專利名稱：用于硅片清洗的前置機械手的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種用于硅片清洗的前置機械手，屬于機械自動化技術領域。
背景技術：
目前，在清洗行業(yè)中尤其是硅片的清洗，許多的清洗工藝都要求用氫氟酸、硝酸等強酸溶液。負載不大，但對整個機械手裝置的防腐要求較高，現(xiàn)有技術的機械手的傳動部位沒有和強酸環(huán)境分離開，容易導致腐蝕，傳動不精確，不利于強酸環(huán)境的使用。
發(fā)明內容本實用新型的目的是克服現(xiàn)有技術的不足，提供一種具有防腐功能的用于硅片清洗的前置機械手。實現(xiàn)本實用新型目的的技術方案是一種用于硅片清洗的前置機械手，包括防腐框架、固定框和Y軸滑塊，防腐框架通過導軌副可滑動地支撐在固定框上，防腐框架上固定有X軸驅動裝置和Y軸驅動裝置，X軸驅動裝置通過齒輪齒條副與固定框相連接，Y軸驅動裝置通過滾珠絲杠副與Y軸滑塊固定連接，Y軸滑塊上固定連接有升降臂，升降臂上固定連接有掛鉤裝置，滾珠絲杠副安裝在防腐框架內，防腐框架上設有防腐折疊布，Y軸滑塊和滾珠絲杠副均位于防腐折疊布的一側，升降臂穿過防腐折疊布，掛鉤裝置位于防腐折疊布的另一側，升降臂和齒輪齒條副之間設置有防腐隔離板。進一步，所述的齒輪齒條副由齒輪和齒條組成，齒輪套裝在X軸驅動裝置的輸出軸上，齒條固定在所述的固定框上。進一步，所述的滾珠絲杠副包括絲杠和螺母，絲杠與Y軸驅動裝置活動連接，螺母與Y軸滑塊固定連接，螺母通過螺紋連接在絲杠上。更進一步，所述的導軌副由圓形直線導軌和滑塊組成，圓形直線導軌安裝在固定框上，滑塊固定連接在防腐框架上。采用了上述技術方案后，Y軸驅動裝置帶動絲杠轉動的同時實現(xiàn)螺母的上下運動，即實現(xiàn)升降臂的Y軸上下運行，X軸驅動裝置驅動齒輪轉動，從而驅動齒條實現(xiàn)X軸的移動，從而使整個機械手裝置在X軸上左右移動；導軌副輔助其運動，使機械手運行更為平穩(wěn)可靠；通過防腐隔離板的設置，使得X軸的傳動部位齒輪齒條副與強酸溶液隔離開，通過防腐折疊布的設置，使得Y軸的傳送部位滾珠絲杠副與強酸溶液隔離開，這樣就使得機械手整個傳動部位與強酸環(huán)境分離開，具有一定的防腐功能，延長了機械手的使用壽命。

圖I為本實用新型的用于硅片清洗的前置機械手的結構示意圖。
具體實施方式
為了使本實用新型的內容更容易被清楚地理解，下面根據具體實施例并結合附圖，對本實用新型作進一步詳細的說明，如圖I所示，一種用于硅片清洗的前置機械手，包括防腐框架I、固定框2和Y軸滑塊3，防腐框架I通過導軌副可滑動地支撐在固定框2上，防腐框架I上固定有X軸驅動裝置4和Y軸驅動裝置5, X軸驅動裝置4通過齒輪齒條副與固定框2相連接,Y軸驅動裝置5通過滾珠絲杠副與Y軸滑塊3固定連接，Y軸滑塊3上固定連接有升降臂6，升降臂6上固定連接有掛鉤裝置7，滾珠絲杠副安裝在防腐框架I內，防腐框架I上設有防腐折疊布8，Y軸滑塊3和滾珠絲杠副均位于防腐折疊布8的一側，升降臂6穿過防腐折疊布8，掛鉤裝置7位于防腐折疊布8的另一側，升降臂6和齒輪齒條副之間設置有防腐隔離板9。齒輪齒條副由齒輪10和齒條11組成，齒輪10套裝在X軸驅動裝置4的輸出軸上，齒條11固定在所述的固定框2上。滾珠絲杠副包括絲杠12和螺母13，絲杠12與Y軸驅動裝置4活動連接，螺母13與Y軸滑塊3固定連接，螺母13通過螺紋連接在絲杠12上。導軌副由圓形直線導軌14和滑塊15組成，圓形直線導軌14安裝在固定框2上，滑塊15固定連接在防腐框架I上。本實用新型的工作原理如下Y軸驅動裝置5帶動絲杠12轉動的同時實現(xiàn)螺母13的上下運動，即實現(xiàn)升降臂6的Y軸上下運行，X軸驅動裝置4驅動齒輪10轉動，從而驅動齒條11實現(xiàn)X軸的移動，從而使整個機械手裝置在X軸上左右移動。導軌副輔助其運動，使機械手運行更為平穩(wěn)可靠;通過防腐隔離板9的設置，使得X軸的傳動部位齒輪齒條副與強酸溶液隔離開，通過防腐折疊布8的設置，使得Y軸的傳送部位滾珠絲杠副與強酸溶液隔離開，這樣就使得機械手整個傳動部位與強酸環(huán)境分離開，具有一定的防腐功能，延長了機械手的使用壽命。以上所述的具體實施例，對本實用新型的目的、技術方案和有益效果進行了進一步詳細說明，所應理解的是，以上所述僅為本實用新型的具體實施例而已，并不用于限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
權利要求1.一種用于硅片清洗的前置機械手，包括防腐框架(I)、固定框(2)和Y軸滑塊(3)，防腐框架(I)通過導軌副可滑動地支撐在固定框(2)上，防腐框架(I)上固定有X軸驅動裝置(4)和Y軸驅動裝置(5)，X軸驅動裝置(4)通過齒輪齒條副與固定框(2)相連接，Y軸驅動裝置(5)通過滾珠絲杠副與Y軸滑塊(3)固定連接，Y軸滑塊(3)上固定連接有升降臂(6)，升降臂(6)上固定連接有掛鉤裝置(7)，其特征在于滾珠絲杠副安裝在防腐框架(I)內，防腐框架(I)上設有防腐折疊布(8)，Y軸滑塊(3)和滾珠絲杠副均位于防腐折疊布(8)的一側，升降臂(6)穿過防腐折疊布(8)，掛鉤裝置(7)位于防腐折疊布(8)的另一側，升降臂(6)和齒輪齒條副之間設置有防腐隔離板(9)。
2.根據權利要求I所述的用于硅片清洗的前置機械手，其特征在于所述的齒輪齒條副由齒輪(10)和齒條(11)組成，齒輪(10)套裝在X軸驅動裝置(4)的輸出軸上，齒條(11)固定在所述的固定框(2)上。
3.根據權利要求I所述的用于硅片清洗的前置機械手，其特征在于所述的滾珠絲杠副包括絲杠(12)和螺母(13)，絲杠(12)與Y軸驅動裝置(4)活動連接，螺母(13)與Y軸滑塊(3 )固定連接，螺母(13 )通過螺紋連接在絲杠(12 )上。
4.根據權利要求I所述的用于硅片清洗的前置機械手，其特征在于所述的導軌副由圓形直線導軌(14)和滑塊(15)組成，圓形直線導軌(14)安裝在固定框(2)上，滑塊(15)固定連接在防腐框架(I)上。
專利摘要本實用新型公開了一種用于硅片清洗的前置機械手，包括防腐框架、固定框和Y軸滑塊，防腐框架通過導軌副可滑動地支撐在固定框上，防腐框架上固定有X軸驅動裝置和Y軸驅動裝置，X軸驅動裝置通過齒輪齒條副與固定框相連接，Y軸驅動裝置通過滾珠絲杠副與Y軸滑塊固定連接，Y軸滑塊上固定連接有升降臂，升降臂上固定連接有掛鉤裝置，滾珠絲杠副安裝在防腐框架內，防腐框架上設有防腐折疊布，Y軸滑塊和滾珠絲杠副均位于防腐折疊布的一側，升降臂穿過防腐折疊布，掛鉤裝置位于防腐折疊布的另一側，升降臂和齒輪齒條副之間設置有防腐隔離板。本實用新型將機械手的整個傳動部位與強酸環(huán)境分離開，具有一定的防腐功能，延長了機械手的使用壽命。
文檔編號B25J9/08GK202726916SQ20122027442
公開日2013年2月13日 申請日期2012年6月12日 優(yōu)先權日2012年6月12日
發(fā)明者李繼忠 申請人:常州市科沛達超聲工程設備有限公司