新型固晶機(jī)焊臂驅(qū)動(dòng)裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開一種新型固晶機(jī)焊臂驅(qū)動(dòng)裝置，包括設(shè)有平行移動(dòng)電機(jī)的電機(jī)基座，位于該電機(jī)基座的端部設(shè)有垂直移動(dòng)電機(jī)，該平行移動(dòng)電機(jī)的轉(zhuǎn)軸設(shè)有焊臂連接座，該焊臂連接座外側(cè)周圍均勻分布有多個(gè)焊臂，每個(gè)焊臂包括設(shè)有晶圓吸嘴的焊臂本體，所述平行移動(dòng)電機(jī)和垂直移動(dòng)電機(jī)分別與控制模塊連接。由平行移動(dòng)電機(jī)將焊臂移動(dòng)至所需位置后，再由垂直移動(dòng)電機(jī)使焊臂連接座向下移動(dòng)，再通過設(shè)于焊臂本體和吸嘴支架之間的滑動(dòng)氣缸精確調(diào)節(jié)晶圓吸嘴的位置拾起晶圓進(jìn)行后續(xù)鍵合操作。通過適當(dāng)?shù)恼{(diào)節(jié)和控制，在平行移動(dòng)電機(jī)在平行移動(dòng)時(shí)，該垂直移動(dòng)電機(jī)使焊臂向下移動(dòng)到適當(dāng)?shù)奈恢?，可以避免在平行移?dòng)時(shí)，垂直移動(dòng)電機(jī)完全空閑狀態(tài)，減少移動(dòng)時(shí)間，提高焊接效率。
【專利說明】新型固晶機(jī)焊臂驅(qū)動(dòng)裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體固晶【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種固晶機(jī)用的平移馬達(dá)與垂直馬達(dá)分離的新型固晶機(jī)焊臂驅(qū)動(dòng)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體固晶裝置在進(jìn)行作時(shí)需要將固晶用的物料通過上料裝置輸送至相應(yīng)位置后，由機(jī)械手將晶體，如LED晶圓移動(dòng)到基板對應(yīng)位置進(jìn)行焊接。
[0003]現(xiàn)有的半導(dǎo)體固晶裝置中對焊臂進(jìn)行移動(dòng)，由于焊臂運(yùn)動(dòng)的軌跡只能作二維X-Y座標(biāo)系內(nèi)直線移動(dòng)，平行移動(dòng)的電機(jī)和垂直移動(dòng)的電機(jī)為一體結(jié)構(gòu)，其平移的過程無法進(jìn)行垂直移動(dòng)，當(dāng)平移完成后才能進(jìn)行垂直移動(dòng)，使得移動(dòng)的時(shí)間變長，因此影響焊接效率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明主要解決的技術(shù)問題是提供一種新型固晶機(jī)焊臂驅(qū)動(dòng)裝置，該新型固晶機(jī)焊臂驅(qū)動(dòng)裝置可以避免平行移動(dòng)的電機(jī)和垂直移動(dòng)的電機(jī)一體結(jié)構(gòu)時(shí)需要分步完動(dòng)移動(dòng)動(dòng)作，其移動(dòng)時(shí)間較長，減少焊臂移動(dòng)時(shí)間，提高焊臂移動(dòng)效率，進(jìn)而提高工作效率。
[0005]為了解決上述問題，本發(fā)明提供一種新型固晶機(jī)焊臂驅(qū)動(dòng)裝置，該新型固晶機(jī)焊臂驅(qū)動(dòng)裝置包括設(shè)有平行移動(dòng)電機(jī)的電機(jī)基座，位于該電機(jī)基座的端部設(shè)有垂直移動(dòng)電機(jī)，該平行移動(dòng)電機(jī)的轉(zhuǎn)軸設(shè)有焊臂連接座，該焊臂連接座外側(cè)周圍均勻分布有多個(gè)焊臂，每個(gè)焊臂包括設(shè)有晶圓吸嘴的焊臂本體，所述平行移動(dòng)電機(jī)和垂直移動(dòng)電機(jī)分別與控制模塊連接。
[0006]進(jìn)一步地說，所述焊臂為四個(gè)，所述垂直移動(dòng)電機(jī)的數(shù)量與焊臂的數(shù)量相同。
[0007]進(jìn)一步地說，所述垂直移動(dòng)電機(jī)包括音圈直線電機(jī)。
[0008]進(jìn)一步地說，所述平行移動(dòng)電機(jī)包括司服電機(jī)。
[0009]進(jìn)一步地說，所述焊臂連接座為方形或圓柱形。
[0010]本發(fā)明新型固晶機(jī)焊臂驅(qū)動(dòng)裝置，包括設(shè)有平行移動(dòng)電機(jī)的電機(jī)基座，位于該電機(jī)基座的端部設(shè)有垂直移動(dòng)電機(jī)，該平行移動(dòng)電機(jī)的轉(zhuǎn)軸設(shè)有焊臂連接座，該焊臂連接座外側(cè)周圍均勻分布有多個(gè)焊臂，每個(gè)焊臂包括設(shè)有晶圓吸嘴的焊臂本體，所述平行移動(dòng)電機(jī)和垂直移動(dòng)電機(jī)分別與控制模塊連接。工作時(shí)，由平行移動(dòng)電機(jī)將焊臂移動(dòng)至所需位置后，再由垂直移動(dòng)電機(jī)使焊臂連接座向下移動(dòng)，與該焊臂連接座連接的四個(gè)焊臂同步向下移動(dòng)，再通過設(shè)于焊臂本體和吸嘴支架之間的滑動(dòng)氣缸精確調(diào)節(jié)晶圓吸嘴的位置拾起晶圓，進(jìn)行后續(xù)鍵合操作。通過適當(dāng)?shù)恼{(diào)節(jié)和控制，可以在平行移動(dòng)電機(jī)在平行移動(dòng)時(shí)，該垂直移動(dòng)電機(jī)使焊臂向下移動(dòng)到適當(dāng)?shù)奈恢?，?dāng)平行移動(dòng)到適當(dāng)位置時(shí)，再將垂直移動(dòng)電機(jī)移動(dòng)細(xì)小距離，可以避免在平行移動(dòng)時(shí)，垂直移動(dòng)電機(jī)完全空閑狀態(tài)，減少移動(dòng)時(shí)間，提高焊接效率。
【專利附圖】

【附圖說明】[0011]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單介紹，顯而易見地，而描述中的附圖是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他附圖。
[0012]圖1是本發(fā)明固晶機(jī)用多焊臂裝置實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖2是焊臂結(jié)構(gòu)放大示意圖。
[0014]下面結(jié)合實(shí)施例，并參照附圖，對本發(fā)明目的的實(shí)現(xiàn)、功能特點(diǎn)及優(yōu)點(diǎn)作進(jìn)一步說明。
【具體實(shí)施方式】
[0015]為了使發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0016]如圖1和圖2所示，本發(fā)明提供一種新型固晶機(jī)焊臂驅(qū)動(dòng)裝置實(shí)施例。
[0017]該新型固晶機(jī)焊臂驅(qū)動(dòng)裝置包括:設(shè)有平行移動(dòng)電機(jī)3的電機(jī)基座1，位于該電機(jī)基座I的端部設(shè)有垂直移動(dòng)電機(jī)2，該平行移動(dòng)電機(jī)3的轉(zhuǎn)軸設(shè)有焊臂連接座41，該焊臂連接座41外側(cè)周圍均勻分布有多個(gè)焊臂，每個(gè)焊臂包括焊臂本體44，在該焊臂本體44上設(shè)有晶圓吸嘴42，所述平行移動(dòng)電機(jī)3和垂直移動(dòng)電機(jī)2分別與控制模塊連接。
[0018]具體地說，所述焊臂連接座41為方形或圓柱形，在該焊臂連接座41設(shè)有四個(gè)焊臂，在該焊臂本體44上設(shè)有一個(gè)使吸嘴支架40上下移動(dòng)的滑動(dòng)氣缸43，該吸嘴支架44設(shè)有與氣源連接的晶圓吸嘴42。所述垂直移動(dòng)電機(jī)2對稱設(shè)于電機(jī)基座I下，其數(shù)量優(yōu)選為四個(gè)，該垂直移動(dòng)電機(jī)2包括音圈直線電機(jī)。所述平行移動(dòng)電機(jī)3包括司服電機(jī)。
[0019]工作時(shí)，由平行移動(dòng)電機(jī)3將焊臂移動(dòng)至所需位置后，再由垂直移動(dòng)電機(jī)2使焊臂連接座41向下移動(dòng)，與該焊臂連接座41連接的四個(gè)焊臂同步向下移動(dòng)，再通過設(shè)于焊臂本體44和吸嘴支架40之間的滑動(dòng)氣缸43精確調(diào)節(jié)晶圓吸嘴42的位置拾起晶圓，進(jìn)行后續(xù)鍵合操作。通過適當(dāng)?shù)恼{(diào)節(jié)和控制，可以在平行移動(dòng)電機(jī)在平行移動(dòng)時(shí)，該垂直移動(dòng)電機(jī)使焊臂向下移動(dòng)到適當(dāng)?shù)奈恢?，?dāng)平行移動(dòng)到適當(dāng)位置時(shí)，再移動(dòng)細(xì)小距離，可以避免在平行移動(dòng)時(shí)，垂直移動(dòng)電機(jī)完全空閑狀態(tài)，減少移動(dòng)時(shí)間，提高焊接效率。
[0020]以上實(shí)施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案，而非對其限制；盡管參照前述實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換，而這些修改或替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍。
【權(quán)利要求】
1.新型固晶機(jī)焊臂驅(qū)動(dòng)裝置，包括設(shè)有平行移動(dòng)電機(jī)的電機(jī)基座，其特征在于: 位于該電機(jī)基座的端部設(shè)有垂直移動(dòng)電機(jī)，該平行移動(dòng)電機(jī)的轉(zhuǎn)軸設(shè)有焊臂連接座，該焊臂連接座外側(cè)周圍均勻分布有多個(gè)焊臂，每個(gè)焊臂包括設(shè)有晶圓吸嘴的焊臂本體，所述平行移動(dòng)電機(jī)和垂直移動(dòng)電機(jī)分別與控制模塊連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型固晶機(jī)焊臂驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于: 所述焊臂為四個(gè)，所述垂直移動(dòng)電機(jī)的數(shù)量與焊臂的數(shù)量相同。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的固晶機(jī)用多焊臂裝置，其特征在于: 所述垂直移動(dòng)電機(jī)包括音圈直線電機(jī)。
4.根據(jù)權(quán)利要求4所述的新型固晶機(jī)焊臂驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于: 所述平行移動(dòng)電機(jī)包括司服電機(jī)。
【文檔編號(hào)】B25J9/12GK103600349SQ201310540677
【公開日】2014年2月26日 申請日期:2013年10月25日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月25日
【發(fā)明者】區(qū)大公 申請人:深圳市恒睿智達(dá)科技有限公司