3a和基板作業(yè)臺(tái)2a及2b的另一方，對(duì)第一印刷前的第二基板5執(zhí)行基板印刷動(dòng)作(第一印刷)。另外，運(yùn)算處理部Sle是本發(fā)明的“控制部”的一例。
[0156]另外，第六實(shí)施方式的印刷裝置IOOe的運(yùn)算處理部Sle構(gòu)成為進(jìn)行以下控制:在由印刷臺(tái)3a和3b的一方和基板作業(yè)臺(tái)2a及2b的一方執(zhí)行基板印刷動(dòng)作的執(zhí)行過程中，由基板作業(yè)臺(tái)2a及2b的另一方執(zhí)行基板搬入和基板搬出動(dòng)作。
[0157]另外，第六實(shí)施方式的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作IOOe的其他結(jié)構(gòu)與上述第一實(shí)施方式的印刷裝置100相同，所以省略說明。
[0158]在此，參照?qǐng)D6?圖10和圖19?圖23，說明第六實(shí)施方式的印刷裝置IOOe的基板印刷動(dòng)作。以下的處理由印刷裝置IOOe的運(yùn)算處理部Sle控制。
[0159]在第六實(shí)施方式的印刷裝置IOOe的基板印刷動(dòng)作處理中，對(duì)各基板5的印刷處理的流程基本上與圖7的步驟SI?S15所示的處理相同。以下，關(guān)于基板5，作為第一張基板5a至第四張基板5d由a?d表示其為第幾張基板，為了方便，表示印刷四張基板5而結(jié)束印刷動(dòng)作的例子。在圖19和圖20中，僅在初次印刷時(shí)進(jìn)行圖7的步驟S4和S9所示的掩模識(shí)別動(dòng)作，在后續(xù)的基板5 (5b?5d)的印刷時(shí)省略掩模識(shí)別動(dòng)作進(jìn)行表示。另外，各步驟末尾所附的a?d表示對(duì)第一張基板5a至第四張基板5d的處理。另外，在該例子中，表示最先將基板5 (5a)搬入基板作業(yè)臺(tái)2a的例子。
[0160]如圖19所示，首先，在步驟Sla中，將第一張基板5 (5a)從搬入位置Enl (參照?qǐng)D8)搬入到基板作業(yè)臺(tái)2a。經(jīng)由步驟S2a的基板固定、步驟S3a的基板標(biāo)記識(shí)別，在步驟S4a中進(jìn)行印刷臺(tái)3a的小型元件用掩模6的標(biāo)記識(shí)別(僅初次)。
[0161]接著，在步驟S5a?S8a中，通過基板作業(yè)臺(tái)2a和印刷臺(tái)3a實(shí)施對(duì)基板5a的第一印刷。當(dāng)在步驟SSa進(jìn)行版分離時(shí)，在步驟S9a中進(jìn)行印刷臺(tái)3b的大型元件用掩模7的掩模標(biāo)記識(shí)別(僅初次)。
[0162]并且，在步驟SlOa?S13a中，通過基板作業(yè)臺(tái)2a和印刷臺(tái)3b實(shí)施對(duì)基板5a的第二印刷(參照?qǐng)D10)。在此期間，在基板作業(yè)臺(tái)2b側(cè)，在步驟Slb中，將第二張基板5 (5b)從搬入位置En2搬入到基板作業(yè)臺(tái)2b，實(shí)施步驟S2b的基板固定和步驟S3b的基板標(biāo)記識(shí)別(參照?qǐng)D23)。
[0163]當(dāng)在步驟S13a進(jìn)行版分離時(shí)，在步驟S14a中，解除基板作業(yè)臺(tái)2a的第一張基板5a的基板固定，并且基板作業(yè)臺(tái)2a朝向搬出位置Exl沿Y2方向移動(dòng)。并且，如圖21所示，在步驟S15a中，由基板作業(yè)臺(tái)2a從搬出位置Exl搬出基板5a，并且處理前進(jìn)到步驟Slc(參照?qǐng)D19)，將第三張基板5 (5c)從搬入位置Enl搬入到基板作業(yè)臺(tái)2a，在步驟S2c中進(jìn)行第三張基板5c的基板固定。
[0164]在此，由于在步驟S13a中進(jìn)行版分離時(shí)，基板作業(yè)臺(tái)2a朝向搬出位置Exl沿Y2方向移動(dòng)，所以基板作業(yè)臺(tái)2b也能夠朝向印刷臺(tái)3a沿Y2方向移動(dòng)。并且，在步驟S14a?S2c的期間，在基板作業(yè)臺(tái)2b側(cè)，如圖21所示，通過基板作業(yè)臺(tái)2b和印刷臺(tái)3a實(shí)施對(duì)第二張基板5b的第一印刷(步驟S5b?S8b)。換言之，在基板作業(yè)臺(tái)2b和印刷臺(tái)3a的基板印刷動(dòng)作中(步驟S5b?S8b)，由基板作業(yè)臺(tái)2a進(jìn)行第一張基板5a的搬出(步驟S15a)和第三張基板5c的搬入(步驟Sic)。[0165]在進(jìn)行對(duì)第二張基板5b的版分離(步驟S8b)之后，在基板作業(yè)臺(tái)2b側(cè)，在步驟SlOb?S13b中，由基板作業(yè)臺(tái)2b和印刷臺(tái)3b實(shí)施對(duì)第二張基板5b的第二印刷。如圖22所示，在步驟SlOb中，朝向第二印刷的印刷位置，基板作業(yè)臺(tái)2b向Yl方向移動(dòng)，印刷臺(tái)3b向Y2方向移動(dòng)，在版對(duì)合完成后實(shí)施第二印刷。
[0166]在此期間，在基板作業(yè)臺(tái)2a側(cè)，在第三張基板5c的基板標(biāo)記識(shí)別(步驟S3c)之后，由基板作業(yè)臺(tái)2a和印刷臺(tái)3a并行實(shí)施對(duì)第三張基板5c的第一印刷的步驟S5c (向印刷位置的移動(dòng))、步驟S6c (版對(duì)合)和步驟S7c (印刷動(dòng)作)。如此，在第六實(shí)施方式中，在步驟SlOb?S13b中的由印刷臺(tái)3b和基板作業(yè)臺(tái)2b對(duì)基板5b執(zhí)行基板印刷動(dòng)作(第二印刷)的過程中，由印刷臺(tái)3a和基板作業(yè)臺(tái)2a對(duì)基板5c執(zhí)行基板印刷動(dòng)作(第一印刷)(步驟 S5c ?S7c)。
[0167]當(dāng)在步驟S13b中進(jìn)行版分離時(shí)，基板作業(yè)臺(tái)2b從圖22所示的位置朝向搬出位置Ex2沿Yl方向移動(dòng)，并且解除基板5b的固定(步驟S14b)。其結(jié)果為，基板作業(yè)臺(tái)2a也能夠沿Yl方向朝向印刷臺(tái)3b移動(dòng)。并且，在基板作業(yè)臺(tái)2a側(cè)，如圖20所示，在步驟S8c中進(jìn)行了對(duì)第三張基板5c的版分離后，由基板作業(yè)臺(tái)2a和印刷臺(tái)3b實(shí)施對(duì)第三張基板5c的第二印刷(步驟SlOc?S13c)。如圖23所示，與該第二印刷(步驟SlOc?S13c)并行地在基板作業(yè)臺(tái)2b側(cè)實(shí)施:第二張基板5b從搬出位置Ex2的搬出(步驟S15b)、第四張基板5d從搬入位置En2的搬入(步驟Sid)、基板固定(步驟S2d)及基板標(biāo)記識(shí)別(步驟S3d)。
[0168]當(dāng)在基板作業(yè)臺(tái)2a側(cè)對(duì)第三張基板5c的第二印刷的版分離(步驟S13c)結(jié)束時(shí)，基板作業(yè)臺(tái)2a從圖23所示的位置朝向搬出位置Exl向Y2方向移動(dòng)，并且解除基板5c的固定(步驟S14c)。并且，如圖21所示，基板作業(yè)臺(tái)2a對(duì)第三張基板5c的搬出(步驟S15c)在搬出位置Exl實(shí)施。由此，基板作業(yè)臺(tái)2a側(cè)的印刷處理結(jié)束，基板作業(yè)臺(tái)2a在搬出位置Exl (搬入位置Enl)處于待機(jī)狀態(tài)。
[0169]另一方面，在基板作業(yè)臺(tái)2b中，對(duì)應(yīng)基板作業(yè)臺(tái)2a向Y2方向的移動(dòng)(步驟S 14c)，在步驟S4d中，基板作業(yè)臺(tái)2b朝向與印刷臺(tái)3a之間的印刷位置向Y2方向移動(dòng)。并且，如圖21所示，與基板作業(yè)臺(tái)2a對(duì)第三張基板5c的搬出(步驟S15c)并行地在步驟S5d?S8d中執(zhí)行基板作業(yè)臺(tái)2b和印刷臺(tái)3a對(duì)第四張基板5d的第一印刷。另外，在步驟SlOd?S13d中執(zhí)行基板作業(yè)臺(tái)2b和印刷臺(tái)3b對(duì)第四張基板5d的第二印刷。之后，經(jīng)由步驟S14d的基板固定解除和向搬出位置Ex2的Yl方向移動(dòng)，在步驟S15d中基板作業(yè)臺(tái)2b對(duì)第四張基板5d的搬出(步驟S15d)在搬出位置Ex2實(shí)施。由此，基板作業(yè)臺(tái)2b側(cè)的印刷處理結(jié)束，基板作業(yè)臺(tái)2b在搬出位置Ex2 (搬入位置En2)處于待機(jī)狀態(tài)，印刷裝置IOOe的印刷動(dòng)作結(jié)束。
[0170]在第六實(shí)施方式中，如上所述，運(yùn)算處理部Sle在印刷臺(tái)3b和基板作業(yè)臺(tái)2b對(duì)第一印刷后的基板5 (5b)執(zhí)行第二印刷的基板印刷動(dòng)作的執(zhí)行過程中(步驟SlOb?S13b)，由印刷臺(tái)3a和基板作業(yè)臺(tái)2a對(duì)第一印刷前的基板5 (5c)實(shí)施第一印刷的基板印刷動(dòng)作(步驟S5c?S8c)。由此，在對(duì)基板5b (第一基板)的第二印刷的執(zhí)行過程中，能夠先行實(shí)施對(duì)下一印刷對(duì)象的基板5c (第二基板)的第一印刷。其結(jié)果為，即使在由一臺(tái)印刷裝置IOOe執(zhí)行第一印刷和第二印刷的情況下，也能夠縮短對(duì)下一基板5c進(jìn)行印刷時(shí)的基板印刷動(dòng)作所需的時(shí)間。
[0171]另外，在第六實(shí)施方式中，如上所述，運(yùn)算處理部Sle在由印刷臺(tái)3a及印刷臺(tái)3b的一方和基板作業(yè)臺(tái)2a及基板作業(yè)臺(tái)2b的一方執(zhí)行基板印刷動(dòng)作的執(zhí)行過程中，實(shí)施由基板作業(yè)臺(tái)2a及基板作業(yè)臺(tái)2b的另一方進(jìn)行的基板搬入(步驟Slb、Slc及Sld)及基板搬出(步驟S15a、S15b及S15c)。由此，在使用基板作業(yè)臺(tái)2a和基板作業(yè)臺(tái)2b的一方執(zhí)行基板印刷動(dòng)作的期間，能夠由另一方實(shí)施用于下一基板印刷的基板搬入和基板搬出。其結(jié)果為，即使在由一臺(tái)印刷裝置IOOe執(zhí)行第一印刷和第二印刷的情況下，也能夠縮短對(duì)下一基板5進(jìn)行印刷時(shí)的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作(基板搬入、搬出動(dòng)作)所需的時(shí)間。
[0172]另外，第六實(shí)施方式的其他效果與上述第二實(shí)施方式相同。
[0173](第六實(shí)施方式的變形例)
[0174]在上述第六實(shí)施方式中，示出了以執(zhí)行以下控制的方式構(gòu)成運(yùn)算處理部Sle的例子:并行進(jìn)行對(duì)不同基板5的第一印刷和第二印刷的控制及與基板印刷動(dòng)作并行地進(jìn)行其他基板的基板搬入和基板搬出，除此以外，還同時(shí)執(zhí)行上述第二至第五實(shí)施方式所示的控制。
[0175]具體而言，在圖19和圖20所示的流程圖中，在印刷臺(tái)3a的動(dòng)作和印刷臺(tái)3b的動(dòng)作中分別存在待機(jī)期間T4、T5和T6、待機(jī)期間T7、T8和T9。因此，能夠在該待機(jī)期間中先行實(shí)施印刷準(zhǔn)備動(dòng)作。
[0176]例如，關(guān)于印刷臺(tái)3a，在待機(jī)期間T4和T5中，能夠?yàn)榱诉M(jìn)行第一印刷而實(shí)施上述第二實(shí)施方式所示的先行接近動(dòng)作和上述第三實(shí)施方式所示的先行下降動(dòng)作。在待機(jī)期間T4中只要實(shí)施先行接近動(dòng)作和先行下降動(dòng)作，則能夠縮短隨后的步驟S5b的向印刷位置的移動(dòng)處理和步驟S6b的版對(duì)合處理各自所需的時(shí)間。另外，關(guān)于印刷臺(tái)3b也同樣地在待機(jī)期間T7、T8和T9中，能夠?yàn)榱诉M(jìn)行第二印刷而實(shí)施先行接近動(dòng)作和先行下降動(dòng)作。
[0177]另外，關(guān)于待機(jī)期間T7，除了印刷臺(tái)3b，與印刷臺(tái)3b位于Y方向的相同側(cè)(Yl方向側(cè))的基板作業(yè)臺(tái)2b也處于待機(jī)狀態(tài)。因此，在待機(jī)期間T7中，能夠?qū)嵤┥鲜龅谒膶?shí)施方式所示的先行掩模識(shí)別。在這種情況下，在印刷臺(tái)3a側(cè)的掩模標(biāo)記識(shí)別(步驟S4a)和第一印刷(步驟S5a?S8a)實(shí)施期間的待機(jī)期間T7中先行實(shí)施在步驟S9a中基板作業(yè)臺(tái)2a所實(shí)施的掩模標(biāo)記識(shí)別。其結(jié)果為，能夠跳過步驟S9a的處理。
[0178]另外，關(guān)于待機(jī)期間T6，除了印刷臺(tái)3a，與印刷臺(tái)3a位于Y方向的相同側(cè)(Y2方向側(cè))的基板作業(yè)臺(tái)2a也處于印刷結(jié)束后的待機(jī)狀態(tài)。因此，在待機(jī)期間T6中，能夠?qū)嵤┥鲜龅谖鍖?shí)施方式所示的先行清掃動(dòng)作。由此，在印刷臺(tái)3b和基板作業(yè)臺(tái)2b執(zhí)行第二印刷(步驟SlOd?S13d)的執(zhí)行過程中，能夠提前地先行實(shí)施用于開始下一基板5的印刷的掩模清掃動(dòng)作。
[0179]另外，應(yīng)認(rèn)為本次公開的實(shí)施方式所有方面均為例示而非限制。本發(fā)明的范圍不是由上述實(shí)施方式的說明而由權(quán)利要求表示，另外還包含與權(quán)利要求等同含義和范圍內(nèi)的所有變更。
[0180]例如，在上述第一至第六實(shí)施方式中，作為本發(fā)明的基板印刷裝置的一例，示出了本發(fā)明適用于對(duì)印刷基板進(jìn)行焊料印刷作業(yè)的印刷裝置100 (100a?IOOe)的例子，但是本發(fā)明不限于此。在本發(fā)明中，只要是使用絲網(wǎng)掩模進(jìn)行基板印刷的基板印刷裝置，則本發(fā)明也可以應(yīng)用于焊料以外的粘性材料(例如銀膏等導(dǎo)電性膏等)的印刷裝置。
[0181]另外，在上述第一至第六實(shí)施方式中，示出了設(shè)有兩個(gè)基板作業(yè)臺(tái)的例子，但是本發(fā)明不限于此。在本發(fā)明中，也可以設(shè)置一個(gè)或三個(gè)以上的基板作業(yè)臺(tái)。[0182]另外，在上述第一至第六實(shí)施方式中，示出了兩個(gè)基板作業(yè)臺(tái)和兩個(gè)印刷臺(tái)都能夠在Y方向上移動(dòng)地構(gòu)成的例子，但是本發(fā)明不限于此。在本發(fā)明中，為了進(jìn)行第一印刷和第二印刷，只要構(gòu)成為基板作業(yè)臺(tái)和兩個(gè)印刷臺(tái)的至少一方能夠在Y方向上移動(dòng)即可。因此，可以使基板作業(yè)臺(tái)在Y方向上固定，而僅使印刷臺(tái)在Y方向上可動(dòng)。另外，也可以使印刷臺(tái)在Y方向上固定，而僅使基板作業(yè)臺(tái)在Y方向上可動(dòng)。另外，例如也可以使兩個(gè)基板作業(yè)臺(tái)中的一方在Y方向上可動(dòng)，而使另一方在Y方向上固定。
[0183]另外，在上述第一至第六實(shí)施方式中，示出了構(gòu)成為通過使兩個(gè)印刷臺(tái)上下(在Z方向上)移動(dòng)而進(jìn)行版對(duì)合和版分離的例子，但是本發(fā)明不限于此。在本發(fā)明中，為了進(jìn)行第一印刷和第二印刷，只要構(gòu)成為基板作業(yè)臺(tái)和兩個(gè)印刷臺(tái)的至少一方能夠在上下方向上移動(dòng)即可。因此，可以使基板作業(yè)臺(tái)在Z方向上固定，而僅使印刷臺(tái)在Z方向上可動(dòng)。另外，也可以使印刷臺(tái)在Z方向上固定，而僅使基板作業(yè)臺(tái)在Z方向上可動(dòng)。
[0184]另外，在上述第一至第六實(shí)施方式中，示出了設(shè)有兩個(gè)搬入位置Enl和En2的例子，但是本發(fā)明不限于此。搬入位置可以是一個(gè)或三個(gè)以上。
[0185]另外，在上述第一至第六實(shí)施方式中，示出了設(shè)有兩個(gè)搬出位置Exl和Ex2的例子，但是本發(fā)明不限于此。搬出位置可以是一個(gè)或三個(gè)以上。
[0186]另外，在上述第一至第六實(shí)施方式中，示出了從設(shè)于搬入位置Enl和En2上的裝載器將基板直接交付給基板作業(yè)臺(tái)的結(jié)構(gòu)的例子，但是本發(fā)明不限于此。在本發(fā)明中，例如可以在裝載器與基板作業(yè)臺(tái)之間設(shè)置中間輸送機(jī)，經(jīng)由中間輸送機(jī)從裝載器側(cè)向基板作業(yè)臺(tái)側(cè)搬運(yùn)基板。特別是在搬入位置僅為一處的情況下，可以設(shè)置能夠向兩個(gè)基板作業(yè)臺(tái)分配地搬運(yùn)的可動(dòng)的中間輸送機(jī)。
[0187]另外，在上述第一至第六實(shí)施方式中，示出了在基板作業(yè)臺(tái)上設(shè)有掩模識(shí)別相機(jī)和清潔單元的例子，但是本發(fā)明不限于此。在本發(fā)明中，可以不在基板作業(yè)臺(tái)上設(shè)置掩模識(shí)別相機(jī)，也可以不在基板作業(yè)臺(tái)上設(shè)置清潔單元。
【權(quán)利要求】
1.一種基板印刷裝置，具備: 基板作業(yè)臺(tái)，保持印刷對(duì)象的基板； 第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)，在所述基板作業(yè)臺(tái)的上方并排地排列于水平方向的規(guī)定方向；以及 控制部，控制所述第一印刷臺(tái)及所述第二印刷臺(tái)的印刷動(dòng)作， 所述第一印刷臺(tái)保持第一膜厚的小型元件用掩模，該小型元件用掩模用于將粘性材料印刷于所述基板的第一印刷， 所述第二印刷臺(tái)保持大型元件用掩模，該大型元件用掩模具有比所述第一膜厚厚的第二膜厚，且在基板接觸面?zhèn)刃纬缮疃缺人龅谝荒ず竦暮穸却蟮耐吮懿恳允褂伤鲂⌒驮醚谀Ｓ∷⒑蟮恼承圆牧贤吮埽⒂糜谶M(jìn)行以下的第二印刷:將粘性材料印刷于由所述第一印刷臺(tái)進(jìn)行所述第一印刷后的所述基板， 所述基板作業(yè)臺(tái)和所述第一印刷臺(tái)及所述第二印刷臺(tái)的至少一方構(gòu)成為能夠在所述水平方向的規(guī)定方向上移動(dòng)， 所述基板作業(yè)臺(tái)和所述第一印刷臺(tái)及所述第二印刷臺(tái)的至少一方構(gòu)成為能夠在上下方向上移動(dòng)， 所述控制部構(gòu)成為，對(duì)保持于所述基板作業(yè)臺(tái)的所述基板由所述第一印刷臺(tái)的小型元件用掩模進(jìn)行了所述第一印刷之后，由所述第二印刷臺(tái)的大型元件用掩模進(jìn)行所述第二印刷。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板印刷裝置，其中， 所述控制部構(gòu)成為，在所述第一印刷臺(tái)及所述第二印刷臺(tái)的一方的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中實(shí)施所述第一印刷臺(tái)及所述`第二印刷臺(tái)的另一方的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板印刷裝置，其中， 所述第一印刷臺(tái)及所述第二印刷臺(tái)構(gòu)成為能夠分別在所述水平方向的規(guī)定方向上移動(dòng)， 所述控制部構(gòu)成為，在所述第一印刷臺(tái)的基板印刷動(dòng)作的執(zhí)行過程中以所述第一印刷臺(tái)與所述第二印刷臺(tái)的所述水平方向的規(guī)定方向的距離變小的方式使所述第二印刷臺(tái)向所述水平方向的規(guī)定方向移動(dòng)，從而使所述第二印刷臺(tái)接近印刷位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板印刷裝置，其中， 所述控制部構(gòu)成為，使所述第二印刷臺(tái)接近所述印刷位置直到與基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中的所述第一印刷臺(tái)之間的間隔變?yōu)樗龅谝挥∷⑴_(tái)與所述第二印刷臺(tái)能夠不發(fā)生干擾地接近的最小間隔的位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板印刷裝置，其中， 所述控制部構(gòu)成為，在使所述第二印刷臺(tái)接近所述印刷位置后，在由所述第二印刷臺(tái)進(jìn)行所述第二印刷時(shí)，保持所述最小間隔以上的距離并使所述第一印刷臺(tái)和所述第二印刷臺(tái)移動(dòng)而將所述第二印刷臺(tái)定位于所述印刷位置。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板印刷裝置，其中， 所述第一印刷臺(tái)及所述第二印刷臺(tái)構(gòu)成為能夠分別在上下方向上移動(dòng)， 所述控制部構(gòu)成為，在所述第一印刷臺(tái)的使用了所述小型元件用掩模的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中，使所述第二印刷臺(tái)從大型元件用掩模版分離高度位置下降到待機(jī)高度位置，其中，所述大型元件用掩模版分離高度位置是使所述大型元件用掩模相對(duì)于粘性材料的所述第二印刷后的所述基板離開的高度位置，所述待機(jī)高度位置是比所述大型元件用掩模版分離高度位置低且所述基板上的粘性材料與所述大型元件用掩模非接觸的高度位置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板印刷裝置，其中， 所述待機(jī)高度位置是至少基于所述小型元件用掩模的所述第一膜厚和所述大型元件用掩模的撓曲量而決定的高度位置。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板印刷裝置，其中， 所述基板作業(yè)臺(tái)包含構(gòu)成為能夠分別在所述水平方向的規(guī)定方向上移動(dòng)的第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)， 所述第一基板作業(yè)臺(tái)及所述第二基板作業(yè)臺(tái)分別具有能夠識(shí)別所述小型元件用掩模及所述大型元件用掩模的掩模識(shí)別相機(jī)， 所述控制部構(gòu)成為，在由所述第一基板作業(yè)臺(tái)和所述第二基板作業(yè)臺(tái)執(zhí)行使用了所述小型元件用掩模的基板印刷動(dòng)作的過程中，使用所述第二基板作業(yè)臺(tái)來實(shí)施所述第二印刷臺(tái)的所述大型元件用掩模的掩模識(shí)別。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板印刷裝置，其中， 所述控制部構(gòu)成為，至少在所述第一基板作業(yè)臺(tái)和所述第二基板作業(yè)臺(tái)的基板印刷動(dòng)作的初次執(zhí)行時(shí)，實(shí)施使用了所述第二基板作業(yè)臺(tái)的所述大型元件用掩模的掩模識(shí)別。
10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板印刷裝置，其中， 所述基板作業(yè)臺(tái)包含構(gòu)成為能夠分別在所述水平方向的規(guī)定方向上移動(dòng)的第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)， 所述第一基板作業(yè)臺(tái)及所述第二基板作業(yè)臺(tái)分別具有用于進(jìn)行所述小型元件用掩模及所述大型元件用掩模的清掃的清潔單元， 所述控制部構(gòu)成為，在所述第二基板作業(yè)臺(tái)和所述第二印刷臺(tái)對(duì)所述第一印刷后的所述基板執(zhí)行使用了所述大型元件用掩模的基板印刷動(dòng)作的期間，使用所述第一基板作業(yè)臺(tái)來進(jìn)行所述第一印刷臺(tái)的所述小型元件用掩模的掩模清掃動(dòng)作。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的基板印刷裝置，其中， 所述第一印刷臺(tái)及所述第二印刷臺(tái)構(gòu)成為能夠分別在所述水平方向的規(guī)定方向上移動(dòng)， 所述控制部構(gòu)成為，在所述第二基板作業(yè)臺(tái)和所述第二印刷臺(tái)執(zhí)行基板印刷動(dòng)作的期間，使所述第一印刷臺(tái)向從所述第二印刷臺(tái)離開的方向移動(dòng)，并且在從所述第二印刷臺(tái)離開的位置進(jìn)行所述小型元件用掩模的掩模清掃動(dòng)作。
12.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板印刷裝置，其中， 所述基板作業(yè)臺(tái)包含構(gòu)成為能夠分別在所述規(guī)定方向上移動(dòng)的第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)， 所述控制部構(gòu)成為，在由所述第一印刷臺(tái)及所述第二印刷臺(tái)的一方和所述第一基板作業(yè)臺(tái)及所述第二基板作業(yè)臺(tái)的一方執(zhí)行基板印刷動(dòng)作的過程中，由所述第一基板作業(yè)臺(tái)及所述第二基板作業(yè)臺(tái)的另一方實(shí)施基板搬入和基板搬出的至少一方的動(dòng)作。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板印刷裝置，其中， 所述基板作業(yè)臺(tái)包含構(gòu)成為能夠分別在所述規(guī)定方向上移動(dòng)的第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)， 所述控制部構(gòu)成為，在由所述第二印刷臺(tái)和所述第一基板作業(yè)臺(tái)及所述第二基板作業(yè)臺(tái)的一方對(duì)所述第一印刷后的第一基板執(zhí)行所述第二印刷的基板印刷動(dòng)作的過程中，由所述第一印刷臺(tái)和所述第一基板作業(yè)臺(tái)及所述第二基板作業(yè)臺(tái)的另一方對(duì)所述第一印刷前的第二基板執(zhí)行所述第一印刷的基板印刷動(dòng)作。
14.一種基板印刷方法，是具備將粘性材料印刷于基板的第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的基板印刷裝置的基板印刷方法， 所述基板印刷方法具備如下工序: 對(duì)保持于基板作業(yè)臺(tái)的所述基板由所述第一印刷臺(tái)的小型元件用掩模進(jìn)行第一印刷；以及 對(duì)保持于所述基板作業(yè)臺(tái)并進(jìn)行了所述第一印刷后的所述基板由第二印刷臺(tái)的大型元件用掩模進(jìn)行第二印刷。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的基板印刷方法，還具備如下工序: 在由所述第一印刷臺(tái)進(jìn)行所述第一印刷的工序及由所述第二印刷臺(tái)進(jìn)行所述第二印刷的工序的一方的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中，實(shí)施為了由所述第一印刷臺(tái)進(jìn)行所述第一印刷的工序及由所述第二印刷臺(tái)進(jìn)行所述第`二印刷的工序的另一方而進(jìn)行的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作。
【文檔編號(hào)】B41F15/08GK103879130SQ201310704717
【公開日】2014年6月25日 申請(qǐng)日期:2013年12月19日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月19日
【發(fā)明者】藤本猛志 申請(qǐng)人:雅馬哈發(fā)動(dòng)機(jī)株式會(huì)社
【專利摘要】本發(fā)明提供基板印刷裝置及基板印刷方法，該基板印刷裝置具備基板作業(yè)臺(tái)、第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)和控制印刷動(dòng)作的控制部?？刂撇繕?gòu)成為，對(duì)保持于基板作業(yè)臺(tái)的基板由第一印刷臺(tái)的小型元件用掩模進(jìn)行了第一印刷后，由第二印刷臺(tái)的大型元件用掩模進(jìn)行第二印刷。
【專利說明】基板印刷裝置及基板印刷方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及基板印刷裝置及基板印刷方法，特別是涉及對(duì)基板進(jìn)行掩模印刷的基板印刷裝置及基板印刷方法。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，已知有對(duì)基板進(jìn)行掩模印刷的基板印刷裝置。這樣的基板印刷裝置例如在日本特開2006 — 66811號(hào)公報(bào)中公開。
[0003]隨著安裝于印刷基板上的電子元件的小型化，0603尺寸(0.6mmX0.3mm),0402尺寸(0.4mmX 0.2mm)等小型元件(極小元件)和屏蔽元件等大型元件混合地安裝于基板上。在為了安裝這些元件而在基板上印刷焊料等粘性材料時(shí)，粘性材料的適當(dāng)轉(zhuǎn)印量大致根據(jù)元件的尺寸來決定，所以需要以與元件的尺寸對(duì)應(yīng)的轉(zhuǎn)印量來印刷粘性材料。
[0004]在日本特開2006 — 66811號(hào)公報(bào)中，公開了如下技術(shù):使用在一張掩模中增大與大型元件對(duì)應(yīng)的印刷區(qū)域的厚度并減小與小型元件(極小元件)對(duì)應(yīng)的印刷區(qū)域的厚度的掩模(所謂半蝕刻掩模)來進(jìn)行焊料印刷。粘性材料相對(duì)于基板的轉(zhuǎn)印量與掩模的厚度對(duì)應(yīng)，所以通過使用半蝕刻掩模，能夠以與元件尺寸對(duì)應(yīng)的轉(zhuǎn)印量進(jìn)行粘性材料的印刷。但是，在使用日本特開2006 - 66811號(hào)公報(bào)中公開的掩模的情況下，由于在印刷區(qū)域中形成臺(tái)階部分(大型元件用的厚度與小型元件用的厚度的邊界部分)，在該臺(tái)階部分的附近區(qū)域，無法確保用于將粘性材料填充于開口的穩(wěn)定的印刷壓力，所以需要以避開臺(tái)階部分的附近區(qū)域的方式形成電路圖案(掩模的開口圖案)。因此，在日本特開2006 — 66811號(hào)公報(bào)所公開的印刷技術(shù)中，無法提高電路的集成度。
[0005]因此，人們考慮準(zhǔn)備厚度較小的小型元件用的第一掩模和厚度較大的大型元件用的第二掩模這兩種掩模來進(jìn)行順次印刷。通過在第二掩模的基板接觸面?zhèn)仍O(shè)置退避部以使由第一掩模形成的轉(zhuǎn)印材料的圖案退避，能夠在由第一掩模形成了小型元件用(極小元件用)的印刷圖案后，由第二掩模形成大型元件用的印刷圖案。
[0006]但是，在使用兩種掩模的情況下，需要構(gòu)筑設(shè)置兩臺(tái)基板印刷裝置而進(jìn)行順次印刷的生產(chǎn)線，存在生產(chǎn)線結(jié)構(gòu)復(fù)雜化的問題。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0007]本發(fā)明用于解決上述問題而作出，其目的之一在于提供基板印刷裝置和基板印刷方法，即使在使用小型元件用掩模和大型元件用掩模這兩種掩模進(jìn)行印刷的情況下，也能夠不使生產(chǎn)線結(jié)構(gòu)復(fù)雜化地進(jìn)行基板生產(chǎn)。
[0008]為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明的第一方面的基板印刷裝置具備:基板作業(yè)臺(tái)，保持印刷對(duì)象的基板；第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)，在基板作業(yè)臺(tái)的上方并排地排列于水平方向的規(guī)定方向；以及控制部，控制第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的印刷動(dòng)作，第一印刷臺(tái)保持第一膜厚的小型元件用掩模，該小型元件用掩模用于進(jìn)行將粘性材料印刷于基板的第一印刷，第二印刷臺(tái)保持大型元件用掩模，該該大型元件用掩模具有比第一膜厚厚的第二膜厚，且在基板接觸面?zhèn)刃纬缮疃缺鹊谝荒ず竦暮穸却蟮耐吮懿恳允褂尚⌒驮醚谀Ｓ∷⒑蟮恼承圆牧贤吮?，并用于進(jìn)行以下的第二印刷:將粘性材料印刷于由第一印刷臺(tái)進(jìn)行第一印刷后的基板，基板作業(yè)臺(tái)和第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的至少一方構(gòu)成為能夠在水平方向的規(guī)定方向上移動(dòng)，基板作業(yè)臺(tái)和第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的至少一方構(gòu)成為能夠在上下方向上移動(dòng)，控制部構(gòu)成為，對(duì)保持于基板作業(yè)臺(tái)的基板由第一印刷臺(tái)的小型元件用掩模進(jìn)行了第一印刷之后，由第二印刷臺(tái)的大型元件用掩模進(jìn)行第二印刷。
[0009]在本發(fā)明的第一方面的基板印刷裝置中，如上所述，在第一印刷臺(tái)上保持用于進(jìn)行將粘性材料印刷于基板的第一印刷的小型元件用掩模，在第二印刷臺(tái)上保持大型元件用掩模，該大型元件用掩模在基板接觸面?zhèn)刃纬缮疃缺鹊谝荒ず竦暮穸却蟮耐吮懿恳允褂尚⌒驮醚谀Ｓ∷⒑蟮恼承圆牧贤吮?，并用于進(jìn)行將粘性材料印刷于由第一印刷臺(tái)進(jìn)行第一印刷后的基板上的第二印刷，控制部構(gòu)成為，對(duì)保持于基板作業(yè)臺(tái)的基板由第一印刷臺(tái)的小型元件用掩模進(jìn)行了第一印刷之后，由第二印刷臺(tái)的大型元件用掩模進(jìn)行第二印刷。由此，能夠通過一臺(tái)基板印刷裝置執(zhí)行使用了小型元件用掩模(極小元件用掩模)的第一印刷和使用了大型元件用掩模的第二印刷。由此，由于無需在生產(chǎn)線上設(shè)置兩臺(tái)基板印刷裝置，所以即使在使用小型元件用掩模和大型元件用掩模這兩種掩模進(jìn)行印刷的情況下，也能夠不使生產(chǎn)線結(jié)構(gòu)復(fù)雜化地進(jìn)行基板的生產(chǎn)。
[0010]在上述第一方面的基板印刷裝置中，優(yōu)選為，控制部構(gòu)成為，在第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的一方的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中實(shí)施第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的另一方的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠利用第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的一方的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中的待機(jī)期間，由另一方先行進(jìn)行用于下一印刷的準(zhǔn)備動(dòng)作。由此，即使在由一臺(tái)基板印刷裝置執(zhí)行第一印刷和第二印刷的情況下，也能夠縮短基板印刷所需的時(shí)間(基板印刷動(dòng)作和基板準(zhǔn)備動(dòng)作所需的時(shí)間)。
[0011]在這種情況下，優(yōu)選為，第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)構(gòu)成為能夠分別在水平方向的規(guī)定方向上移動(dòng)，控制部構(gòu)成為，在第一印刷臺(tái)的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中，以第一印刷臺(tái)與第二印刷臺(tái)的水平方向的規(guī)定方向的距離變小的方式使第二印刷臺(tái)向水平方向的規(guī)定方向移動(dòng)，從而使第二印刷臺(tái)接近印刷位置。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠在第一印刷臺(tái)的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中實(shí)施第二印刷臺(tái)向印刷位置的移動(dòng)動(dòng)作的一部分，所以能夠縮短由第二印刷臺(tái)進(jìn)行第二印刷時(shí)的基板印刷所需的時(shí)間。
[0012]在上述第一印刷臺(tái)的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中使第二印刷臺(tái)接近印刷位置的結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選為，控制部構(gòu)成為，使第二印刷臺(tái)接近印刷位置直到與基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中的第一印刷臺(tái)之間的間隔變?yōu)榈谝挥∷⑴_(tái)與第二印刷臺(tái)能夠不發(fā)生干擾地接近的最小間隔的位置。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠在第一印刷臺(tái)的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中使第二印刷臺(tái)極度接近，所以能夠有效地縮短由第二印刷臺(tái)進(jìn)行第二印刷時(shí)的基板印刷所需的時(shí)間。
[0013]在這種情況下，優(yōu)選為，控制部構(gòu)成為，在使第二印刷臺(tái)接近印刷位置后，在由第二印刷臺(tái)進(jìn)行第二印刷時(shí)，保持最小間隔以上的距離并使第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)移動(dòng)而將第二印刷臺(tái)定位于印刷位置。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，例如在為了將第二印刷臺(tái)定位于印刷位置而需要使第一印刷臺(tái)退避的情況下等，與使第一印刷臺(tái)和第二印刷臺(tái)順序地(單獨(dú)地)移動(dòng)的情況相比，能夠縮短第二印刷臺(tái)向印刷位置移動(dòng)所需的時(shí)間。
[0014]在上述第一印刷臺(tái)和第二印刷臺(tái)的一方的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中實(shí)施第一印刷臺(tái)和第二印刷臺(tái)的另一方的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作的結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選為，第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)構(gòu)成為能夠分別在上下方向上移動(dòng)，控制部構(gòu)成為，在第一印刷臺(tái)的使用了小型元件用掩模的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中，使第二印刷臺(tái)從大型元件用掩模版分離高度位置下降到待機(jī)高度位置，其中，該大型元件用掩模版分離高度位置是使大型元件用掩模相對(duì)于粘性材料的第二印刷后的基板離開的高度位置，該待機(jī)高度位置是比大型元件用掩模版分離高度位置低且基板上的粘性材料與大型元件用掩模非接觸的高度位置。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，在第一印刷臺(tái)的基板印刷動(dòng)作(第一印刷)執(zhí)行過程中，能夠在第二印刷臺(tái)側(cè)實(shí)施進(jìn)行大型元件用掩模與基板的版對(duì)合時(shí)的下降動(dòng)作的一部分。由此，能夠縮短由第二印刷臺(tái)進(jìn)行第二印刷時(shí)的基板印刷所需的時(shí)間。
[0015]在這種情況下，優(yōu)選為，待機(jī)高度位置是至少基于小型元件用掩模的第一膜厚和大型元件用掩模的撓曲量而決定的高度位置。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，在進(jìn)行第二印刷時(shí)的第一印刷后的基板之上形成有與第一膜厚量相當(dāng)?shù)恼承圆牧?，所以能夠通過考慮到該第一膜厚和大型元件用掩模的撓曲量而在極度接近第一印刷后的基板的待機(jī)高度位置上配置大型元件用掩模。由此，能夠縮短由第二印刷臺(tái)進(jìn)行第二印刷時(shí)的基板印刷所需的時(shí)間。
[0016]在上述第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的一方的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中實(shí)施第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的另一方的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作的結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選為，基板作業(yè)臺(tái)包含構(gòu)成為能夠分別在水平方向的規(guī)定方向上移動(dòng)的第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)，第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)分別具有能夠識(shí)別小型元件用掩模及大型元件用掩模的掩模識(shí)別相機(jī)，控制部構(gòu)成為，在由第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)執(zhí)行使用了小型元件用掩模的基板印刷動(dòng)作的過程中，使用第二基板作業(yè)臺(tái)來實(shí)施第二印刷臺(tái)的大型元件用掩模的掩模識(shí)別。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠在第一印刷臺(tái)的使用了小型元件用掩模的基板印刷動(dòng)作(第一印刷)執(zhí)行過程中先行實(shí)施用于在第二印刷臺(tái)側(cè)使大型元件用掩模與基板對(duì)位的掩模識(shí)別作業(yè)。由此，在第一印刷后，能夠立即通過已完成掩模識(shí)別作業(yè)的大型元件用掩模進(jìn)行第二印刷，所以能夠縮短進(jìn)行第二印刷時(shí)的基板印刷所需的時(shí)間。
[0017]在這種情況下，優(yōu)選為，控制部構(gòu)成為，至少在由第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)的基板印刷動(dòng)作的初次執(zhí)行時(shí)，實(shí)施使用了第二基板作業(yè)臺(tái)的大型元件用掩模的掩模識(shí)另IJ。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，在基板印刷動(dòng)作的初次執(zhí)行時(shí)需要由掩模識(shí)別作業(yè)進(jìn)行掩模與基板的對(duì)位，所以至少先行實(shí)施初次的掩模識(shí)別作業(yè)，從而能夠立即開始第二印刷。另外，只要至少在初次的印刷執(zhí)行時(shí)進(jìn)行掩模識(shí)別，則第二次以后的印刷執(zhí)行時(shí)，也能夠利用掩模識(shí)別結(jié)果，從而跳過掩模識(shí)別。
[0018]在上述第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的一方的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中實(shí)施第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的另一方的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作的結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選為，基板作業(yè)臺(tái)包含構(gòu)成為能夠分別在水平方向的規(guī)定方向上移動(dòng)的第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)，第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)分別具有用于進(jìn)行小型元件用掩模及大型元件用掩模的清掃的清潔單元，控制部構(gòu)成為，在第二基板作業(yè)臺(tái)和第二印刷臺(tái)對(duì)第一印刷后的基板執(zhí)行使用了大型元件用掩模的基板印刷動(dòng)作的期間，使用第一基板作業(yè)臺(tái)來進(jìn)行第一印刷臺(tái)的小型元件用掩模的掩模清掃動(dòng)作。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，在第一印刷臺(tái)的基板印刷(第一印刷)后，在第二印刷臺(tái)的基板印刷動(dòng)作(第二印刷)執(zhí)行過程中，能夠在第一印刷臺(tái)側(cè)實(shí)施小型元件用掩模的掩模清掃作業(yè)。由此，能夠縮短由第一印刷臺(tái)對(duì)下一基板進(jìn)行第一印刷時(shí)的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作所需的時(shí)間。
[0019]在這種情況下，優(yōu)選為，第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)構(gòu)成為能夠分別在水平方向的規(guī)定方向上移動(dòng)，控制部構(gòu)成為，在第二基板作業(yè)臺(tái)和第二印刷臺(tái)執(zhí)行基板印刷動(dòng)作的期間，使第一印刷臺(tái)向從第二印刷臺(tái)離開的方向移動(dòng)，并且在從第二印刷臺(tái)離開的位置進(jìn)行小型元件用掩模的掩模清掃動(dòng)作。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，在掩模清掃動(dòng)作時(shí)能夠使第一印刷臺(tái)從第二印刷臺(tái)離開，所以在由第二印刷臺(tái)進(jìn)行第二印刷的動(dòng)作中也能夠確保用于掩模清掃動(dòng)作的作業(yè)空間。
[0020]在上述第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的一方的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中實(shí)施第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的另一方的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作的結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選為，基板作業(yè)臺(tái)包含構(gòu)成為能夠分別在規(guī)定方向上移動(dòng)的第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)，控制部構(gòu)成為，在由第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的一方和第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)的一方執(zhí)行基板印刷動(dòng)作的過程中，由第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)的另一方實(shí)施基板搬入和基板搬出的至少一方的動(dòng)作。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，在使用第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)的一方執(zhí)行基板印刷動(dòng)作的期間，能夠由另一方實(shí)施用于下一基板印刷的基板搬入和基板搬出的至少一方的動(dòng)作，所以即使在由一臺(tái)基板印刷裝置執(zhí)行第一印刷和第二印刷的情況下，也能夠縮短對(duì)下一基板進(jìn)行印刷時(shí)的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作(基板搬入、搬出動(dòng)作)所需的時(shí)間。
[0021]在上述第一方面的基板印刷裝置中，優(yōu)選為，基板作業(yè)臺(tái)包含構(gòu)成為能夠分別在規(guī)定方向上移動(dòng)的第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)，控制部構(gòu)成為，在由第二印刷臺(tái)和第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)的一方對(duì)第一印刷后的第一基板執(zhí)行第二印刷的基板印刷動(dòng)作的過程中，由第一印刷臺(tái)和第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)的另一方對(duì)第一印刷前的第二基板執(zhí)行第一印刷的基板印刷動(dòng)作。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，在對(duì)第一基板執(zhí)行第二印刷的過程中，能夠先行實(shí)施對(duì)下一印刷對(duì)象基板(第二基板)的第一印刷。由此，即使在由一臺(tái)基板印刷裝置執(zhí)行第一印刷和第二印刷的情況下，也能夠縮短對(duì)下一基板進(jìn)行印刷時(shí)的基板印刷動(dòng)作所需的時(shí)間。
[0022]本發(fā)明的第二方面的基板印刷方法是具備將粘性材料印刷于基板的第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的基板印刷裝置的基板印刷方法，該基板印刷方法具備如下工序:對(duì)保持于基板作業(yè)臺(tái)的基板由第一印刷臺(tái)的小型元件用掩模進(jìn)行第一印刷；以及對(duì)保持于基板作業(yè)臺(tái)并進(jìn)行了第一印刷后的基板由第二印刷臺(tái)的大型元件用掩模進(jìn)行第二印刷。
[0023]在本發(fā)明的第二方面的基板印刷方法中，如上所述，通過設(shè)置對(duì)保持于基板作業(yè)臺(tái)的基板由第一印刷臺(tái)的小型元件用掩模進(jìn)行第一印刷的工序以及對(duì)保持于基板作業(yè)臺(tái)并進(jìn)行了第一印刷后的基板由第二印刷臺(tái)的大型元件用掩模進(jìn)行第二印刷的工序，從而能夠由一臺(tái)基板印刷裝置執(zhí)行使用了小型元件用掩模(極小元件用掩模)的第一印刷和使用了大型元件用掩模的第二印刷。由此，無需在生產(chǎn)線上設(shè)置兩臺(tái)基板印刷裝置，所以即使在使用小型元件用掩模和大型元件用掩模這兩種掩模進(jìn)行印刷的情況下，也能夠不使生產(chǎn)線結(jié)構(gòu)復(fù)雜化地進(jìn)行基板的生產(chǎn)。
[0024]在上述第二方面的基板印刷方法中，優(yōu)選為還具備如下工序:在由第一印刷臺(tái)進(jìn)行第一印刷的工序及由第二印刷臺(tái)進(jìn)行第二印刷的工序的一方的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中，實(shí)施第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的另一方的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作。根據(jù)這樣的構(gòu)成，能夠利用第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的一方的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中的待機(jī)期間，由另一方先行進(jìn)行用于下一印刷的準(zhǔn)備動(dòng)作。由此，即使在由一臺(tái)基板印刷裝置執(zhí)行第一印刷和第二印刷的情況下，也能夠縮短基板印刷所需的時(shí)間(基板印刷動(dòng)作和基板準(zhǔn)備動(dòng)作所需的時(shí)間)。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0025]圖1是示意性地表示本發(fā)明第一實(shí)施方式的印刷裝置的俯視圖。
[0026]圖2是從Y方向觀察本發(fā)明第一實(shí)施方式的印刷裝置的情況下的示意性的側(cè)視圖。
[0027]圖3是從X方向觀察構(gòu)成本發(fā)明第一實(shí)施方式的印刷裝置的基板作業(yè)臺(tái)的情況下的示意性的剖視圖。
[0028]圖4是表示本發(fā)明第一實(shí)施方式的印刷裝置的小型元件用掩模的示意圖。
[0029]圖5是表示本發(fā)明第一實(shí)施方式的印刷裝置的大型元件用掩模的示意圖。
[0030]圖6是表示本發(fā)明第一至第六實(shí)施方式的印刷裝置的控制性的結(jié)構(gòu)的框圖。
[0031]圖7是表示本發(fā)明第一實(shí)施方式的印刷裝置的基板印刷作業(yè)時(shí)的動(dòng)作概要的控制流程圖。
[0032]圖8是表示本發(fā)明第一實(shí)施方式的印刷裝置的基板印刷作業(yè)時(shí)(基板搬入)的位置關(guān)系的不意圖。
[0033]圖9是表示本發(fā)明第一實(shí)施方式的印刷裝置的基板印刷作業(yè)時(shí)(第一印刷)的位置關(guān)系的不意圖。
[0034]圖10是表示本發(fā)明第一實(shí)施方式的印刷裝置的基板印刷作業(yè)時(shí)(第二印刷)的位置關(guān)系的示意圖。
[0035]圖11是表示本發(fā)明第一實(shí)施方式的印刷裝置的基板印刷作業(yè)時(shí)(基板搬出)的位置關(guān)系的示意圖。
[0036]圖12是用于說明本發(fā)明第二實(shí)施方式的印刷裝置的先行接近動(dòng)作的示意圖。
[0037]圖13是表示本發(fā)明第二實(shí)施方式的印刷裝置的基板印刷作業(yè)時(shí)(第一印刷)的位置關(guān)系的示意圖。
[0038]圖14是表示本發(fā)明第二實(shí)施方式的印刷裝置的基板印刷作業(yè)時(shí)(第二印刷)的位置關(guān)系的示意圖。
[0039]圖15是用于說明本發(fā)明第三實(shí)施方式的印刷裝置的先行下降動(dòng)作的示意圖。
[0040]圖16是表示用于說明本發(fā)明第四實(shí)施方式的印刷裝置的先行掩模識(shí)別的基板印刷作業(yè)時(shí)(第一印刷)的位置關(guān)系的示意圖。
[0041]圖17是表示用于說明本發(fā)明第五實(shí)施方式的印刷裝置的先行清掃動(dòng)作的基板印刷作業(yè)時(shí)的動(dòng)作概要的控制流程圖。
[0042]圖18是表示用于說明本發(fā)明第五實(shí)施方式的印刷裝置的先行清掃動(dòng)作的基板印刷作業(yè)時(shí)(第二印刷)的位置關(guān)系的示意圖。
[0043]圖19是表示本發(fā)明第六實(shí)施方式的印刷裝置的基板印刷作業(yè)時(shí)的動(dòng)作概要的控制流程圖(前半部分)。
[0044]圖20是表示本發(fā)明第六實(shí)施方式的印刷裝置的基板印刷作業(yè)時(shí)的動(dòng)作概要的控制流程圖(后半部分)。
[0045]圖21是表示本發(fā)明第六實(shí)施方式的印刷裝置的基板印刷作業(yè)時(shí)(基板搬入、基板搬出及第一印刷)的位置關(guān)系的示意圖。
[0046]圖22是表示本發(fā)明第六實(shí)施方式的印刷裝置的基板印刷作業(yè)時(shí)(第一印刷及第二印刷)的位置關(guān)系的示意圖。
[0047]圖23是表示本發(fā)明第六實(shí)施方式的印刷裝置的基板印刷作業(yè)時(shí)(基板搬入、基板搬出及第二印刷)的位置關(guān)系的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0048]以下，基于【專利附圖】
【附圖說明】本發(fā)明的實(shí)施方式。
[0049](第一實(shí)施方式)
[0050]首先，參照?qǐng)D1?圖6，對(duì)本發(fā)明第一實(shí)施方式的印刷裝置100的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。另外，在第一實(shí)施方式中，說明將本發(fā)明的“基板印刷裝置”應(yīng)用于印刷裝置100的例子。
[0051]如圖1?圖3所示，本發(fā)明第一實(shí)施方式的印刷裝置100是在搬運(yùn)到裝置主體內(nèi)的印刷基板(以下稱作“基板”)5的上表面掩模印刷焊膏的基板印刷裝置。
[0052]如圖1所示，印刷裝置100構(gòu)成為，能夠從搬運(yùn)方向上游側(cè)(X方向右側(cè))的搬入位置Enl的裝載器LDl和搬入位置En2的裝載器LD2搬入基板5，并從搬運(yùn)方向下游側(cè)(X方向左側(cè))的搬出位置Exl或Ex2向下游側(cè)裝置M搬出完成印刷的基板5。搬出位置Exl和Ex2分別與搬入位置Enl及En2在X方向上并排地配置。另外，基板5的搬運(yùn)方向?yàn)閄方向，在水平面內(nèi)與X方向正交的方向?yàn)閅方向。另外，與X及Y方向正交的上下方向?yàn)閆方向。另外，Y方向?yàn)楸景l(fā)明的“水平方向的規(guī)定方向”的一例。通過這樣的結(jié)構(gòu)，印刷裝置100構(gòu)成具有兩條搬運(yùn)生產(chǎn)線的印刷電路基板的基板制造生產(chǎn)線的一部分。
[0053]印刷裝置100具備基臺(tái)1、進(jìn)行基板5的保持和搬運(yùn)的兩個(gè)基板作業(yè)臺(tái)2a及2b、兩個(gè)印刷臺(tái)3a及3b和兩個(gè)刮板單元4a及4b?；遄鳂I(yè)臺(tái)2a、印刷臺(tái)3a和刮板單元4a配置于印刷裝置100的Y2方向側(cè),基板作業(yè)臺(tái)2b、印刷臺(tái)3b和刮板單元4b配置于印刷裝置100的Yl方向側(cè)。另外，印刷裝置100內(nèi)置有用于進(jìn)行以下所說明的各部分的動(dòng)作控制的后述的控制裝置80 (參照?qǐng)D6)。另外，基板作業(yè)臺(tái)2a及2b分別是本發(fā)明的“第一基板作業(yè)臺(tái)”及“第二基板作業(yè)臺(tái)”的一例。另外，印刷臺(tái)3a及3b分別是本發(fā)明的“第一印刷臺(tái)”及“第二印刷臺(tái)”的一例。
[0054]兩個(gè)基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)在Y方向上并排地配置，并具有如下功能:在分別對(duì)應(yīng)的搬入位置Enl (En2)接收基板5，在印刷作業(yè)時(shí)與印刷臺(tái)3a及3b相向地支撐并固定基板5，并從對(duì)應(yīng)的搬出位置Exl (Ex2)搬出完成印刷的基板5。Y2方向側(cè)的搬入位置Enl和搬出位置Exl與基板作業(yè)臺(tái)2a對(duì)應(yīng)，Yl方向側(cè)的搬入位置En2和搬出位置Ex2與基板作業(yè)臺(tái)2b對(duì)應(yīng)。
[0055]如圖1?圖3所示，基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)分別包含:可動(dòng)臺(tái)21，構(gòu)成為能夠在Y方向上移動(dòng)；搬運(yùn)輸送機(jī)22，由配置于可動(dòng)臺(tái)21上的沿搬運(yùn)方向(X方向)延伸的一對(duì)輸送機(jī)軌道構(gòu)成；夾緊單元23，構(gòu)成為能夠?qū)徇\(yùn)輸送機(jī)22上的基板5保持(固定)為可以在從搬運(yùn)輸送機(jī)22向上方離開的狀態(tài)下進(jìn)行印刷作業(yè)并能夠沿X方向移動(dòng)；設(shè)于夾緊單元23上的掩模識(shí)別相機(jī)24和配置于可動(dòng)臺(tái)21上的清潔單元25(參照?qǐng)D3)。另外，基板作業(yè)臺(tái)2a的結(jié)構(gòu)(構(gòu)造)與基板作業(yè)臺(tái)2b的結(jié)構(gòu)(構(gòu)造)大致相同，所以省略單獨(dú)的說明。
[0056]如圖1所示，可動(dòng)臺(tái)21以能夠在沿Y方向延伸的導(dǎo)軌11上沿Y方向移動(dòng)的方式支撐于基臺(tái)I上。各基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)的可動(dòng)臺(tái)21以通過兩個(gè)臺(tái)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)而在導(dǎo)軌11上沿Y方向單獨(dú)移動(dòng)的方式構(gòu)成。具體而言，如圖3所示，基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)的可動(dòng)臺(tái)21分別由在Y方向上延伸的絲杠軸12a (12b)和驅(qū)動(dòng)絲杠軸12a (12b)旋轉(zhuǎn)的伺服馬達(dá)13a(13b)在Y方向上驅(qū)動(dòng)。由此，基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)分別以能夠單獨(dú)地沿Y軸(Y方向)至少移動(dòng)到Y(jié)方向的相反側(cè)的印刷臺(tái)3a (3b)的位置的方式構(gòu)成，基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)具有共用的移動(dòng)區(qū)域(移動(dòng)范圍重疊)。
[0057]如圖1和圖2所示，搬運(yùn)輸送機(jī)22以在印刷裝置100的X方向的大致整個(gè)長(zhǎng)度上延伸的方式設(shè)置，通過使搬運(yùn)輸送機(jī)22的位置與搬入位置Enl (En2)及搬出位置Exl (Ex2)的Y軸坐標(biāo)一致，而能夠進(jìn)行基板搬入和搬出。另外，各搬運(yùn)輸送機(jī)22能夠使一對(duì)輸送機(jī)軌道的一方在可動(dòng)臺(tái)21上沿Y方向移動(dòng)，能夠根據(jù)所搬運(yùn)的基板5的尺寸來變更輸送機(jī)寬度(輸送機(jī)軌道之間的間隔)。
[0058]如圖3所示，夾緊單元23是以從Y方向兩外側(cè)夾持由一對(duì)輸送機(jī)軌道構(gòu)成的搬運(yùn)輸送機(jī)22的方式設(shè)置的可動(dòng)單元。夾緊單元23構(gòu)成為通過分別設(shè)于可動(dòng)臺(tái)21上的沿X方向延伸的X軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)51 (參照?qǐng)D2)而能夠在導(dǎo)軌51a上沿X方向移動(dòng)。由此，夾緊單元23能夠沿搬運(yùn)輸送機(jī)22在X方向上移動(dòng)。另外，夾緊單元23的Y方向的寬度能夠根據(jù)搬運(yùn)輸送機(jī)22的輸送機(jī)寬度進(jìn)行變更。
[0059]另外，夾緊單元23包含用于把持固定基板5的夾緊機(jī)構(gòu)52和用于抬起支撐搬運(yùn)輸送機(jī)22上的基板5的支撐機(jī)構(gòu)53。夾緊機(jī)構(gòu)52構(gòu)成為通過驅(qū)動(dòng)未圖不的氣缸使夾緊部52b向接近夾緊部52a的方向位移而能夠從Y方向的兩側(cè)夾住并把持搬運(yùn)輸送機(jī)22上的基板5。另外，若使氣缸向反方向運(yùn)轉(zhuǎn)，則夾緊被解除。
[0060]支撐機(jī)構(gòu)53構(gòu)成為包含支撐銷53a和使支撐銷53a上下移動(dòng)的升降機(jī)構(gòu)53b，使支撐銷53a從下側(cè)接觸基板5的下表面，通過升降機(jī)構(gòu)53b而抬起支撐搬運(yùn)輸送機(jī)22上的基板5。由支撐機(jī)構(gòu)53抬起的基板5由夾緊機(jī)構(gòu)52把持，從而基板5以從搬運(yùn)輸送機(jī)22向上方離開的狀態(tài)被固定保持，能夠在基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)上對(duì)基板5進(jìn)行印刷作業(yè)。
[0061]掩模識(shí)別相機(jī)24由CCD面?zhèn)鞲衅鞯葮?gòu)成，使拍攝方向朝向上方而安裝于夾緊單元23的Y方向的外側(cè)。因此，掩模識(shí)別相機(jī)24隨著基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)的移動(dòng)而能夠在Y方向上移動(dòng)，隨著夾緊單元23的移動(dòng)而能夠在X方向上移動(dòng)。掩模識(shí)別相機(jī)24從下方拍攝由印刷臺(tái)3a及3b保持的絲網(wǎng)掩模(后述的小型元件用掩模6和大型元件用掩模7)的下表面?zhèn)人降难谀ＷR(shí)別標(biāo)記Q (參照?qǐng)D8)，為了識(shí)別掩模(小型元件用掩模6和大型元件用掩模7)的位置和姿勢(shì)而設(shè)置。
[0062]清潔單元25省略詳細(xì)的圖示，其具備清潔頭，該清潔頭包含與絲網(wǎng)掩模(小型元件用掩模6和大型元件用掩模7)的基板接觸面(下表面)接觸的襯墊和經(jīng)由襯墊進(jìn)行負(fù)壓吸引的吸嘴。在使清潔頭與掩模的基板接觸面接觸的狀態(tài)下使基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)與掩模在Y方向上相對(duì)移動(dòng)(滑動(dòng))，從而能夠除去附著于掩模的基板接觸面或開口內(nèi)的焊膏。清潔單元構(gòu)成為相對(duì)于基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)能夠上下升降，在掩模清掃時(shí)以外，退避到與掩模非接觸的下降位置。
[0063]另外，如圖2和圖3所示，在基臺(tái)I上，以跨過兩個(gè)基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)的上方沿Y方向延伸的方式設(shè)置的一對(duì)框架結(jié)構(gòu)體14沿X方向(基板搬運(yùn)方向)隔開規(guī)定的間隔而配置。另外，各個(gè)框架結(jié)構(gòu)體14具有門型結(jié)構(gòu)，包含從基臺(tái)I的Y方向的兩端部附近向上方延伸的一對(duì)腳部14a和在水平方向上將腳部14a的上端彼此連接的梁部14b。
[0064]在跨過基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)的上方的搬運(yùn)方向上游側(cè)(圖1的右側(cè))的框架結(jié)構(gòu)體14 (梁部14b)的下表面?zhèn)裙潭ǖ卦O(shè)置有兩個(gè)基板識(shí)別相機(jī)15 (參照?qǐng)D3)。兩個(gè)基板識(shí)別相機(jī)15分別與基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)對(duì)應(yīng)而設(shè)置，在Y方向上隔開規(guī)定的間隔而配置。這些基板識(shí)別相機(jī)15由CCD面?zhèn)鞲衅鞯葮?gòu)成，使拍攝方向朝向下方而設(shè)置?；遄R(shí)別相機(jī)15構(gòu)成為拍攝基板5的上表面所附的未圖示的基板識(shí)別標(biāo)記，識(shí)別由夾緊單元23把持的基板5的位置和姿勢(shì)。
[0065]如圖1和圖2所示，印刷臺(tái)3a及3b分別由設(shè)于一對(duì)框架結(jié)構(gòu)體14上的一對(duì)導(dǎo)軌33a支撐X方向的兩側(cè)，并配置于比基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)靠上方的位置。印刷臺(tái)3a (3b)分別構(gòu)成為能夠沿著在Y方向上延伸的導(dǎo)軌33a在Y方向上移動(dòng)，并且構(gòu)成為能夠在上下方向(Z方向)上移動(dòng)。具體而言，印刷臺(tái)3a (3b)具有能夠裝卸地組裝有絲網(wǎng)掩模的大致矩形的掩模固定部件31、使掩模固定部件31升降(Z軸方向移動(dòng))的掩模升降機(jī)構(gòu)32和用于使掩模固定部件31繞Z軸轉(zhuǎn)動(dòng)并在Y方向上移動(dòng)的一對(duì)掩模驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)33。
[0066]在第一實(shí)施方式中，在印刷臺(tái)3a的掩模固定部件31上組裝有小型元件用掩模(極小元件用掩模)6。如圖4所示，在小型元件用掩模6上形成有例如與0603尺寸、0402尺寸的小型元件的焊盤對(duì)應(yīng)的圖案的微小的開口 6a。小型元件用掩模6的厚度形成為適合小型元件的厚度即第一膜厚Thl (例如約50 μ m?約75 μ m)。使用小型元件用掩模6進(jìn)行焊料印刷，從而在基板5的表面(印刷面)上形成適合小型元件的焊料高度Hl的焊料Sdl。另夕卜，焊料高度Hl與第一膜厚Thl相同，或者由于作用于焊料Sdl的重力而成為比第一膜厚Thl略小的高度。焊料Sdl是本發(fā)明的“粘性材料”的一例。
[0067]另一方面，如圖1所示，在印刷臺(tái)3b的掩模固定部件31上組裝有大型元件用掩模7。如圖5所示，在大型元件用掩模7上形成有例如與屏蔽元件等大型元件的焊盤對(duì)應(yīng)的圖案的開口 7a。大型元件用掩模7的厚度形成為比小型元件用掩模6的厚度大的、適合大型元件的厚度即第二膜厚Th2 (例如約150 μ m)。另外，在大型元件用掩模7的基板接觸面(下表面)側(cè)以覆蓋與小型元件用掩模6的開口圖案對(duì)應(yīng)的規(guī)定區(qū)域的方式形成有凹狀的退避部7b。凹狀的退避部7b的深度D比小型元件用掩模6的厚度(膜厚)Thl大(即Th2>Thl)。由此，深度D比由小型元件用掩模6形成的焊料Sdl的焊料高度Hl大。因此，當(dāng)對(duì)使用了小型元件用掩模6的第一印刷后的基板5進(jìn)行大型元件用掩模7的版對(duì)合時(shí)，由小型元件用掩模6形成的焊料Sdl收容于凹狀的退避部7b的內(nèi)部，大型元件用掩模7與焊料Sdl保持為非接觸的狀態(tài)。在該狀態(tài)下進(jìn)行大型元件用掩模7的焊料印刷，從而在基板5上，除了焊料Sdl，還追加形成適合大型元件的焊料高度H2 (與第二膜厚Th2相同或由于所作用的重力而比第二膜厚Th2略小。且H2>H1)的焊料Sd2。另外，焊料Sd2是本發(fā)明的“粘性材料”的一例。
[0068]如圖2所示，掩模升降機(jī)構(gòu)32構(gòu)成為支撐掩模固定部件31，并且由未圖示的導(dǎo)向件、絲杠軸及驅(qū)動(dòng)絲杠軸的Z軸馬達(dá)使掩模固定部件31升降。掩模升降機(jī)構(gòu)32的X方向的兩端支撐于一對(duì)導(dǎo)軌33a上。
[0069]一對(duì)掩模驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)33由一對(duì)導(dǎo)軌33a、絲杠軸33b (參照?qǐng)D1)及驅(qū)動(dòng)絲杠軸33b的Y軸馬達(dá)33c構(gòu)成，分別設(shè)置于一對(duì)框架結(jié)構(gòu)體14上。一對(duì)掩模驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)33構(gòu)成為能夠從X方向的兩側(cè)沿Y方向驅(qū)動(dòng)掩模升降機(jī)構(gòu)32。若以等速度驅(qū)動(dòng)一對(duì)掩模驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)33這兩方，則能夠?qū)?yīng)各掩模升降機(jī)構(gòu)32使掩模固定部件31平行地沿Y方向移動(dòng)，若在一對(duì)掩模驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)33中對(duì)驅(qū)動(dòng)速度設(shè)置差量，則能夠?qū)?yīng)各掩模升降機(jī)構(gòu)32使掩模固定部件31在水平面內(nèi)(X-Y面內(nèi))轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0070]由此，印刷臺(tái)3a (3b)能夠在移動(dòng)范圍內(nèi)在Y方向的任意位置上對(duì)基板5進(jìn)行印刷，能夠進(jìn)行所保持的小型元件用掩模6 (大型元件用掩模7)的X-Y面內(nèi)的詳細(xì)對(duì)位(Y方向位置和水平面內(nèi)的斜度)。X方向位置的對(duì)位通過夾緊單元23的移動(dòng)調(diào)整來進(jìn)行。另外，在印刷時(shí)，印刷臺(tái)3a(3b)構(gòu)成為通過掩模升降機(jī)構(gòu)32沿Z2方向下降而進(jìn)行使小型元件用掩模6 (大型兀件用掩模7)與基板5的上表面抵接的版對(duì)合動(dòng)作,并在印刷后沿Zl方向上升而進(jìn)行使小型元件用掩模6 (大型元件用掩模7)從基板5的上表面離開的版分離動(dòng)作。
[0071]如此，在第一實(shí)施方式中，印刷裝置100將一張基板5的焊料印刷用的開口圖案分擔(dān)給厚度不同的小型元件用掩模6 (小型元件用的開口 6a的圖案)和大型元件用掩模7 (大型元件用的開口 7a的圖案)并單獨(dú)進(jìn)行焊料印刷。由此，能夠分別在基板5的表面(印刷面)上形成與元件尺寸對(duì)應(yīng)的縱橫比(焊料高度/焊料底面積、即掩模厚度/開口面積)的焊料Sdl及焊料Sd2。
[0072]如圖1和圖2所示，刮板單元4a (4b)分別由在X方向上延伸的可動(dòng)梁42的中央部支撐并配置于所對(duì)應(yīng)的印刷臺(tái)3a (3b)的上方。刮板單元4a (4b)包含對(duì)小型元件用掩模6 (大型元件用掩模7)的上表面(Zl側(cè))按壓膏狀的焊料并在Y方向上往復(fù)滑動(dòng)的刮板41(參照?qǐng)D2)、在印刷時(shí)使刮板41升降的未圖示的升降機(jī)構(gòu)及用于變更刮板41相對(duì)于小型元件用掩模6 (大型元件用掩模7)的傾斜方向和傾斜角度的未圖示的刮板角度可變機(jī)構(gòu)。另外，可動(dòng)梁42被支撐為能夠在一對(duì)導(dǎo)軌43上移動(dòng)，其中該一對(duì)導(dǎo)軌43以在一對(duì)框架結(jié)構(gòu)體14的上表面上沿Y方向延伸的方式設(shè)置。并且，可動(dòng)梁42構(gòu)成為通過設(shè)于框架結(jié)構(gòu)體14上的在Y方向上延伸的絲杠軸44及刮板軸馬達(dá)45而能夠在Y方向上移動(dòng)。刮板單元4a (4b)構(gòu)成為，隨著可動(dòng)梁42的移動(dòng)而使刮板單元4a (4b)對(duì)應(yīng)各刮板41在Y方向上移動(dòng)，從而進(jìn)行印刷動(dòng)作。刮板單元4a使用對(duì)應(yīng)的印刷臺(tái)3a (小型元件用掩模6)進(jìn)行基板印刷，刮板單元4b使用對(duì)應(yīng)的印刷臺(tái)3b (大型元件用掩模7)進(jìn)行基板印刷。
[0073]另外，如圖6所示，控制裝置80主要由運(yùn)算處理部81、存儲(chǔ)部82、外部輸入輸出部83、圖像處理部84及馬達(dá)控制部85構(gòu)成。另外，控制裝置80與顯示單元86及輸入裝置87連接。另外，運(yùn)算處理部81是本發(fā)明的“控制部”的一例。
[0074]運(yùn)算處理部81由CPU構(gòu)成，整體性地集中控制印刷裝置100的動(dòng)作。存儲(chǔ)部82包含儲(chǔ)存有運(yùn)算處理部81能夠執(zhí)行的控制程序等的動(dòng)作程序存儲(chǔ)部82a和儲(chǔ)存有進(jìn)行印刷動(dòng)作時(shí)所需的數(shù)據(jù)類的控制數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部82b。
[0075]另外，外部輸入輸出部83具有控制來自各種傳感器類和促動(dòng)器類的輸入輸出的功能。圖像處理部84進(jìn)行基板識(shí)別相機(jī)15和掩模識(shí)別相機(jī)24分別拍攝到的圖像數(shù)據(jù)的處理，并在內(nèi)部生成印刷裝置100的動(dòng)作所需的數(shù)據(jù)。
[0076]馬達(dá)控制部85構(gòu)成為基于從運(yùn)算處理部81輸出的控制信號(hào)來控制印刷裝置100的各伺服馬達(dá)(使基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)在Y方向上移動(dòng)的伺服馬達(dá)13a (13b)(參照?qǐng)D1)、使夾緊單元23在X方向上移動(dòng)的X軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)51的伺服馬達(dá)(未圖示)、各印刷臺(tái)3a(3b)的Y軸馬達(dá)33c和掩模升降機(jī)構(gòu)32用的Z軸馬達(dá)(未圖示)等)。另外，馬達(dá)控制部85構(gòu)成為基于來自各伺服馬達(dá)所具有的編碼器(未圖示)的信號(hào)而能夠識(shí)別基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)的Y軸方向的位置坐標(biāo)、夾緊單元23的X-Y面內(nèi)的位置、印刷臺(tái)3a及3b的Y軸方向的位置坐標(biāo)、高度位置(Z方向)及旋轉(zhuǎn)位置(X-Y面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角度)等。
[0077]在第一實(shí)施方式中，控制裝置80 (運(yùn)算處理部81)構(gòu)成為進(jìn)行以下控制:在由包含小型元件用的小型元件用掩模6的印刷臺(tái)3a進(jìn)行了第一印刷后，由包含大型元件用的大型元件用掩模7的印刷臺(tái)3b進(jìn)行第二印刷，從而對(duì)一張基板5實(shí)施焊料印刷作業(yè)。即，印刷裝置100對(duì)一張基板5依次執(zhí)行印刷臺(tái)3a的第一印刷和第一印刷后的印刷臺(tái)3b的第二印刷。
[0078]接著，參照?qǐng)D4、圖5、圖7?圖10，說明本發(fā)明的第一實(shí)施方式的印刷裝置100的基板印刷作業(yè)時(shí)的動(dòng)作控制。以下，作為印刷動(dòng)作的一例，說明對(duì)搬入到基板作業(yè)臺(tái)2a的基板5進(jìn)行印刷動(dòng)作的情況下的例子。以下的控制處理由控制裝置80 (運(yùn)算處理部81)進(jìn)行。
[0079]首先，如圖7和圖8所示，在步驟SI中，運(yùn)算處理部81使基板作業(yè)臺(tái)2a的Y坐標(biāo)與搬入位置Enl —致，使基板5搬入到搬運(yùn)輸送機(jī)22上。當(dāng)基板5被搬入搬運(yùn)輸送機(jī)22上時(shí)，在步驟S2中由夾緊單元23夾緊(固定)基板5。
[0080]在步驟S3中，基板作業(yè)臺(tái)2a的夾緊單元23向印刷臺(tái)3a在X方向上開始移動(dòng)，并且基板作業(yè)臺(tái)2a在Y方向上開始移動(dòng)，保持有基板5的夾緊單元23的X方向移動(dòng)和基板作業(yè)臺(tái)2a的Y方向移動(dòng)同步進(jìn)行。在該移動(dòng)中，基板5的基板識(shí)別標(biāo)記(未圖示)定位于基板識(shí)別相機(jī)15的下方，由基板識(shí)別相機(jī)15進(jìn)行基板5的基板識(shí)別標(biāo)記的拍攝(圖像識(shí)別)。
[0081]接著，在步驟S4中，基板作業(yè)臺(tái)2a的夾緊單元23的掩模識(shí)別相機(jī)24定位于印刷臺(tái)3a的小型元件用掩模6的掩模識(shí)別標(biāo)記Q的下方，由掩模識(shí)別相機(jī)24進(jìn)行掩模識(shí)別標(biāo)記Q的拍攝(圖像識(shí)別)。步驟S3和S4的圖像識(shí)別的結(jié)果，取得保持于夾緊單元23上的基板5的水平方向的位置及姿勢(shì)與安裝于印刷臺(tái)3a上的小型元件用掩模6的水平方向的位置及姿勢(shì)的相對(duì)位置關(guān)系。
[0082]接著，在步驟S5中，進(jìn)行保持于夾緊單元23上的基板5和保持于印刷臺(tái)3a上的小型元件用掩模6向印刷位置的移動(dòng)。即，如圖9所示，基于步驟S3和S4的識(shí)別結(jié)果，通過夾緊單元23的X方向移動(dòng)而使基板5與小型元件用掩模6的X方向位置坐標(biāo)一致，并且通過基板作業(yè)臺(tái)2a的Y方向移動(dòng)和印刷臺(tái)3a的Y方向移動(dòng)而使基板5與小型元件用掩模6的Y方向位置坐標(biāo)一致。另外，印刷臺(tái)3a的掩模固定部件31在水平面內(nèi)(X-Y面內(nèi))轉(zhuǎn)動(dòng)，從而基板5與小型元件用掩模6的水平面內(nèi)的斜度一致。
[0083]接著，在步驟S6中，印刷臺(tái)3a使小型元件用掩模6下降，進(jìn)行版對(duì)合(參照?qǐng)D4)。由此，小型元件用掩模6被規(guī)定的按壓力按壓緊貼于基板5上。當(dāng)版對(duì)合完成時(shí)，在步驟S7中，基于印刷臺(tái)3a的小型元件用掩模6實(shí)施第一印刷。即，在小型元件用掩模6上供給焊料，在刮板41下降而經(jīng)由小型元件用掩模6按壓基板5的狀態(tài)下，刮板單元4a(可動(dòng)梁42)沿Y方向被驅(qū)動(dòng)(刮擦動(dòng)作)，從而經(jīng)由小型元件用掩模6在基板5的上表面印刷焊料，刮板41上升。第一印刷的結(jié)果，在與小型元件用掩模6的開口圖案對(duì)應(yīng)的基板5上的位置形成焊料高度Hl的焊料Sdl。在第一印刷后，在步驟S8中，印刷臺(tái)3a向Zl方向上升，進(jìn)行使小型元件用掩模6從基板5離開的版分離。
[0084]在步驟S9以后，基于印刷臺(tái)3b的大型元件用掩模7進(jìn)行第二印刷。動(dòng)作的內(nèi)容與上述步驟S4?S8基本相同，所以進(jìn)行簡(jiǎn)略說明。在步驟S9中，通過夾緊單元23的掩模識(shí)別相機(jī)24，進(jìn)行印刷臺(tái)3b的大型元件用掩模7的掩模識(shí)別標(biāo)記Q的拍攝(圖像識(shí)別)。步驟S3和步驟SlO的圖像識(shí)別的結(jié)果，取得保持于夾緊單元23上的基板5和安裝于印刷臺(tái)3b上的大型元件用掩模7的水平方向的位置和姿勢(shì)的相對(duì)位置關(guān)系。
[0085]接著，在步驟SlO中，進(jìn)行保持于夾緊單元23上的基板5和保持于印刷臺(tái)3b上的大型元件用掩模7向印刷位置的移動(dòng)。S卩，如圖10所示，基于步驟S3和SlO的識(shí)別結(jié)果，進(jìn)行夾緊單元23的X方向移動(dòng)、基板作業(yè)臺(tái)2a及印刷臺(tái)3b的Y方向移動(dòng)及印刷臺(tái)3b的掩模固定部件31的轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使基板5與大型元件用掩模7的水平面內(nèi)的相對(duì)位置及姿勢(shì)—致。
[0086]接著，在步驟Sll中，印刷臺(tái)3b使大型元件用掩模7下降，進(jìn)行版對(duì)合(參照?qǐng)D5)。當(dāng)版對(duì)合完成時(shí)，在步驟S12中，由印刷臺(tái)3b的大型元件用掩模7和刮板單元4b實(shí)施第二印刷。由此，在由第一印刷形成了焊料Sdl后的基板5上追加地在與大型元件用掩模7的開口圖案對(duì)應(yīng)的基板5上的位置上形成焊料高度H2的焊料Sd2。在第二印刷后，在步驟S13中，進(jìn)行使大型元件用掩模7從基板5離開的版分離。
[0087]接著，在步驟S14中，解除夾緊單元23對(duì)基板5的夾緊(固定)。即，通過支撐機(jī)構(gòu)53及夾緊機(jī)構(gòu)52(參照?qǐng)D3)，將基板5配置于搬運(yùn)輸送機(jī)22上。另外，基板作業(yè)臺(tái)2a朝向搬出位置Exl向Y2方向移動(dòng)。并且，在步驟S15中，在搬出位置Exl，從基板作業(yè)臺(tái)2a (搬運(yùn)輸送機(jī)22)搬出完成印刷的基板5。
[0088]在第一實(shí)施方式中，如上所述，運(yùn)算處理部81構(gòu)成為，在印刷臺(tái)3a上保持用于進(jìn)行在基板5上印刷焊料的第一印刷的規(guī)定的厚度即第一膜厚Thl的小型元件用掩模6，在印刷臺(tái)3b上保持比第一膜厚Thl厚的規(guī)定的厚度的第二膜厚Th2的大型元件用掩模7，該大型元件用掩模7在基板接觸面?zhèn)刃纬缮疃菵比第一膜厚的厚度Thl大的退避部7b以使由小型元件用掩模6印刷后的焊料高度Hl的焊料Sdl退避，并用于進(jìn)行在由印刷臺(tái)3a進(jìn)行的第一印刷后的基板5上印刷焊料的第二印刷，對(duì)保持于基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)上的基板5由印刷臺(tái)3a的小型元件用掩模6進(jìn)行了第一印刷后，由印刷臺(tái)3b的大型元件用掩模7進(jìn)行第二印刷。由此，能夠由一臺(tái)印刷裝置100執(zhí)行使用了小型元件用掩模(極小元件用掩模)6的第一印刷和使用了大型元件用掩模7的第二印刷。由此，無需在生產(chǎn)線上設(shè)置兩臺(tái)基板印刷裝置，所以即使在使用小型元件用掩模6和大型元件用掩模7這兩種掩模進(jìn)行印刷的情況下，也能夠不使生產(chǎn)線結(jié)構(gòu)復(fù)雜化地進(jìn)行基板生產(chǎn)。
[0089](第二實(shí)施方式)
[0090]接著，參照?qǐng)D6、圖7及圖12?圖14，對(duì)本發(fā)明的第二實(shí)施方式的印刷裝置IOOa進(jìn)行說明。該第二實(shí)施方式中，說明在上述第一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，在印刷臺(tái)3a和3b的一方的印刷動(dòng)作期間執(zhí)行另一方的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作的例子。
[0091]第二實(shí)施方式的印刷裝置IOOa的運(yùn)算處理部81a(參照?qǐng)D6)構(gòu)成為，在印刷臺(tái)3a及印刷臺(tái)3b的一方的基板印刷動(dòng)作的執(zhí)行期間實(shí)施印刷臺(tái)3a及印刷臺(tái)3b的另一方的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作。另外，運(yùn)算處理部81a是本發(fā)明的“控制部”的一例。
[0092]S卩，如圖7所示，印刷裝置IOOa的基板印刷動(dòng)作依次進(jìn)行印刷臺(tái)3a的第一印刷和印刷臺(tái)3b的第二印刷，所以例如在一方的印刷臺(tái)3a的印刷動(dòng)作期間在另一方的印刷臺(tái)3b側(cè)產(chǎn)生待機(jī)期間Tl (待機(jī)處理)。在該待機(jī)期間Tl中先行實(shí)施印刷準(zhǔn)備動(dòng)作，從而運(yùn)算處理部81a使用于印刷臺(tái)3b的第二印刷的處理(步驟S9?S13)所需的時(shí)間縮短。另外，所謂基板印刷動(dòng)作在此至少包含從向印刷位置的移動(dòng)(步驟S5、S10)開始到版分離(步驟S8、S13)完畢的動(dòng)作。步驟S4和S9的掩模標(biāo)記識(shí)別在持續(xù)執(zhí)行印刷動(dòng)作的情況下未必每次都進(jìn)行。因此，在進(jìn)行掩模標(biāo)記識(shí)別的情況下，該掩模標(biāo)記識(shí)別動(dòng)作也包含于印刷動(dòng)作中。
[0093]具體而言，在第二實(shí)施方式中，運(yùn)算處理部81a構(gòu)成為在印刷臺(tái)3a的基板印刷動(dòng)作的執(zhí)行期間以印刷臺(tái)3a與印刷臺(tái)3b的Y方向的距離變小的方式使印刷臺(tái)3b向Y方向移動(dòng)，從而進(jìn)行使印刷臺(tái)3b接近印刷位置的控制(先行接近動(dòng)作)。這相當(dāng)于先行實(shí)施圖7的步驟SlO中的向印刷位置的移動(dòng)處理的一部分。
[0094]首先，對(duì)先行接近動(dòng)作的內(nèi)容進(jìn)行說明。如圖12所示，印刷臺(tái)3a的Y軸由(Ymi)表示，印刷臺(tái)3b的Y軸由(Ym2)表示。Y軸坐標(biāo)分別以位于Y方向移動(dòng)范圍的外側(cè)端的情況下的Y方向外側(cè)端部的位置為原點(diǎn)，以印刷臺(tái)3a及3b彼此接近的方向?yàn)檎Ａ硗?，為了便于說明，為了表示印刷臺(tái)3a (3b)的位置，使用各印刷臺(tái)3a (3b)的Y方向的內(nèi)側(cè)端部的位
置坐標(biāo)。
[0095]首先，根據(jù)實(shí)測(cè)或設(shè)計(jì)上的值算出印刷臺(tái)3a與印刷臺(tái)3b不發(fā)生干擾而最接近的狀態(tài)下的印刷臺(tái)間的距離，并作為能夠接近的最小間隔Lm。若將移動(dòng)印刷臺(tái)3a和印刷臺(tái)3b使得印刷臺(tái)間的距離為最小間隔Lm時(shí)的Y方向坐標(biāo)分別設(shè)為Ylm、Y2m，則能夠如下表示Y軸的原點(diǎn)間距離L”
[0096]Li = L111 十 Ylm + Y2m
[0097]接著，若將基板印刷動(dòng)作(第一印刷)的執(zhí)行過程中的印刷臺(tái)3a的當(dāng)前位置坐標(biāo)設(shè)Sya。，將所接近的印刷臺(tái)3b的目標(biāo)位置坐標(biāo)設(shè)為Ybn，則能夠如下表示目標(biāo)位置坐標(biāo)YBN。
[0098]Ybn = Li — Lm — Yac
[0099]由此，在印刷臺(tái)3a的基板印刷動(dòng)作的執(zhí)行過程中，能夠使印刷臺(tái)3b預(yù)先移動(dòng)至不發(fā)生干擾的最接近位置坐標(biāo)(目標(biāo)位置坐標(biāo)YBN)。在第二實(shí)施方式中，該最小間隔Lm及原點(diǎn)間距離Li被預(yù)先取得并存儲(chǔ)于控制數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部82b中。另外，印刷臺(tái)3a的當(dāng)前位置坐標(biāo)Yac根據(jù)印刷臺(tái)3a的掩模驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)33的Y軸馬達(dá)33。的編碼器輸出值而取得。
[0100]第二實(shí)施方式的印刷裝置IOOa中，在圖7的步驟S4?S8之間(待機(jī)期間Tl)的規(guī)定時(shí)刻中，運(yùn)算處理部81a實(shí)施印刷臺(tái)3b的先行接近動(dòng)作。由此，如圖13所示，在印刷臺(tái)33的基板印刷動(dòng)作(第一印刷)的執(zhí)行過程中，印刷臺(tái)3b沿Y2方向移動(dòng)(接近)至印刷臺(tái)3a與印刷臺(tái)3b之間的間隔為最小間隔Lm的位置(目標(biāo)位置坐標(biāo)YBN)。
[0101]并且，在轉(zhuǎn)移到圖7的步驟S9之后的處理時(shí)，如圖14所示，根據(jù)基板作業(yè)臺(tái)2a向Yl方向的移動(dòng)，印刷臺(tái)3a與印刷臺(tái)3b在保持最小間隔Lm以上的距離的情況下沿Y2方向移動(dòng)。其結(jié)果為，使步驟SlO中的向印刷位置移動(dòng)所需的時(shí)間(Y方向的移動(dòng)距離)最小化。
[0102]另外，由于第二實(shí)施方式的印刷裝置IOOa的其他結(jié)構(gòu)與上述第一實(shí)施方式的印刷裝置100相同，所以省略說明。
[0103]在第二實(shí)施方式中，如上所述，運(yùn)算處理部81a在印刷臺(tái)3a的基板印刷動(dòng)作的執(zhí)行過程中實(shí)施印刷臺(tái)3b的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作。由此，能夠利用印刷臺(tái)3a的基板印刷動(dòng)作(第一印刷)的執(zhí)行過程中的待機(jī)期間，由印刷臺(tái)3b先行進(jìn)行用于下一印刷的準(zhǔn)備動(dòng)作。其結(jié)果為，即使在由一臺(tái)印刷裝置IOOa執(zhí)行第一印刷和第二印刷的情況下，也能夠縮短基板印刷所需的時(shí)間(基板印刷動(dòng)作和印刷準(zhǔn)備動(dòng)作所需的時(shí)間)。
[0104]另外，在第二實(shí)施方式中，如上所述，運(yùn)算處理部81a在印刷臺(tái)3a的基板印刷動(dòng)作(第一印刷)的執(zhí)行過程中，以印刷臺(tái)3a與印刷臺(tái)3b的Y方向的距離變小的方式使印刷臺(tái)3b向Y2方向移動(dòng)，從而使印刷臺(tái)3b接近印刷位置。由此，在印刷臺(tái)3a的基板印刷動(dòng)作(第一印刷)的執(zhí)行過程中能夠?qū)嵤┯∷⑴_(tái)3b向印刷位置的移動(dòng)動(dòng)作的一部分，所以能夠縮短由印刷臺(tái)3b進(jìn)行第二印刷時(shí)的基板印刷所需的時(shí)間(向印刷位置的移動(dòng)時(shí)間)。
[0105]另外，第二實(shí)施方式中，如上所述，使印刷臺(tái)3b向印刷位置接近至與基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中的印刷臺(tái)3a之間的間隔變?yōu)橛∷⑴_(tái)3a與印刷臺(tái)3b不發(fā)生干擾而能夠接近的最小間隔Lm的位置。由此，由于能夠在印刷臺(tái)3a的基板印刷動(dòng)作的執(zhí)行過程中使印刷臺(tái)3b極度接近，所以能夠有效地縮短印刷臺(tái)3b進(jìn)行第二印刷時(shí)的基板印刷所需的時(shí)間。
[0106]另外，在第二實(shí)施方式中，如上所述，在使印刷臺(tái)3b接近印刷位置之后進(jìn)行印刷臺(tái)3b的第二印刷時(shí)，保持最小間隔Lm以上的距離并使印刷臺(tái)3a與印刷臺(tái)3b在Y2方向上移動(dòng)，將印刷臺(tái)3b定位于印刷位置。由此，與使印刷臺(tái)3a與印刷臺(tái)3b依次(單獨(dú))移動(dòng)的情況相比，能夠縮短印刷臺(tái)3b向印刷位置的移動(dòng)所需的時(shí)間。
[0107]另外，第二實(shí)施方式的其他效果與上述第一實(shí)施方式相同。
[0108](第三實(shí)施方式)
[0109]接著，參照?qǐng)D6、圖7及圖15，對(duì)本發(fā)明的第三實(shí)施方式的印刷裝置IOOb進(jìn)行說明。在該第三實(shí)施方式中，說明與上述第二實(shí)施方式不同的、在印刷臺(tái)3a和3b的一方的印刷動(dòng)作期間執(zhí)行另一方的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作的其他例子。
[0110]第三實(shí)施方式的印刷裝置IOOb的運(yùn)算處理部8Ia(參照?qǐng)D6)構(gòu)成為，在印刷臺(tái)3a的基板印刷動(dòng)作(第一印刷)的執(zhí)行過程中進(jìn)行以下控制(先行下降動(dòng)作):使印刷臺(tái)3b的掩模固定部件31 (大型元件用掩模7)從第二印刷后的版分離高度位置H3 (參照?qǐng)D15)下降到比版分離高度位置H3低且基板5上的焊料Sdl與大型元件用掩模7處于非接觸的待機(jī)高度位置H4 (參照?qǐng)D15)。這相當(dāng)于先行實(shí)施圖7的步驟Sll中的版對(duì)合動(dòng)作的一部分。另外，版分離高度位置H3是本發(fā)明的“大型元件用掩模版分離高度位置”的一例。另外，運(yùn)算處理部81b是本發(fā)明的“控制部”的一例。
[0111]首先，對(duì)版分離時(shí)的印刷臺(tái)(掩模)的高度位置進(jìn)行說明。版分離高度位置由通過印刷形成的焊料的焊料高度、掩模的撓曲量和用于確保掩模不與所形成的焊料發(fā)生接觸的安全余量決定。
[0112]在大型元件用掩模7 (印刷臺(tái)3b)的情況下，如圖15所示，若以印刷高度(版對(duì)合時(shí)的高度位置)HO為基準(zhǔn)，將焊料Sd2的焊料高度(基板5上的焊料的最大高度)設(shè)為H2、大型元件用掩模7的撓曲量設(shè)為Λ H、安全余量設(shè)為Hm，則第二印刷后的版分離高度位置H3由下式表示。
[0113]Η3 = Η2 +Δ H + Hm
[0114]另一方面，在由大型元件用掩模7 (印刷臺(tái)3b)進(jìn)行的第二印刷之前的狀態(tài)下，在基板5上未形成焊料Sd2，僅形成有焊料高度Hl (即小型元件用掩模6的膜厚Thl)的焊料Sdl。因此，在第二印刷前的狀態(tài)下，在基板5上的焊料Sdl和大型元件用掩模7非接觸的情況下，能夠使印刷臺(tái)3b (大型元件用掩模7)下降至下式所示的待機(jī)高度位置H4。
[0115]H4 = Hl +Δ H + Hm
[0116]S卩，在第二印刷前的狀態(tài)下，能夠預(yù)先使大型元件用掩模7下降與第二印刷前的焊料高度Hl和第二印刷后的最大焊料高度H2之差相當(dāng)?shù)木嚯x。[0117]由此，在印刷臺(tái)3a的基板印刷動(dòng)作(第一印刷)的執(zhí)行過程中，能夠預(yù)先使印刷臺(tái)3b下降至與基板5上的焊料Sdl不發(fā)生干擾的待機(jī)高度位置H4。
[0118]在此，焊料高度Hl相當(dāng)于小型元件用掩模6的厚度(膜厚)Thl，所以作為生產(chǎn)對(duì)象的基板5的基板數(shù)據(jù)的一部分預(yù)先存儲(chǔ)于控制數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部82b中。另外，安全余量Hm為預(yù)先設(shè)定于控制數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部82b中的規(guī)定值。另外，掩模的撓曲量Λ H主要依賴于掩模的尺寸(縱橫、厚度)。因此，在第三實(shí)施方式中，預(yù)先作成將掩模的尺寸和該尺寸下的撓曲量ΛΗ建立了對(duì)應(yīng)的表格，并存儲(chǔ)于控制數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部82b中。運(yùn)算處理部81b構(gòu)成為從控制數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部82b取得與基板數(shù)據(jù)中登錄的大型元件用掩模7的尺寸所對(duì)應(yīng)的撓曲量Λ H。
[0119]在第三實(shí)施方式的印刷裝置IOOb中，在圖7的步驟S4?S8之間(待機(jī)期間Tl)的規(guī)定時(shí)刻，運(yùn)算處理部81b實(shí)施印刷臺(tái)3b的先行下降動(dòng)作。由此，如圖15所示，在印刷臺(tái)3a的基板印刷動(dòng)作(第一印刷)的執(zhí)行過程中，印刷臺(tái)3b的大型元件用掩模7從版分離高度位置H3預(yù)先下降到待機(jī)高度位置H4。
[0120]并且，在圖7的步驟Sll的版對(duì)合時(shí)，印刷臺(tái)3b (大型元件用掩模7)從比版分離高度位置H3低的待機(jī)高度位置H4下降到印刷高度HO，進(jìn)行基板5與大型元件用掩模7的版對(duì)合。其結(jié)果為，使步驟Sll中的版對(duì)合所需的時(shí)間(Z方向的移動(dòng)距離)最小化。
[0121]另外，第三實(shí)施方式的印刷裝置IOOb的其他結(jié)構(gòu)與上述第一實(shí)施方式的印刷裝置100相同,所以省略說明。
[0122]在第三實(shí)施方式中，如上所述，運(yùn)算處理部81b在印刷臺(tái)3a的使用了小型元件用掩模6的基板印刷動(dòng)作(第一印刷)執(zhí)行過程中，使印刷臺(tái)3b從第二印刷后的相對(duì)于基板5的版分離高度位置H3下降到比版分離高度位置H3低且基板5上的具有焊料高度Hl的焊料Sdl與大型元件用掩模7處于非接觸的待機(jī)高度位置H4。由此，在印刷臺(tái)3a的基板印刷動(dòng)作(第一印刷)執(zhí)行過程中，能夠在印刷臺(tái)3b側(cè)先行實(shí)施進(jìn)行大型元件用掩模7與基板5的版對(duì)合時(shí)的下降動(dòng)作的一部分。其結(jié)果為，能夠縮短印刷臺(tái)3b進(jìn)行第二印刷時(shí)的基板印刷所需的時(shí)間。
[0123]另外，若考慮到基板5的連續(xù)生產(chǎn)，則在圖7的步驟S15的基板搬出之后，返回到步驟SI，搬入下一基板5。因此，在對(duì)第一張基板5的第一印刷結(jié)束后的待機(jī)期間T2(步驟S9?S13)，可以在印刷臺(tái)3a側(cè)實(shí)施對(duì)下一基板的先行下降動(dòng)作。在這種情況下，由于在所搬入的第一印刷前的基板5上未形成焊料(焊料高度為零)，所以能夠使印刷臺(tái)3a先行下降至與對(duì)應(yīng)于小型元件用掩模6的尺寸的撓曲量Λ H+安全余量Hm相當(dāng)?shù)拇龣C(jī)高度位置(未圖示)。
[0124]另外，在第三實(shí)施方式中，如上所述，至少基于小型元件用掩模6的膜厚Thl(即焊料高度Hl)和大型元件用掩模7的撓曲量Λ H來決定待機(jī)高度位置Η4。由此，能夠考慮到與進(jìn)行第二印刷時(shí)的形成于第一印刷后的基板5上的焊料Sdl的高度Hl相當(dāng)?shù)哪ず馮hl和大型元件用掩模7的撓曲量Λ H，將大型元件用掩模7配置在極度接近第一印刷后的基板5的待機(jī)高度位置Η4上。由此，能夠有效地縮短印刷臺(tái)3b進(jìn)行第二印刷時(shí)的基板印刷所需的時(shí)間。
[0125]另外，第三實(shí)施方式的其他效果與上述第二實(shí)施方式相同。
[0126](第四實(shí)施方式)
[0127]接著，參照?qǐng)D6、圖7、圖12和圖16，對(duì)本發(fā)明的第四實(shí)施方式的印刷裝置IOOc進(jìn)行說明。在該第四實(shí)施方式中，說明與上述第三實(shí)施方式不同的、在印刷臺(tái)3a及3b的一方的印刷動(dòng)作期間實(shí)施另一方的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作的其他例子。
[0128]第四實(shí)施方式的印刷裝置IOOc的運(yùn)算處理部81c (參照?qǐng)D6)構(gòu)成為，在基板作業(yè)臺(tái)2a與印刷臺(tái)3a的基板印刷動(dòng)作(第一印刷)執(zhí)行過程中進(jìn)行以下控制(先行掩模識(shí)別):使用基板作業(yè)臺(tái)2b來實(shí)施印刷臺(tái)3b的大型元件用掩模7的掩模識(shí)別。這相當(dāng)于先行實(shí)施圖7的步驟S9中的掩模標(biāo)記識(shí)別動(dòng)作。另外，運(yùn)算處理部81c是本發(fā)明的“控制部”的一例。
[0129]具體而言，如圖16所示，運(yùn)算處理部81c在基板作業(yè)臺(tái)2a與印刷臺(tái)3a的基板印刷動(dòng)作(第一印刷)執(zhí)行過程中使印刷臺(tái)3b向Yl方向移動(dòng)。并且，運(yùn)算處理部81c通過待機(jī)中的基板作業(yè)臺(tái)2b的Y方向移動(dòng)和基板作業(yè)臺(tái)2b的夾緊單元23的X方向移動(dòng)，使夾緊單元23的掩模識(shí)別相機(jī)24定位于印刷臺(tái)3b的大型元件用掩模7的掩模識(shí)別標(biāo)記Q的下方，執(zhí)行掩模識(shí)別相機(jī)24對(duì)掩模識(shí)別標(biāo)記Q的拍攝(圖像識(shí)別)。由此，識(shí)別大型元件用掩模7的水平方向的位置和姿勢(shì)。
[0130]在進(jìn)行先行掩模識(shí)別的情況下，由另一基板作業(yè)臺(tái)2b側(cè)的掩模識(shí)別相機(jī)24實(shí)施保持于基板作業(yè)臺(tái)2a上的基板5的進(jìn)行第二印刷時(shí)的大型元件用掩模7的掩模標(biāo)記識(shí)別(步驟S9)。因此，在第四實(shí)施方式中，運(yùn)算處理部81c進(jìn)行用于調(diào)整基板作業(yè)臺(tái)2a側(cè)的元件識(shí)別相機(jī)24的水平方向的坐標(biāo)系(X軸和Ymi軸(參照?qǐng)D12)和識(shí)別出大型元件用掩模7的基板作業(yè)臺(tái)2b側(cè)的元件識(shí)別相機(jī)24的水平方向的坐標(biāo)系(X軸和Ym2軸(參照?qǐng)D12))的相對(duì)位置的處理。
[0131]具體而言，預(yù)先計(jì)測(cè)基板作業(yè)臺(tái)2a側(cè)的元件識(shí)別相機(jī)24的坐標(biāo)系與識(shí)別出大型元件用掩模7的基板作業(yè)臺(tái)2b側(cè)的元件識(shí)別相機(jī)24的水平方向的坐標(biāo)系的相對(duì)位置關(guān)系(兩個(gè)坐標(biāo)間的X方向和Y方向的位置偏差)，生成用于轉(zhuǎn)換彼此的坐標(biāo)系的校正參數(shù)并預(yù)先存儲(chǔ)于控制數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部82b中。由此，運(yùn)算處理部81c能夠使用校正參數(shù)將使用基板作業(yè)臺(tái)2b側(cè)的元件識(shí)別相機(jī)24取得的大型元件用掩模7的位置坐標(biāo)轉(zhuǎn)換為基板作業(yè)臺(tái)2a側(cè)的識(shí)別相機(jī)24的坐標(biāo)系(X軸和Ymi軸)進(jìn)行處理。
[0132]在第四實(shí)施方式的印刷裝置IOOc中，在圖7的步驟S4?S8之間(待機(jī)期間Tl)的規(guī)定時(shí)刻，運(yùn)算處理部81c實(shí)施印刷臺(tái)3b的先行掩模識(shí)別。其結(jié)果為，圖7的步驟S9中所示的掩模標(biāo)記識(shí)別處理在步驟S4?S8的執(zhí)行過程中完成。由此，當(dāng)步驟S8完成時(shí)，跳過已經(jīng)完成的步驟S9的處理，處理前進(jìn)到步驟S10。在步驟SlO中，運(yùn)算處理部81c使用步驟S3的基板標(biāo)記的識(shí)別結(jié)果、先行掩模識(shí)別的識(shí)別結(jié)果和預(yù)先存儲(chǔ)于控制數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部82b中的校正參數(shù)，將基板5的水平位置與大型元件用掩模7的水平位置建立對(duì)應(yīng)，從而執(zhí)行基板作業(yè)臺(tái)2a和印刷臺(tái)3b向印刷位置的移動(dòng)處理。
[0133]另外，第四實(shí)施方式的印刷裝置IOOc的其他結(jié)構(gòu)與上述第一實(shí)施方式的印刷裝置100相同,所以省略說明。
[0134]在第四實(shí)施方式中，如上所述，運(yùn)算處理部81c在基板作業(yè)臺(tái)2a和印刷臺(tái)3a的使用了小型元件用掩模6的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中使用基板作業(yè)臺(tái)2b來實(shí)施印刷臺(tái)3b的大型元件用掩模7的掩模識(shí)別。由此，在印刷臺(tái)3a的使用了小型元件用掩模6的基板印刷動(dòng)作(第一印刷)執(zhí)行過程中能夠在印刷臺(tái)3b側(cè)先行實(shí)施用于使大型元件用掩模7與基板5對(duì)位的掩模識(shí)別作業(yè)。其結(jié)果為，在第一印刷后，跳過圖7的步驟S9的處理，能夠由掩模識(shí)別作業(yè)已完成的大型元件用掩模7立即進(jìn)行第二印刷，所以能夠縮短進(jìn)行第二印刷時(shí)的基板印刷所需的時(shí)間。
[0135]另外，為了進(jìn)行掩模與基板(基板作業(yè)臺(tái)2a和2b)的相對(duì)對(duì)位而需要進(jìn)行掩模識(shí)別處理，所以掩模識(shí)別處理至少需要在印刷裝置的初次印刷時(shí)執(zhí)行。另一方面，由于掩模固定于印刷臺(tái)3a (3b)的掩模固定部件31，所以未必需要每當(dāng)執(zhí)行印刷動(dòng)作時(shí)每次都實(shí)施掩模識(shí)別處理。但是，由于在裝置運(yùn)轉(zhuǎn)中也會(huì)發(fā)生驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的滾珠絲杠軸等各部的熱延伸等細(xì)微的位置偏差，所以例如可以每當(dāng)生產(chǎn)一定張數(shù)的基板時(shí)定期實(shí)施或者每當(dāng)經(jīng)過一定時(shí)間時(shí)定期實(shí)施。
[0136]另外，在第四實(shí)施方式中，如上所述，運(yùn)算處理部81c至少在基板作業(yè)臺(tái)2a和印刷臺(tái)3a的基板印刷動(dòng)作的初次執(zhí)行時(shí)實(shí)施使用了基板作業(yè)臺(tái)2b的大型元件用掩模7的掩模識(shí)別。由此，通過至少先行實(shí)施初次的掩模識(shí)別作業(yè)，能夠立即開始第二印刷。另外，若至少在初次的印刷執(zhí)行時(shí)預(yù)先進(jìn)行掩模識(shí)別，則在第二次以后的印刷執(zhí)行時(shí)，通過利用掩模識(shí)別結(jié)果，也能夠跳過掩模識(shí)別。
[0137]另外，第四實(shí)施方式的其他效果與上述第二實(shí)施方式相同。
[0138](第五實(shí)施方式)
[0139]接著，參照?qǐng)D6、圖7、圖9、圖10、圖17和圖18，說明本發(fā)明的第五實(shí)施方式的印刷裝置100。在該第五實(shí)施方式中，說明與上述第四實(shí)施方式不同的、在印刷臺(tái)3a及3b的一方的印刷動(dòng)作期間實(shí)施另一方的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作的其他例子。
[0140]第五實(shí)施方式的印刷裝置IOOd的運(yùn)算處理部81d (參照?qǐng)D6)構(gòu)成為實(shí)施以下控制(先行清掃動(dòng)作):在基板作業(yè)臺(tái)2b和印刷臺(tái)3b對(duì)第一印刷后的基板5執(zhí)行基板印刷動(dòng)作(第二印刷)的期間，使用基板作業(yè)臺(tái)2a來進(jìn)行印刷臺(tái)3a的小型元件用掩模6的掩模清掃(清潔)動(dòng)作。雖然在圖7中未圖示，但這相當(dāng)于先行實(shí)施基板印刷的間隔(圖7的步驟S15之后、下一基板15搬入前)中的掩模清掃動(dòng)作。另外，運(yùn)算處理部81d是本發(fā)明的“控制部”的一例。
[0141]在此，在印刷臺(tái)3a和3b的一方的印刷動(dòng)作期間，在執(zhí)行另一方的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作的先行處理動(dòng)作中，在使用基板作業(yè)臺(tái)2a (2b)實(shí)施先行處理的情況下(上述第四實(shí)施方式、第五實(shí)施方式的情況下)，未實(shí)施基板印刷動(dòng)作的待機(jī)中的基板作業(yè)臺(tái)(2a和2b的任一個(gè))和待機(jī)中的印刷臺(tái)(3a和3b的任一個(gè))需要配置于印刷裝置的Y方向的相同側(cè)。
[0142]S卩，例如如圖9所示，在Yl方向側(cè)的基板作業(yè)臺(tái)2b和印刷臺(tái)3b都處于待機(jī)中的情況下，能夠先行實(shí)施使基板作業(yè)臺(tái)2b與印刷臺(tái)3b協(xié)作的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作。另一方面，如圖10所示，在Yl方向側(cè)的基板作業(yè)臺(tái)2b和Y2方向側(cè)的印刷臺(tái)3a都處于待機(jī)中的情況下，在基板作業(yè)臺(tái)2b和印刷臺(tái)3a之間執(zhí)行印刷動(dòng)作(基板作業(yè)臺(tái)2a和印刷臺(tái)3b的第二印刷)，所以無法使基板作業(yè)臺(tái)2b沿Y方向移動(dòng)至印刷臺(tái)3a側(cè)。
[0143]因此，在第五實(shí)施方式中，作為先行實(shí)施掩模清掃動(dòng)作的例子，對(duì)在基板作業(yè)臺(tái)2b和印刷臺(tái)3b執(zhí)行基板印刷動(dòng)作(第二印刷)的期間使用基板作業(yè)臺(tái)2a來進(jìn)行印刷臺(tái)3a的小型元件用掩模6的先行清掃動(dòng)作的例子進(jìn)行說明。
[0144]如圖17所示，在第五實(shí)施方式中，也在基板作業(yè)臺(tái)2b側(cè)實(shí)施圖7所示的步驟SI?S15的基板印刷的處理流程。另外，圖17的處理流程作為持續(xù)實(shí)施的印刷動(dòng)作的途中動(dòng)作而制成，省略了步驟S4和S9的掩模識(shí)別處理。[0145]在圖17的情況下，在步驟S5?S8 (第一印刷)中，基板作業(yè)臺(tái)2a和印刷臺(tái)3b處于待機(jī)中。當(dāng)步驟S8的版分離處理結(jié)束時(shí)，轉(zhuǎn)移到由基板作業(yè)臺(tái)2a和印刷臺(tái)3b進(jìn)行的第二印刷(步驟SlO?S13)，印刷裝置IOOd的Y2方向側(cè)的基板作業(yè)臺(tái)2a和印刷臺(tái)3a都處于待機(jī)中。由此，能夠?qū)嵤┦够遄鳂I(yè)臺(tái)2a與印刷臺(tái)3a協(xié)作的先行清掃動(dòng)作。
[0146]在第五實(shí)施方式中，如圖18所示，運(yùn)算處理部81d在第二印刷(步驟SlO?S13)的期間使印刷臺(tái)3a向從印刷臺(tái)3b離開的Y2方向移動(dòng)。并且，運(yùn)算處理部81d使基板作業(yè)臺(tái)2a的清潔單元25的未圖示的清潔頭上升而與小型元件用掩模6的基板接觸面抵接，并且使基板作業(yè)臺(tái)2a與小型元件用掩模6 (印刷臺(tái)3a)在Y方向上相對(duì)移動(dòng)，從而使清潔頭在Y方向上相對(duì)于小型元件用掩模6滑動(dòng)。這時(shí)，在清潔頭，由未圖示的吸嘴負(fù)壓吸引焊膏而將其除去。由此，小型元件用掩模6的基板接觸面被清掃。其結(jié)果為，通常在基板印刷的間隔所實(shí)施的掩模清掃動(dòng)作在步驟SlO?S13的執(zhí)行過程中完成。因此，在步驟S15的基板印刷完成后，在印刷臺(tái)3a (小型元件用掩模6)側(cè)，能夠跳過先行實(shí)施的掩模的清掃動(dòng)作，執(zhí)行下一基板5的印刷動(dòng)作。
[0147]另外，第五實(shí)施方式的印刷裝置IOOd的其他結(jié)構(gòu)與上述第一實(shí)施方式的印刷裝置100相同,所以省略說明。
[0148]在第五實(shí)施方式中，如上所述，運(yùn)算處理部81d在基板作業(yè)臺(tái)2b和印刷臺(tái)3b對(duì)第一印刷后的基板5執(zhí)行使用了大型元件用掩模7的基板印刷動(dòng)作(第二印刷)的期間，使用基板作業(yè)臺(tái)2a來進(jìn)行印刷臺(tái)3a的小型元件用掩模6的掩模清掃動(dòng)作。由此，在印刷臺(tái)3a的基板印刷(第一印刷)后，在印刷臺(tái)3b的基板印刷動(dòng)作(第二印刷)的執(zhí)行過程中，能夠在印刷臺(tái)3a側(cè)實(shí)施小型元件用掩模6的掩模清掃作業(yè)。其結(jié)果為，能夠縮短印刷臺(tái)3a對(duì)下一基板5進(jìn)行第一印刷時(shí)的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作所需的時(shí)間。
[0149]另外，第五實(shí)施方式的先行清掃動(dòng)作如上所述，由于只要將待機(jī)中的基板作業(yè)臺(tái)(2a和2b的任一個(gè))和待機(jī)中的印刷臺(tái)(3a和3b的任一個(gè))配置于Y方向的相同側(cè)即可，所以在基板作業(yè)臺(tái)2a和印刷臺(tái)3a執(zhí)行基板印刷動(dòng)作(第一印刷)的期間，可以使用基板作業(yè)臺(tái)2b來進(jìn)行印刷臺(tái)3b的大型元件用掩模7的掩模清掃動(dòng)作。
[0150]另外，在第五實(shí)施方式中，如上所述，運(yùn)算處理部81d在基板作業(yè)臺(tái)2b和印刷臺(tái)3b執(zhí)行基板印刷動(dòng)作(第二印刷)的期間，使印刷臺(tái)3a向從印刷臺(tái)3b離開的Y2方向移動(dòng)，并且在從印刷臺(tái)3b離開的位置進(jìn)行小型元件用掩模6的掩模清掃動(dòng)作。由此，在掩模清掃動(dòng)作時(shí)能夠使印刷臺(tái)3a從印刷臺(tái)3b離開，所以在由印刷臺(tái)3b進(jìn)行的第二印刷的動(dòng)作中也能夠確保用于掩模清掃動(dòng)作的作業(yè)空間。
[0151]另外，第五實(shí)施方式的其他效果與上述第二實(shí)施方式相同。
[0152](第六實(shí)施方式)
[0153]接著，參照?qǐng)D6?圖10和圖19?圖23，對(duì)本發(fā)明的第六實(shí)施方式的印刷裝置IOOe進(jìn)行說明。在該第六實(shí)施方式中，對(duì)以下例子進(jìn)行說明:與在印刷臺(tái)3a和3b的一方的印刷動(dòng)作期間執(zhí)行另一方的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作的上述第二至第五實(shí)施方式不同，在印刷臺(tái)3a和3b的一方的印刷動(dòng)作期間執(zhí)行另一方的印刷動(dòng)作。
[0154]第六實(shí)施方式的印刷裝置IOOe (參照?qǐng)D21)構(gòu)成為對(duì)基板作業(yè)臺(tái)2a和基板作業(yè)臺(tái)2b交替地搬入基板5，執(zhí)行印刷。
[0155]并且，第六實(shí)施方式的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作IOOe的運(yùn)算處理部Sle (參照?qǐng)D6)構(gòu)成為進(jìn)行以下控制:在印刷臺(tái)3b和基板作業(yè)臺(tái)2a及2b的一方對(duì)第一印刷后的第一基板5進(jìn)行基板印刷動(dòng)作(第二印刷)的執(zhí)行過程中，通過印刷臺(tái)3a和基板作業(yè)臺(tái)2a及2b的另一方，對(duì)第一印刷前的第二基板5執(zhí)行基板印刷動(dòng)作(第一印刷)。另外，運(yùn)算處理部Sle是本發(fā)明的“控制部”的一例。
[0156]另外，第六實(shí)施方式的印刷裝置IOOe的運(yùn)算處理部Sle構(gòu)成為進(jìn)行以下控制:在由印刷臺(tái)3a和3b的一方和基板作業(yè)臺(tái)2a及2b的一方執(zhí)行基板印刷動(dòng)作的執(zhí)行過程中，由基板作業(yè)臺(tái)2a及2b的另一方執(zhí)行基板搬入和基板搬出動(dòng)作。
[0157]另外，第六實(shí)施方式的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作IOOe的其他結(jié)構(gòu)與上述第一實(shí)施方式的印刷裝置100相同，所以省略說明。
[0158]在此，參照?qǐng)D6?圖10和圖19?圖23，說明第六實(shí)施方式的印刷裝置IOOe的基板印刷動(dòng)作。以下的處理由印刷裝置IOOe的運(yùn)算處理部Sle控制。
[0159]在第六實(shí)施方式的印刷裝置IOOe的基板印刷動(dòng)作處理中，對(duì)各基板5的印刷處理的流程基本上與圖7的步驟SI?S15所示的處理相同。以下，關(guān)于基板5，作為第一張基板5a至第四張基板5d由a?d表示其為第幾張基板，為了方便，表示印刷四張基板5而結(jié)束印刷動(dòng)作的例子。在圖19和圖20中，僅在初次印刷時(shí)進(jìn)行圖7的步驟S4和S9所示的掩模識(shí)別動(dòng)作，在后續(xù)的基板5 (5b?5d)的印刷時(shí)省略掩模識(shí)別動(dòng)作進(jìn)行表示。另外，各步驟末尾所附的a?d表示對(duì)第一張基板5a至第四張基板5d的處理。另外，在該例子中，表示最先將基板5 (5a)搬入基板作業(yè)臺(tái)2a的例子。
[0160]如圖19所示，首先，在步驟Sla中，將第一張基板5 (5a)從搬入位置Enl (參照?qǐng)D8)搬入到基板作業(yè)臺(tái)2a。經(jīng)由步驟S2a的基板固定、步驟S3a的基板標(biāo)記識(shí)別，在步驟S4a中進(jìn)行印刷臺(tái)3a的小型元件用掩模6的標(biāo)記識(shí)別(僅初次)。
[0161]接著，在步驟S5a?S8a中，通過基板作業(yè)臺(tái)2a和印刷臺(tái)3a實(shí)施對(duì)基板5a的第一印刷。當(dāng)在步驟SSa進(jìn)行版分離時(shí)，在步驟S9a中進(jìn)行印刷臺(tái)3b的大型元件用掩模7的掩模標(biāo)記識(shí)別(僅初次)。
[0162]并且，在步驟SlOa?S13a中，通過基板作業(yè)臺(tái)2a和印刷臺(tái)3b實(shí)施對(duì)基板5a的第二印刷(參照?qǐng)D10)。在此期間，在基板作業(yè)臺(tái)2b側(cè)，在步驟Slb中，將第二張基板5 (5b)從搬入位置En2搬入到基板作業(yè)臺(tái)2b，實(shí)施步驟S2b的基板固定和步驟S3b的基板標(biāo)記識(shí)別(參照?qǐng)D23)。
[0163]當(dāng)在步驟S13a進(jìn)行版分離時(shí)，在步驟S14a中，解除基板作業(yè)臺(tái)2a的第一張基板5a的基板固定，并且基板作業(yè)臺(tái)2a朝向搬出位置Exl沿Y2方向移動(dòng)。并且，如圖21所示，在步驟S15a中，由基板作業(yè)臺(tái)2a從搬出位置Exl搬出基板5a，并且處理前進(jìn)到步驟Slc(參照?qǐng)D19)，將第三張基板5 (5c)從搬入位置Enl搬入到基板作業(yè)臺(tái)2a，在步驟S2c中進(jìn)行第三張基板5c的基板固定。
[0164]在此，由于在步驟S13a中進(jìn)行版分離時(shí)，基板作業(yè)臺(tái)2a朝向搬出位置Exl沿Y2方向移動(dòng)，所以基板作業(yè)臺(tái)2b也能夠朝向印刷臺(tái)3a沿Y2方向移動(dòng)。并且，在步驟S14a?S2c的期間，在基板作業(yè)臺(tái)2b側(cè)，如圖21所示，通過基板作業(yè)臺(tái)2b和印刷臺(tái)3a實(shí)施對(duì)第二張基板5b的第一印刷(步驟S5b?S8b)。換言之，在基板作業(yè)臺(tái)2b和印刷臺(tái)3a的基板印刷動(dòng)作中(步驟S5b?S8b)，由基板作業(yè)臺(tái)2a進(jìn)行第一張基板5a的搬出(步驟S15a)和第三張基板5c的搬入(步驟Sic)。[0165]在進(jìn)行對(duì)第二張基板5b的版分離(步驟S8b)之后，在基板作業(yè)臺(tái)2b側(cè)，在步驟SlOb?S13b中，由基板作業(yè)臺(tái)2b和印刷臺(tái)3b實(shí)施對(duì)第二張基板5b的第二印刷。如圖22所示，在步驟SlOb中，朝向第二印刷的印刷位置，基板作業(yè)臺(tái)2b向Yl方向移動(dòng)，印刷臺(tái)3b向Y2方向移動(dòng)，在版對(duì)合完成后實(shí)施第二印刷。
[0166]在此期間，在基板作業(yè)臺(tái)2a側(cè)，在第三張基板5c的基板標(biāo)記識(shí)別(步驟S3c)之后，由基板作業(yè)臺(tái)2a和印刷臺(tái)3a并行實(shí)施對(duì)第三張基板5c的第一印刷的步驟S5c (向印刷位置的移動(dòng))、步驟S6c (版對(duì)合)和步驟S7c (印刷動(dòng)作)。如此，在第六實(shí)施方式中，在步驟SlOb?S13b中的由印刷臺(tái)3b和基板作業(yè)臺(tái)2b對(duì)基板5b執(zhí)行基板印刷動(dòng)作(第二印刷)的過程中，由印刷臺(tái)3a和基板作業(yè)臺(tái)2a對(duì)基板5c執(zhí)行基板印刷動(dòng)作(第一印刷)(步驟 S5c ?S7c)。
[0167]當(dāng)在步驟S13b中進(jìn)行版分離時(shí)，基板作業(yè)臺(tái)2b從圖22所示的位置朝向搬出位置Ex2沿Yl方向移動(dòng)，并且解除基板5b的固定(步驟S14b)。其結(jié)果為，基板作業(yè)臺(tái)2a也能夠沿Yl方向朝向印刷臺(tái)3b移動(dòng)。并且，在基板作業(yè)臺(tái)2a側(cè)，如圖20所示，在步驟S8c中進(jìn)行了對(duì)第三張基板5c的版分離后，由基板作業(yè)臺(tái)2a和印刷臺(tái)3b實(shí)施對(duì)第三張基板5c的第二印刷(步驟SlOc?S13c)。如圖23所示，與該第二印刷(步驟SlOc?S13c)并行地在基板作業(yè)臺(tái)2b側(cè)實(shí)施:第二張基板5b從搬出位置Ex2的搬出(步驟S15b)、第四張基板5d從搬入位置En2的搬入(步驟Sid)、基板固定(步驟S2d)及基板標(biāo)記識(shí)別(步驟S3d)。
[0168]當(dāng)在基板作業(yè)臺(tái)2a側(cè)對(duì)第三張基板5c的第二印刷的版分離(步驟S13c)結(jié)束時(shí)，基板作業(yè)臺(tái)2a從圖23所示的位置朝向搬出位置Exl向Y2方向移動(dòng)，并且解除基板5c的固定(步驟S14c)。并且，如圖21所示，基板作業(yè)臺(tái)2a對(duì)第三張基板5c的搬出(步驟S15c)在搬出位置Exl實(shí)施。由此，基板作業(yè)臺(tái)2a側(cè)的印刷處理結(jié)束，基板作業(yè)臺(tái)2a在搬出位置Exl (搬入位置Enl)處于待機(jī)狀態(tài)。
[0169]另一方面，在基板作業(yè)臺(tái)2b中，對(duì)應(yīng)基板作業(yè)臺(tái)2a向Y2方向的移動(dòng)(步驟S 14c)，在步驟S4d中，基板作業(yè)臺(tái)2b朝向與印刷臺(tái)3a之間的印刷位置向Y2方向移動(dòng)。并且，如圖21所示，與基板作業(yè)臺(tái)2a對(duì)第三張基板5c的搬出(步驟S15c)并行地在步驟S5d?S8d中執(zhí)行基板作業(yè)臺(tái)2b和印刷臺(tái)3a對(duì)第四張基板5d的第一印刷。另外，在步驟SlOd?S13d中執(zhí)行基板作業(yè)臺(tái)2b和印刷臺(tái)3b對(duì)第四張基板5d的第二印刷。之后，經(jīng)由步驟S14d的基板固定解除和向搬出位置Ex2的Yl方向移動(dòng)，在步驟S15d中基板作業(yè)臺(tái)2b對(duì)第四張基板5d的搬出(步驟S15d)在搬出位置Ex2實(shí)施。由此，基板作業(yè)臺(tái)2b側(cè)的印刷處理結(jié)束，基板作業(yè)臺(tái)2b在搬出位置Ex2 (搬入位置En2)處于待機(jī)狀態(tài)，印刷裝置IOOe的印刷動(dòng)作結(jié)束。
[0170]在第六實(shí)施方式中，如上所述，運(yùn)算處理部Sle在印刷臺(tái)3b和基板作業(yè)臺(tái)2b對(duì)第一印刷后的基板5 (5b)執(zhí)行第二印刷的基板印刷動(dòng)作的執(zhí)行過程中(步驟SlOb?S13b)，由印刷臺(tái)3a和基板作業(yè)臺(tái)2a對(duì)第一印刷前的基板5 (5c)實(shí)施第一印刷的基板印刷動(dòng)作(步驟S5c?S8c)。由此，在對(duì)基板5b (第一基板)的第二印刷的執(zhí)行過程中，能夠先行實(shí)施對(duì)下一印刷對(duì)象的基板5c (第二基板)的第一印刷。其結(jié)果為，即使在由一臺(tái)印刷裝置IOOe執(zhí)行第一印刷和第二印刷的情況下，也能夠縮短對(duì)下一基板5c進(jìn)行印刷時(shí)的基板印刷動(dòng)作所需的時(shí)間。
[0171]另外，在第六實(shí)施方式中，如上所述，運(yùn)算處理部Sle在由印刷臺(tái)3a及印刷臺(tái)3b的一方和基板作業(yè)臺(tái)2a及基板作業(yè)臺(tái)2b的一方執(zhí)行基板印刷動(dòng)作的執(zhí)行過程中，實(shí)施由基板作業(yè)臺(tái)2a及基板作業(yè)臺(tái)2b的另一方進(jìn)行的基板搬入(步驟Slb、Slc及Sld)及基板搬出(步驟S15a、S15b及S15c)。由此，在使用基板作業(yè)臺(tái)2a和基板作業(yè)臺(tái)2b的一方執(zhí)行基板印刷動(dòng)作的期間，能夠由另一方實(shí)施用于下一基板印刷的基板搬入和基板搬出。其結(jié)果為，即使在由一臺(tái)印刷裝置IOOe執(zhí)行第一印刷和第二印刷的情況下，也能夠縮短對(duì)下一基板5進(jìn)行印刷時(shí)的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作(基板搬入、搬出動(dòng)作)所需的時(shí)間。
[0172]另外，第六實(shí)施方式的其他效果與上述第二實(shí)施方式相同。
[0173](第六實(shí)施方式的變形例)
[0174]在上述第六實(shí)施方式中，示出了以執(zhí)行以下控制的方式構(gòu)成運(yùn)算處理部Sle的例子:并行進(jìn)行對(duì)不同基板5的第一印刷和第二印刷的控制及與基板印刷動(dòng)作并行地進(jìn)行其他基板的基板搬入和基板搬出，除此以外，還同時(shí)執(zhí)行上述第二至第五實(shí)施方式所示的控制。
[0175]具體而言，在圖19和圖20所示的流程圖中，在印刷臺(tái)3a的動(dòng)作和印刷臺(tái)3b的動(dòng)作中分別存在待機(jī)期間T4、T5和T6、待機(jī)期間T7、T8和T9。因此，能夠在該待機(jī)期間中先行實(shí)施印刷準(zhǔn)備動(dòng)作。
[0176]例如，關(guān)于印刷臺(tái)3a，在待機(jī)期間T4和T5中，能夠?yàn)榱诉M(jìn)行第一印刷而實(shí)施上述第二實(shí)施方式所示的先行接近動(dòng)作和上述第三實(shí)施方式所示的先行下降動(dòng)作。在待機(jī)期間T4中只要實(shí)施先行接近動(dòng)作和先行下降動(dòng)作，則能夠縮短隨后的步驟S5b的向印刷位置的移動(dòng)處理和步驟S6b的版對(duì)合處理各自所需的時(shí)間。另外，關(guān)于印刷臺(tái)3b也同樣地在待機(jī)期間T7、T8和T9中，能夠?yàn)榱诉M(jìn)行第二印刷而實(shí)施先行接近動(dòng)作和先行下降動(dòng)作。
[0177]另外，關(guān)于待機(jī)期間T7，除了印刷臺(tái)3b，與印刷臺(tái)3b位于Y方向的相同側(cè)(Yl方向側(cè))的基板作業(yè)臺(tái)2b也處于待機(jī)狀態(tài)。因此，在待機(jī)期間T7中，能夠?qū)嵤┥鲜龅谒膶?shí)施方式所示的先行掩模識(shí)別。在這種情況下，在印刷臺(tái)3a側(cè)的掩模標(biāo)記識(shí)別(步驟S4a)和第一印刷(步驟S5a?S8a)實(shí)施期間的待機(jī)期間T7中先行實(shí)施在步驟S9a中基板作業(yè)臺(tái)2a所實(shí)施的掩模標(biāo)記識(shí)別。其結(jié)果為，能夠跳過步驟S9a的處理。
[0178]另外，關(guān)于待機(jī)期間T6，除了印刷臺(tái)3a，與印刷臺(tái)3a位于Y方向的相同側(cè)(Y2方向側(cè))的基板作業(yè)臺(tái)2a也處于印刷結(jié)束后的待機(jī)狀態(tài)。因此，在待機(jī)期間T6中，能夠?qū)嵤┥鲜龅谖鍖?shí)施方式所示的先行清掃動(dòng)作。由此，在印刷臺(tái)3b和基板作業(yè)臺(tái)2b執(zhí)行第二印刷(步驟SlOd?S13d)的執(zhí)行過程中，能夠提前地先行實(shí)施用于開始下一基板5的印刷的掩模清掃動(dòng)作。
[0179]另外，應(yīng)認(rèn)為本次公開的實(shí)施方式所有方面均為例示而非限制。本發(fā)明的范圍不是由上述實(shí)施方式的說明而由權(quán)利要求表示，另外還包含與權(quán)利要求等同含義和范圍內(nèi)的所有變更。
[0180]例如，在上述第一至第六實(shí)施方式中，作為本發(fā)明的基板印刷裝置的一例，示出了本發(fā)明適用于對(duì)印刷基板進(jìn)行焊料印刷作業(yè)的印刷裝置100 (100a?IOOe)的例子，但是本發(fā)明不限于此。在本發(fā)明中，只要是使用絲網(wǎng)掩模進(jìn)行基板印刷的基板印刷裝置，則本發(fā)明也可以應(yīng)用于焊料以外的粘性材料(例如銀膏等導(dǎo)電性膏等)的印刷裝置。
[0181]另外，在上述第一至第六實(shí)施方式中，示出了設(shè)有兩個(gè)基板作業(yè)臺(tái)的例子，但是本發(fā)明不限于此。在本發(fā)明中，也可以設(shè)置一個(gè)或三個(gè)以上的基板作業(yè)臺(tái)。[0182]另外，在上述第一至第六實(shí)施方式中，示出了兩個(gè)基板作業(yè)臺(tái)和兩個(gè)印刷臺(tái)都能夠在Y方向上移動(dòng)地構(gòu)成的例子，但是本發(fā)明不限于此。在本發(fā)明中，為了進(jìn)行第一印刷和第二印刷，只要構(gòu)成為基板作業(yè)臺(tái)和兩個(gè)印刷臺(tái)的至少一方能夠在Y方向上移動(dòng)即可。因此，可以使基板作業(yè)臺(tái)在Y方向上固定，而僅使印刷臺(tái)在Y方向上可動(dòng)。另外，也可以使印刷臺(tái)在Y方向上固定，而僅使基板作業(yè)臺(tái)在Y方向上可動(dòng)。另外，例如也可以使兩個(gè)基板作業(yè)臺(tái)中的一方在Y方向上可動(dòng)，而使另一方在Y方向上固定。
[0183]另外，在上述第一至第六實(shí)施方式中，示出了構(gòu)成為通過使兩個(gè)印刷臺(tái)上下(在Z方向上)移動(dòng)而進(jìn)行版對(duì)合和版分離的例子，但是本發(fā)明不限于此。在本發(fā)明中，為了進(jìn)行第一印刷和第二印刷，只要構(gòu)成為基板作業(yè)臺(tái)和兩個(gè)印刷臺(tái)的至少一方能夠在上下方向上移動(dòng)即可。因此，可以使基板作業(yè)臺(tái)在Z方向上固定，而僅使印刷臺(tái)在Z方向上可動(dòng)。另外，也可以使印刷臺(tái)在Z方向上固定，而僅使基板作業(yè)臺(tái)在Z方向上可動(dòng)。
[0184]另外，在上述第一至第六實(shí)施方式中，示出了設(shè)有兩個(gè)搬入位置Enl和En2的例子，但是本發(fā)明不限于此。搬入位置可以是一個(gè)或三個(gè)以上。
[0185]另外，在上述第一至第六實(shí)施方式中，示出了設(shè)有兩個(gè)搬出位置Exl和Ex2的例子，但是本發(fā)明不限于此。搬出位置可以是一個(gè)或三個(gè)以上。
[0186]另外，在上述第一至第六實(shí)施方式中，示出了從設(shè)于搬入位置Enl和En2上的裝載器將基板直接交付給基板作業(yè)臺(tái)的結(jié)構(gòu)的例子，但是本發(fā)明不限于此。在本發(fā)明中，例如可以在裝載器與基板作業(yè)臺(tái)之間設(shè)置中間輸送機(jī)，經(jīng)由中間輸送機(jī)從裝載器側(cè)向基板作業(yè)臺(tái)側(cè)搬運(yùn)基板。特別是在搬入位置僅為一處的情況下，可以設(shè)置能夠向兩個(gè)基板作業(yè)臺(tái)分配地搬運(yùn)的可動(dòng)的中間輸送機(jī)。
[0187]另外，在上述第一至第六實(shí)施方式中，示出了在基板作業(yè)臺(tái)上設(shè)有掩模識(shí)別相機(jī)和清潔單元的例子，但是本發(fā)明不限于此。在本發(fā)明中，可以不在基板作業(yè)臺(tái)上設(shè)置掩模識(shí)別相機(jī)，也可以不在基板作業(yè)臺(tái)上設(shè)置清潔單元。
【權(quán)利要求】
1.一種基板印刷裝置，具備: 基板作業(yè)臺(tái)，保持印刷對(duì)象的基板； 第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)，在所述基板作業(yè)臺(tái)的上方并排地排列于水平方向的規(guī)定方向；以及 控制部，控制所述第一印刷臺(tái)及所述第二印刷臺(tái)的印刷動(dòng)作， 所述第一印刷臺(tái)保持第一膜厚的小型元件用掩模，該小型元件用掩模用于將粘性材料印刷于所述基板的第一印刷， 所述第二印刷臺(tái)保持大型元件用掩模，該大型元件用掩模具有比所述第一膜厚厚的第二膜厚，且在基板接觸面?zhèn)刃纬缮疃缺人龅谝荒ず竦暮穸却蟮耐吮懿恳允褂伤鲂⌒驮醚谀Ｓ∷⒑蟮恼承圆牧贤吮埽⒂糜谶M(jìn)行以下的第二印刷:將粘性材料印刷于由所述第一印刷臺(tái)進(jìn)行所述第一印刷后的所述基板， 所述基板作業(yè)臺(tái)和所述第一印刷臺(tái)及所述第二印刷臺(tái)的至少一方構(gòu)成為能夠在所述水平方向的規(guī)定方向上移動(dòng)， 所述基板作業(yè)臺(tái)和所述第一印刷臺(tái)及所述第二印刷臺(tái)的至少一方構(gòu)成為能夠在上下方向上移動(dòng)， 所述控制部構(gòu)成為，對(duì)保持于所述基板作業(yè)臺(tái)的所述基板由所述第一印刷臺(tái)的小型元件用掩模進(jìn)行了所述第一印刷之后，由所述第二印刷臺(tái)的大型元件用掩模進(jìn)行所述第二印刷。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板印刷裝置，其中， 所述控制部構(gòu)成為，在所述第一印刷臺(tái)及所述第二印刷臺(tái)的一方的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中實(shí)施所述第一印刷臺(tái)及所述`第二印刷臺(tái)的另一方的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板印刷裝置，其中， 所述第一印刷臺(tái)及所述第二印刷臺(tái)構(gòu)成為能夠分別在所述水平方向的規(guī)定方向上移動(dòng)， 所述控制部構(gòu)成為，在所述第一印刷臺(tái)的基板印刷動(dòng)作的執(zhí)行過程中以所述第一印刷臺(tái)與所述第二印刷臺(tái)的所述水平方向的規(guī)定方向的距離變小的方式使所述第二印刷臺(tái)向所述水平方向的規(guī)定方向移動(dòng)，從而使所述第二印刷臺(tái)接近印刷位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板印刷裝置，其中， 所述控制部構(gòu)成為，使所述第二印刷臺(tái)接近所述印刷位置直到與基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中的所述第一印刷臺(tái)之間的間隔變?yōu)樗龅谝挥∷⑴_(tái)與所述第二印刷臺(tái)能夠不發(fā)生干擾地接近的最小間隔的位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板印刷裝置，其中， 所述控制部構(gòu)成為，在使所述第二印刷臺(tái)接近所述印刷位置后，在由所述第二印刷臺(tái)進(jìn)行所述第二印刷時(shí)，保持所述最小間隔以上的距離并使所述第一印刷臺(tái)和所述第二印刷臺(tái)移動(dòng)而將所述第二印刷臺(tái)定位于所述印刷位置。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板印刷裝置，其中， 所述第一印刷臺(tái)及所述第二印刷臺(tái)構(gòu)成為能夠分別在上下方向上移動(dòng)， 所述控制部構(gòu)成為，在所述第一印刷臺(tái)的使用了所述小型元件用掩模的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中，使所述第二印刷臺(tái)從大型元件用掩模版分離高度位置下降到待機(jī)高度位置，其中，所述大型元件用掩模版分離高度位置是使所述大型元件用掩模相對(duì)于粘性材料的所述第二印刷后的所述基板離開的高度位置，所述待機(jī)高度位置是比所述大型元件用掩模版分離高度位置低且所述基板上的粘性材料與所述大型元件用掩模非接觸的高度位置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板印刷裝置，其中， 所述待機(jī)高度位置是至少基于所述小型元件用掩模的所述第一膜厚和所述大型元件用掩模的撓曲量而決定的高度位置。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板印刷裝置，其中， 所述基板作業(yè)臺(tái)包含構(gòu)成為能夠分別在所述水平方向的規(guī)定方向上移動(dòng)的第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)， 所述第一基板作業(yè)臺(tái)及所述第二基板作業(yè)臺(tái)分別具有能夠識(shí)別所述小型元件用掩模及所述大型元件用掩模的掩模識(shí)別相機(jī)， 所述控制部構(gòu)成為，在由所述第一基板作業(yè)臺(tái)和所述第二基板作業(yè)臺(tái)執(zhí)行使用了所述小型元件用掩模的基板印刷動(dòng)作的過程中，使用所述第二基板作業(yè)臺(tái)來實(shí)施所述第二印刷臺(tái)的所述大型元件用掩模的掩模識(shí)別。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板印刷裝置，其中， 所述控制部構(gòu)成為，至少在所述第一基板作業(yè)臺(tái)和所述第二基板作業(yè)臺(tái)的基板印刷動(dòng)作的初次執(zhí)行時(shí)，實(shí)施使用了所述第二基板作業(yè)臺(tái)的所述大型元件用掩模的掩模識(shí)別。
10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板印刷裝置，其中， 所述基板作業(yè)臺(tái)包含構(gòu)成為能夠分別在所述水平方向的規(guī)定方向上移動(dòng)的第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)， 所述第一基板作業(yè)臺(tái)及所述第二基板作業(yè)臺(tái)分別具有用于進(jìn)行所述小型元件用掩模及所述大型元件用掩模的清掃的清潔單元， 所述控制部構(gòu)成為，在所述第二基板作業(yè)臺(tái)和所述第二印刷臺(tái)對(duì)所述第一印刷后的所述基板執(zhí)行使用了所述大型元件用掩模的基板印刷動(dòng)作的期間，使用所述第一基板作業(yè)臺(tái)來進(jìn)行所述第一印刷臺(tái)的所述小型元件用掩模的掩模清掃動(dòng)作。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的基板印刷裝置，其中， 所述第一印刷臺(tái)及所述第二印刷臺(tái)構(gòu)成為能夠分別在所述水平方向的規(guī)定方向上移動(dòng)， 所述控制部構(gòu)成為，在所述第二基板作業(yè)臺(tái)和所述第二印刷臺(tái)執(zhí)行基板印刷動(dòng)作的期間，使所述第一印刷臺(tái)向從所述第二印刷臺(tái)離開的方向移動(dòng)，并且在從所述第二印刷臺(tái)離開的位置進(jìn)行所述小型元件用掩模的掩模清掃動(dòng)作。
12.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板印刷裝置，其中， 所述基板作業(yè)臺(tái)包含構(gòu)成為能夠分別在所述規(guī)定方向上移動(dòng)的第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)， 所述控制部構(gòu)成為，在由所述第一印刷臺(tái)及所述第二印刷臺(tái)的一方和所述第一基板作業(yè)臺(tái)及所述第二基板作業(yè)臺(tái)的一方執(zhí)行基板印刷動(dòng)作的過程中，由所述第一基板作業(yè)臺(tái)及所述第二基板作業(yè)臺(tái)的另一方實(shí)施基板搬入和基板搬出的至少一方的動(dòng)作。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板印刷裝置，其中， 所述基板作業(yè)臺(tái)包含構(gòu)成為能夠分別在所述規(guī)定方向上移動(dòng)的第一基板作業(yè)臺(tái)及第二基板作業(yè)臺(tái)， 所述控制部構(gòu)成為，在由所述第二印刷臺(tái)和所述第一基板作業(yè)臺(tái)及所述第二基板作業(yè)臺(tái)的一方對(duì)所述第一印刷后的第一基板執(zhí)行所述第二印刷的基板印刷動(dòng)作的過程中，由所述第一印刷臺(tái)和所述第一基板作業(yè)臺(tái)及所述第二基板作業(yè)臺(tái)的另一方對(duì)所述第一印刷前的第二基板執(zhí)行所述第一印刷的基板印刷動(dòng)作。
14.一種基板印刷方法，是具備將粘性材料印刷于基板的第一印刷臺(tái)及第二印刷臺(tái)的基板印刷裝置的基板印刷方法， 所述基板印刷方法具備如下工序: 對(duì)保持于基板作業(yè)臺(tái)的所述基板由所述第一印刷臺(tái)的小型元件用掩模進(jìn)行第一印刷；以及 對(duì)保持于所述基板作業(yè)臺(tái)并進(jìn)行了所述第一印刷后的所述基板由第二印刷臺(tái)的大型元件用掩模進(jìn)行第二印刷。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的基板印刷方法，還具備如下工序: 在由所述第一印刷臺(tái)進(jìn)行所述第一印刷的工序及由所述第二印刷臺(tái)進(jìn)行所述第二印刷的工序的一方的基板印刷動(dòng)作執(zhí)行過程中，實(shí)施為了由所述第一印刷臺(tái)進(jìn)行所述第一印刷的工序及由所述第二印刷臺(tái)進(jìn)行所述第`二印刷的工序的另一方而進(jìn)行的印刷準(zhǔn)備動(dòng)作。
【文檔編號(hào)】B41F15/08GK103879130SQ201310704717
【公開日】2014年6月25日 申請(qǐng)日期:2013年12月19日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月19日
【發(fā)明者】藤本猛志 申請(qǐng)人:雅馬哈發(fā)動(dòng)機(jī)株式會(huì)社
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