調(diào)整機(jī)械臂位置的方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種調(diào)整機(jī)械臂位置的方法，屬于集成電路領(lǐng)域。該方法涉及在機(jī)械臂存放晶圓的過(guò)程中，包括：通過(guò)測(cè)距傳感器感測(cè)機(jī)械臂前端不同的抓手、后端的手臂分別與所述測(cè)距傳感器的垂直距離；根據(jù)所述測(cè)距傳感器感測(cè)的機(jī)械臂前端不同的抓手分別與所述測(cè)距傳感器之間的垂直距離差，調(diào)整機(jī)械臂的水平位置；根據(jù)所述測(cè)距傳感器感測(cè)的機(jī)械臂前端任一抓手、后端的手臂與所述測(cè)距傳感器的垂直距離差，調(diào)整機(jī)械臂距離被存放晶圓的垂直距離。本發(fā)明中，通過(guò)測(cè)距傳感器感測(cè)機(jī)械臂前端不同的抓手、后端的手臂分別與所述測(cè)距傳感器的垂直距離；據(jù)此，客觀高效地實(shí)現(xiàn)了調(diào)整機(jī)械臂的水平位置和垂直距離。
【專利說(shuō)明】調(diào)整機(jī)械臂位置的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于集成電路領(lǐng)域，具體地說(shuō)，涉及一種調(diào)整機(jī)械臂位置的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,300mm的娃片已經(jīng)取代200mm的娃片成為主流,姆個(gè)裝載了硅片的容器重量由原來(lái)的約4公斤變成了約9公斤。因此，如果借助于人力來(lái)在各個(gè)制造模塊之間來(lái)進(jìn)行輸送的話，會(huì)導(dǎo)致效率比較低，同時(shí)還可能導(dǎo)致人員被傷害的危險(xiǎn)。而由于可以有效提高廠房利用率、縮短產(chǎn)品的生產(chǎn)周期，自動(dòng)化物料輸送系統(tǒng)(AutomatedMaterial Handling Systems,以下簡(jiǎn)稱:AMHS)相對(duì)于人力化的物料輸送來(lái)說(shuō)，成為在300mm娃片制造過(guò)程中各個(gè)制造模塊之間來(lái)進(jìn)行輸送娃片的主要紐帶。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中自動(dòng)化物料輸送系統(tǒng)主要包括:放置有盒式容器的存儲(chǔ)單元、機(jī)械臂，通過(guò)該機(jī)械臂來(lái)拾取或者卸載盒式容器，從而使得硅片在制造區(qū)域的各個(gè)制造模塊之間自動(dòng)輸送。而在機(jī)械臂來(lái)拾取或者卸載盒式容器，如何保證機(jī)械臂的傳送位置，是影響自動(dòng)輸送效率的關(guān)鍵原因之一。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)中，在確認(rèn)機(jī)械臂的傳送位置時(shí)，工程師主要利用氣泡式水平儀和直尺進(jìn)行判斷。當(dāng)需要調(diào)整機(jī)械臂水平時(shí)，通常將氣泡式水平儀放置在機(jī)械臂上，通過(guò)肉眼判斷氣泡式水平儀中氣泡的左右位置進(jìn)行校正。但是，這種方法依賴于工程師的肉眼，受限于エ程師的主觀經(jīng)驗(yàn)，存在一定的誤差，客觀性較差。而當(dāng)需要調(diào)整機(jī)械臂的垂直高度吋，通常采用直尺直接進(jìn)行量測(cè)，量測(cè)過(guò)程由于受到操作空間等因素的影響，往往需要花費(fèi)較多的時(shí)間，無(wú)法實(shí)現(xiàn)機(jī)械臂的快速定位，效率較低。
[0005]綜上，現(xiàn)有技術(shù)中機(jī)械臂的定位方法，在定位機(jī)械臂的水平位置時(shí)，由于依賴于エ程師的主觀經(jīng)驗(yàn)，客觀性較差。另外，由于在定位機(jī)械臂的垂直位置時(shí)，直尺量測(cè)過(guò)程中的操作空間有限，效率較低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供ー種定位機(jī)械臂的方法及系統(tǒng)，用以部分或全部克服、部分或全部解決現(xiàn)有技術(shù)存在的上述技術(shù)問(wèn)題。
[0007]為了部分或全部克服、部分或全部解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種調(diào)整機(jī)械臂位置的方法，在機(jī)械臂存放晶圓的過(guò)程中，其包括:
[0008]通過(guò)測(cè)距傳感器感測(cè)機(jī)械臂前端不同的抓手、后端的手臂分別與所述測(cè)距傳感器的垂直距離；
[0009]根據(jù)所述測(cè)距傳感器感測(cè)的機(jī)械臂前端不同的抓手分別與所述測(cè)距傳感器之間的垂直距離差，調(diào)整機(jī)械臂的水平位置；
[0010]根據(jù)所述測(cè)距傳感器感測(cè)的機(jī)械臂前端任一抓手、后端的手臂與所述測(cè)距傳感器的垂直距離差，調(diào)整機(jī)械臂距離被存放晶圓的垂直距離。
[0011]優(yōu)選地，在發(fā)明的一實(shí)施例中，在通過(guò)測(cè)距傳感器感測(cè)機(jī)械臂前端不同的抓手、后端的手臂分別與所述測(cè)距傳感器的垂直距離之前包括:通過(guò)所述距離傳感器測(cè)得一初始距離，并進(jìn)行歸零調(diào)整。
[0012]優(yōu)選地，在發(fā)明的一實(shí)施例中，在感測(cè)機(jī)械臂前端不同的抓手、后端的手臂分別與所述測(cè)距傳感器的垂直距離時(shí)，所述測(cè)距傳感器的安裝位置分別與機(jī)械臂前端不同的抓手、后端的手臂形成三角測(cè)距關(guān)系。
[0013]優(yōu)選地，在發(fā)明的一實(shí)施例中，所述測(cè)距傳感器設(shè)置在裝載被存放晶圓的裝載盒上表面。
[0014]優(yōu)選地，在發(fā)明的一實(shí)施例中，在感測(cè)機(jī)械臂前端不同的抓手、后端的手臂分別與所述測(cè)距傳感器的垂直距離時(shí)，所述機(jī)械臂前端不同的抓手各自對(duì)應(yīng)ー組所述測(cè)距傳感器，所述機(jī)械臂后端的手臂對(duì)應(yīng)一所述測(cè)距傳感器，以形成三角測(cè)距關(guān)系。
[0015]優(yōu)選地，在發(fā)明的一實(shí)施例中，在感測(cè)機(jī)械臂前端不同的抓手、后端的手臂分別與所述測(cè)距傳感器的垂直距離時(shí)，所述機(jī)械臂前端不同的抓手、所述機(jī)械臂后端的手臂對(duì)應(yīng)同一所述測(cè)距傳感器，以形成三維三角測(cè)距關(guān)系。
[0016]為了部分或全部克服、部分或全部解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了ー種晶圓存放系統(tǒng)，在機(jī)械臂存放晶圓的過(guò)程中，其包括:機(jī)械臂、測(cè)距傳感器，機(jī)械臂用于存放裝載盒中的晶圓；測(cè)距傳感器用于感測(cè)機(jī)械臂前端不同的抓手、后端的手臂分別與所述測(cè)距傳感器的垂直距離；測(cè)距傳感器還用于根據(jù)所述測(cè)距傳感器感測(cè)的機(jī)械臂前端不同的抓手分別與所述測(cè)距傳感器之間的垂直距離差，調(diào)整機(jī)械臂的水平位置；測(cè)距傳感器還用于根據(jù)所述測(cè)距傳感器感測(cè)的機(jī)械臂前端任一抓手、后端的手臂與所述測(cè)距傳感器的垂直距離差，調(diào)整機(jī)械臂距離被存放晶圓的垂直距離。
[0017]與現(xiàn)有的方案相比，本發(fā)明中通過(guò)測(cè)距傳感器感測(cè)機(jī)械臂前端不同的抓手、后端的手臂分別與所述測(cè)距傳感器的垂直距離；據(jù)此，客觀高效地實(shí)現(xiàn)了調(diào)整機(jī)械臂的水平位置和垂直距離。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0018]圖1所示為本發(fā)明實(shí)施例一中調(diào)整機(jī)械臂位置的方法流程圖；
[0019]圖2為對(duì)距離傳感器進(jìn)行歸零調(diào)整的示意圖；
[0020]圖3所示為本發(fā)明實(shí)施例一中測(cè)距傳感器與機(jī)械臂形成的三角關(guān)系；
[0021]圖4所示為本發(fā)明實(shí)施例一中測(cè)距傳感器與機(jī)械臂的前端抓手之間的位置關(guān)系；
[0022]圖5所示為本發(fā)明實(shí)施例一中測(cè)距傳感器在測(cè)距過(guò)程中與機(jī)械手的位置關(guān)系。
【具體實(shí)施方式】
[0023]以下將配合圖式及實(shí)施例來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式，藉此對(duì)本發(fā)明如何應(yīng)用技術(shù)手段來(lái)解決技術(shù)問(wèn)題并達(dá)成技術(shù)功效的實(shí)現(xiàn)過(guò)程能充分理解并據(jù)以實(shí)施。
[0024]本發(fā)明的下述實(shí)施例中，通過(guò)測(cè)距傳感器感測(cè)機(jī)械臂前端不同的抓手、后端的手臂分別與所述測(cè)距傳感器的垂直距離；據(jù)此，客觀高效地實(shí)現(xiàn)了調(diào)整機(jī)械臂的水平位置和
垂直距離。
[0025]圖1所示為本發(fā)明實(shí)施例一中調(diào)整機(jī)械臂位置的方法流程圖；如圖1所示，該方法涉及在機(jī)械臂存放晶圓的過(guò)程中，其可以包括:[0026]步驟101、通過(guò)測(cè)距傳感器感測(cè)機(jī)械臂前端不同的抓手、后端的手臂分別與所述測(cè)距傳感器的垂直距離；
[0027]步驟102、根據(jù)所述測(cè)距傳感器感測(cè)的機(jī)械臂前端不同的抓手分別與所述測(cè)距傳感器之間的垂直距離差，調(diào)整機(jī)械臂的水平位置；
[0028]步驟103、根據(jù)所述測(cè)距傳感器感測(cè)的機(jī)械臂前端任一抓手、后端的手臂與所述測(cè)距傳感器的垂直距離差，調(diào)整機(jī)械臂距離被存放晶圓的垂直距離。
[0029]優(yōu)選地，在本實(shí)施例中，所述測(cè)距傳感器選用但不限于紅外測(cè)距傳感器只要可以感測(cè)距離即可。具體地，可以選用歐姆龍公司的ZX-L系列的激光測(cè)距感應(yīng)器。在此需要說(shuō)明的時(shí)，本發(fā)明并不限定歐姆龍公司的ZX-L系列的激光測(cè)距感應(yīng)器，也可以選用其他廠家其他系列的紅外測(cè)距傳感器。
[0030]本實(shí)施例中選用的歐姆龍公司的ZX-L系列的激光測(cè)距感應(yīng)器包括紅外發(fā)射/接收裝置，以及紅外激光控制顯示裝置。對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，該激光測(cè)距感應(yīng)器屬于本領(lǐng)域的現(xiàn)有技術(shù)，在此不再贅述。
[0031]優(yōu)選地，在本實(shí)施例中，在感測(cè)機(jī)械臂前端不同的抓手、后端的手臂分別與所述測(cè)距傳感器的垂直距離時(shí)，所述機(jī)械臂前端不同的抓手各自對(duì)應(yīng)ー組所述測(cè)距傳感器，所述機(jī)械臂后端的手臂對(duì)應(yīng)一所述測(cè)距傳感器，以形成三角測(cè)距關(guān)系。
[0032]優(yōu)選地，在本發(fā)明的另ー實(shí)施例中，在步驟101之前還可以包括:通過(guò)所述距離傳感器測(cè)得一初始距離，并進(jìn)行歸零調(diào)整。
[0033]圖2為對(duì)距離傳感器進(jìn)行歸零調(diào)整的示意圖；如圖2所示，以歐姆龍公司的ZX-L系列的激光測(cè)距感應(yīng)器為例進(jìn)行說(shuō)明。當(dāng)ZX-L系列激光測(cè)距傳感器進(jìn)行工作吋，激光發(fā)射和接收端Sensor Head201使用三角測(cè)距方法，首先測(cè)得傳感器與初始測(cè)量物表面之間的距離Tl。此時(shí)將傳感器的控制器進(jìn)行置零，該點(diǎn)即為初始點(diǎn)零位。當(dāng)需要測(cè)距的對(duì)象放置于發(fā)射和接收端Sensor Head下方，重新進(jìn)行測(cè)量，此時(shí)得到傳感器與測(cè)量物202表面的距離T2，該距離T2就是被測(cè)對(duì)象上表面與之前初始零位點(diǎn)之間的距離。由此可知，傳感器與量測(cè)物表面的距離T2=傳感器與初始測(cè)量物表面之間的距離Tl (傳感器與初始測(cè)量物表面之間的距離)-放置于初始測(cè)量物表面物體的高度X。
[0034]對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，該ZX-L系列激光測(cè)距感應(yīng)器的詳細(xì)測(cè)距原理屬于本領(lǐng)域的現(xiàn)有技術(shù)，在此不再贅述。
[0035]優(yōu)選地，在本實(shí)施例中，所述測(cè)距傳感器可以設(shè)置在裝載被存放晶圓的裝載盒上表面。使得在感測(cè)機(jī)械臂前端不同的抓手、后端的手臂分別與所述測(cè)距傳感器的垂直距離時(shí)，所述測(cè)距傳感器的安裝位置分別與機(jī)械臂前端不同的抓手、后端的手臂形成三角測(cè)距關(guān)系。換言之，如果機(jī)械臂的前端有兩個(gè)抓手，后端有一個(gè)手臂，那么根據(jù)行程三角測(cè)距關(guān)系的原則，給每個(gè)抓手配置ー個(gè)測(cè)距傳感器，而給手臂配置ー個(gè)測(cè)距傳感，合計(jì)三個(gè)測(cè)距傳感器。
[0036]圖3所示為本發(fā)明實(shí)施例一中測(cè)距傳感器與機(jī)械臂形成的三角關(guān)系；如圖3所示，機(jī)械臂的前端有兩個(gè)抓手301，兩個(gè)抓手301之間的距離為192mm，后端有一個(gè)手臂302，手臂302的寬度為80mm。
[0037]那么根據(jù)行程三角測(cè)距關(guān)系的原則，給每個(gè)抓手301配置一個(gè)測(cè)距傳感器303，能夠量測(cè)到機(jī)械臂的左前端和右前端；而給手臂302配置ー個(gè)測(cè)距傳感303，能夠量測(cè)到機(jī)械臂的后端。通過(guò)這種配置，共用到三個(gè)測(cè)距傳感器303。
[0038]在測(cè)距和定位機(jī)械臂位置的過(guò)程中，給抓手301配置的測(cè)距傳感器303感測(cè)的距離分別為hi和h2，而給手臂302配置的測(cè)距傳感303感測(cè)的距離為h3。
[0039]比較hi和h2，調(diào)整和定位機(jī)械臂的水平位置；比較hi或h2，與h3，調(diào)整和定位機(jī)械臂的垂直位置。需要說(shuō)明的水平位置垂直位置的調(diào)整和定位沒(méi)有嚴(yán)格的先后關(guān)系，可以先定位好水平位置，再定位垂直位置，也可先定位好垂直位置，再定位水平位置。
[0040]圖4所示為本發(fā)明實(shí)施例一中測(cè)距傳感器與機(jī)械臂的前端抓手之間的位置關(guān)系；圖5所示為本發(fā)明實(shí)施例一中測(cè)距傳感器在測(cè)距過(guò)程中與機(jī)械手的位置關(guān)系。如圖4所示，為沿著激光發(fā)射方向的剖視示意圖，每個(gè)抓手301配置一個(gè)測(cè)距傳感器303位于裝載盒的上表面。測(cè)距傳感器303與抓手301的距離分別為hi和h2。如圖5所示，為垂直與激光發(fā)射方向的剖視示意圖，每個(gè)抓手301配置一個(gè)位于裝載盒300的上表面，而機(jī)械臂后端的手臂302配置的測(cè)距傳感器303與手臂302的距離h3。
[0041]圖4和圖5中示意出了倒數(shù)第一個(gè)和倒數(shù)第二個(gè)狹槽空位304，以存放倒數(shù)第二個(gè)狹槽空位304的晶圓放置區(qū)305中的晶圓為例，詳細(xì)說(shuō)明上述實(shí)施例中的定位。假如機(jī)械臂有兩個(gè)抓手，而機(jī)械臂如端302A的厚度為4mm左右,后端302B的厚度為2.5mm,晶圓的厚度為Imm左右。由于機(jī)械臂傳送時(shí)，其位置需要定位到位于倒數(shù)第一個(gè)和第二個(gè)晶圓的中間偏上位置，機(jī)械臂下表面與倒數(shù)第一個(gè)晶圓306之間的距離為3mm，機(jī)械臂前端上表面與倒數(shù)第二個(gè)晶圓306之間的距離為2mm，倒數(shù)第一個(gè)晶圓下表面與倒數(shù)第二個(gè)狹槽空位304的之間的距離為10mm。因此，當(dāng)機(jī)械臂剛好能存取到倒數(shù)第二個(gè)狹槽空位304對(duì)應(yīng)的晶圓時(shí)，三個(gè)距離h1、h2和h3應(yīng)在24.5±0.5mm。在調(diào)整過(guò)程中，依據(jù)該數(shù)據(jù)進(jìn)行機(jī)械臂的定位。至于調(diào)整的過(guò)程，可以個(gè)距離hl、h2和h3之間的誤差，結(jié)合現(xiàn)有技術(shù)中調(diào)整部件進(jìn)行，詳細(xì)過(guò)程不再贅述。
[0042]如前所述，為了提高精確度，在測(cè)距之前需要對(duì)測(cè)距傳感器進(jìn)行歸零設(shè)置，那么當(dāng)有三個(gè)測(cè)距傳感器303的時(shí)候，要分別進(jìn)行歸零，共計(jì)三次。比如以裝載盒地面為作為初始測(cè)量物表面進(jìn)行歸零，那么當(dāng)機(jī)械臂位于24.5±0.5mm,剛好可以存放倒數(shù)第二個(gè)狹槽空位304對(duì)應(yīng)的晶圓。
[0043]上述實(shí)施例中，是用到三個(gè)測(cè)距傳感器，那么對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，也可以使用ー個(gè)測(cè)距傳感器，配置三個(gè)紅外發(fā)射/接收端，分別沿著機(jī)械臂前端不同的抓手、后端的手臂發(fā)射三束紅外光，形成一個(gè)三維的三角測(cè)距關(guān)系。測(cè)距傳感器獲得的距離數(shù)據(jù)同樣S1、s2和s3，對(duì)該距離分解到XYZ三維平面中，作為定位機(jī)械臂的數(shù)據(jù)依據(jù)。詳細(xì)過(guò)程在此不再贅述。
[0044]在本發(fā)明的另外ー實(shí)施例中，上述機(jī)械臂、測(cè)距傳感器可以形成以晶圓存放系統(tǒng)(系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖未示出)，其中，機(jī)械臂用于存放裝載盒中的晶圓；測(cè)距傳感器用于感測(cè)機(jī)械臂前端不同的抓手、后端的手臂分別與所述測(cè)距傳感器的垂直距離；測(cè)距傳感器還用于根據(jù)所述測(cè)距傳感器感測(cè)的機(jī)械臂前端不同的抓手分別與所述測(cè)距傳感器之間的垂直距離差，調(diào)整機(jī)械臂的水平位置；測(cè)距傳感器還用于根據(jù)所述測(cè)距傳感器感測(cè)的機(jī)械臂前端任一抓手、后端的手臂與所述測(cè)距傳感器的垂直距離差，調(diào)整機(jī)械臂距離被存放晶圓的垂直距離。
[0045]本實(shí)施例中，在感測(cè)機(jī)械臂前端不同的抓手、后端的手臂分別與所述測(cè)距傳感器的垂直距離時(shí)，所述測(cè)距傳感器的安裝位置分別與機(jī)械臂前端不同的抓手、后端的手臂形成三角測(cè)距關(guān)系。
[0046]本實(shí)施例中，所述測(cè)距傳感器設(shè)置在裝載被存放晶圓的裝載盒上表面。
[0047]本實(shí)施例中，在感測(cè)機(jī)械臂前端不同的抓手、后端的手臂分別與所述測(cè)距傳感器的垂直距離時(shí)，也可以使所述機(jī)械臂前端不同的抓手后端的手臂對(duì)應(yīng)同一所述測(cè)距傳感器，以形成三維三角測(cè)距關(guān)系。
[0048]上述說(shuō)明示出并描述了本發(fā)明的若干優(yōu)選實(shí)施例，但如前所述，應(yīng)當(dāng)理解本發(fā)明并非局限于本文所披露的形式，不應(yīng)看作是對(duì)其他實(shí)施例的排除，而可用于各種其他組合、修改和環(huán)境，并能夠在本文所述發(fā)明構(gòu)想范圍內(nèi)，通過(guò)上述教導(dǎo)或相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)或知識(shí)進(jìn)行改動(dòng)。而本領(lǐng)域人員所進(jìn)行的改動(dòng)和變化不脫離本發(fā)明的精神和范圍，則都應(yīng)在本發(fā)明所附權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種調(diào)整機(jī)械臂位置的方法，其特征在于，在機(jī)械臂存放晶圓的過(guò)程中，包括: 通過(guò)測(cè)距傳感器感測(cè)機(jī)械臂前端不同的抓手、后端的手臂分別與所述測(cè)距傳感器的垂直距離； 根據(jù)所述測(cè)距傳感器感測(cè)的機(jī)械臂前端不同的抓手分別與所述測(cè)距傳感器之間的垂直距離差，調(diào)整機(jī)械臂的水平位置； 根據(jù)所述測(cè)距傳感器感測(cè)的機(jī)械臂前端任一抓手、后端的手臂與所述測(cè)距傳感器的垂直距離差，調(diào)整機(jī)械臂距離被存放晶圓的垂直距離。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在通過(guò)測(cè)距傳感器感測(cè)機(jī)械臂前端不同的抓手、后端的手臂分別與所述測(cè)距傳感器的垂直距離之前包括: 通過(guò)所述距離傳感器測(cè)得一初始距離，并進(jìn)行歸零調(diào)整。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在感測(cè)機(jī)械臂前端不同的抓手、后端的手臂分別與所述測(cè)距傳感器的垂直距離時(shí)，所述測(cè)距傳感器的安裝位置分別與機(jī)械臂前端不同的抓手、后端的手臂形成三角測(cè)距關(guān)系。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述測(cè)距傳感器設(shè)置在裝載被存放晶圓的裝載盒上表面。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，在感測(cè)機(jī)械臂前端不同的抓手、后端的手臂分別與所述測(cè)距傳感器的垂直距離時(shí)，所述機(jī)械臂前端不同的抓手各自對(duì)應(yīng)一組所述測(cè)距傳感器，所述機(jī)械臂后端的手臂對(duì)應(yīng)一所述測(cè)距傳感器，以形成三角測(cè)距關(guān)系。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，在感測(cè)機(jī)械臂前端不同的抓手、后端的手臂分別與所述測(cè)距傳感器的垂直距離時(shí)，所述機(jī)械臂前端不同的抓手、所述機(jī)械臂后端的手臂對(duì)應(yīng)同一所述測(cè)距傳感器，以形成三維三角測(cè)距關(guān)系。
7.一種晶圓存放系統(tǒng)，其特征在于，在機(jī)械臂存放晶圓的過(guò)程中，包括:機(jī)械臂、測(cè)距傳感器，機(jī)械臂用于存放裝載盒中的晶圓；測(cè)距傳感器用于感測(cè)機(jī)械臂前端不同的抓手、后端的手臂分別與所述測(cè)距傳感器的垂直距離；測(cè)距傳感器還用于根據(jù)所述測(cè)距傳感器感測(cè)的機(jī)械臂前端不同的抓手分別與所述測(cè)距傳感器之間的垂直距離差，調(diào)整機(jī)械臂的水平位置；測(cè)距傳感器還用于根據(jù)所述測(cè)距傳感器感測(cè)的機(jī)械臂前端任一抓手、后端的手臂與所述測(cè)距傳感器的垂直距離差，調(diào)整機(jī)械臂距離被存放晶圓的垂直距離。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其特征在于，在感測(cè)機(jī)械臂前端不同的抓手、后端的手臂分別與所述測(cè)距傳感器的垂直距離時(shí)，所述測(cè)距傳感器的安裝位置分別與機(jī)械臂前端不同的抓手、后端的手臂形成三角測(cè)距關(guān)系。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述測(cè)距傳感器設(shè)置在裝載被存放晶圓的裝載盒上表面。
10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其特征在于，在感測(cè)機(jī)械臂前端不同的抓手、后端的手臂分別與所述測(cè)距傳感器的垂直距離時(shí)，所述機(jī)械臂前端不同的抓手后端的手臂對(duì)應(yīng)同一所述測(cè)距傳感器，以形成三角測(cè)距關(guān)系。
【文檔編號(hào)】B25J13/08GK103552083SQ201310526668
【公開(kāi)日】2014年2月5日 申請(qǐng)日期:2013年10月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月30日
【發(fā)明者】顧海龍, 裴雷洪, 嚴(yán)駿 申請(qǐng)人:上海華力微電子有限公司